DE69023110T2 - Verfahren zur Steuerung der hin- und hergehenden Bewegung eines bewegbaren Spiegels eines interferometrischen Spektrophotometers. - Google Patents

Verfahren zur Steuerung der hin- und hergehenden Bewegung eines bewegbaren Spiegels eines interferometrischen Spektrophotometers.

Info

Publication number
DE69023110T2
DE69023110T2 DE69023110T DE69023110T DE69023110T2 DE 69023110 T2 DE69023110 T2 DE 69023110T2 DE 69023110 T DE69023110 T DE 69023110T DE 69023110 T DE69023110 T DE 69023110T DE 69023110 T2 DE69023110 T2 DE 69023110T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
controlling
reciprocating movement
movable mirror
interferometric
spectrophotometer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69023110T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69023110D1 (de
Inventor
Osamu Yoshikawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Publication of DE69023110D1 publication Critical patent/DE69023110D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69023110T2 publication Critical patent/DE69023110T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/45—Interferometric spectrometry
    • G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
    • G01J3/4535—Devices with moving mirror
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P23/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by a control method other than vector control
    • H02P23/22—Controlling the speed digitally using a reference oscillator, a speed proportional pulse rate feedback and a digital comparator

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
DE69023110T 1989-12-29 1990-12-28 Verfahren zur Steuerung der hin- und hergehenden Bewegung eines bewegbaren Spiegels eines interferometrischen Spektrophotometers. Expired - Fee Related DE69023110T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1342372A JPH03202729A (ja) 1989-12-29 1989-12-29 干渉分光光度計の移動鏡駆動制御装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69023110D1 DE69023110D1 (de) 1995-11-23
DE69023110T2 true DE69023110T2 (de) 1996-06-05

Family

ID=18353222

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69023110T Expired - Fee Related DE69023110T2 (de) 1989-12-29 1990-12-28 Verfahren zur Steuerung der hin- und hergehenden Bewegung eines bewegbaren Spiegels eines interferometrischen Spektrophotometers.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5164788A (de)
EP (1) EP0436945B1 (de)
JP (1) JPH03202729A (de)
CN (1) CN1026442C (de)
CA (1) CA2033450C (de)
DE (1) DE69023110T2 (de)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4113842A1 (de) * 1991-04-27 1992-11-05 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Verfahren und einrichtung zur messung und bestimmung einer wegdifferenz in interferometern nach michelson
JPH05172742A (ja) * 1991-07-29 1993-07-09 Shimadzu Corp 色分解プリズムの分光透過率測定装置
US5473429A (en) * 1994-02-25 1995-12-05 On-Line Technologies, Inc. Method and apparatus for controlling the reciprocating translation of an interferometer reflector or other body
JPH08101072A (ja) * 1994-09-30 1996-04-16 Ando Electric Co Ltd 光波長計
CN102591005B (zh) * 2011-01-13 2015-02-04 北京安南科技有限公司 一种用于傅立叶红外的干涉光调制的新型驱动装置
JP5861546B2 (ja) * 2012-04-02 2016-02-16 株式会社島津製作所 対象物移動制御装置及びフーリエ変換型赤外分光光度計
US9297697B2 (en) * 2012-06-05 2016-03-29 Apple Inc. In-device coexistence between radios
WO2014199888A1 (ja) * 2013-06-13 2014-12-18 コニカミノルタ株式会社 フーリエ変換型分光計および該分光方法ならびにフーリエ変換型分光計用タイミング生成装置
CN105115601B (zh) * 2015-09-01 2017-06-20 中国科学院合肥物质科学研究院 扫摆式干涉仪控制系统
JP2019158348A (ja) * 2018-03-07 2019-09-19 株式会社島津製作所 干渉分光光度計及び二光束干渉計
DE102019208386A1 (de) * 2019-06-07 2020-12-10 Infineon Technologies Ag Steuersystem und Verfahren für Laserabtastung

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4413908A (en) * 1982-03-05 1983-11-08 Bio-Rad Laboratories, Inc. Scanning interferometer control systems
EP0173740A1 (de) * 1984-03-05 1986-03-12 Beckman Instruments, Inc. Vorrichtung zur geschwindigkeitssteuerung eines abtastspiegels
US4847878A (en) * 1988-03-31 1989-07-11 Nicolet Instrument Corporation Method and apparatus for determining mirror position in a fourier-transform infrared spectrometer

Also Published As

Publication number Publication date
DE69023110D1 (de) 1995-11-23
EP0436945B1 (de) 1995-10-18
CN1026442C (zh) 1994-11-02
EP0436945A3 (en) 1992-02-19
CA2033450A1 (en) 1991-06-30
EP0436945A2 (de) 1991-07-17
CA2033450C (en) 1999-12-28
JPH03202729A (ja) 1991-09-04
CN1053686A (zh) 1991-08-07
US5164788A (en) 1992-11-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69123947T2 (de) Verfahren zur Steuerung der Geschwindigkeit eines Fahrzeugs
DE69124486D1 (de) System zur Steuerung der Fortbewegung eines Schreitroboters mit Beinen
DE69124942D1 (de) System zur Steuerung der Fortbewegung eines Schreitroboters mit Beinen
DE3751630T2 (de) Verfahren zur Steuerung eines fluidgetriebenen Stellkolbens.
DE69417323T2 (de) Verfahren zur Optimierung der Bewegung eines Mehr-Achsen-Roboters
DE69020386D1 (de) Verfahren zur Steuerung der Lichtpolarisation.
DE69017191D1 (de) Bearbeitungsverfahrens mittels laser.
DE3586147T3 (de) Verfahren zur Steuerung eines optischen Schalters.
DE59007189D1 (de) Spiegel zur Veränderung der geometrischen Gestalt eines Lichtbündels.
DE69010573D1 (de) Justiervorrichtung für die Neigung eines Bewegungsspiegels in einem Interferometer.
DE69120639D1 (de) System zur Steuerung der Fortbewegung eines Schreitroboters mit Beinen
DE69023110T2 (de) Verfahren zur Steuerung der hin- und hergehenden Bewegung eines bewegbaren Spiegels eines interferometrischen Spektrophotometers.
DE68919821T2 (de) Verfahren zur steuerung der werkzeuglage eines roboters.
DE69113917D1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Steuerung der Bewegung eines Maschinenteiles.
DE59009414D1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Laserwafers.
IT8049642A0 (it) Apparecchio per regolare lo spostamento di uno specchio in particolare in un laser ad anello
DE69218362D1 (de) Verfahren zur steuerung der back-lash-beschleunigung
DE68906793D1 (de) Ein einen laserstrahl benutzendes verfahren zur mikrobearbeitung der flaeche eines werkstuecks.
ATA65289A (de) Interferometeranordnung, insbesondere zur entfernungs- bzw. verschiebewegbestimmung eines beweglichen bauteiles
DE69000308D1 (de) Einrichtung zur steuerung der neigung eines scheinwerfers.
DE59007419D1 (de) Spiegel zur Veränderung der geometrischen Gestalt eines Lichtbündels.
DE3888041T2 (de) Verfahren zur Steuerung der Linse eines Bilderzeugungsgerätes.
DE69007718T2 (de) Verfahren zur Steuerung eines hydraulischen Verbrauchers.
DE59307812D1 (de) Vorrichtung zur Lageregelung eines bewegbaren Teils
DE68917451T2 (de) Vorrichtung zur Befestigung eines zerbrechlichen Gegenstandes, z.B. ein Spiegel.

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee