DE602007009090D1 - Mikroelektromechanisches Gyroskop mit Lesevorrichtung für eine offene Schleife und Steuerverfahren dafür - Google Patents
Mikroelektromechanisches Gyroskop mit Lesevorrichtung für eine offene Schleife und Steuerverfahren dafürInfo
- Publication number
- DE602007009090D1 DE602007009090D1 DE602007009090T DE602007009090T DE602007009090D1 DE 602007009090 D1 DE602007009090 D1 DE 602007009090D1 DE 602007009090 T DE602007009090 T DE 602007009090T DE 602007009090 T DE602007009090 T DE 602007009090T DE 602007009090 D1 DE602007009090 D1 DE 602007009090D1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- control method
- reading device
- open loop
- method therefor
- microelectromechanical gyroscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/5755—Structural details or topology the devices having a single sensing mass
- G01C19/5762—Structural details or topology the devices having a single sensing mass the sensing mass being connected to a driving mass, e.g. driving frames
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5726—Signal processing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP07425417A EP2023082B1 (de) | 2007-07-05 | 2007-07-05 | Mikroelektromechanisches Gyroskop mit Lesevorrichtung für eine offene Schleife und Steuerverfahren dafür |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE602007009090D1 true DE602007009090D1 (de) | 2010-10-21 |
Family
ID=38729094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE602007009090T Active DE602007009090D1 (de) | 2007-07-05 | 2007-07-05 | Mikroelektromechanisches Gyroskop mit Lesevorrichtung für eine offene Schleife und Steuerverfahren dafür |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8051698B2 (de) |
EP (1) | EP2023082B1 (de) |
JP (1) | JP5222048B2 (de) |
DE (1) | DE602007009090D1 (de) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1962054B1 (de) * | 2007-02-13 | 2011-07-20 | STMicroelectronics Srl | Mikroelektromechanisches Gyroskop mit Detektionsvorrichtung mit offenem Regelkreis und Verfahren zur Steuerung eines mikroelektromechanischen Gyroskops |
IT1392553B1 (it) * | 2008-12-11 | 2012-03-09 | St Microelectronics Rousset | Dispositivo elettronico a capacita' variabile e dispositivo microelettromeccanico incorporante tale dispositivo elettronico |
IT1394898B1 (it) * | 2009-06-03 | 2012-07-20 | St Microelectronics Rousset | Giroscopio microelettromeccanico con attuazione a controllo di posizione e metodo per il controllo di un giroscopio microelettromeccanico |
US8661871B2 (en) * | 2009-07-31 | 2014-03-04 | Stmicroelectronics S.R.L. | Method for testing a microelectromechanical device, microelectromechanical device |
EP2336717B1 (de) | 2009-12-21 | 2012-09-19 | STMicroelectronics Srl | Mikroelektromechanische Vorrichtung mit Schwingungsmasse und Verfahren zur Steuerung einer mikroelektromechanischen Vorrichtung mit Schwingungsmasse |
US8539834B2 (en) * | 2010-02-15 | 2013-09-24 | Stmicroelectronics S.R.L. | Microelectromechanical gyroscope with calibrated synchronization of actuation and method for actuating a microelectromechanical gyroscope |
US8714012B2 (en) * | 2010-02-16 | 2014-05-06 | Stmicroelectronics S.R.L. | Microelectromechanical gyroscope with inversion of actuation forces, and method for actuating a microelectromechanical gyroscope |
WO2011146846A2 (en) * | 2010-05-21 | 2011-11-24 | Sand9, Inc. | Micromechanical membranes and related structures and methods |
ITTO20130013A1 (it) | 2013-01-09 | 2014-07-10 | St Microelectronics Srl | Giroscopio microelettromeccanico con compensazione di componenti di segnale di quadratura e metodo di controllo di un giroscopio microelettromeccanico |
US20160102978A1 (en) * | 2014-10-14 | 2016-04-14 | Richtek Technology Corporation | Rotation velocity sensor and method for sensing rotation velocity |
IT201600098502A1 (it) * | 2016-09-30 | 2018-03-30 | St Microelectronics Srl | Giroscopio mems avente elevata stabilita' nei confronti delle variazioni di temperatura e di umidita' |
CN110590796B (zh) | 2018-06-12 | 2022-07-15 | 青岛海洋生物医药研究院股份有限公司 | 喜树碱衍生物及其制备方法和应用 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4884446A (en) * | 1987-03-12 | 1989-12-05 | Ljung Per B | Solid state vibrating gyro |
JP3095443B2 (ja) * | 1991-04-16 | 2000-10-03 | 三菱プレシジョン株式会社 | 2軸角速度・加速度信号検出器および該検出器の出力信号処理装置 |
US5491725A (en) * | 1993-09-07 | 1996-02-13 | Rockwell International Corporation | Tracking filter and quadrature-phase reference generator |
US5481914A (en) * | 1994-03-28 | 1996-01-09 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Electronics for coriolis force and other sensors |
DE19939998A1 (de) * | 1999-08-24 | 2001-03-01 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Vorspannungserzeugung für einen schwingenden Drehratensensor |
DE60120921T2 (de) * | 2001-04-27 | 2007-02-01 | Stmicroelectronics S.R.L., Agrate Brianza | Aus Halbleitermaterial hergestellter integrierter Kreisel |
US20030033850A1 (en) * | 2001-08-09 | 2003-02-20 | Challoner A. Dorian | Cloverleaf microgyroscope with electrostatic alignment and tuning |
EP1478902B1 (de) * | 2002-01-12 | 2017-05-24 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor |
JP4310571B2 (ja) * | 2003-04-07 | 2009-08-12 | 株式会社村田製作所 | 静電容量検出型振動ジャイロ、および静電容量変化検出方法 |
DE10360962B4 (de) * | 2003-12-23 | 2007-05-31 | Litef Gmbh | Verfahren zur Quadraturbias-Kompensation in einem Corioliskreisel sowie dafür geeigneter Corioliskreisel |
JP5074693B2 (ja) * | 2005-01-26 | 2012-11-14 | パナソニック株式会社 | 微小電気機械デバイス |
-
2007
- 2007-07-05 DE DE602007009090T patent/DE602007009090D1/de active Active
- 2007-07-05 EP EP07425417A patent/EP2023082B1/de active Active
-
2008
- 2008-07-02 US US12/166,936 patent/US8051698B2/en active Active
- 2008-07-04 JP JP2008175699A patent/JP5222048B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009042221A (ja) | 2009-02-26 |
US8051698B2 (en) | 2011-11-08 |
EP2023082A1 (de) | 2009-02-11 |
EP2023082B1 (de) | 2010-09-08 |
US20100000289A1 (en) | 2010-01-07 |
JP5222048B2 (ja) | 2013-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE602007009090D1 (de) | Mikroelektromechanisches Gyroskop mit Lesevorrichtung für eine offene Schleife und Steuerverfahren dafür | |
DE602007006880D1 (de) | Speichervorrichtung und Steuerungsverfahren dafür | |
DE602008005239D1 (de) | Navigationsvorrichtung, Navigationsverfahren und Navigationsprogramm | |
DE602007003050D1 (de) | Scan-basierter Test von Geräten mit Testuhr-Steuerungsstruktur | |
DK2388266T3 (da) | Fusionsmolekyler og IL-15-varianter | |
DE602007002032D1 (de) | Messvorrichtung und Messverfahren | |
DK2118140T3 (da) | Humancytomegalovirus-neutraliserende antistoffer og anvendelse deraf | |
DK2252633T3 (da) | Anti-TrkA antistoffer og derivater deraf | |
DE602008001626D1 (de) | Flüssigkristallvorrichtung und Herstellungsverfahren davon | |
DE602006010866D1 (de) | Navigationsgerät und -Verfahren | |
DE602007003781D1 (de) | Positionierungsvorrichtung, Positionierungsverfahren und Uhr mit der Positionierungsvorrichtung | |
DK3567363T3 (da) | Prøvningsindretninger, -fremgangsmåder og reagenser | |
DE602006011179D1 (de) | Fahrzeug mit steuervorrichtung und fahrzeugsteuerverfahren | |
BRPI0913793A2 (pt) | "método para comunicação de estruturas nodais com dispositivo móvel ou portátil e respectivo dispositivo" | |
DE602007012355D1 (de) | Volumenausschliesser mit variabler verpackung und probenahmeverfahren dafür | |
DE602008002133D1 (de) | Schlafbewertungsvorrichtung und Schlafbewertungsverfahren dafür | |
DE602007006295D1 (de) | Variable ventilsteuervorrichtung und ventilphasenerfassungsverfahren dafür | |
NL2002105A1 (nl) | Improved Navigation Device and Method. | |
BRPI0817068A2 (pt) | dispositivo e método para medir consumo/perfusão de oxigênio regional | |
DE602006018166D1 (de) | Polyrotaxanhaltige lösung und verwendung davon | |
DE502007002963D1 (de) | Messvertärkungsvorrichtung und -verfahren | |
DK2079894T3 (da) | Åbne- og lukkeindretning med lås | |
DE602007002592D1 (de) | Flüssigkeitsbehälter und Aufzeichnungsvorrichtung | |
DE602007000219D1 (de) | Nichtflüchtige Speichervorrichtung und Betriebsverfahren dafür | |
DE602008002788D1 (de) | Funkgesteuerte Uhr und Steuerungsverfahren für funkgesteuerte Uhr |