DE649898C - Aus mehreren Teilen zusammengesetzte Entladungsroehre - Google Patents

Aus mehreren Teilen zusammengesetzte Entladungsroehre

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DE649898C
DE649898C DEN39404D DEN0039404D DE649898C DE 649898 C DE649898 C DE 649898C DE N39404 D DEN39404 D DE N39404D DE N0039404 D DEN0039404 D DE N0039404D DE 649898 C DE649898 C DE 649898C
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DE
Germany
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foils
tube
mandrel
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parts
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Expired
Application number
DEN39404D
Other languages
English (en)
Inventor
Jacob Hermanus Van Der Tuuk Dr
Adrianus Verhoeff
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Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Original Assignee
Philips Patentverwaltung GmbH
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/16Vessels; Containers; Shields associated therewith
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J5/00Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J5/02Vessels; Containers; Shields associated therewith; Vacuum locks
    • H01J5/06Vessels or containers specially adapted for operation at high tension, e.g. by improved potential distribution over surface of vessel

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Description

  • Aus mehreren Teilen zusammengesetzte Entladungsröhre Es sind elektrische Entladungsröhren für hohe Spannungen bekannt, bei denen das Vakuumgefäß mehrere Abteile aufweist, die miteinander zusammenhängen und einen gemeinsamen Vakuumraum einschließen. Die Herstellung solcher zusammengesetzter Röhren, vornehmlich die Bildung der Gefäßwand, aber auch die Entgasung bereitet Schwierigkeiten. Im allgemeinen erfolgt die Herstellung von Entladungsröhren leichter, wenn es sich um kleinere Einheiten handelt.
  • Es ist schon bekannt, Hochspannungsentladungsröhren mit stufenartiger Beschleunigung der Elektronen aus mehreren Teilen herzustellen, die jede für sich evakuiert sind und die mit einem kleinen Abstand hintereinander angeordnet werden, derart, daß die durch ein dünnes Fenster aus dem einen Teil heraustretenden Elektronen eine kurze Luftstrecke durchlaufen und durch ein zweites Fenster in einen weiteren Teil hineintreten können, in dem sie wieder eine Beschleunigung erhalten. Diese Anordnung bringt Nachteile mit sich, besonders weil die Durchtrittsfenster Energie absorbieren und sehr empfindlich sind.
  • Die Erfindung betrifft eine aus mehreren Teilen zusammengesetzte Hochspannungsentladungsröhre, die die angegebenen Nachteile nicht aufweist.
  • Erfindungsgemäß werden die Abteile der Röhre als selbständige Vakuumgefäße hergestellt und mit an ihrem Ende mit einer Folie verschlossenen, einander gegenseitig angepaßten Ansatzteilen -versehen. Die Folie eines Ansatzteiles des einen Röhrenabteiles wird gegen die Folie eines Ansatzteiles eines zweiten Röhrenabteiles gesetzt. Diese beiden Ansatzteile werden dann luftdicht, z. B. durch Verlöten verbunden. Danach oder, falls die Röhre aus mehr als zwei -Abteilen besteht, nachdem das weitere Abteil bzw. die weiteren Abteile auf diese Weise befestigt sind, werden die Folien durchlocht.
  • Die Durchlochung der folienartigen Zwischenwände kann durch Elektronenbombardement erfolgen, wobei man, um möglichst viel Energie von den Folien absorbieren zu lassen, die Elektronengeschwindigkeit nicht allzu hoch treibt.
  • Auch können mechanische. Vorrichtungen zum Durchbrechen der Zwischenwand benutzt werden.
  • Um die beim Durchlochen der Folien in den Vakuumraum eintretenden Gase zu binden, kann in einem der Abteile der Entladungsröhre oder in zwei bzw. mehreren Abteilen ein Fangstoff eingebracht werden.
  • Solche Fangstoffe lassen sich in Hochspannungsentladungsgefäßen mit Erfolg verwenden, wenn sie nur an dazu geeigneten Stellen angebracht werden. Sie sind vor dem Aufprall von beweglichen Teilchen zu schützen und vorzugsweise an einer feldfreien Stelle anzuordnen. Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung wird eine besondere Einrichtung vorgesehen, um die Durchbrechung der Zwischenwand mechanisch auszuführen. Zu diesem Zwecke hat einer der Ansatzteile eine dehn-, bare, beispielsweise gewellte Strecke, die einen rohrförmigen Dorn umgibt. Es sind? dabei ferner Mittel vorgesehen, um durch Längenverkürzung der dehnbaren Strecke-und dadurch bedingte Verschiebung des Dornes relativ zu dem einen foliennahen Ende dieser Strecke den Dorn durch die Folien zu treiben. Zweckmäßig wird der Dorn mit einem mit Ausnahme einer abgerundeten Stelle scharf zugeschrägten Rand versehen, so daß er als Hohlpfeife eine Scheibe aus der Zwischenwand ausschneidet. Durch die unscharfe Stelle wird verhindert, daß die ausgestanzte Scheibe den Dorn verstopft. Diese bleibt nämlich an dieser Stelle mit der Wand verbunden. Zwischen der Wand des einen Ansatzteiles und der abgerundeten Stelle des Dornes wird eine Aussparung vorgesehen, die zur Aufnahme der aus den Folien ausgestanzten und von der abgerundeten Kante des Dornes seitlich umgelegten Teile dient.
  • Vorzugsweise ist der scharfe Rand des Dornes etwas gegen die Fläche der Folien, und zwar gerechnet von der abgerundeten Stelle ab vorwärts, geneigt. Beim Verschieben des Dornes entsteht dann ein Schnitt, der sich von einem diametral gegenüber der unscharfen Stelle liegenden Punkte her nach der gegenüberliegenden Seite allmählich ausbreitet.
  • Die Zeichnung veranschaulicht in Fig. i als Beispiel eine Röntgenröhre. auf die das Verfahren nach der Erfindung angewandt werden kann.
  • Fig. 2 stellt den Teil dieser Röhre, der die beiden Abteile des Entladungsgefäßes verbindet, in vergrößertem Maßstabe dar.
  • In Fig.3 wird eine besondere Ausführungsform des Verbindungsteiles einer Entladungsröhre nach der Erfindung dargestellt.
  • Die Röntgenröhre nach der Fig. i besteht aus zwei Abteilen i und 2. Das Abteil i enthält die Anode 3, das Abteil 2 das Kathodengebilde .I. Gegenüber der Anode befindet sich das Strahlenaustrittsfenster 32. Beide Abteilungen erstrecken sich parallel zueinander und sind mit einem Kabelanschluß versehen. so daß die Hochspannungskabel ? und 8, durch welche der elektrische Strom der Röhre zugeleitet wird, sich in derselben Richtung dicht nebeneinander erstrecken, was für die bequeme Handhabung der Röhre günstig ist.
  • Die Wand der beiden Abteile besteht aus einem Metallgefäß 2..1 bzw. 25 und einer an dem Rande dieses Gefäßes angeschmolzenen, die Elektrode tragenden Einstülpung 26 bzw. 27 aus Glas. Die Enden der Hochspannungskabel ; und 8 tragen isolierende Anschlußstücke 5 und 6, die sich in die Einstülpungen 26 und 27 erstrecken. Der Raum zwischen diesen Anschlußstücken und der Innenwand de'r Einstülpungen 28 bzw. 29 ist mit einer sich erhärtenden Isoliermasse ausgefüllt.
  • Die Herstellung der Röhre aus einem Stück ist schwierig. Ist z. B. der Glasteil 26 zuerst angeschmolzen (was wegen der Form der Röhre an sich schon keine leichte Arbeit ist), so bietet es besondere Schwierigkeiten, den Teil 27 richtig anzuschmelzen, ohne daß durch die dabei verwendete Schmelzflamme die Anschmelzung des Teiles 26 wieder zerstört wird.
  • Erfindungsgemäß werden diese Schwierigkeiten dadurch beseitigt, daß die Abteile i und 2 als selbständige Vakuumgefäße hergestellt und erst danach miteinander verbunden werden.
  • Auch die Kabelanschlüsse können vollkommen abmontiert werden, bevor die Zusammensetzung der beiden Teile zu einer vollständigen Entladungsröhre stattfindet.
  • Gegenüber dem wirksamen Teil der Elektrode besitzen die Metallgefäße 24 und 25 je einen Ansatzteil. Diese Ansatzteile sind mit 9 und io bezeichnet. Sie sind an ihrem Ende mit einer dünnen Metallfolie, z. B. aus Konstantan von 5o Mikron,luftdicht verschlossen.
  • Nachdem die Gefäße i und 2 auf übliche Weise bis zu dem für Röntgenröhren gebräuchlichen Grade luftleer gepumpt und vollkommen entgast sind und gegebenenfalls die Kabelanschlüsse fertiggemacht sind, werden die Folien gegeneinandergesetzt. Um eine genaue Stellung des einen Ansatzteiles relativ zu dem anderen zu erreichen, ist das Ende des Ansatzteiles 9 an der Außenseite etwas abgedreht, und das Ende des Ansatzteiles i o hat eine entsprechend bemessene Erweiterung, so daß die Teile 9 und i o, wie in Fig. 2 ersichtlich, passend ineinander eingreifen.
  • Fig. 2 zeigt auch die Metallfolien i i und 12, von denen die Folie i i den rohrförmigen Ansatzteil 9 und die Folie 12 den rohrförmigen Ansatzteil io vakuumdicht abschließt. Damit beim Ineinanderschieben der Rohrteile die Luft Gelegenheit hat, zu entweichen, ist der Ansatzteil io mit einem kleinen Loch 13 versehen.
  • Nachdem die Röhrenabteile auf diese Weise aneinander angesetzt sind, wird die öffnung 13 mit Metall ausgefüllt und die Naht 14 ebenfalls luftdicht, z. B. durch Anwendung eines Lötmittels, verschlossen. Man hat dann eine vollständige Entladungsröhre, und es sind nur noch die Folien i i und 12 zu durchlochen.
  • Dies kann bei der in Fig. i und 2 dargestellten Bauart dadurch bewirkt werden, daß man an die Anode- eine höhe Spannung mit Bezug auf die Kathode anlegt und der Glühdraht der Kathode so hoch erhitzt wird, daß ein kräftiger Elektronenstrom auf die von den Folien gebildete Zwischenwand auftrifft und diese so hoch erhitzt, daß sie ganz oder teilweise schmilzt oder jedenfalls zerstört wird. Die erforderliche Größe der Spannung hängt von der Dicke der Metallfolien und von dem Material ab, aus dem sie hergestellt sind; selbstverständlich muß sie höher sein,- je nachdem die Folien dicker sind oder für ihr Durchbrennen eine höhere Temperatur erforderlich ist. Für zwei Folien der oben angegebenen Beschaffenheit reicht eine Spannung zwischen ioo und Zoo kW aus.
  • Die Anwendungsmöglichkeit der Erfindung ist 'keineswegs auf die in Fig. i abgebildete Röhrenform beschränkt.- Das Verfahren gemäß der Erfindung kommt z. B. auch dort in Frage, wo es sich um die Herstellung von Hochspannungsentladungsröhren mit rohrförmigen Zwischenelektroden handelt. Hierbei können die zu beiden Seiten der Zwischenelektrode liegenden Abteile der Entladungsröhre als selbständige Vakuumgefäße hergestellt und die rohrförmige Zwischenelektrode aus zwei Teilen zusammengesetzt werden, die aus den Gefäßen herausragen und die an ihrem Ende mit einer Folie verschlossene Ansatzteile bilden. Die miteinander zu verbindenden Abteile liegen dann nicht, wie in Fig. i dargestellt, ,nebeneinander, sondern hintereinander.
  • Fig. 3 veranschaulicht beispielsweise einen Ausschnitt eines Verbindungsrohres, wie dieses eine Entladungsröhre nach der Erfindung besitzen kann. Der Teil 9 hat eine dehnbare Strecke 15 aus gewelltem Blech. Durch letztere wird das Endstück 16 mit dem Teil 9 einigermaßen beweglich verbunden. Das Wellrohr 15 umgibt einen in dem Ansatzteil bewegbaren Dorn in Form einer Hohlpfeife 17, der mit einem Flansch 18 an dem Teil 9 anliegt und durch eine Feder i9 in dieser Lage gehalten wird. An dem anderen Ende weist der Dorn einen. um einen Winkel a gegen die Folien geneigten scharfen Rand 2o auf.
  • Die Teile 16 und io werden in der mit Bezugnahme auf Fig.2 beschriebenen Weise miteinander luftdicht verbunden. Eine Mutter 21 verhindert die gegenseitige Verlage: rung der Teile 9 und 16. Ein auf dem Teil 9 befestigter Ring 22 dient als Stutzen für die Mutter 21 und verhindert, daß das Wellrohr durch den atmosphärischen Luftdruck zusammengepreßt wird.
  • Nachdem die Entladungsröhre fertiggestellt ist, wird die Mutter 21 angedreht, so daß der Abstand zwischen den Teilen 9 "und io verringert wird. . Der Rand des Teiles 9 drückt dabei den Dorn 17 nach rechts, so daß der scharfe Rand 2o gegen die Folien i i und 12 gepreßt und hierdurch die Zwischenwand zerrissen wird. Zufolge der Neigung des Randes 2o breitet sich der Schnitt in der Zwischenwand von dem vorderen Punkte 3o her nach der diesem Punkt gegenüberliegenden Seite hin aus. An dieser gegen den Punkt 30 etwas zurückstehenden Seite hat der Rand des Dornes eine abgerundete Stelle 23, so- daß hier die Folien nicht weiter zerrissen werden, sondern mit der Außenwand verbunden bleiben. Beim Weiterbewegen des Dornes werden die Folien umgebogen, und es gleitet der Teil 23 über sie hinweg, so daß sie sich in der Aussparung 31 des Dornes 17 an die Wand anlegen und den Betrieb der Röhre weiter nicht stören. Selbstverständlich muß bei der in Fig. 3 gezeigten Ausführungsform der Verbindungsteil zwischen den beiden Röhrenabteilen länger sein als bei einer Ausführung nach Fig. i.
  • Es ist fast unvermeidlich, daß zwischen den beiden Folien beim Aneinandersetzen der Gefäße i und 2 und auch zwischen den ineinandergeschobenen Ansatzteilen etwas Luft eingeschlossen bleibt. Beim Durchlochen der Zwischenwand verbreitet sich diese Luft in den Vakuumraum und verschlechtert das Hochvakuum. Werden die Folien durchgebrannt, so kann außerdem eine Gasabgabe .des erhitzten Metalls. erfolgen. Um das Hochvakuum aufrechtzuerhalten, bringt man in der Röhre, zweckmäßig an einer Stelle, wo sich möglichst wenig bewegliche Teilchen befinden, eine Menge eines geeigneten Fangstoffes, z. B. Barium, an. Die schädlichen Gase werden durch diesen Stoff sofort gebunden und können dann die Wirkung der Entladungsröhre nicht mehr beeinträchtigen. Eine zum Anbringen des Fangstoffes geeignete Stelle bildet z. B. der Kathodentopf in dem sich der Glühdraht zum Aussenden der Elektronen befindet. Innerhalb dieses Metallkörpers befindet sich meistens ein praktisch feldfreier Raum, was für die Wirkung des Fangstoffes günstig ist.
  • Es ist klar, daß sich die Erfindung auch auf Entladungsröhren anwenden läßt, die aus mehr als zwei Teilen bestehen. Auch ist sie nicht auf Röntgenröhren beschränkt, sondern auf Entladungsröhren, die anderen Zwecken dienen, z. B. auf Röhren zum Aussenden von Kathodenstrahlen, ebenfalls anwendbar.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Verfahren zur Herstellung von elektrischen Entladungsröhren, dadurch gekennzeichnet, daß zwei oder mehrere Abteile der Röhre als selbständige Vakuumgefäße hergestellt werden, die jt einen an seinem Ende mit einer Folie verschlossenen Ansatzteil bzw. mehrere solche Teile besitzen, und daß die Folie eines Ansatzteiles des einen Röhrenabteiles gegen die Folie eines Ansatzteiles eines zweiten Röhrenabteiles gesetzt und diese beiden einander gegenseitig angepaßten Ansatzteile luftdicht verbunden werden, z. B. durch Verlöten, und darauf die Folien durchlocht werden. z. Verfahren nach Anspruch z, dadurch gekennzeichnet, daß die Folien durch Elektronenbombardement durchlocht werden. 3. Verfahren nach Anspruch r, dadurch gekennzeichnet, daß die Folien durch eine mechanische Einrichtung durchlocht werden. q.. Verfahren nach Anspruch i, z oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein Fangstoff in einem der Abteile der Entladungsröhre oder in zwei bzw. mehreren Abteilen eingebracht wird, durch den die beim Durchlochen der Folien in den Vakuumraum hineintretenden Gase gebunden werden. 5. Mit dem Verfahren nach Anspruch 3 hergestellte elektrische Entladungsröhre, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ansatzteil eine dehnbare, beispielsweise gewellte Strecke hat, die einen rohrförmigen Dorn umgibt, und Mittel vorgesehen sind, um durch Längenverkürzung der dehnbaren Strecke und dadurch bedingte Verschiebung des Dornes relativ zu dem foliennahen Ende dieser Strecke den Dorn durch die Folien zu treiben. 6. Elektrische Entladungsröhre nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Dorn einen mit Ausnahme einer abgerundeten Stelle scharf zugeschrägten, vorzugsweise etwas gegen die Fläche der Folien, und zwar gerechnet von der abgerundeten Stelle ab vorwärts, geneigten Rand hat, und daß zwischen der abgerundeten Stelle und der ihr gegenüberliegenden Wand des Ansatzteiles eine Aussparung zur Aufnahme der aus den Folien ausgestanzten Teile vorgesehen ist.
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