DE69313216D1 - Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Streuvermögens eines Abscheidungselektrolyten mittels einer Drehelektrode - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Streuvermögens eines Abscheidungselektrolyten mittels einer Drehelektrode

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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030013046A (ko) * 2001-08-06 2003-02-14 주식회사 미래소재 양극-음극-교반기 결합 일체형 전기도금장치
US6720263B2 (en) 2001-10-16 2004-04-13 Applied Materials Inc. Planarization of metal layers on a semiconductor wafer through non-contact de-plating and control with endpoint detection
KR101030330B1 (ko) * 2010-04-26 2011-04-19 사토시게루 전기분해 장치
TWI658506B (zh) 2016-07-13 2019-05-01 美商英奧創公司 電化學方法、元件及組成
CN110088362B (zh) * 2016-12-28 2021-07-30 株式会社山本镀金试验器 镀覆装置
CN115369456A (zh) * 2022-09-16 2022-11-22 中国科学院金属研究所 一种电解金属箔的制备装置及制备方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3215609A (en) * 1962-12-04 1965-11-02 Conversion Chem Corp Electroplating test cell and method
US4252027A (en) * 1979-09-17 1981-02-24 Rockwell International Corporation Method of determining the plating properties of a plating bath
US4487681A (en) * 1983-01-17 1984-12-11 Chemcut Corporation Electroplating test cell
US4605626A (en) * 1985-05-01 1986-08-12 Rohrback Technology Corporation Electrochemical system with rotating electrode/sparger assembly
US5228976A (en) * 1990-07-09 1993-07-20 At&T Bell Laboratories Hydrodynamically modulated hull cell

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