DE69210910T2

DE69210910T2 - Piezoelektrisches Element

Info

Publication number: DE69210910T2
Application number: DE69210910T
Authority: DE
Inventors: Tsuneo Amano; Kiyoshi Iwai; Kazuya Kamada; Takeshi Nakamura
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1991-07-05
Filing date: 1992-06-26
Publication date: 1996-12-05
Anticipated expiration: 2012-06-27
Also published as: DE69210910D1; EP0526728A3; EP0526728B1; EP0526728A2

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Vibrationsgyroskop, das einen Vibrator mit einem regelmäßigen Querschnitt, der durch mindestens drei Seitenoberflächen definiert ist, und piezoelektrische Elemente aufweist, wobei jedes piezoelektrische Element auf einer der mindestens drei Seitenoberflächen befestigt ist, und wobei jedes piezoelektrische Element einen piezoelektrischen Körper aufweist, der Elektroden aufweist, die auf beiden Hauptoberflächen desselben gebildet sind.

Beschreibung des Stands der Technik

Fig. 9 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Winkelgeschwindigkeitssensor, der ein herkömmliches piezoelektrisches Element verwendet, das einen Hintergrund der vorliegenden Erfindung darstellt, zeigt, wobei Fig. 10 eine Schnittansicht desselben darstellt. Der Winkelgeschwindigkeitssensor 1 weist einen Vibrator 2 auf, der aus einem Material gebildet ist, welches eine mechanische Schwingung erzeugt, wie z.B. Elinvar. Der Vibrator 2 ist in einer dreieckigen Prismenform gebildet, wobei auf Seitenflächen desselben drei piezoelektrische Elemente 3a, 3b und 3c gebildet sind. Die piezoelektrischen Elemente 3a, 3b und 3c umfassen piezoelektrische Körper 4a, 4b und 4c, wobei auf beiden Oberflächen derselben Elektroden 5a, 5b und 5c gebildet sind. Jeweils eine Seite oder Oberfläche der Elektroden 5a, 5b und 5c ist mit der jeweiligen Seitenfläche des Vibrators 2 verbunden.
Wenn der Winkelgeschwindigkeitssensor 1 verwendet wird, ist eine Oszillationsschaltung beispielsweise zwischen die piezoelektrischen Elemente 3a, 3b und das piezoelektrische Element 3c geschaltet. Der Vibrator 2 biegt sich und schwingt durch ein Ausgangssignal von der Schwingungsschaltung in einer Richtung, die zu der Oberfläche orthogonal ist, auf der das piezoelektrische Element 3c gebildet ist. Wenn der Winkelgeschwindigkeitssensor um eine Achse rotiert, werden Ausgangsspannungen in den piezoelektrischen Elementen 3a und 3b erzeugt. Eine Rotationswinkelgeschwindigkeit, die an den Winkelgeschwindigkeitssensor 1 angelegt ist, wird gemessen, indem die Ausgangsspannungsdifferenz von den piezoelektrischen Elementen 3a und 3b gemessen wird.
Bei dem piezoelektrischen Element, das in einem derartigen Winkelgeschwindigkeitssensor verwendet wird, wird das piezoelektrische Element jedoch durch die Differenz der thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen dem piezoelektrischen Körper und der Elektrode gebogen und durch die Veränderung der atmosphärischen Temperatur verzerrt, da die Elektrode auf der Oberfläche des piezoelektrischen Körpers gebildet ist. Das piezoelektrische Element wird ebenfalls durch die Temperaturänderung und die Differenz der thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen Vibrator und dem piezoelektrischen Element gebogen und verzerrt. Aus diesen Gründen werden andere Spannungen als die Spannung, die auf die Rotationswinkelgeschwindigkeit anspricht, erzeugt, wodurch Charakteristika des Winkelgeschwindigkeitssensors dazu neigen, zu schwanken.
Die Nr. 447 der Patent Abstracts of Japan, Bd. 13, Nr. 447, die der JP-A-1172281 entspricht, offenbart ein poröses piezoelektrisches Material für piezoelektrische Vibratoren mit Löchern, derart, daß die Poren etwa 23 bis 45% Leerräume bezüglich des ganzen Volumens des Vibrators bilden.
Die EP-A-171716 offenbart ein piezoelektrisches Keramikmaterial, das für Ultraschallwandler angepaßt und durch eine poröse piezoelektrische Keramik gebildet ist, die eine Porosität zwischen 10% und 50% aufweist.
Die GB-A-2068355 offenbart ein Keramikmaterial für piezoelektrische Keramikelemente mit frei wählbaren Porositäten zwischen 6% und 54%.
Die vorliegende Erfindung basiert auf dem Ziel, unerwünschte Temperaturschwankungen der Ausgangsspannung eines Vibrationsgyroskops zu reduzieren.
Diese Aufgabe wird durch ein Vibrationsgyroskop gemäß Anspruch 1 gelöst.
Durch Bilden der Poren in dem piezoelektrischen Element wird die Differenz der thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen dem piezoelektrischen Element und dem Vibrator reduziert, wobei die Biegung und die Verzerrung des piezoelektrischen Elements verkleinert werden.
Gemäß der vorliegenden Erfindung treten die Biegung und die Verzerrung der piezoelektrischen Elemente aufgrund der Differenz der thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen dem Vibrator und den piezoelektrischen Elementen kaum auf, selbst wenn sich die atmosphärische Temperatur verändert hat, wodurch die nutzlose Spannung kaum erzeugt wird.
Die obigen und weitere Ziele, Merkmale, Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung des Ausführungsbeispiels, die unter Bezugnahme auf die Zeichnungen durchgeführt wird, offensichtlicher.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.
Fig. 2 ist eine Schnittansicht eines Winkelgeschwindigkeitssensors, der in Fig. 1 gezeigt ist.
Fig. 3 ist ein Blockdiagramm, das eine Schaltung zeigt, wenn der Winkelgeschwindigkeitssensor, der in Fig. 1 gezeigt ist, verwendet wird.
Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht, die ein weiteres Ausführungsbeispiel des Winkelgeschwindigkeitssensors, der in Fig. 1 gezeigt ist, zeigt.
Fig. 5 ist eine Schnittansicht des Winkelgeschwindigkeitssensors, der in Fig. 4 gezeigt ist.
Fig. 6 ist eine perspektivische Ansicht, die ein weiteres Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.
Fig. 7 ist eine Schnittansicht eines Winkelgeschwindigkeitssensors, der in Fig. 6 gezeigt ist.
Fig. 8 ist ein Blockdiagramm, das eine Schaltung zeigt, wenn der Winkelgeschwindigkeitssensor, der in Fig. 6 gezeigt ist, verwendet wird.
Fig. 9 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Winkelgeschwindigkeitssensor zeigt, der ein herkömmliches piezoelektrisches Element verwendet, welches ein Hintergrund der vorliegenden Erfindung ist.
Fig. 10 ist eine Schnittansicht des Winkelgeschwindigkeitssensors, der in Fig. 9 gezeigt ist.

Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele

Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die einen Winkelgeschwindigkeitssensor zeigt, welcher ein piezoelektrisches Element der vorliegenden Erfindung zeigt, während Fig. 2 eine Schnittdarstellung desselben ist. Der Winkelgeschwindigkeitssensor 10 weist einen Vibrator 12 auf. Der Vibrator 12 ist in einer regelmäßigen dreieckigen Prismenform aus einem Material gebildet, welches eine mechanische Schwingung erzeugt, wie z.B. Elinvar. Auf Mittelabschnitten dieser drei Seitenflächen des Vibrators 12 sind piezoelektrische Elemente 14a, 14b bzw. 14c gebildet. Das piezoelektrische Element 14a umfaßt einen piezoelektrischen Körper 16a, wobei auf beiden Oberflächen desselben Elektroden 18a und 20a gebildet sind. Eine Elektrode 20a ist mit einer Seitenfläche des Vibrators 12 verbunden. Auf ähnliche Weise umfassen die piezoelektrischen Elemente 14b, 14c piezoelektrische Körper 16b, 16c, wobei auf beiden Oberflächen derselben Elektroden 18b, 20b und Elektroden 18c, 20c gebildet sind. Die Elektroden 20b und 20c sind mit Seitenflächen des Vibrators 12 verbunden.
Bezüglich der piezoelektrischen Elemente 14a, 14b und 14c werden piezoelektrische Elemente mit inneren Poren verwendet. Zum Bilden der Poren in dem piezoelektrischen Körper wird beispielsweise ein brennbares Material, wie z.B. ein Zellulosematerial, in das piezoelektrische Keramikmaterial gemischt. Durch Gießen und Brennen des Materials wird der piezoelektrische Körper gebildet. Zu diesem Zeitpunkt wird die Zellulose verbrannt, wodurch die Poren in dem piezoelektrischen Körper gebildet werden. Der piezoelektrische Körper, der die Poren aufweist, kann durch Gießen und Brennen der geschäumten piezoelektrischen Keramikmaterialien gebildet werden. Darüberhinaus kann der piezoelektrische Körper, der die Poren aufweist, gebildet werden, indem mit einer dünnen Nadel in die piezoelektrischen Keramikmaterialien gestochen wird, um in demselben Zwischenräume zu bilden, und indem dasselbe anschließend gebrannt wird. Darüberhinaus können die Poren gebildet werden, indem zwischen den Materialpartikeln Zwischenräume gebildet werden, indem die Partikelgröße der piezoelektrischen Keramikmaterialien gesteuert wird und dasselbe gebrannt wird.
Dann wurden die piezoelektrischen Elemente 14a, 14b und 14c gebildet, indem die Porosität verändert wurde. Die piezoelektrischen Elemente 14a, 14b und 14c wurden mit dem Vibrator 12 verbunden, um den Winkelgeschwindigkeitssensor 10 herzustellen.
Um Charakteristika des Winkelgeschwindigkeitssensors, wie er in Fig. 3 gezeigt ist, zu untersuchen, wird eine Schwingungsschaltung 30 zwischen die piezoelektrischen Elemente 14a, 14b und das piezoelektrische Element 14c geschaltet. Dann wird der Vibrator 12 durch ein Signal von der Schwingungsschaltung 30 in Schwingung versetzt. In diesem Fall biegt sich und schwingt der Vibrator in einer Richtung, die zu der Oberfläche orthogonal ist, mit der das piezoelektrische Element 14c verbunden ist. Durch Drehen um eine Achse des Vibrators 12 und durch Verwenden einer Differenzschaltung 32 wird die Ausgangsspannungsdifferenz der piezoelektrischen Elemente 14a und 14b gemessen. Bei dem Winkelgeschwindigkeitssensor, der die piezoelektrischen Elemente mit der unterschiedlichen Porosität verwendet, wurde die atmosphärische Temperatur in dem Bereich von -20ºC bis +25ºC für eine derartige Messung verändert, während die Ausgangsspannungsänderungsrate aufgrund der Veränderung der atmosphärischen Temperatur untersucht wurde. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt.
Wie es in Tabelle 1 gezeigt ist, ist bei dem Winkelgeschwindigkeitssensor 10, der die piezoelektrischen Elemente 14a, 14b und 14c verwendet, deren Porosität in dem Bereich von 5 bis 50% liegt, die Änderungsrate der Ausgangsspannung bei der Veränderung der atmosphärischen Temperatur gering. Insbesondere wird es vorgezogen, das piezoelektrische Element zu verwenden, dessen Porosität in dem Bereich von 5 bis 20% liegt, da die Änderungsrate der Ausgangsspannung klein ist. Wenn die Porosität des piezoelektrischen Elements 5% oder weniger beträgt, ist die Porosität weniger wirksam beim Begrenzen der Biegung und Verzerrung des piezoelektrischen Elements aufgrund der Differenz der thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen dem Vibrator 12 und dem piezoelektrischen Elementen 14a, 14b und 14c, wodurch die Änderungsrate der Ausgangsspannung größer wird. Wenn die Porosität des piezoelektrischen Elements 50% überschreitet, ist dieselbe geeignet, um atmosphärische Feuchtigkeit zu absorbieren. Ferner ist das Material geeignet, wenn die piezoelektrischen Elemente 14a, 14b und 14c mit dem Vibrator 12 verbunden werden, einen Klebstoff in die Poren zu saugen. Aus diesen Gründen wird, wenn die Porosität übermäßig groß ist, die Änderungsrate der Ausgangsspannung des Winkelgeschwindigkeitssensors größer. Wenn die Porosität übermäßig groß ist, wird die mechanische Stärke des piezoelektrischen Elements geschwächt und dasselbe neigt dazu, zu brechen.
Weiterhin wurden, wie es in Fig. 4 und Fig. 5 gezeigt ist, die piezoelektrischen Elemente 14a, 14b und 14c mit den Mittelabschnitten von drei sich abwechselnden Seitenflächen eines hexagonal-prismenförmigen Vibrators 12 verbunden, um einen Winkelgeschwindigkeitssensor 10 herzustellen. Auf dieselbe Art und Weise wie beim oben erwähnten Ausführungsbeispiel wurde die Differenz der Ausgangsspannungen von den piezoelektrischen Elementen 14a und 14b gemessen. Bei diesem Ausführungsbeispiel wurde die Änderungsrate der Ausgangsspannung untersucht, indem die Porosität der jeweiligen piezoelektrischen Elemente und die atmosphärische Temperatur in dem Bereich von -20ºC bis +85ºC verändert wurden. Die Ergebnisse sind in Tabelle 2 gezeigt.
Wie es in Tabelle 2 gezeigt ist, war auch bei diesem Ausführungsbeispiel die Änderungsrate der Ausgangsspannungen des Winkelgeschwindigkeitssensors, der das piezoelektrische Element verwendet, dessen Porosität zwischen 5 und 50% liegt, gering. Wenn das piezoelektrische Element, dessen Porosität zwischen 5 und 20% liegt, verwendet wird, ist insbesondere die Rate der Ausgangsspannungsänderung gering.
Daher kann durch Herstellen der Porosität des piezoelektrischen Elements zwischen 5 und 50% die Änderungsrate der Ausgangsspannungen des Winkelgeschwindigkeitssensors 10 gegenüber der atmosphärischen Temperaturveränderung kleiner gemacht werden. Insbesondere ist es sehr wirksam, wenn die Porosität des piezoelektrischen Elements in dem Bereich von 5 bis 20% liegt. Obwohl die dreieckigen und hexagonalen Prismen als Form des Vibrators bei den oben erwähnten Ausführungsbeispielen als Vibrator verwendet wurden, kann dieser Effekt erhalten werden, selbst wenn derselbe in einer anderen Prismenform, wie z.B. einer oktogonalen Prismenform gebildet ist.
Um die Biegung des piezoelektrischen Elements aufgrund der Differenz der thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen dem piezoelektrischen Körper und der Elektrode zu verhindern, können die Elektroden der piezoelektrischen Elemente 14a, 14b und 14c durch Aufdampfen im Vakuum oder Metallisieren gebildet werden. Zum Erhalten derartiger piezoelektrischer Elemente 14a, 14b und 14c werden zuerst die piezoelektrischen Körper 16a, 16b und 16c gebildet. Die piezoelektrischen Körper 16a, 16b und 16c der piezoelektrischen Elemente 14a, 14b und 14c werden durch Gießen beispielsweise piezoelektrischer Keramikmaterialien in eine Platten- oder Tafelform und durch Brennen desselben gebildet. Die piezoelektrischen Körper 16a, 16b und 16c müssen nicht notwendigerweise die Poren in sich enthalten. Die Elektroden werden auf der Oberfläche der somit erhaltenen piezoelektrischen Körper durch Aufdampfen im Vakuum oder Metallisieren unter Verwendung eines Metalls, wie z.B. Ag, Cu und dergleichen, gebildet. Wenn die Elektroden derart gebildet sind, können im Vergleich zum Brennverfahren die Elektroden bei einer niedrigeren Temperatur gebildet werden. Durch Bilden der Elektroden bei einer niedrigen Temperatur wird aufgrund von Reaktionen von Glaskomponenten in dem Elektrodenmaterial keine übermäßige Belastung auf den piezoelektrischen Körper ausgeübt, wie es der Fall ist, wenn die Elektroden durch Brennen bei einer höheren Temperatur gebildet werden. Selbst wenn sich daher die atmosphärische Temperatur verändert hat, ist eine Ausdehnungsdifferenz und Kontraktionsdifferenz zwischen dem piezoelektrischen Körper und den Elektroden klein, wodurch die Biegung und Verzerrung in dem piezoelektrischen Element kaum auftritt. Somit werden kaum andere Spannungen als die Spannung erzeugt, die auf die Rotationswinkelgeschwindigkeit anspricht, die an den Winkelgeschwindigkeitssensor 10 angelegt wird, wodurch eine genaue Messung erreicht werden kann.
Als experimentelles Beispiel wurde eine Elektrode auf einem piezoelektrischen Körper durch die Verfahren des Brennens, des Aufdampfens im Vakuum und des stromlosen Metallisierens gebildet, um die piezoelektrischen Elemente 14a, 14b und 14c herzustellen, welche verwendet wurden, um einen Winkelgeschwindigkeitssensor 10 zu bilden.
Charakteristika des Winkelgeschwindigkeitssensors 10 wurden durch die in Fig. 3 gezeigte Schaltung gemessen. Bei diesem Experiment wurden die Elektroden der piezoelektrischen Elemente 14a, 14b und 14c gebildet, indem das Elektrodenmaterial und das Bildungsverfahren verändert wurden, und indem bei dem Winkelgeschwindigkeitssensor, der dieselben verwendet, die Ausgangsspannungsdifferenz der piezoelektrischen Elemente 14a und 14b gemessen wurde, wobei die atmosphärische Temperatur in dem Bereich von -25ºC bis 85ºC verändert wurde, um die Änderungsrate der Ausgangsspannung aufgrund der veränderung der atmosphärischen Temperatur zu untersuchen. Eine Ausgangsdrift und eine Standardabweichung der Ausgangsspannung wurden gemessen, wobei die Ergebnisse in Tabelle 3 gezeigt sind.
Wie es aus Tabelle 3 offensichtlich ist, sind in dem Fall der Verwendung des piezoelektrischen Elements, dessen Elektroden durch Brennen gebildet sind, die Ausgangsdrift und die Standardabweichung groß. Dagegen sind die Ausgangsdrift und die Standardabweichung in dem Fall klein, bei dem das piezoelektrische Element verwendet wurde, dessen Elektroden durch Aufdampfen im Vakuum oder durch stromloses Metallisieren gebildet wurden.
Bei dem piezoelektrischen Element der vorliegenden Erfindung ist es auch möglich, dasselbe außer für den Winkelgeschwindigkeitssensor auch für einen Beschleunigungssensor, einen Drucksensor, einen Verschiebungssensor, usw., zu verwenden, um die Genauigkeit dieser Sensoren zu verbessern.
Darüberhinaus können die Elektroden 18a und 20a des piezoelektrischen Elements 14a, die Elektroden 18b und 20b des piezoelektrischen Elements 14b und die Elektroden 18c und 20c des piezoelektrischen Elements 14c jeweils, wie es in Fig. 6 und Fig. 7 gezeigt ist, als netzförmige Elektroden gebildet werden. Um derartige piezoelektrische Elemente 14a, 14b und 14c zu erhalten, werden zuerst die piezoelektrischen Körper 16a, 16b und 16c gebildet. Die piezoelektrischen Körper 16a, 16b und 16c der piezoelektrischen Elemente 14a, 14b und 14c werden beispielsweise durch Gießen von piezoelektrischen Keramikmaterialien in eine Platten- oder Tafelform und durch Brennen desselben gebildet. In diesem Fall müssen ebenfalls die piezoelektrischen Körper 16a, 16b und 16c nicht notwendigerweise die Poren in sich enthalten. Auf der Oberfläche der somit erhaltenen piezoelektrischen Körper wird eine Metallpaste, wie z.B. Ag-Pd netzartig aufgedruckt und gebrannt, um die Elektrode zu bilden.
Ferner wird im Falle des Messens der Rotationswinkelgeschwindigkeit durch Verwendung des Winkelgeschwindigkeitssensors 10, wie er beispielsweise in Fig. 8 gezeigt ist, eine Schaltung, die die Schwingungsschaltung 30 und die Differenzschaltung 32 aufweist, verwendet.
Bei diesem Winkelgeschwindigkeitssensor 10 ist durch Bilden der Elektrode in einer netzformigen Gestalt, die Ausdehnung und Kontraktion der netzförmigen Elektrode aufgrund der Veränderung der atmosphärischen Temperatur gestreut. Und daher wird keine übermäßige Belastung auf den piezoelektrischen Körper ausgeübt, selbst wenn sich die atmosphärische Temperatur verändert hat. Selbst wenn sich daher die atmosphärische Temperatur verändert hat, treten die Biegung und Verzerrung des piezoelektrischen Körpers kaum auf. Somit werden kaum Spannungen außer der Spannung, die auf die Rotationswinkelgeschwindigkeit anspricht, die an den Winkelgeschwindigkeitssensor 10 angelegt wird, erzeugt, wodurch eine genaue Messung erreicht werden kann.
Obwohl das piezoelektrische Element der vorliegenden Erfindung für den Winkelgeschwindigkeitssensor verwendet wird, ist es möglich, ein derartiges piezoelektrisches Element für den Beschleunigungssensor, den Drucksensor, den Verschiebungssensor, usw., zu verwenden, um die Genauigkeit dieser Sensoren zu verbessern. TABELLE 1 POROSITÄT (%) ÄNDERUNGSRATE DER AUSGANGSSPANNUNG (%) UNTER ÜBER TABELLE 2 POROSITÄT (%) ÄNDERUNGSRATE DER AUSGANGSSPANNUNG (%) UNTER ÜBER TABELLE 3 PROBE NR. ELEKTRODENMATERIAL BILDUNGSVERFAHREN AUSGANSDRIFT MITTELWERT (mV) STANDARDABWEICHUNG BRENNEN AUFDAMPFEN IM VAKUUM STROMLOSES METALLISIEREN

Claims

1. Vibrationsgyroskop mit folgenden Merkmalen:

einem Vibrator (12) mit einem regelmäßigen Querschnitt, der durch mindestens drei Oberflächen definiert ist; und

piezoelektrischen Elementen (14a, 14b, 14c), wobei jedes der piezoelektrischen Elemente (14a, 14b, 14c) an einer der mindestens drei Seitenoberflächen befestigt ist und wobei jedes der piezoelektrischen Elemente (14a, 14b, 14c) einen piezoelektrischen Körper (16a, 16b, 16c) mit Elektroden (18a, 20a, 18b, 20b, 18c, 20C), die auf beiden Hauptoberflächen desselben gebildet sind, aufweist;

wobei der piezoelektrische Körper (16a, 16b, 16c) Poren aufweist, derart, daß die Porosität desselben zwischen 5% und 50% liegt.

2. Vibrationsgyroskop gemäß Anspruch 1, bei dem die Poren durch Brennen eines piezoelektrischen Keramikmaterials, das ein brennbares Material aufweist, und durch Verbrennen des brennbaren Materials gebildet werden.

3. Vibrationsgyroskop gemäß Anspruch 1, bei dem die Poren durch Brennen eines geschäumten piezoelektrischen Keramikmaterials gebildet werden.

4. Vibrationsgyroskop gemäß Anspruch 1, bei dem die Poren Zwischenräume zwischen Partikeln eines Keramikmaterials sind, welche gebildet werden, indem die Partikelgröße des Keramikmaterials gesteuert wird.

5. Vibrationsgyroskop gemäß Anspruch 1, bei dem die Poren durch Brennen eines piezoelektrischen Keramikmaterials gebildet werden, indem durch Stechen einer Nadel in dasselbe Zwischenräume gebildet worden sind.

6. Vibrationsgyroskop gemäß einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 5, bei dem jede der Elektroden (18a, 20a, 18b, 20b, 18c, 20c) durch Aufdampfen im Vakuum gebildet wird.

7. Vibrationsgyroskop gemäß einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 5, bei dem jede der Elektroden (18a, 20a, 18b, 20b, 18c, 20c) durch Metallisieren gebildet wird.

8. Vibrationsgyroskop gemäß Anspruch 7, bei dem die Elektrode durch stromloses Metallisieren gebildet wird.

9. Vibrationsgyroskop gemäß einem beliebigen der Ansprüche 1 bis 5, bei dem jede der Elektroden (18a, 20a, 18b, 20b, 18c, 20c) in einer netzartigen Form gebildet ist.