DE69119555T2

DE69119555T2 - Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von Zuleitungen von elektronischen Komponenten

Info

Publication number: DE69119555T2
Application number: DE69119555T
Authority: DE
Inventors: Gregory Edward Beers; Francis Walter Bogaczyk; Michael Alan Rubsam; Henry Edison Wattenbarger
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1990-11-20
Filing date: 1991-11-20
Publication date: 1996-11-21
Anticipated expiration: 2011-11-21
Also published as: DE69119555D1; EP0487325A1; JPH06103709B2; EP0487325B1; JPH04313252A

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf den Bereich der Montage und Prüfung von integrierten Schalteinheiten und insbesondere auf Systeme und Verfahren für die Prüfung von leitenden Zuleitungen in integrierten Schalteinheiten.
Die wachsende Komplexität von elektronischen Systemen zusammen mit einem gleichzeitigen Anstieg in den Packungsdichten resultierte immer häufiger in der Nutzung von automatisierter Gerätehandhabung. Moderne Robotersysteme werden oft verwendet, um elektronische Systeme zu montieren und liefern eine hohe Zuverlässigkeit bei sich ständig wiederholenden Operationen, zum Beispiel bei der Montage und Unterbringung von integrierten Schaltungen. Oft wird eine integrierte Schalteinheit von einem Roboterarm aufgenommen und auf eine Platine gesetzt, um vorübergehend durch eine klebrige Substanz, zum Beispiel einem Flußmittel, festgehalten zu werden. Anschließend wird eine Löteinrichtung oder ein anderes, ähnliches Gerät verwendet, um die Schaltung dauerhaft auf der Platine zu bonden.
Trotz der steigenden Effizienz und Genauigkeit von Robotersystemen bei der Unterbringung und Montage von integrierten Schalteinheiten auf Platinen ist es immer noch notwendig, jede integrierte Schalteinheit zu prüfen, bevor diese montiert wird, um sicherzustellen, daß die Einheit richtig ausgerichtet ist und alle leitenden Zuleitungen vorhanden und richtig montiert sind, damit die richtige, leitfähige Montage gewährleistet wird. In dem Stand der Technik geschieht dies oft, indem optische Prüftechniken eingesetzt werden, bevor die integrierte Schalteinheit in einem Einbauort eingesetzt wird; diese Systeme erfordern jedoch, daß jede integrierte Schalteinheit in einen Prüfbereich gebracht, geprüft und dann wieder in Einbaulage gebracht wird.
Die Erfahrung mit solchen Systemen hat gezeigt, daß es wahrscheinlich ist, daß eine integrierte Schalteinheit nach der Prüfung beschädigt werden kann, wenn die Einheit zu einem Montageplatz transportiert wird. Es besteht ein Bedarf an einem Verfahren und einer Vorrichtung, die es ermöglichen, eine integrierte Schalteinheit vor Montage zu prüfen, ohne daß eine unnötige Handhabung der Einheit erforderlich ist. Ein Problem, das in einem solchen System überwunden werden muß, liegt in der Schwierigkeit, auf die man bei dem Versuch stößt, eine integrierte Schalteinheit optisch zu prüfen, während sich diese Einheit in einem Montagewerkzeug befindet; in dem Bonding-Werkzeug, das in US-A-3 574 923 dargestellt ist.
Von einem Aspekt der vorliegenden Erfindung gesehen, liefert diese eine Vorrichtung zur Prüfung von leitenden Zuleitungen einer integrierten Schalteinheit, wobei die Vorrichtung enthält: eine Löteinrichtung mit einem oder mehreren heizbaren Kolben, um die leitenden Zuleitungen einer integrierten Schalteinheit auf einer Montagefläche zu bonden; Mittel, um eine integrierte Schalteinheit auf einer Fläche zu montieren, die sich in der Nähe der Löteinrichtung, befindet, wobei die leitenden Zuleitungen der integrierten Schalteinheit in der Nähe einer Fläche von einem oder mehreren heizbaren Kolben angeordnet sind; und Mittel, um die leitenden Zuleitungen, die in der Nähe einer Fläche von einem der heizbaren Kolben in einem niedrigen Winkel bezogen auf die Fläche angeordnet sind, zu beleuchten, um so die leitenden Zuleitungen, welche die Fläche des heizbaren Kolbens beschatten, zu erhellen, wobei die visuelle Prüfung der leitenden Zuleitungen bereitgestellt wird.
Von einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung gesehen, liefert diese ein Verfahren zur Prüfung von leitenden Zuleitungen einer integrierten Schalteinheit, wobei das Verfahren Schritte enthält, um eine Löteinrichtung mit einem oder mehreren heizbaren Kolben zum Bonden der leitenden Zuleitungen einer integrierten Schalteinheit auf einer Montagefläche bereitzustellen; um eine integrierte Schalteinheit in einer Fläche zu montieren, die sich in der Nähe der Löteinrichtung befindet, wobei die leitenden Zuleitungen der integrierten Schalteinheit in der Nähe einer Fläche von einem oder mehreren heizbaren Kolben angeordnet sind; und um die leitenden Zuleitungen in einem niedrigen Winkel bezogen auf die Fläche zu beleuchten, um so die leitenden Zuleitungen zu erhellen, welche die Fläche des heizbaren Kolbens beschatten, wodurch ein starker Kontrast zwischen den leitenden Zuleitungen und der Vielzahl von heizbaren Kolben hergestellt wird.
Damit die Erfindung vollkommen verstanden werden kann, werden nun Ausführungsbeispiele nur anhand von Beispielen mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben, in denen
Figur 1 eine bildliche Darstellung einer Einheit zur Prüfung und Montage einer integrierten Schaltung zeigt, die gemäß der vorliegenden Erfindung gebaut wurde;
Figur 2 eine Draufsicht von der Unterseite einer integrierten Schaltung zeigt, die mit Hilfe der Montagevorrichtung aus Figur 1 komplettiert wurde;
Figur 3 ein Explosionsbild von einem Teil der integrierten Schalteinheit und der Montagevorrichtung aus Figur 2 zeigt;
Figur 4 eine bildliche Darstellung eines Prüfplatzes und eines Beleuchtungssystems zeigt, das mit einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung benutzt werden kann; und
Figur 5 ein Teil einer Seitenansicht von einer integrierten Schalteinheit zeigt, die gemäß dem Ausführungsbeispiel von Figur 4 montiert und beleuchtet wurde.
Nun wird mit Bezug auf die Figuren und insbesondere mit Bezug auf Figur 1 eine bildliche Darstellung einer Einheit zur Prüfung und Montage von integrierten Schaltungen gezeigt, die gemäß der vorliegenden Erfindung gebaut wurde. Wie dargestellt, enthält die Prüf und Montageeinheit einen Montagetisch 12, der dazu dient, die verschiedenen Montage- und Prüfbereiche, die dort abgebildet sind, aufzunehmen. Zum Beispiel die Platinenmontagestation 14, die abgebildet ist, dient dazu, eine Platine, die mit integrierten Schalteinheiten bestückt werden wird, die mit Hilfe der abgebildeten Einheit geprüft und montiert wurden, genau und fest zu montieren.
Ein Roboterarm 16 ist vorzugsweise gemäß den Robotertechniken, die im Stand der Technik bekannt sind, vorgesehen. Mit dem Roboterarm 16 wird ein Heizelement oder eine andere Einheit zum Bonden einer integrierten Schalteinheit in einer Schaltung montiert. Eine solche Einheit ist die Löteinrichtung 18. Der Roboterarm 16 dient auch dazu, eine integrierte Schalteinheit aufzunehmen, während der Prüfung zu halten und einzusetzen. An dem Roboterarm 16 ist eine Einheitbeschickungskamera 20 installiert, die benutzt wird, um einen Montageort für jede integrierte Schalteinheit genauestens zu lokalisieren.
Unter dem Montagetisch 12 befindet sich eine Vakuumpumpe und diverse elektronische Steuereinheiten 22, die gemäß den im Stand der Technik bekannten Verfahren benutzt werden, um die Bewegung des Roboterarms 16 zu steuern und für ein Vakuum in einer Unterdruckspannvorrichtung (ohne Abbildung) innerhalb der Löteinrichtung 18 zu sorgen, so daß eine integrierte Schalteinheit selektiv und vorübergehend dort gehalten werden kann.
Auf der Oberfläche des Montagetischs 12 wird ebenfalls die Prüfstation 24 dargestellt. Die Prüfstation 24 wird gemäß dem Verfahren der vorliegenden Erfindung benutzt, um einen Bereich bereitzustellen, in dem die spezifische Beleuchtung vorgesehen ist, so daß eine integrierte Schalteinheit optisch geprüft werden kann. In der Prüfstation 24 befindet sich die Prüföffnung 26, die dazu dient, der Prüfkamera 28 zu ermöglichen, sich auf eine integrierte Schalteinheit zu konzentrieren, die in der Löteinrichtung 18 gehalten wird, wenn die Löteinrichtung 18 mittels des Roboterarms 16 direkt oberhalb der Prüföffnung 26 positioniert wird.
Es wird nun Bezug auf Figur 2 genommen, die eine Draufsicht von der Unterseite einer integrierten Schaltung zeigt, die in der Montageeinheit aus Figur 1 gehalten wird. Wie dargestellt ist, wird ein integrierter Schaltkreis 32 gezeigt, wie dieser in der Löteinrichtung 18 gehalten wird. Eine Unterdruckspannvorrichtung 44 ist abgebildet und wird in Verbindung mit einer Vakuumpumpe benutzt, um selektiv und vorübergehend die integrierte Schaltung 32 in der Löteinrichtung 18 zu halten.
Wie abgebildet, enthält die Löteinrichtung 18 eine Vielzahl von thermisch aktivierbaren Kolben 34, 36, 38 und 40, die in einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung elektrisch thermisch aktivierbar sind, um die integrierte Schalteinheit 32 auf einer Platine zu befestigen, indem Lötzinn in der Umgebung von jeder leitenden Zuleitung 42 aufgeschmolzen wird. Wie Figur 2 zeigt, enthält die integrierte Schalteinheit 32 eine Vielzahl von leitenden Zuleitungen 42, welche die Unterseiten der Vielzahl von thermisch aktivierbaren Kolben überlagern, die sich in der Löteinrichtung 18 befinden.
Nun wird mit Bezug auf die Figuren 2 und 3 der Bereich 46 der integrierten Schaltung 32 und der Löteinrichtung 18 in einem Explosionsbild in Figur 3 gezeigt. Wie dargestellt, wird eine Vielzahl von leitenden Zuleitungen 42, die elektrisch mit ausgewählten Teilen der integrierten Schaltung 32 verbunden sind, bezogen auf die Unterseiten der thermisch aktivierbaren Kolben 34 und 40 in einem überlagerten Modus dargestellt. Gemäß einer Einrichtung aus einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wurden die thermisch aktivierbaren Kolben 34 und 40 mit einer gekörnten Oberfläche versehen, die im wesentlichen in einer einzigen Richtung verläuft.
Diese gekörnte Oberfläche wird vorzugsweise durch Schleifen, Schmirgeln, Läppen oder irgendein anderes Verfahren zur Herstellung der Körnung erzielt. Solange wie die Körnungsrichtung auf der Unterseite der thermisch aktivierbaren Kolben 34 und 40 in einer einzigen Richtung verläuft, werden die Unterseiten der thermisch aktivierbaren Kolben 34 und 40 als Fresnellinse agieren und eine gleichmäßige und minimale Spiegelung haben, die dunkel erscheint.
Die leitenden Zuleitungen 42 jedoch, die normalerweise aus einer Gold- oder Silbermetallsubstanz hergestellt sind, werden eine gleichmäßige und stark reflektierende Oberfläche haben, die hell erscheint. Der Kontrast zwischen der Unterseite der thermisch aktivierbaren Kolben 34 und 40 und der leitenden Zuleitungen 42 wird maximiert, indem das einfallende Licht 48 in einem Winkel zwischen dreißig und sechzig Grad in Richtung der Körnung auf die Unterseite der thermisch aktivierbaren Kolben 34 und 40 trifft.
In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird das einfallende Licht 48 auf die Verbindung von leitenden Zuleitungen 42 und der gekörnten Unterseite der thermisch aktivierbaren Kolben 34 und 40 in einem Winkel von etwa fünfundvierzig Grad in Richtung der Körnung angelegt, die auf der Unterseite der thermisch aktivierbaren Kolben 34 und 40 aufgebracht ist. Auf diese Weise kann die Prüfkamera 28 (siehe Figur 1) benutzt werden, um eine genaue visuelle Prüfung der leitenden Zuleitungen 42 vorzunehmen, während die integrierte Schaltung 32 innerhalb der Löteinrichtung 18 montiert wird.
Diese Technik begegnet der Forderung, die integrierte Schaltung 32 in einer ersten Position zu prüfen und dann anschließend die integrierte Schaltung 32 in eine Montageposition zu bringen, indem die Einheit mit einem anderen Werkzeug aufgehoben und transportiert wird. Der Wegfall dieses zweiten Transportschrittes macht das System sehr viel effizienter, da es unmöglich ist, daß eine leitende Zuleitung während eines nachfolgenden Transports der integrierten Schaltung 32 verbogen oder beschädigt wird.
Indem die integrierte Schaltung 32 geprüft wird, während sich diese in einem Montagewerkzeug befindet, können Effizienz und Genauigkeit der Konstruktion eines elektronischen Systems deutlich verbessert werden. Wie hierin verwendet, soll der Begriff "Löteinrichtung" bedeuten, daß jede Einrichtung benutzt werden kann, mit der es möglich ist, eine integrierte Schaltung auf einer Platine zu befestigen.
Nun mit Bezug auf Figur 4, die eine bildliche Darstellung eines Prüfplatzes und Beleuchtungssystems zeigt, die gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung benutzt werden können. Wie gezeigt, enthält die Prüfstation 24 - wie in Figur 4 dargestellt - eine Prüföffnung 26, durch welche die Prüfkamera 28 eine genaue optische Prüfung der leitenden Zuleitungen 42 der integrierten Schalteinheit 32 (siehe Figur 2) vornehmen kann.
Wie in Figur 4 dargestellt, wird ein integriertes Schaltungsprofil 50 in der Prüföffnung 26, die im allgemeinen rechteckig oder quadratisch ist, gezeigt. Wie der Fachmann mit Bezug auf Figur 2 bemerken wird, haben die integrierten Schalteinheiten des in hochdichten elektronischen Systemen verwendeten Typs normalerweise eine Vielzahl von leitenden Zuleitungen, die entlang der vier Seiten einer Schalteinheit angeordnet sind. Gemäß einer wichtigen Einrichtung dieses Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung ist eine Vielzahl von Lichtstationen 52, 54, 56, 58, 60, 62, 64 und 66 vorgesehen.
Jede der zuvor erwähnten Lichtstationen arbeitet - wie Figur 4 zeigt - mit einer zweiten Lichtstation zusammen, die in einer Linie angeordnet ist und ihrer kooperierenden Lichtstation gegenüberliegt. Das heißt, daß die Lichtstation 54 mit der Lichtstation 60 zusammenarbeitet, um den linken Rand des integrierten Schaltungsprofils 50 zu beleuchten. Ähnlich arbeitet die Lichtstation 52 mit der Lichtstation 62 zusammen&sub1; um den rechten Rand des integrierten Schaltungsprofils 50 zu beleuchten, und so weiter.
Auf diese Weise kann jeder Rand einer integrierten Schalteinheit gründlich beleuchtet werden, indem die Vielzahl von dargestellten Lichtstationen benutzt wird. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung enthält jede Lichtstation vorzugsweise ein zweifach gestapeltes Licht mit zwei Lichtquellen, das mittels bikonvexer Linsen, die ovale Muster projizieren, fokussiert wird. Jedes Licht wird vorzugsweise in einem Zwischenpunkt entlang eines der thermisch aktivierbaren Kolben der Löteinrichtung 18 (siehe Figur 2) fokussiert, so daß die leitenden Zuleitungen 42, die in der Nähe angeordnet sind, beleuchtet werden.
Indem der Ausgang von jeder Lichtstation in einem niedrigen Winkel bezogen auf die Fläche, in der die Montage der integrierten Schaltung 32 (siehe Figur 2) erfolgt, fokussiert wird, kann der Kontrast zwischen der leitenden Zuleitung 42 und jedem thermisch aktivierbaren Kolben der Löteinrichtung 18 verbessert werden, indem ein Schatten auf diejenigen Teile von jedem thermisch aktivierbaren Kolben projiziert wird, die zwischen den angrenzenden leitenden Zuleitungen 42 belichtet werden. Diese Technik wird ausführlicher in Figur 5 gezeigt.
Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung kann in Figur 4 festgestellt werden, daß jede Lichtstation, die hierin montiert ist, über ein faseroptisches Kabel 70 mit einer Lichtquelle 72 verbunden ist. Durch Verwendung von gleichlangen, faseroptischen Kabeln 70 und einer einzelnen Lichtquelle 72 wird die Lichtmenge, die vorzugsweise auf jede Gruppe der leitenden Zuleitungen 42 fokussiert wird, im wesentlichen gleich sein. Auf diese Weise können die Schwellenpegel, die von der Prüfkamera 28 benutzt werden, um das Vorhandensein oder das Fehlen einer leitenden Zuleitung zu erkennen, für jeden Rand der integrierten Schalteinheit 32 eingestellt werden.
Mit Bezug auf Figur 5 wird schließlich der Teil einer Seitenansicht einer integrierten Schalteinheit gezeigt, die gemäß dem Ausführungsbeispiel von Figur 4 montiert und beleuchtet wird. Wie dargestellt ist, ist eine Vielzahl von leitenden Zuleitungen 42 in einem überlagerten Verhältnis zu dem thermisch aktivierbaren Kolben 34 der Löteinrichtung 18 angeordnet. Eine Lichtquelle 54 mit niedrigem Winkel, die zum Beispiel von der Lichtstation 54 geliefert wird, dient dann dazu, die leitenden Zuleitungen 42 zu beleuchten. Aufgrund der Tatsache, daß die leitenden Zuleitungen 42 normalerweise aus einem Gold- oder Silbermaterial hergestellt werden und von Natur aus stark reflektieren, wird eine große Menge Licht von der Oberfläche von jeder leitenden Zuleitung 42 reflektiert, wie dies durch die Referenznummern 74 dargestellt wird.
Zusätzlich wird auf der Unterseite des thermisch aktivierbaren Kolbens 34 der Löteinrichtung 18 ein beschatteter Bereich 76 durch das Vorhandensein von jeder leitenden Zuleitung 42 geliefert. Es kann somit festgestellt werden, daß durch die Bereitstellung von einer Lichtquelle mit niedrigem Winkel bezogen auf die Fläche, in der die integrierte Schaltung 32 montiert wird, die resultierenden Schatten auf jedem thermisch aktivierbaren Kolben der Löteinrichtung 18 benutzt werden können, um für einen starken Kontrast zwischen jeder leitenden Zuleitung 42 und des darunterliegenden, thermisch aktivierbaren Kolbens zu sorgen.
Dadurch kann ein sehr genaue optische Prüfung der leitenden Zuleitungen 42 erzielt werden, während die integrierte Schalteinheit 32 in der Löteinrichtung 18 montiert wird. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird jede Lichtstation der Prüfstation 24 aus Figur 4 montiert, um einen Lichtstrahl auf die leitenden Zuleitungen 42 der integrierten Schalteinheit 32 in einem Winkel zwischen zehn und dreißig Grad bezogen auf die Fläche zu fokussieren, in der die integrierte Schalteinheit 32 montiert wird.
Es wurde ein verbessertes System zur Prüfung und Montage von integrierten Schaltungen beschrieben. Ein Verfahren und eine Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ermöglicht die visuelle Prüfung von Zuleitungen von elektronischen Komponenten während diese montiert werden. Es wurde eine Löteinrichtung oder ein anderes Montagewerkzeug oder Heizelement mit einer Vielzahl von thermisch aktivierbaren Kolben beschrieben. Eine Unterdruckspannvorrichtung und die zugehörige Vakuumpumpe werden benutzt, um selektiv eine integrierte Schalteinheit zu montieren, so daß die leitenden Zuleitungen der Einheit in unmittelbarer Nähe von den Unterseiten der thermisch aktivierbaren Kolben angeordnet sind. Eine Lichtquelle mit niedrigem Winkel wird dann benutzt, um die leitenden Zuleitungen der integrierten Schalteinheit zu beleuchten, so daß ein starker Kontrast zwischen den leitenden Zuleitungen und der Unterseite der thermisch aktivierbaren Kolben entsteht, um eine genaue visuelle Prüfung der leitenden Zuleitungen zu ermöglichen. In einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung erhalten die Unterseiten der thermisch aktivierbaren Kolben eine gleichmäßige Körnung, indem diese Flächen in einer einzigen Richtung geläppt werden, um die Spiegelung von diesen Flächen zu reduzieren, und der Beleuchtungswinkel wird eingestellt, um den Kontrast zwischen den leitenden Zuleitungen und den Unterseiten der Kolben zu verbessern. Eine Kamera, die unter der Löteinrichtung angebracht ist, kann dann dazu benutzt werden, um die ferne, visuelle Prüfung der leitenden Zuleitungen einer integrierten Schalteinheit zu ermöglichen, während sich diese in dem Montagewerkzeug befindet. Indem die leitenden Zuleitungen einer integrierten Schalteinheit geprüft werden, während sich die Einheit in einem Montagewerkzeug befindet, ist die Möglichkeit von weiterer Beschädigung der leitenden Zuleitungen vor Montage der integrierten Schalteinheit auf einer Platine im wesentlichen reduziert.
Obgleich die Erfindung insbesondere mit Bezug auf ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel dargestellt und beschrieben wurde, wird es der Fachmann verstehen, daß verschiedene Änderungen in Form und Detail durchgeführt werden können, ohne daß von dem Bereich der Erfindung, wie diese in den anhängenden Ansprüchen definiert ist, abgewichen werden muß.

Claims

1. Vorrichtung zur Prüfung von leitenden Zuleitungen einer integrierten Schalteinheit, wobei die Vorrichtung enthält:

eine Löteinrichtung (18) mit einem oder mehreren heizbaren Kolben (34-40), um die leitenden Zuleitungen (42) einer integrierten Schalteinheit (32) auf einer Montagefläche zu bonden;

Mittel (44), um eine integrierte Schalteinheit (32) auf einer Fläche zu montieren, die sich in der Nähe der Löteinrichtung (18) befindet, wobei die leitenden Zuleitungen (42) der integrierten Schalteinheit (32) in der Nähe einer Fläche von einem oder mehreren heizbaren Kolben (34-40) angeordnet sind; und gekennzeichnet wird durch

Mittel (54), um die leitenden Zuleitungen (42), die in der Nähe einer Fläche von einem der heizbaren Kolben (34) in einem niedrigen Winkel bezogen auf die Fläche angeordnet sind, zu beleuchten, um so die leitenden Zuleitungen (42) welche die Fläche (76) des heizbaren Kolbens (34) beschatten, zu erhellen, wobei die visuelle Prüfung der leitenden Zuleitungen (42) bereitgestellt wird.

2. Vorrichtung wie in Anspruch 1 angemeldet, wobei der Winkel bezogen auf die Fläche einen Wert zwischen 10 und 30 Grad hat.

3. Vorrichtung wie in Anspruch 1 oder 2 angemeldet, wobei die Montagemittel eine Unterdruckspannvorrichtung (44) und Mittel (22) enthalten, um selektiv eine zugehörige Vakuumpumpe zu aktivieren.

4. Vorrichtung wie in irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche angemeldet, die außerdem eine Kamera (28) enthält, um ein Bild von den leitenden Zuleitungen (42) zu liefern.

5. Vorrichtung wie in irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche angemeldet, wobei die Fläche des heizbaren Kolbens (34) eine gekörnte Oberfläche aufweist, deren Körnung in einer Richtung verläuft.

6. Vorrichtung wie in irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche angemeldet, wobei die Beleuchtungsmittel (54) eine Lichtquelle (72) und eine Vielzahl von faseroptischen Kabeln (70) enthalten, um eine Vielzahl von Lichtstrahlen (52-66) zu steuern und dadurch die leitenden Zuleitungen (42) aus zahlreichen Positionen zu beleuchten.

7. Vorrichtung wie in irgendeinem der Ansprüche 1 bis 5 angemeldet, wobei die Beleuchtungsmittel (54) zwei oder mehr Lichtquellen enthalten, die auf die leitenden Zuleitungen (42) in einem Winkel zu der in einer Richtung verlaufenden Körnung fokussiert werden, wobei der Winkel zwischen dreißig und sechzig Grad ist.

8. Einverfahren zur Prüfung von leitenden Zuleitungen einer integrierten Schalteinheit, wobei das Verfahren Schritte enthält, um

eine Löteinrichtung (18) mit einem oder mehreren heizbaren Kolben (34-40) zum Bonden der leitenden Zuleitungen (42) einer integrierten Schalteinheit (32) auf einer Montagefläche bereitzustellen;

eine integrierte Schalteinheit (32) in einer Fläche zu montieren, die sich in der Nähe der Löteinrichtung (18) befindet, wobei die leitenden Zuleitungen (42) der integrierten Schalteinheit (32) in der Nähe einer Fläche von einem oder mehreren heizbaren Kolben (34-40) angeordnet sind; und durch den Schritt gekennzeichnet wird, um

die leitenden Zuleitungen (42), die in einer Fläche von einem der heizbaren Kolben (34) in einem niedrigen Winkel bezogen auf die Fläche angeordnet sind, zu beleuchten, um so die leitenden Zuleitungen (42) zu erhellen, welche die Fläche (76) des heizbaren Kolbens (34) beschatten, wodurch die visuelle Prüfung der leitenden Zuleitungen (42) bereitgestellt wird.