DE69130628D1 - Automatische Fokussierungsvorrichtung und Projektionsbelichtungsgerät mit einer solchen Anordnung - Google Patents
Automatische Fokussierungsvorrichtung und Projektionsbelichtungsgerät mit einer solchen AnordnungInfo
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2237900A JP2886957B2 (ja) | 1990-09-06 | 1990-09-06 | 自動焦点合せ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69130628D1 true DE69130628D1 (de) | 1999-01-28 |
DE69130628T2 DE69130628T2 (de) | 1999-05-27 |
Family
ID=17022094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1991630628 Expired - Lifetime DE69130628T2 (de) | 1990-09-06 | 1991-08-30 | Automatische Fokussierungsvorrichtung und Projektionsbelichtungsgerät mit einer solchen Anordnung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0474445B1 (de) |
JP (1) | JP2886957B2 (de) |
DE (1) | DE69130628T2 (de) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0585041B1 (de) * | 1992-08-19 | 2000-11-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Verfahren zur Registrierung mittels eines projizierenden optischen System, Belichtungsapparat zu dessen Durchführung und sowie Halbleiter-Herstellungsverfahren das diesen Belichtungsapparat verwendet |
JP3384880B2 (ja) * | 1994-08-05 | 2003-03-10 | 三菱電機株式会社 | 写真製版における焦点合わせ方法 |
JP3584314B2 (ja) * | 1995-07-11 | 2004-11-04 | 株式会社ニコン | 投影露光装置 |
JP3428872B2 (ja) | 1997-08-29 | 2003-07-22 | キヤノン株式会社 | 露光方法および装置 |
JP3587343B2 (ja) * | 1997-12-09 | 2004-11-10 | キヤノン株式会社 | 面位置検出方法、露光装置およびデバイス製造方法 |
JP4773077B2 (ja) * | 2004-11-15 | 2011-09-14 | 株式会社ブイ・テクノロジー | オートフォーカス装置及びオートフォーカス方法 |
WO2009120706A2 (en) * | 2008-03-28 | 2009-10-01 | Electro Scientific Industries, Inc. | Autofocus method and apparatus for wafer scribing |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4650983A (en) * | 1983-11-07 | 1987-03-17 | Nippon Kogaku K. K. | Focusing apparatus for projection optical system |
JPS6119129A (ja) * | 1984-07-05 | 1986-01-28 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 投影光学装置 |
JPS6134941A (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-19 | Canon Inc | 合焦検知装置 |
JPS63163833A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-07 | Toshiba Corp | 縮小投影露光装置および露光方法 |
DD269471A1 (de) * | 1988-02-08 | 1989-06-28 | Zeiss Jena Veb Carl | Verfahren zur korrektur einer teilung |
DE68924667T2 (de) * | 1988-05-13 | 1996-03-28 | Canon Kk | Projektionsbelichtungsvorrichtung. |
-
1990
- 1990-09-06 JP JP2237900A patent/JP2886957B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-08-30 DE DE1991630628 patent/DE69130628T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-08-30 EP EP91307989A patent/EP0474445B1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0474445B1 (de) | 1998-12-16 |
EP0474445A1 (de) | 1992-03-11 |
DE69130628T2 (de) | 1999-05-27 |
JPH04116414A (ja) | 1992-04-16 |
JP2886957B2 (ja) | 1999-04-26 |
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8364 | No opposition during term of opposition |