DE60216508D1 - Verfahren zur konzentrationsregelung einer lösung, vorrichtung zum kontrollieren dieser regelung, und system mit einer solchen vorrichtung - Google Patents

Verfahren zur konzentrationsregelung einer lösung, vorrichtung zum kontrollieren dieser regelung, und system mit einer solchen vorrichtung

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    • G05D11/13Controlling ratio of two or more flows of fluid or fluent material characterised by the use of electric means
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7344297B2 (en) 1998-04-16 2008-03-18 Air Liquide Electronics U.S. Lp Method and apparatus for asynchronous blending and supply of chemical solutions
US7980753B2 (en) 1998-04-16 2011-07-19 Air Liquide Electronics U.S. Lp Systems and methods for managing fluids in a processing environment using a liquid ring pump and reclamation system
US7871249B2 (en) 1998-04-16 2011-01-18 Air Liquide Electronics U.S. Lp Systems and methods for managing fluids using a liquid ring pump
US20070119816A1 (en) * 1998-04-16 2007-05-31 Urquhart Karl J Systems and methods for reclaiming process fluids in a processing environment
US20070109912A1 (en) * 2005-04-15 2007-05-17 Urquhart Karl J Liquid ring pumping and reclamation systems in a processing environment
WO2009069090A2 (en) 2007-11-27 2009-06-04 L'air Liquide-Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Improved reclaim function for semiconductor processing systems
CN104503496B (zh) * 2014-12-12 2017-04-05 平顶山华兴浮选工程技术服务有限公司 一种矿浆浓度自调节系统及调节方法
US20160296902A1 (en) 2016-06-17 2016-10-13 Air Liquide Electronics U.S. Lp Deterministic feedback blender

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3074366B2 (ja) * 1993-02-22 2000-08-07 東京エレクトロン株式会社 処理装置
FR2761902B1 (fr) * 1997-04-11 1999-05-14 Labeille Sa Systeme de dilution de produits chimiques ultra-purs destine a l'industrie micro-electronique
FR2764089B1 (fr) * 1997-05-29 1999-07-02 Air Liquide Procede de regulation de la teneur d'oxygene de l'eau en sortie d'un appareil de dissolution d'oxygene dans l'eau et appareil pour la mise en ouvre du procede
KR20010072569A (ko) * 1998-04-09 2001-07-31 추후제출 자동화 화학공정 제어 시스템
TW409312B (en) * 1999-02-02 2000-10-21 Mosel Vitelic Inc Systemic concentration adjustment method of the APM solution used in the semiconductor process
FR2811240B1 (fr) * 2000-07-05 2003-01-03 Air Liquide Procede pour la determination de la teneur en peroxyde d'hydrogene de melanges en particulier de melanges abrasifs utilises en electronique et application a la regulation de la concentration desdits melanges

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