DE68902155T2 - Anordnung mit einem temperaturfuehler. - Google Patents

Anordnung mit einem temperaturfuehler.

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DE68902155T2 DE8989200507T DE68902155T DE68902155T2 DE 68902155 T2 DE68902155 T2 DE 68902155T2 DE 8989200507 T DE8989200507 T DE 8989200507T DE 68902155 T DE68902155 T DE 68902155T DE 68902155 T2 DE68902155 T2 DE 68902155T2
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Description

  • Die Erfindung betrifft eine Anordnung mit einem Fühler zum Erzeugen eines temperaturabhängigen elektrischen Signals.
  • Eine derartige Anordnung ist zum Messen und/oder Steuern der Temperatur in einem Raum verwendbar. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zu schaffen, die sich insbesondere zum Verwenden bei verhältnismäßig niedrigen Temperaturen eignet, bei denen manche Werkstoffe supraleitend sind.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe ist die erfindungsgemäße Anordnung dadurch gekennzeichnet, daß der Meßfühler eine dünne Schicht eines supraleitenden Werkstoffs umfaßt, dessen Zusammensetzung sich über die Schichtdicke allmählich ändert, wobei die Dicke des supraleitenden Teils der Schicht temperaturabhängig und die Schicht über Elektroden mit einem Elektronikkreis zum Messen des kritischen Stroms in der Schicht und zum Verarbeiten des im Meßfühler erzeugten Signals elektrisch verbunden ist. Beispiele supraleitender Werkstoffe, die in dünnen Schichten mit einer sich allmählich über die Schichtdicke ändernden Zusammensetzung erhältlich sind, und Verfahren zum Erhalten derartiger Werkstoffe werden in der früheren niederländischen Patentanmeldung 8701788 (PHN 12.209) beschrieben. Da sich die Schichtzusammensetzung über ihre Dicke ändert, wird die Schicht bei einer vorgegebenen Temperatur in einem Teil ihrer Dicke supraleitend sein. Wenn die Temperatur weiter sinkt, vergrößert sich die Dicke der supraleitenden Schicht. Da die kritische Stromstärke, bei der der supraleitende Zustand entfernt wird, proportional der Dicke der supraleitenden Schicht ist, ist diese Stromstärke ein Maß für die Temperaturen des Fühlers. Die erfindungsgemäße Anordnung ermöglicht die Messung der kritischen Stromstärke oder die Erzeugung eines von der kritischen Stromstärke abhängigen Signals, das eine Einrichtung zum Beeinflussen der Temperatur steuert.
  • Ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Anordnung, mit dem die Fühlertemperatur meßbar ist, ist dadurch gekennzeichnet, daß der Elektronikkreis eine steuerbare Stromquelle sowie einen Meßkreis zum Messen der elektrischen Spannung zwischen den Fühlerelektroden und zum Ausgeben eines Steuersignals zur Stromquelle derart enthält, daß der von der Stromquelle gelieferte Strom ansteigt, wenn die gemessene Spannung gleich Null ist, und absinkt, wenn die gemessene Spannung den Nullwert überschreitet.
  • Ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Anordnung, mit dem die Temperatur in einem gekühlten Raum auf einem vorgegebenen Wert gehalten werden kann, ist dadurch gekennzeichnet, daß der Elektronikkreis eine Stromquelle sowie einen Meßkreis zum Messen der elektrischen Spannung zwischen den Fühlerelektroden und zum Ausgeben eines Steuersignals an einen Heizkreis enthält, der ein Heizelement umfaßt, das sich zusammen mit dem Meßfühler in einem gekühlten Raum befindet, wobei das Steuersignal dafür sorgt, daß dem Heizelement ein elektrischer Strom zugeführt wird, wenn die gemessene Spannung gleich Null ist, und daß das Heizelement abgeschaltet wird, wenn die gemessene Spannung den Nullwert überschreitet. Unter einem gekühlten Raum sei in diesem Zusammenhang ein Raum zu verstehen, der mit einem System in Wärmekontakt steht, das dem Raum Wärme entzieht.
  • Ein weiteres Ausführungsbeispiel, in dem kein getrennter Kreis zum Erzeugen von Strom für das Heizelement erforderlich ist, ist dadurch gekennzeichnet, daß das Heizelement mit der Stromquelle und dem Meßfühler in Reihe geschaltet ist, wobei die Stromquelle einen Teil sowohl des Elektronikkreises als auch des Heizkreises bildet.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend mit weiteren Einzelheiten anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen
  • Fig. 1 einen Querschnitt durch eine Ausführung eines Fühlers, der sich für die erfindungsgemäße Anordnung eignet, Fig. 2 eine graphische Darstellung einer möglichen Änderung in der Werkstoffzusammensetzung abhängig von der Stelle in einer Schicht des Fühlers nach Fig. 1,
  • Fig. 3 eine graphische Darstellung eines möglichen Zusammenhangs zwischen der kritischen Temperatur und der Werkstoffzusammensetzung im Fühler nach Fig. 1,
  • Fig. 4 eine graphische Darstellung eines möglichen Zusammenhangs zwischen der kritischen Stromstärke und der Temperatur des Fühlers nach Fig. 1,
  • Fig. 5 ein Blockschaltbild eines ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Anordnung,
  • Fig. 6 ein Blockschaltbild eines zweiten Ausführungsbeispiels, und
  • Fig. 7 ein Blockschaltbild eines dritten Ausführungsbeispiels.
  • Der in Fig. 1 schematisch dargestellte Fühler enthält ein Substrat 1, beispielsweise aus Saphir (Aluminiumoxid), auf dem eine Schicht 3 aus LaMeCuO&sub4; durch Aufdampfen angebracht ist, in der Me aus Ca, Sr und Ba gewählt wird. Auf dieser Schicht wird eine La&sub2;CuO&sub4;-Schicht ebenfalls durch Aufdampfen angebracht. Wie bereits in der schon genannten früheren niederländischen Patentanmeldung 8701788 (PHN 12.209) beschrieben, wurde eine Festkörper-Diffusionsreaktion durch Heizen der auf diese Weise geformten Baueinheit durchgeführt, in der zwischen den beiden Schichten 3 und 5 eine Schicht 7 mit der Zusammensetzung La2-xMexCuO&sub4;gebildet wird, worin x von der Spitze abwärts von 0 nach 1 allmählich ansteigt. Die mögliche Änderung von x abhängig vom Abstand t zur oberen Fläche der Schicht 7 ist in Fig. 7 graphisch dargestellt.
  • Die Schichten werden darauf unter einem Winkel an zwei einander gegenüberliegenden Enden an Erde gelegt, um die mittlere Schicht 7 zugänglich zu machen. Goldelektroden 9 werden durch Aufdampfen auf den auf diese Weise gebildeten geneigten Flächen angebracht, mit denen Verbindungsdrähte (nicht dargestellt) auf eine bei der Herstellung integrierter Schaltungen herkömmliche Weise verbindbar sind. Selbstverständlich ist es auch möglich, die mittlere Schicht auf eine andere Weise zugänglich zu machen,indem die Elektroden 9 beispielsweise durch Anbringen von Kratzern in der oberen Schicht 5 vorgesehen werden.
  • Unter einer vorgegebenen Temperatur besitzt die Schicht 7 supraleitende Eigenschaften. Diese kritische Temperatur Tc ist von der Schichtzusammensetzung und somit von dem Wert von x abhängig. In Fig. 3 ist die Änderung von Tc abhängig von x für den Fall dargestellt, in dem für das Metall Me Strontium gewählt wird. In diesem Fall hat Tc höchstens einen Wert von nahezu 40 K, wenn x = 0,2 ist. Für andere Werte von x ist Tc niedriger. Da x sich über die Dicke der Schicht 7 allmählich ändert, wie aus Fig. 2 ersichtlich ist, ist nur ein sehr dünner Teil der Schicht 7 bei 40 K supraleitend. Wenn die Temperatur entsprechend niedriger wird, vergrößert sich die Dicke des supraleitenden Teils, weil in diesem Fall Teile, in denen x geringfügig von 0,2 abweicht, gleichfalls supraleitend wird.
  • Der Höchststrom, den eine supraleitende Schicht ohne Verlust seiner supraleitenden Eigenschaften führen kann, ist von der Dicke dieser Schicht abhängig. Wenn nach obiger Beschreibung die Dicke der supraleitenden Schicht bei fallender Temperatur größer wird, steigt auch der Wert der kritischen Stromstärke an. Die Änderung der kritischen Stromstärke Ic abhängig von der Temperatur T ist in Fig. 4 graphisch dargestellt. Durch die Messung des kritischen Stroms des beschriebenen Fühlers läßt sich die Fühlertemperatur und damit beispielsweise die Temperatur eines Raums, in dem sich der Fühler befindet, oder eines Gegenstand messen, mit dem der Fühler in Wärmekontakt steht.
  • Die genaue Änderung von Ic abhängig von T ist selbstverständlich von den Werkstoffen, aus denen der Fühler hergestellt ist, und von den Eigenheiten des Herstellungsverfahrens abhängig. Beispiele mehrerer nützlicher Zusammensetzungen und Herstellungsverfahren sind in der früheren niederländischen Patentanmeldung 8701788 (PHN 12.209) beschrieben.
  • In Fig. 5 ist ein Blockschaltbild einer Ausführung einer Anordnung zum Temperaturmessen durch Bestimmen der kritischen Stromstärke eines Fühlers vom Typ nach Fig. 1 dargestellt. Der Fühler befindet sich in einem mit strichpunktierten Linien angegebenen Raum 13, dessen Temperatur zu messen ist. Die Elektroden 9 des Fühlers 11 sind mit einem Elektronikkreis verbunden, der eine steuerbare Stromquelle 14 zum Liefern von Strom zum Fühler und einen Meßkreis 15 zum Messen der Spannung zwischen den Elektroden enthält. Wie mit der gestrichelten Linie 17 angegeben, liefert der Meßkreis 15 ein Steuersignal, das die Stromquelle 14 steuert. Der Meßkreis 15 kann beispielsweise einen Schwellendiskriminator enthalten, der eine erste Spannung liefert, wenn die Spannung zwischen den Elektroden 9 den Nullwert überschreitet, und eine zweite Spannung liefert, wenn die Spannung an den Elektroden gleich Null ist. Die Stromquelle 14 ist derart ausgelegt, daß im einen Fall der gelieferte Strom absinkt und im anderen Fall der Strom ansteigt. Dadurch stellt sich der Strom derart ein, daß die Schicht 7 des Fühlers 11 ständig zwischen dem supraleitenden Zustand und dem nicht supraleitenden Zustand hin und her geht. Das bedeutet, daß der eingestellte Strom im wesentlichen gleich dem kritischen Strom Ic ist. Die Temperatur des Fühlers und daher des Raumes 13 ist aus der graphischen Darstellung ablesbar, die mit dem betreffenden Fühler vom Typ nach Fig. 4 verknüpft ist. Der Strom kann an einem Amperemeter 19 abgelesen werden, das mit der Stromquelle 14 und mit dem Fühler 11 in Reihe geschaltet und vorzugsweise mit den Temperatureinheiten kalibriert ist, so daß sich eine Umsetzung über die graphische Darstellung nach Fig. 4 erübrigt.
  • In Fig. 6 ist ein Blockschaltbild einer ersten Ausführung einer Anordnung zum Kontrollieren der Temperatur mit einem Fühler vom Typ nach Fig. 1 dargestellt. Auch in diesem Fall befindet sich der Fühler in einem mit einer strichpunktierten Linie angegebenen Raum 13, wobei er beispielsweise in einem mit flüssigem Stickstoff gefüllten Kryostat (nicht dargestellt) angebracht ist. Die Elektroden 9 des Fühlers 11 sind mit einem Elektronikkreis verbunden, der einerseits eine voreingestellte Stromquelle 21 zum Liefern von Strom zum Fühler und andererseits einen Meßkreis 23 enthält, der von nahezu demselben Typ wie der in der Anordnung nach Fig. 5 benutzten Meßkreis 15 sein kann. Neben dem Fühler 11 enthält der Raum 13 noch ein Heizelement 25 (beispielweise einen Widerstand), das ein Teil eines Heizkreises ist, der außerdem eine Spannungsquelle 27 und einen Schalter 29 enthält. Der Meßkreis 23 erzeugt ein Steuersignal, das, wie mit der gestrichelten Linie 31 schematisch dargestellt, den Schalter 29 steuert, der zum Beispiel ein Transistor sein kann. Wenn die Spannung zwischen den Elektroden 9 des Fühlers 11 gleich Null ist, erzeugt der Meßkreis 23 ein erstes Steuersignal, das den Schalter 29 schließt, so daß die Spannungsquelle 27 einen elektrischen Strom zum Heizelement ausgibt, wodurch der Raum 13 geheizt wird. Der Fühler 11 folgt der Temperatur des Raums 13 und dadurch geht die Schicht 7 in den nicht supraleitenden Zustand über, wenn die Temperatur auf einen Wert angestiegen ist, bei dem die kritische Stromstärke Ic der voreingestellten Stromstärke der Stromquelle 21 entspricht. Die Spannung zwischen den Elektroden 9 überschreitet dabei den Nullwert und der Meßkreis 23 liefert ein zweites Steuersignal, das den Schalter 29 öffnet, so daß das Heizelement 25 abgeschaltet wird. Durch das Erkalten sinkt wieder die Temperatur im Raum 13, bis die Schicht 7 des Fühlers erneut in den supraleitenden Zustand kommt. Die Temperatur des Raumes 13 schwankt dabei um einen Wert herum, der durch den Wert des Stroms aus der Stromquelle 21 geliefert wird. Durch unterschiedliches Einstellen der Stromquelle 21 läßt sich daher die Temperatur des Raumes ändern.
  • In Fig. 7 ist ein Blockschaltbild einer zweiten, vereinfachten Ausführung zum Kontrollieren der Temperatur mit einem Fühler vom Typ nach Fig. 1 dargestellt. Der Fühler 11 ist wieder in einem gekühlten Raum 13 angeordnet, der mit strichpunktierten Linien angegeben ist. Die Elektroden 9 des Fühlers 11 sind mit einem Elektronikkreis verbunden. Dieser Kreis enthält einerseits die voreingestellte Stromquelle 21 und das Heizelement 25, das ebenfalls im Raum 13 angeordnet ist, und dabei sind die Stromquelle und das Heizelement in diesem Fall mit dem Fühler in Reihe geschaltet. Zum anderen enthält der Elektronikkreis den Meßkreis 23, der die Spannung zwischen den Elektroden 9 mißt und ein von der Spannung abhängiges Steuersignal erzeugt, das einen Schalter 33 betätigt, der, wie mit den gestrichelten Linien 31 angegeben, mit dem Heizelement parallelgeschaltet ist. In dieser Ausführungsform sind der Meßkreis 23 und der Schalter 33 derart ausgelegt, daß der Schalter geschlossen ist, wenn die Spannung zwischen den Elektroden 9 den Nullwert überschreitet, während der Schalter geöffnet ist, wenn diese Spannung gleich Null ist. Dadurch wird erreicht, daß der in der Stromquelle 21 erzeugte Strom das Heizelement 25 durchfließt, wenn die Schicht 7 des Fühlers 7 supraleitend ist, und daß das Heizelement 25 vom Schalter 33 kurzgeschlossen wird, wenn diese Schicht nicht supraleitend ist. Dadurch stellt sich die Temperatur des Raumes 13 erneut ein, so daß die Temperatur der Schicht 7 um einen Wert herum schwankt, der mit einer kritischen Stromstärke Ic verknüpft ist, die im wesentlichen gleich der von der Stromquelle 21 gelieferten Stromstärke ist. Das Ergebnis ist gleich dem der Ausführungsform nach Fig. 6, aber die Anordnung ist einfacher, weil die getrennte Spannungsquelle 27 zum Beliefern des Heizelements 25 ausgelassen ist. Ihre Aufgabe wird von der Stromquelle 21 übernommen, die ein Teil sowohl des Elektronikkreises als auch des Heizkreises ist.

Claims (4)

1. Anordnung mit einem Fühler (11) zum Erzeugen eines temperaturabhängigen elektrischen Signals, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßfühler eine dünne Schicht eines supraleitenden Werkstoffs umfaßt, dessen Zusammensetzung sich über die Schichtdicke allmählich ändert, wobei die Dicke des supraleitenden Teils der Schicht temperaturabhängig und die Schicht über Elektroden (9) mit einem Elektronikkreis zum Messen des kritischen Stroms in der Schicht und zum Verarbeiten des im Meßfühler erzeugten Signals elektrisch verbunden ist.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Elektronikkreis eine steuerbare Stromquelle (14) sowie einen Meßkreis (15) zum Messen der elektrischen Spannung zwischen den Fühlerelektroden (9) und zum Ausgeben eines Steuersignals zur Stromquelle derart enthält, daß der von der Stromquelle gelieferte Strom ansteigt, wenn die gemessene Spannung gleich Null ist, und absinkt, wenn die gemessene Spannung den Nullwert überschreitet.
3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Elektronikkreis eine Stromquelle (21) sowie einen Meßkreis (23) zum Messen der elektrischen Spannung zwischen den Fühlerelektroden und zum Ausgeben eines Steuersignals an einen Heizkreis enthält, der ein Heizelement (25) umfaßt, das sich zusammen mit dem Meßfühler (11) in einem gekühlten Raum (13) befindet, wobei das Steuersignal dafür sorgt, daß dem Heizelement ein elektrischer Strom zugeführt wird, wenn die gemessene Spannung gleich Null ist, und daß das Heizelement abgeschaltet wird, wenn die gemessene Spannung den Nullwert überschreitet.
4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Heizelement (25) mit der Stromquelle (21) und dem Meßfühler (11) in Reihe geschaltet ist, wobei die Stromquelle einen Teil sowohl des Elektronikkreises als auch des Heizkreises bildet.
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