DE69121795T2

DE69121795T2 - In einem Verhältnis zueinander gebrachte Kapazitäten in integrierten Schaltungen

Info

Publication number: DE69121795T2
Application number: DE69121795T
Authority: DE
Inventors: Kenneth William Moulding
Original assignee: Philips Electronics NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1990-06-20
Filing date: 1991-06-13
Publication date: 1997-03-06
Anticipated expiration: 2011-06-14
Also published as: JPH0595083A; EP0462653A3; GB9013741D0; DE69121795D1; EP0462653B1; EP0462653A2; US5204546A; GB2245419A; JPH0732234B2

Description

Die Erfindung bezieht sich auf in einem Verhältnis zueinander gebrachte Kapazitäten in integrierten Schaltungen mit einem ersten und zweiten Kondensator, welche jeweils ein Paar kontinuierliche Platten aufweisen, die durch eine Schicht aus dielektrischem Material gleicher Zusammensetzung und gleicher Starke voneinander beabstandet sind, wobei die Fläche einer ersten Platte des ersten Kondensators k-mal der Fläche der entsprechenden Platte des zweiten Kondensators entspricht und damit eine Bestimmung der Kapazität des ersten Kondensators durch im wesentlichen k-mal der Kapazität des zweiten Kondensators erfolgt, wobei k größer als Eins ist und die Gesamtlänge des Umfanges der ersten Platte k-mal der Gesamtlänge des Umfanges der entsprechenden Platte entspricht.
Eine solche integrierte Schaltung ist aus US-Patent 4210950 bekannt. Die Herstellung einer solchen Schaltung umfaßt typischerweise einen Bearbeitungsablauf, welcher verschiedene Ätzstufen oder dergleichen aufweist. Die Länge des Umfanges der ersten Platte des ersten Kondensators ist so vorgesehen, daß sie k-mal der Gesamtlänge des Umfanges der entsprechenden Platte des zweiten Kondensators entspricht, um die Empfindlichkeit des Verhältnisses zwischen den Kapazitäten gegenüber Veränderungen, welche zwangsläufig während des Herstellungsverfahrens des Kondensators von Schaltung zu Schaltung auftreten, zu reduzieren. Bei der bekannten Schaltung ist die entsprechende Platte des zweiten Kondensators im wesentlichen H-förmig und die Form der ersten Platte des ersten Kondensators weist effektiv mehrere H-Formen bei aneinanderstoßenden Längsseiten auf. Somit weist der Umfang jeweils eine Reihe 90º und 270º Ecken auf, und es wird in US 4210950 darauf aufmerksam gemacht, daß sowohl das Verhältnis der Anzahl der 90º Ecken der ersten Platte zu der Anzahl der 90º Ecken der entsprechenden Platte als auch das Verhältnis der Anzahl der 270º Ecken der ersten Platte zu der Anzahl der 270º Ecken der entsprechenden Platte idealerweise ebenfalls k entsprechen sollte (bei der bekannten Schaltung faktisch dem ganzzahligen Teil von k, wobei k aus einem ganzzahligen Teil und einem kleinen Zahlenbruch besteht). Dies deshalb, weil die Gesamtlängen der Umfangsflächen so gewählt werden, daß sie im Verhältnis k stehen, wobei Eckenrundungseffekte, welche bei 90º und 270º Ecken im allgemeinen unterschiedlich sind, ebenfalls bei zur Herstellung der Kondensatoren angewandten Ätzvorgängen vorkommen. Es ist jedoch naturgemäß unmöglich, diese Verhältnisse gleichzeitig mit der gänzlich H-förmigen, entsprechenden Platte und der ausschließlich als angrenzende H-Formen der bekannten Schaltung geformten, ersten Platte zu erreichen, da die H-förmige Platte eine unterschiedliche Anzahl 90º und 270º Ecken (acht beziehungsweise vier) aufweist, wohingegen die Angrenzung an eine H- Form eine identische Anzahl (vier) 90º und 270º Ecken einschließt. Es ist Aufgabe der Erfindung, dieses Problem zu lösen.
Es wurde erkannt, daß die oben beschriebene Differenz zwischen der Anzahl der 90º Ecken und der Anzahl der 270º Ecken bei der H-förmigen Platte der bekannten Schaltung ein einzelnes Beispiel einer mehr allgemeinen, charakteristischen Eigenschaft des externen bzw. peripherischen Randes einer, eine beliebige Form aufweisenden Platte darstellt, was heißt, daß, wenn diese externe Umfangsfläche völlig konvex ist, sie innen einen Gesamtwinkel von genau 360º begrenzt, während, wenn sie teilweise konvex und teilweise konkav ist, der(die) konvexe(n) Teil(e) innen einen Gesamtwinkel von mehr als 360º begrenzt(begrenzen) und der(die) konkave(n) Teil(e) außen einen Gesamtwinkel begrenzt(begrenzen), der genau der Gradzahl entspricht, um welche der innen durch den(die) konvexen Teil(e) begrenzte Gesamtwinkel 360º überschreitet. So begrenzen zum Beispiel die acht 90º (d.h. konvexen) Ecken der bekannten H-förmigen Platte innen einen Gesamtwinkel von 8 x 90º = 360º + 360º, während die vier 270º (d.h. konkaven) Ecken außen einen Gesamtwinkel von 4 x 90º = 360º begrenzen. Ist eine Öffnung in der Platte vorhanden, so daß der Plattenrand zum Teil außen und zum Teil innen verläuft, ist die Situation gegenüber den außen und innen durch den konkaven bzw. konvexen Teil des inneren Umfangsteiles begrenzten Gesamtwinkeln genau die umgekehrte zu der in Bezug auf den äußeren Umfangsteil bestehenden; das Resultat ist, daß der außen durch den(die) konkaven Teil(e) des gesamten Umfanges begrenzte Gesamtwinkel dem innen durch den(die) konvexen Teil(e) des gesamten Umfanges begrenzten Gesamtwinkel entspricht. Somit können wiederum die gesamten Winkel der ersten Platte im wesentlichen so gebildet werden, daß diese, falls gewünscht, jeweils k-mal dem Gesamtwinkel der entsprechenden Platte entsprechen. Wenn zum Beispiel eine rechteckige Öffnung sowohl in der H-förmigen, entsprechenden Platte aus US 4210950 als auch in der, ausschließlich als angrenzende H-Formen ausgebildeten, ersten Platte vorgesehen ist, weist die entsprechende Platte durch jede Öffnung vier weitere 270º Ecken auf, so daß die entsprechende Platte nun über acht 90º Ecken und acht 270º Ecken verfügt, wohingegen die ersten Platte (8 + 4x) 90º Ecken und (8 + 4x) 270º Ecken aufweist, wobei x + 1 die Anzahl der angrenzenden H-Formen darstellt. Die gesamten Winkel stehen daher im Verhältnis (2 + x):2.
Die Öffnungen müssen selbstverständlich nicht rechteckig sein. Sollten sie zum Beispiel L-förmig sein, werden jeweils fünf 270º Ecken und eine 90º Ecke, bei U- förmigen Öffnungen mit geraden Seiten und Boden dagegen sechs 270º Ecken und zwei 90º Ecken vorgesehen usw. Obgleich sie vorzugsweise so ausgebildet sind, daß ihre Umfangsflächen (die Innenabschnitte der Umfangsflächen der entsprechenden Platten) jeweils aus einer Anzahl gerader Teile bestehen, welche in rechten Winkeln aufeinandertreffen, was ebenfalls auf die Außenabschnitte der Umfangsflächen der entsprechenden Platten zutrifft, ist dieses nicht unbedingt der Fall. Eine kreisförmige Öffnung sieht zum Beispiel eine Innenrandfläche der entsprechenden Platte vor, welche völlig konkav ist und außen einen Gesamtwinkel von 360º begrenzt; durch eine solche Öffnung weist die entsprechende Platte, zumindest neben einem ersten Annäherungs wert, ebenso wie bei quadratischer oder rechteckiger Öffnung, vier weitere 270º Ecken auf.
Bei Anordnung der Öffnungen werden diese somit nach deren Abzug von der Fläche der entsprechenden Platten durch Ausbildung von Innenabschnitten des Gesamtumfanges der Gesamtlänge der Umfangsfläche hinzugefügt, was bei Errechnung der Plattendimensionen in Betracht zu ziehen ist.
Setzen sich die Umfangsflächen der ersten Platte und der entsprechenden Platte aus einer Anzahl gerader Teile zusammen, welche im rechten Winkel aneinanderstoßen, so daß jeder konkave Abschnitt eine 270º Ecke und jeder konvexe Abschnitt eine 90º Ecke aufweist, sind sämtliche geraden Abschnitte vorzugsweise so ausgerichtet, daß sie entweder parallel oder im rechten Winkel zu jedem der anderen geraden Abschnitte angeordnet sind, so daß die erste und zweite Gruppe mit den Elementen jeder Gruppe parallel zueinander und in rechten Winkeln zu den Elementen der anderen Gruppe vorgesehen sind. Auf diese Weise kann die Plattenkonfiguration so gewählt werden, daß die zu der ersten Gruppe gehörenden Randabschnitte der ersten Platte eine Gesamtlänge aufweisen, welche k-mal der Gesamtlänge der Randabschnitte der entsprechenden, zu der ersten Gruppe gehörenden Platte entspricht, während die zu der zweiten Gruppe gehörenden Randabschnitte der ersten Platte eine Gesamtlänge aufweisen, welche k-mal der Gesamtlänge der Randabschnitte der entsprechenden, zu der zweiten Gruppe gehörenden Platte entspricht. Eine Übernahme solcher Konfigurationen reduziert noch zusätzlich die Empfindlichkeit des Verhältnisses zwischen den Kapazitäten des ersten und zweiten Kondensators gegenüber bei der Herstellung des Kondensators auftretenden Veränderungen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
Figur 1 - einen Grundriß einer ersten Platte eines ersten Kondensators;
Figur 1A - einen Querriß, entlang den Linien 1A in Figur 1, eines Teiles einer integrierten Schaltung, welcher den ersten Kondensator aufweist;
Figur 2 - einen Grundriß der entsprechenden Platte eines, in der integrierten Schaltung vorgesehenen, zweiten Kondensators;
Figur 2A - einen Querriß, entlang den Linien 2A in Figur 2, des Teiles der integrierten Schaltung, welcher den zweiten Kondensator aufweist;
Figur 3 - einen Grundriß einer möglichen Alternative zu der ersten Platte in Figur 1 sowie
Figur 3A - einen Querriß, entlang den Linien 3A in Figur 3, des Teiles der integrierten Schaltung, welcher die Alternative nach Figur 3 aufweist.
In Figur 1 weist eine erste, kontinuierliche Platte 1 eines ersten Kondensators einen im wesentlichen rechteckigen Außenumfang mit Seiten beziehungsweise a + (a + s) + p(a + s) auf. In der Platte list eine quadratische Öffnung 2 mit Seite s vorgesehen, und die Längsseiten des Rechteckes weisen Aussparungen der Breite auf, welche in Längsrichtung des Rechteckes beabstandet und zwischen den Längsseiten wechselweise vorgesehen sind. Betrachtet man nacheinander die Teile der Platte 1, welche durch gestrichelte Linien voneinander getrennt dargestellt sind, so ergibt sich folgende Gesamtfläche:
Es ist offensichtlich, daß die Gesamtfläche der Platte 1 infolgedessen k- mal der Gesamtfläche einer quadratischen Platte mit Seite entspricht, in welcher eine quadratische Öffnung mit Seite s (ähnlich wie der linksseitige Teil der Platte 1 in Figur 1) vorgesehen ist. Die Gesamtlänge der Gruppe der horizontalen Teile der Umfangsfläche der Platte 1 (einschließlich der die Öffnung 2 definierenden) entspricht 2(2 + p) (a + s), d.h. 2 + p = k-mal der Gesamtlänge der Gruppe der horizontalen Teile der Umfangsfläche einer ebenso ausgerichteten, quadratischen Platte mit Seite , in welcher eine quadratische Öffnung mit Seite s vorgesehen ist. Gleichermaßen entspricht die Gesamtlänge der Gruppe der vertikalen Teile der Umfangsfläche der Platte 1 2 (a + s) (2 + p), d.h. erneut k-mal der Gesamtlänge der Gruppe der vertikalen Teile der Umfangsfläche einer ebenso ausgerichteten, quadratischen Platte mit Seite , in welcher eine quadratische Öffnung mit Seite s (vorausgesetzt, daß die Seiten der Öffnung mit den Seiten der Platte ausgerichtet sind) vorgesehen ist. Die Platte 1 weist zehn 90º Ecken und zehn 270º Ecken (einschließlich der an die Öffnung 2 grenzenden) auf, d.h. (2 + 0,5) mal die entsprechende Anzahl Ecken einer quadratischen Platte mit Seite , welche eine quadratische Öffnung mit Seite s vorsieht. Da, wie nachstehend noch deutlich wird, p zwischen 0,25 und 0,75 liegt, entsprechen diese Verhältnisse zwischen der Anzahl der 90º und der 270º Ecken in den beiden Platten im wesentlichen k.
Würde einer der beiden, durch gestrichelte Linien getrennten, mittleren Teile der Platte 1 weggelassen (und der rechte Teil an die dann verbleibenden Teile der Platte 1 stoßen), würde sich zeigen, daß die auf k beruhenden, oben dargelegten Verhältnisse immer noch aufrechterhalten werden, wobei k nun allerdings 1,5 + p entspräche. Die Anzahl der 90º und 270º Ecken würde jeweils auf acht reduziert werden, so daß die zuvor erwähnten Verhältnisse zwischen der Anzahl der 270º und 90º Ecken immer noch im wesentlichen k entsprächen. Gleichermaßen würde sich bei Weglassen beider mittleren Teile (wobei der rechte, verbleibende Teil nun an den linken, verbleibenden Teil stoßen würde) zeigen, daß erneut die auf k beruhenden Relationen aufrechterhalten werden, wobei k nun allerdings 1 + p entspräche. Die Anzahl der 90º und 270º Ecken würde jeweils auf sechs reduziert, so daß die zuvor erwähnten Verhältnisse zwischen der Anzahl der 270º und 90º Ecken immer noch im wesentlichen k entsprächen. Im allgemeinen kann der Wert k in Einheiten von einhalb durch Hinzufügen beziehungsweise Entfernen von Teilen der Platte 1, welche mit einem der beiden dargestellten, mittleren Teile (dargestellt als deren Spiegelbilder im Interesse der Symmetrie, obgleich dieses nicht unbedingt der Fall ist) identisch sind, erhöht oder verringert werden, ohne sich dabei auf die oben dargelegten, auf k beruhenden Relationen und die Richtigkeit der zuvor erwähnten Verhältnisse zwischen der Anzahl der 90º und 270º Ecken auszuwirken. Somit kann k irgendeinen, durch eine geeignete Wahl der Anzahl der mittleren Abschnitte der vorgesehenen Platte 1 und eine geeignete Wahl des Wertes p zwischen 0,25 und 0,75 erforderlichen Wert darstellen (vorausgesetzt, daß dieser höher als 1,25 ist).
Figur 1a stellt einen, entlang der Linie 1A-1A in Figur 1 verlaufenden Querriß des Kondensators dar, dessen obere Platte in Figur 1 dargestellt ist. Der Kondensator ist in einer monolithisch integrierten Schaltung vorgesehen, wobei der verbleibende Teil nicht dargestellt ist, und wird auf einem Halbleitersubstrat 3 ausgebildet, auf dessen Oberseite eine Störstellendiffusion 4 vorgesehen ist, welche eine Fläche aufweist, die zumindest ebenso groß wie die rechteckige Gesamtform der Platte 1 ist. Die Diffusion 4 verläuft unterhalb der gesamten Fläche der Platte 1, vorzugsweise sogar über diese hinaus, und bildet somit die weitere Platte des Kondensators. Das Kondensatordielektrikum wird durch eine isolierende Oxidschicht 5 gebildet, wobei auf dieser Schicht 5 die Metallplatte 1 vorgesehen ist. (Selbstverständlich ist dieser (MOS) Aufbau nicht der einzige, welcher verwendet werden kann; weitere Möglichkeiten sind zum Beispiel zwei, durch eine isolierende Oxidschicht getrennte Metallelektroden oder Ersetzen des Metalles von zumindest einer Elektrode durch Polysilicium).
Analog zu Figur 1 stellt Figur 2 einen Grundriß einer kontinuierlichen Platte 6 eines zweiten Kondensators dar, welcher in der gleichen integrierten Schaltung wie der Kondensator in den Figuren 1 und 1A vorgesehen ist. Die Platte 6 ist in der Form eines Quadrates mit Seite ausgebildet und weist eine quadratische Öffnung 7 mit Seite s auf. Somit ist die Elektrode 6 mit dem linken Abschnitt der Elektrode 1 in Figur 1 identisch und weist innerhalb der integrierten Schaltung die gleiche Ausrichtung wie dieser Abschnitt auf. Somit sind die verschiedenen Vergleiche, welche zuvor zwischen der Platte 1 in Figur 1 und einer, eine quadratische Öffnung mit Seite s aufweisenden, quadratischen Platte mit Seite gezogen wurden, ebenfalls auf die Elektrode 6 in Figur 2 anwendbar.
Analog zu Figur 1A stellt Figur 2A einen, enfiang der Linie 2A-2A in Figur 2 verlaufenden Querriß des Kondensators dar, dessen obere Platte in Figur 2 gezeigt wird. Auf der Oberseite des Substrates 3 findet während des gleichen Verfahrensschrittes wie die Diffusion 4 in Figur 1A eine Störstellendiffusion 8 statt, welche eine Fläche aufweist, die zumindest ebenso groß wie die quadratische Gesamtform der Elektrode 6 ist. Die Diffusion 8 verläuft unterhalb der gesamten Fläche der Platte 6, vorzugsweise sogar über diese hinaus, und bildet somit die weitere Platte des zweiten Kondensators. (In einigen Fällen, falls es erforderlich sein sollte, daß eine Elektrode jedes Kondensators mit einer Elektrode des anderen verbunden wird, könnten die Diffusionen 8 und 4 amalgamiert werden). Das Dielektrikum des Kondensators in den Figuren 2 und 2A wird durch die isolierende Oxidschicht 5 gebildet, wobei das dielektrische Material für die beiden Kondensatoren somit die gleiche Zusammensetzung und Stärke aufweist, da die gesamte Schicht 5 während der gleichen Verfahrensstufe ausgebildet wird. Der in Figur 2A dargestellte Teil der Schicht 5 kann an den in Figur 1A gezeigten Teil der Schicht 5 angrenzen oder nicht, was zum Beispiel davon abhängt, ob ein Zwischenabschnitt weggeätzt wurde oder nicht. Die Metallplatte 6 wird auf der Schicht 5 während des gleichen Verfahrensschrittes wie Platte 1 in Figur 1A vorgesehen. Die oben in Bezug auf mögliche Alternativen zu dem MOS-Aufbau des Kondensators in den Figuren 1 und 1 A gemachten Anmerkungen sind gleichermaßen auf den Kondensator in den Figuren 2 und 2A anwendbar, obgleich im allgemeinen der Aufbau beider Kondensatoren gleich sein sollte.
Da die Diffusionen 4 und 8 zumindest ebenso groß wie die Elektrode 1 beziehungsweise 6 sein sollten, entspricht das Verhältnis zwischen den Kapazitäten des Kondensators in den Figuren 1 und 1A und des Kondensators in den Figuren 2 und 2A im wesentlichen dem Verhältnis zwischen der Fläche der Platte 1 und der Fläche der Platte 6, d.h. dem oben verwendeten Wert k.
Wie oben erwähnt, kann k, durch geeignete Wahl der Anzahl der in Platte 6 in Figur 1 vorgesehenen, mittleren Abschnitte (falls vorhanden) sowie durch geeignete Wahl des Wertes p, jeder gewünschte Wert zugeordnet werden. Ist ein Wert zwischen Eins und 1,25 für k erforderlich, kann die in Figur 1 dargestellte Plattenkonfiguration durch die in Figur 3 gezeigte ersetzt werden.
Analog zu Figur 1 stellt Figur 3 einen Grundriß einer ersten Platte 9 eines ersten Kondensators dar, welcher in der zuvor erwähnten, integrierten Schaltung (welche zumindest ebenfalls den unter Bezugnahme auf die Figuren 2 und 2A beschriebenen Kondensator aufweist) vorgesehen ist. Die Platte 9 mit den Seiten a beziehungsweise ka + s(k - 1) ist in ihrer Gesamtform rechteckig und mit einer rechteckigen Öffnung 10 mit den Seiten s beziehungsweise ks + a(k - 1) versehen. Ihre Fläche entspricht somit k(a² - s²), d.h. k-mal der Fläche der Platte 6 in Figur 2.
Die Platte 9 ist in der integrierten Schaltung in der in der Zeichnung dargestellten Weise auf Platte 6 ausgerichtet. Somit entspricht die Gesamtlänge der Gruppe der horizontalen Abschnitte der Umfangsfläche der Platte 9 (= 2k (a + s) k- mal der Gesamtlänge der Gruppe der horizontalen Abschnitte der Umfangsfläche der Platte 6. Ebenso entspricht die Gesamtlänge der Gruppe der vertikalen Abschnitte der Umfangsfläche der Platte 9 (wiederum = 2k (a + s)) k-mal der Gesamtlänge der Gruppe der vertikalen Abschnitte der Umfangsfläche der Platte 6. Sowohl Platte 9 als auch Platte 6 weist vier 90º Ecken und vier 270º Ecken auf, wobei das Verhältnis (Eins) zwischen der Anzahl jeder Eckenart in den beiden Platten somit im wesentlichen k entspricht (was, wie bereits erwähnt, bei Verwendung der Konfiguration in Figur 3 zwischen Eins und 1,25 liegt).
Analog zu Figur 1A stellt Figur 3A einen, entlang der Linie 3A-3A in Figur 3 verlaufenden Querriß des Kondensators dar, dessen obere Platte in Figur 3 dargestellt ist. Auf der Oberseite des Substrates 3 findet während des gleichen Verfahrensschrittes wie die Diffusion in Figur 2A eine Störstellendiffusion 11 statt, welche eine Fläche aufweist, die zumindest ebenso groß wie die rechteckige Gesamtform der Elektrode 9 ist. Die Diffusion verläuft unterhalb der gesamten Fläche der Platte 9, vorzugsweise sogar über diese hinaus, und bildet somit die als Ersatzplatte bestimmte, weitere Platte des Kondensators in Figur 1 und 1A. (In einigen Fällen, falls es erforderlich sein sollte, daß eine Elektrode jedes Kondensators mit einer Elektrode des anderen verbunden wird, könnten die Diffusionen 8 und 11 amalgamiert werden). Das Dielektrikum des Kondensators in den Figuren 3 und 3Awird durch die isolierende Oxidschicht 5 gebildet, wobei das dielektrische Material für die beiden Kondensatoren somit die gleiche Zusammensetzung und Stärke aufweist, da die gesamte Schicht 5 während der gleichen Verfahrensstufe (obgleich die Abschnitte der in den Figuren 2A und 3A dargestellten Schicht 5 geometrisch voneinander getrennt vorgesehen sein können) ausgebildet wird. Die Metallplatte 9 wird auf der Schicht 5 während des gleichen Verfahrensschrittes wie die Metallplatte 6 in den Figuren 2 und 2A vorgesehen. Die oben in Bezug auf mögliche Alternativen zu dem MOS-Aufbau des Kondensators in den Figuren 1 und 1A gemachten Anmerkungen sind gleichermaßen auf den Kondensator in den Figuren 2 und 2A anwendbar, obgleich im allgemeinen der Aufbau der Kondensatoren in den Figuren 2 und 2A und den Figuren 3 und 3A gleich sein sollte.
Die beschriebenen, einzelnen Konfigurationen für die oberen Platten der beiden Kondensatoren besitzen den Vorteil, daß sie flächenwirksam sind; beide weisen eine rechteckige Gesamtform auf, und die vertikalen Seiten (in der Zeichnung) sind jeweils gleich lang, so daß diese mit jeweils einer dieser Seiten in Angrenzung aneinander angeordnet werden können, wobei somit ein Minimum an Platzverlust zu verzeichnen ist. Es liegt jedoch auf der Hand, daß, wie durch die Patentansprüche definiert, viele weitere, mögliche Konfigurationen in den Schutzumfang der Erfindung fallen. So müssen zum Beispiel die Grenzflächen der Platten nicht unbedingt durch eine Reihe gerader Linien, welche parallel und in rechten Winkeln zueinander vorgesehen sind, ausgebildet sein; die verschiedenen "Ecken" können einfach abgerundet sind, und/oder die verschiedenen geraden Linien konnen in anderen Winkeln zueinander angeordnet sein. Die verschiedenen geraden Linien können sogar durch Kurvenlinien ersetzt werden. So kann zum Beispiel die in Figur 2 dargestellte Konfiguration durch eine kreisförmige Elektrode mit einem Radius R&sub1; ersetzt werden, welche eine kreisförmige Öffnung mit einem Radius R&sub2; aufweist, wobei
Eine solche Elektrode weist die gleiche Fläche und die gesamte Umfangslänge wie die in Figur 2 dargestellte Elektrode auf. Außerdem begrenzt der konvexe Teil der Umfangsfläche innen wiederum eine Gesamtfläche von 360º, während der konkave Abschnitt der Umfangsfläche außen wiederum eine Gesamtfläche von 360º begrenzt.
Bei der unter Bezugnahme auf Figur 1 beschriebenen Konfiguration erhöht sich die Anzahl der 90º Ecken und 270º Ecken mit Zunahme der Fläche (steigende Anzahl der den beiden, durch gestrichelte Linien abgegrenzten, mittleren Abschnitten gleichenden Abschnitte) durch die sich ergebende Anordnung zusätzlicher Aussparungen mit einer Breite s und einer Tiefe (a + a) / 2 in den oberen und unteren Rändern der insgesamt rechteckigen Platte, d.h. durch Änderung der Form des äußeren Teiles des Plattenumfanges. (Die Anzahl der Aussparungen beläuft sich in der Tat auf 2 (k' - 1), wobei k' = k aufgerundet bis zur nächst höheren Vielfachen von 0,5). Die Anzahl der Ecken kann alternativ bzw. zusätzlich durch Änderung der Form des inneren Teiles des Plattenumfanges, d.h. der Form der Öffnung 2, verändert werden. Wäre diese Öffnung zum Beispiel L-förmig statt quadratisch, würde sie fünf 270º Ecken und eine 90º Ecke anstelle von vier 270º Ecken und keiner 90º Ecke vorsehen.
Obgleich die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispieles, in welchem es sich bei der integrierten Schaltung um eine monolithisch integrierte Schaltung handelt, beschrieben wurde, ist davon auszugehen, daß dieses nicht unbedingt der Fall sein muß. Es kann sich ebenso um eine andere Art, wie zum Beispiel eine sogenannte "Dünnfilmschaltung" handeln.
Beim Lesen der vorliegenden Beschreibung ergeben sich für den Fachkundigen weitere Modifikationen. Solche Modifikationen können weitere Merkmale mit sich bringen, welche im Hinblick auf Konstruktion, Herstellung sowie Verwendung in integrierten Schaltungen und Bauelementen bekannt sind und anstelle oder zusätzlich zu den hier beschriebenen Merkmalen verwendet werden können.
Es wurde oben erwähnt, daß die Zeichnung Ausführungsbeispiele der Erfindung darstellt. Um Mißverständnisse zu vermeiden, wird weiterhin erklärt, daß die in den nachfolgenden Patentansprüchen technischen Merkmalen zugeordneten Bezugs ziffern, welche sich auf Merkmale in der Zeichnung beziehen und zwischen Klammern gesetzt sind, gemäß Regel 29(7)EPÜ zum alleinigen Zwecke der Vereinfachung des Patentanspruches unter Bezugnahme auf ein Ausführungsbeispiel eingefügt worden sind.

Claims

1. Integrierte Schaltung mit einem ersten und zweiten Kondensator, welche jeweils ein Paar kontinuierliche Platten (1, 4, 6, 9) aufweisen, die durch eine Schicht aus dielektrischem Material (5) gleicher Zusammensetzung und gleicher Starke voneinander beabstandet sind, wobei die Fläche einer ersten Platte (1) des ersten Kondensators k-mal der Fläche der entsprechenden Platte (6) des zweiten Kondensators entspricht und damit eine Bestimmung der Kapazität des ersten Kondensators durch im wesentlichen k- mal der Kapazität des zweiten Kondensators erfolgt, wobei k größer als Eins ist und die Gesamtlänge des Umfanges der ersten Platte (1) k-mal der Gesamtlänge des Umfanges der entsprechenden Platte (6) entspricht, bei welcher eine Öffnung sowohl in der ersten Platte (1) als auch der entsprechenden Platte (6) vorgesehen ist, so daß sowohl bei der ersten Platte (1) als auch der entsprechenden Platte (6) der außen durch den konkaven Abschnitt bzw. Abschnitte des Umfanges begrenzte Gesamtwinkel dem innen durch den konvexen Abschnitt bzw. Abschnitte des Umfanges begrenzten Gesamtwinkel entspricht und die Formen der Umfangsflächen so vorgesehen sind, daß die Gesamtwinkel der ersten Platte (1) im wesentlichen k-mal den entsprechenden Gesamtwinkeln der entsprechenden Platte (6) entsprechen.

2. Integrierte Schaltung nach Anspruch 1, bei welcher sich die Umfangsflächen der ersten Platte (1) und der entsprechenden Platte (6) jeweils aus einer Anzahl gerader Teile zusammensetzen, welche in rechten Winkel aneinanderstoßen, so daß jeder konkave Teil so ausgebildet ist, daß er eine 270º Ecke aufweist und jeder konvexe Teil so ausgebildet ist, daß er eine 90º Ecke aufweist.

3. Integrierte Schaltung nach Anspruch 2, bei welcher alle geraden Abschnitte entweder parallel oder in rechten Winkeln zu jedem der anderen geraden Abschnitte angeordnet sind, so daß die erste und zweite Gruppe mit den Elementen jeder Gruppe parallel zueinander oder in rechten Winkeln zu den Elementen der anderen Gruppe vorgesehen sind, wobei die zu der ersten Gruppe gehörenden Randabschnitte der ersten Platte eine Gesamtlänge aufweisen, welche k-mal der Gesamtlänge der Randabschnitte der entsprechenden, zu der ersten Gruppe gehörenden Platte entspricht und die zu der zweiten Gruppe gehörenden Randabschnitte der ersten Platte eine Gesamflänge aufweisen, welche k-mal der Gesamtlänge der Randabschnitte der entsprechenden, zu der zweiten Gruppe gehörenden Platte entspricht.

4. Integrierte Schaltung nach einem der vorangegangenen Ansprüche, bei welcher der äußere Teil des Umfanges der entsprechenden Platte (6) wie auch zumindest die Gesamtform des äußerenteiles des Umfanges der ersten Platte (1) im wesentlichen rechteckig ist.

5. Integrierte Schaltung nach Anspruch 4, bei welcher die Seiten jedes Rechteckes parallel oder vertikal zu den Seiten des anderen Rechteckes vorgesehen sind und ein Seitenpaar jedes Rechteckes die gleiche Länge wie ein paralleles Seitenpaar des anderen Rechteckes aufweist.

6. Integrierte Schaltung nach Anspruch 5, bei welcher die entsprechende Platte (6) ein Quadrat ist.

7. Integrierte Schaltung nach Anspruch 4, 5 oder 6, bei welcher die im wesentlichen rechteckige Gesamtform des Außenumfanges der ersten Platte (1) ein Seitenpaar aufweist, welches länger als das andere ist und in den dieses Paar bildenden Seiten 2 (k' - 1) Aussparungen vorgesehen sind, wobei k' = k aufgerundet bis zur nächst höheren Vielfachen von 0,5.

8. Integrierte Schaltung nach Anspruch 7, bei welcher k' größer als 1,5 ist und bei welcher die Aussparungen in Längsrichtung der im wesentlichen rechteckigen Gesamtform beabstandet und die Aussparungen zwischen den ein Paar bildenden, beiden Seiten wechselweise vorgesehen sind.