DE692636T1 - Konvergierende Pumpstufe für Turbomolekularpumpe - Google Patents

Konvergierende Pumpstufe für Turbomolekularpumpe

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DE692636T1
DE692636T1 DE0692636T DE94202624T DE692636T1 DE 692636 T1 DE692636 T1 DE 692636T1 DE 0692636 T DE0692636 T DE 0692636T DE 94202624 T DE94202624 T DE 94202624T DE 692636 T1 DE692636 T1 DE 692636T1
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DE
Germany
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turbomolecular pump
pump according
channel
suction inlet
stator ring
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Pending
Application number
DE0692636T
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English (en)
Inventor
John C Helmer
Giampaolo Levi
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Varian Medical Systems Inc
Original Assignee
Varian Associates Inc
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Publication date
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Application filed by Varian Associates Inc filed Critical Varian Associates Inc
Publication of DE692636T1 publication Critical patent/DE692636T1/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Claims (12)

636 94 202 624.6 Ansprüche
1. Turbomolekularpumpe mit einer Tangentialströmungs-Pumpstufe (3), wobei besagte Tangentialströmungs-Pumpstufe aufweist:
ein Hüllgehäuse, wobei besagtes Hüllgehäuse ein einander gegenüberstehendes Paar miteinander verbundener Platten {4, 5) aufweist, wobei besagte Platten einen Saugeinlaß bzw. Abgabeauslaß (9, 10) besitzen;
eine Rotorscheibe (6; 44), die innerhalb des besagten Hüiigehäuses angeordnet ist, wobei besagte Rotorscheibe ein Paar zueinander entgegengesetzter ebener Oberflächen und eine Seitenfläche aufweist/ wobei jede besagte ebene Oberfläche einer betreffenden Platte des besagten Hüllgehäuses zugekehrt ist und dazwischen einen ersten Bereich enger Toleranz definiert;
einen Statorring (7) mit einer teilweise ausgekehlten inneren Oberfläche, der innerhalb des genannten Gehäuses angeordnet ist, wobei besagter Statorring (7) im wesentlichen koplanar zu dem besagten Rotor {6; 44) ist und ein glatter Teil der besagten inneren Oberfläche des besagten Statorrings (7) einen zweiten Bereich enger Toleranz mit der besagten Seitenfläche der besagten Rotorscheibe definiert;
wobei besagte Seitenfläche der besagten Rotorscheibe (6; 44) und die besagte ausgekehlte innere Oberfiäche des besagten Statorringes (7) in Zusammenwirkung zwischen sich einen Kanal (8) bilden, wobei besagter Kanal ein Paar einander entgegengesetzte Enden (11, 12) besitzt, die den besagten Saugeinlaß und besagten Ausgabeauslaß (9, 10) an den besagten betreffenden, entgegengesetzten Enden angeordnet aufweisen, wobei besagter Kanal (8) sich in einer Drehrichtung der besagten Rotorscheibe
(6; 44) vom besagten Saugeiniaß (9) zum besagten Abgabeauslaß (10) hin konvergierend verjüngt.
2. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 1, bei der die genannte Verjüngung des genannten Kanales linear ist.
3. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 1, bei der die Verjüngung des genannten Kanales exponentiell ist.
4. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 1, bei der die Verjüngung des genannten Kanales sinusförmig ist.
5. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 1, bei der der besagte verjüngte Kanal ferner eine radiale Wand aufweist, die eine Stufe (15) in der Nähe des genannten Saugeinlasses (9) bildet.
6. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 5, bei der der besagte Saugeinlaß (9) so dimensioniert ist, daß er vollständig innerhalb des besagten verjüngten Kanales (8) angeordnet ist.
7. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 6, bei der der genannte Abgabeauslaß (10) so dimensioniert ist, daß er mit einem ersten Teil innerhalb des besagten konvergierenden Teiles des besagten verjüngten Kanales (8) und mit einem zweiten Teäi innerhalb der besagten inneren Oberfläche des Statorringes angeordnet ist.
8. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 7, bei der der besagte Abgabeauslaß (10) und der besagte Saugeinlaß (9) in Pojektion auf die Ebene des Statorringes vorzugsweise um 330° azimutal längs einer Umfangsfläche des besagten Statorringes zueinander versetzt angeordnet sind.
9. Turbomoiekularpumpe nach Anspruch 8, bei der die besagte Rotorscheibe (44) ferner umfängliche Schaufeln (45, 45a, 45b) auweist, die senkrecht zu den besagten seitlichen, ebenen Rotoroberflächen angeordnet sind.
10. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 9, außerdem eine Mehrzahl vom Pumpstufen (38, 39, 40) aufweisend, wobei jede der besagten Pumpstufen einen sich verjüngenden Kanal aufweist.
11. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 10, bei der jedes Paar der Strömung von jedem Abgabeauslaß zu jedem benachbarten Saugeinlaß.
12. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 11, außerdem eine Mehrzahl von Pumpstufen (38, 39, 40) aufweisend, wobei jede der besagten Pumpstufen eine Mehrzahl der besagten verjüngten Kanäle besitzt, wobei die Anzahl der genannten verjüngten Kanäle vom Einlaß gegen den Auslaß der besagten Pumpe hin abnimmt.
DE0692636T 1994-05-16 1994-09-12 Konvergierende Pumpstufe für Turbomolekularpumpe Pending DE692636T1 (de)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/242,937 US5456575A (en) 1994-05-16 1994-05-16 Non-centric improved pumping stage for turbomolecular pumps

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Publication Number Publication Date
DE692636T1 true DE692636T1 (de) 1996-10-10

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US (1) US5456575A (de)
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DE69402975T2 (de) 1997-09-04
EP0692636B1 (de) 1997-05-02
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