DE60230290D1 - Buncher mit zwei voneinander beabstandeten elektroden mit schlitzförmigen öffnungen und verfahren zur ionenbündelung in einem ionenimplantationssystem - Google Patents

Buncher mit zwei voneinander beabstandeten elektroden mit schlitzförmigen öffnungen und verfahren zur ionenbündelung in einem ionenimplantationssystem

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Kourosh Saadatmand
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    • H05H7/14—Vacuum chambers
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