DE60128440T2 - Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen und mikrooptomechanischen Strukturen mit einem aufgebrachten Muster - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen und mikrooptomechanischen Strukturen mit einem aufgebrachten Muster Download PDFInfo
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Description
- GEBIET DER ERFINDUNG
- Mikromechanische und mikrooptomechanische Strukturen, die auf Silizium-auf-Isolator (SOI)-Wafern gefertigt sind, werden beschrieben. Insbesondere werden mikromechanische und mikrooptomechanische Komponenten beschrieben, die durch chemisches und mechanisches Modifizieren von SOI-Wafern und durch Metallisieren einer Rückseite der Komponenten erzeugt werden.
- HINTERGRUND
- Inhärente Dünnfilmeigenschaften von Materialien schränken viele Oberflächenmikrobearbeitungsverfahren ein. Zum Beispiel kann die Variabilität der Materialeigenschaften in Polysilizium-Dünnfilmen (wie z.B. Youngs Modulus und Poisson-Verhältnis, Eigenspannung und Spannungsgradienten) die Herstellung von erwünschten Mikrostrukturen verhindern. Dies betrifft insbesondere mikrooptische Komponenten wie z.B. Spiegel, Linsen und Beugungsgitter, die für eine hohe optische Leistungsfähigkeit sehr glatt sein müssen und die normalerweise in Einkristall-Siliziumschichten ausgebildet werden müssen. Da konventionelle Oberflächen-Mikrobearbeitung es erfordert, dass alle Komponenten in Polysiliziumschichten hergestellt werden, kann die optische Leistungsfähigkeit eingeschränkt sein.
- Die führenden kommerziellen mikroelektromechanischen (MEMS) Verfahrenstechnologien sind (1) Volumen-Mikrobearbeitung von Silizium-Einkristallen, und (2) Oberflächen-Mikrobearbeitung von polykristallinem Silizium. Jede dieser Verfahrenstechnologien hat entsprechende Vorteile und Einschränkungen. Volumen-Mikrobearbeitung von Silizium-Einkristallen, einem exzellenten Material mit gut zu kontrollierenden elektrischen und mechanischen Eigenschaften in seinem puren Zustand, verwendet historisch anisotropes Nassätzen, um die mechanischen Elemente zu bilden. In diesem Verfahren ist die Ätzrate abhängig von den Kristallebenen, die der Ätzlösung ausgesetzt sind, so dass mechanische Elemente gebildet werden, die zu den ätzratenlimitierten kristallografischen Ebenen ausgerichtet sind. Für Silizium sind diese Ebenen die (1,1,1)-Kristallebenen. Die Ausrichtung der mechanischen Merkmale auf die kristallografischen Ebenen führt zu Einschränkungen der Geometrien, die unter Verwendung dieser Tech nik erzeugt werden können. Typische Geometrien schließen V-Rillengräben und invertierte, pyramidenförmige Strukturen in (1,0,0)-orientierten Siliziumwafern ein, wobei die Gräben und invertierten Pyramiden an die (1,1,1)-Kristallebenen gebunden sind. Geometrien, die konvex; Ecken einschließen, sind nicht möglich, außer zusätzliche Maßnahmen werden durchgeführt, um die Kristallebenen vor dem Ätzen zu schützen, die die Ecken bilden. Die Ätzrate variiert auch mit der Dotierungsmittelkonzentration, so dass die Ätzrate modifiziert werden kann durch Einführung von Dotierungsatomen, die die Siliziumatome in denn Kristallgitter ersetzen. Eine Bor-Dotierungskonzentration in der Größenordnung von 5 × 1019/cm3 reicht aus, den Ätzvorgang vollständig anzuhalten, so dass mechanische Elemente, die durch andere Kristallebenen begrenzt werden, unter Verwendung von Dotierungs-"Ätzstop"-Techniken erzeugt werden können. Jedoch reichen Dotierungskonzentrationen dieser Größe aus, die gewünschten elektrischen und mechanischen Eigenschaften des puren Silizium-Einkristallmaterials zu modifizieren, was dazu führt, dass der Geräteentwurf und die Herstellbarkeit eingeschränkt ist. Kürzliche Fortschritte beim tiefen reaktiven Ionenätzen (DRIE, Deep Reactive Ion Etching) (siehe z.B. J.K. Bhardwaj und H. Ashraf, "Advanced silicon etching using high density plasmas", Micromachining and Microfabrication Process Technology, 23–24. Oktober 1995, Austin, Texas, SPIE Proceedings, Band 2639, Seite 224), das Seitenwandpassivierung und Ionenstrahlbündelung verwendet, um Ätzanisotropie zu erreichen, haben die Lage hinsichtlich der Einschränkungen für den geometrischen Entwurf in der Ebene entspannt, erfordert aber immer noch Ätzstoptechniken, um die Tiefe des Ätzens in den Wafer zu steuern, und zusätzliche Verfahrensschritte sind erforderlich, um eine Struktur zu unterschneiden, um sie von dem Substrat zu lösen.
- Im Gegensatz zur Volumenmikrobearbeitung verwendet die Oberflächen-Mikrobearbeitung von polykristallinem Silizium chemische Dampfabscheidung (CVD, chemical vapor deposition) und reaktives Ionenätzen (RIE, reactive ion etching) als Strukturierungstechniken, um mechanische Elemente aus übereinander gestapelten Schichten von Dünnfilmen zu bilden (siehe z.B. R.T. Howe, "Surface micromachining for microsensors and microactuators", J. Vac. Sci. Technol. B6, (1988) 1809). Typischerweise wird CVD-Polysilizium verwendet, um mechanische Elemente zu bilden. CVD-Nitrid wird verwendet, um elektrische Isolatoren zu bilden, und CVD-Oxid wird als Opferschicht verwendet. Durch die Entfernung des Oxids durch Nass- oder Trockenätzen werden die Polysilizium-Dünnfilmstrukturen gelöst. Der Vorteil der Oberflächen-Mikrobearbeitungsverfahren ist die Fähigkeit, komplexe Strukturen in senkrechter Richtung zur Waferoberfläche her zustellen, indem lösbare Polysiliziumschichten gestapelt werden (siehe z.B. K.S.J. Pister, M.W. Judy, S.R. Burgett und R.S. Fearing, "Microfabricated hinges", Sensors and Actuators A33, (1992) 249 und L.Y. Lin, S.S. Lee, K.S.J. Pfister und M.C. Wu, "Micromachined three-dimensional micro-optics for free-space optical system", IEEE Photon. Technol. Lett. 6, (1994) 1445), und die vollständige geometrische Entwurfsfreiheit in der Ebene des Wafers, da die Geräteebenen unter Verwendung von isotropen RIE-Ätztechniken strukturiert werden. Ein zusätzlicher Vorteil der Oberflächen-Mikrobearbeitung ist, dass sie Dünnfilmmaterialien, wie z.B. Polysilizium, Oxid, Nitrid und Aluminium verwendet, die allgemein bei der Herstellung mikroelektronischer Geräte verwendet werden, wenn auch mit unterschiedlichen Materialeigenschaften, die eher in mechanischer Hinsicht optimiert werden als im Hinblick auf elektrische Leistungsfähigkeit. Diese Allgemeinheit der Materialien erlaubt eine höhere Integration von mikroelektronischen und mikromechanischen Komponenten in demselben Herstellungsprozess, wie es z.B. in dem integrierten Beschleunigungssensor von Analog Devices und in dem integrierten Drucksensor von SSI Technologies demonstriert wird.
- Während die Oberflächen-Mikrobearbeitung die Lage hinsichtlich vieler inhärenter Einschränkungen bei der Volumen-Mikrobearbeitung von Silizium-Einkristallen entspannt, weist sie nichts desto weniger ihre eigenen Einschränkungen bei Dünnfilmeigenschaften auf. Die maximale Schichtdicke, die mit CVD-Techniken abgeschieden werden können, sind auf einige Mikrometer beschränkt, so dass dickere Strukturen durch aufeinanderfolgende Abscheidungen aufgebaut werden müssen. Dickere Geräteschichten sind für dynamische optische Elemente erforderlich, wo dynamische Verformungen die optischen Eigenschaften beeinflussen können, und sind für optische Elemente erforderlich, die zusätzliche Dünnschichtbeschichtungen benötigen, die stressinduzierte Krümmung verursachen können. Die mechanischen Dünnfilmeigenschaften, wie z.B. Youngs Modulus und das Poisson-Verhältnis, hängen von den Verfahrensparametern und der thermischen Vorgeschichte des Herstellungsprozesses ab und können typischerweise um bis zu 10 % von Lauf zu Lauf variieren. Dies ist eine wichtige Einschränkung für eine robuste Herstellbarkeit, wo diese mechanischen Dünnfilmeigenschaften einen kritischen Parameter für die Geräteleistungsfähigkeit darstellen können.
- Eine zusätzliche Einschränkung der konventionellen Oberflächen-Mikrobearbeitung ist, dass Löcher durch die mechanischen Elemente in dem Entwurf eingeschlossen sein müssen, um es den Ätzmitteln, die verwendet werden, um die mechanischen Elemente abzulösen, zu erlauben, die Opferschichten erreichen. Während dies keine wichtige Ein schränkung für optische Elemente, wie z.B. Fresnel-Linsen und Beugungsgitter ist, die Löcher in ihrem Design einschließen, ist es eine wichtige Einschränkung für optische Elemente, wie z.B. Spiegel, wo Löcher die optischen Eigenschaften beeinträchtigen. Glattheit und Reflektivität sind auch wichtige optische Entwurfkriterien, die durch konventionelle Oberflächen-Mikrobearbeitungsverfahren beeinflusst werden können. Dünnfilmstress und Stressgradienten, die typisch für Polysilizium-Dünnfilme sind, können dazu führen, dass sich die optischen Oberflächen verziehen. Zusätzlich ist die Oberfläche von Polysilizium-Dünnfilmen, so wie sie abgeschieden wird, nicht poliert und erfordert deshalb als Nachbearbeitungstechniken chemisch-mechanisches Polieren (CMP, Chemical Mechanical Polishing), um eine optische Qualität des Oberflächenzustandes zu erhalten.
- J. Kubby beschreibt in "Micro-Opto-Electromechanical Systems Manufacturing", die eine öffentliche Präsentation bei dem 1999 Advanced Technology Progress National Meeting in San José am 15. November 1999 war, einen SCS-SMM-Prozess, der i) ein Polysilizium-Oberflächen-Mikrobearbeitungsverfahren an der Oberseite eines SOI-Wafers implementiert, ii) eine SCS-Geräteschicht des SOI-Wafers für kritische optische, elektrische und mechanische Anwendungen verwendet; und iii) Polysiliziumschichten für nicht-kritische Anwendungen, wie z.B. Gelenke und Führungen verwendet. Dies wird auch in der
US 6002507 offenbart. - ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
- Die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren zur Herstellung mikromechanischer oder mikrooptomechanischer Strukturen gemäß Anspruch 1 bereit.
- KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
-
1 veranschaulicht in einer perspektivischen Ansicht eine MEMS-Vorrichtung mit verschiedenen optischen und mechanischen Elementen, die gemäß des Verfahrens der vorliegenden Erfindung gebildet wurden; und -
2 ist eine Querschnittsansicht eines Silizium-auf-Isolator (SOI, silicon-on-insulator)-Wafers, in dem MEMS- und MOEMS-Vorrichtungen gemäß der vorliegenden Erfindung erzeugt werden können; -
3 –18 zeigen eine Ausführungsform der Verfahrensschritte, die verwendet werden, um ein MEMS-Gerät, wie das, das in1 abgebildet ist, zu erzeugen. - AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
- Nachfolgend wird eine Ausführungsform des vorliegenden erfinderischen Verfahrens und der Vorrichtung beschrieben. Die Ausführungsform veranschaulicht nur einen von verschiedenen Wegen, mit dem die vorliegende Erfindung ausgeführt werden kann. Obwohl die Ausführungsform in Verbindung mit einem beweglichen Spiegel auf einem Silizium-auf-Isolator (SOI)-Chip beschrieben wird, kann sie leicht auf andere Komponenten angewendet werden. In der Beschreibung, die folgt, repräsentieren die gleichen Bezugszeichen gleiche Elemente oder Schritte in allen Figuren. Zum Beispiel wenn die Nummer
10 in einer Figur dazu verwendet wird, ein bestimmtes Element oder einen Schritt zu bezeichnen, bezeichnet die Nummer10 , die in jeder anderen Figur erscheint, dasselbe Element. -
1 veranschaulicht einige der sehr komplexen mikromechanischen (MEMS) und mikrooptomechanischen (MOEMS) Vorrichtungen, die auf einem Siliziumwafer unter Verwendung der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung konstruiert werden können. Die Vorrichtung200 schließt bewegliche optische Elemente ein, die aus dem Silizium-Einkristall, der über einem Isolator liegt, erstellt wurden, wie z.B. ein Beugungsgitter202 , ein Gitter204 , und eine Fresnel-Linse206 . Aktive elektronische Elemente können auch in der Silizium-Einkristallschicht definiert werden, einschließlich flip-chip-gebondete Licht erzeugende Laserdioden201 , Licht erfassende Fotodioden203 , oder konventionelle CMOS-Logikschaitkreise205 . Volumenmodifizierungen (Bulk modifications), die für die Verpackung oder zur Montage des Substrats erforderlich sind, werden auch möglich, wie z.B. durch die geätzte Aushöhlung208 veranschaulicht wird, und hinzugefügte Polysiliziumschichten können verwendet werden für mechanische Elemente, wie z.B. ein Gelenk209 . -
2 zeigt eine Ausführungsform eines Silizium-auf-Isolator (SOI)-Wafers10 , der geeignet ist zur Verwendung in der Ausführungsform des Verfahrens, das hier beschrieben wird. Der SOI-Wafer10 schließt eine dünne Silizium-Einkristall-Gerätewaferschicht12 und eine Substratschicht14 ein. Die Substratschicht14 ist vorzugsweise Polysilizium. Zwischen diesen beiden Schichten12 und14 befindet sich eine Schicht16 aus vergrabenem Oxid (BOX, buried oxide), das die Geräteschicht12 und die Substratschicht14 integral zusammenverbindet. Diese vergrabene Oxidschicht16 kann auch als Ätzstopp in Nass- und Trockenätzverfahren verwendet werden, um eine dünne Membran zu bilden. Zusätzlich gibt es eine Rückseitenoxidschicht18 auf der Rückseite der Substrat schickt14 , die verwendet wird, das Herunterätzen auf den Übergang zwischen der Geräteschicht12 und der Substratschicht14 von der Rückseite zu kontrollieren. Vorzugsweise ist der Wafer rund mit einem Durchmesser von 100 mm ± 0,5 mm und einer Dicke von 525 ± 25 Mikrometer. Die Gesamtdicke des Wafers setzt sich zusammen aus 1 ± 0,5 Mikrometer Rückseitenoxid 20,1 ± 0,05 Mikrometer vergrabenen Oxids (BOX) und 5 ± 0,5 Mikrometer des Silizium-Einkristalls. Der Rest der Dicke besteht aus dem Substrat. - Vor dem Beginn des Verfahrens wird der Wafer inspiziert, um sicherzustellen, dass er die Herstellerspezifikationen erfüllt. Wenn er die Spezifikationen erfüllt, wird der Wafer mit einer Lot- und Wafernummer beschriftet, gereinigt, und 2000 Å thermischen Oxids
20 werden auf die Silizium-Einkristallschicht12 aufgewachsen, um als Ätzstopp in einer späteren Polysilizium-Ätze zu dienen, und um die Dotierung des SCS durch eine spätere Polysilizium-Glasschicht (PSG, polysilicon glass) zu verhindern. - Die
3 –18 , die in Verbindung mit den folgenden ausführlichen Schritten1 –84 betrachtet werden, veranschaulichen eine Ausführungsform eines Verfahrens, das auf dem Wafer der2 verwendet wird, um das Gitter204 der Mikrostruktur200 , die in1 dargestellt ist, zu erzeugen. Das Verfahren, das unten veranschaulicht wird, kann auch für andere Typen von Komponenten verwendet werden; alles hängt davon ab, was in den Wafer strukturiert wird. Die Strukturierung der Muster auf dem Wafer wird unter Verwendung von Standard-Fotolithografietechniken, die im Stand der Technik gut bekannt sind, durchgeführt, welche typischerweise die Abscheidung von Schichten des korrekten Materials auf den Wafer, Auftragen von Fotolack auf den Wafer, Belichten des Fotolacks in den zuzufügenden Bereichen (Lichtmaske) oder in den zu entfernenden Bereichen (Dunkelmaske) und dann Durchführung von geeignetem Ätzen umfassen.Schritt # Prozess Kommentare 1. thermische Oxidation 1000°C, 2000 Å 2. Fotolithographie Maske #1: Substrat_Kontakt a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 3. Oxid ätzen reaktives Ionen-Ätzen (RIE): CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 4. Silizium Einkristall (SCS) ätzen RIE: HBr, Cl2, Ätzratenziel: 5000 Å/Minute 5. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 6. Photolack abziehen Hot PRS2000, 20 Minuten Spülen, DI Wasser, 5 Minuten Spin-Trocknen 7. Fotolithographie Maske #2: SCS_Vertiefung a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 8. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 9. SCS ätzen RIE: HBr, Cl2, Ätzratenziel: 5000 Å/Minute 10. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziei: 2500 Å/Minute 11. Photolack abziehen Hot PRS2000, 20 Minuten Spülen, DI Wasser, 5 Minuten Spin-Trocknen 12. Polysilizium Abscheidung LPCVD, 3 μm 13. Polysilizium Ätzen RIE: HBr, Cl2, Ätzratenziel: 5000 Å/Minute 14. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 15. Fotolithographie Maske #3: SCS_Gitter a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 16. SCS ätzen RIE: HBr, Cl2, Ätzratenziel: 5000 Å/Minute 17. Photolack abziehen Hot PRS2000, 20 Minuten Spülen, DI Wasser, 5 Minuten Spin-Trocknen 18. Fotolithographie Maske #4: SCS_Loch a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 19. SCS ätzen RIE: HBr, Cl2, Ätzratenziel: 5000 Å/Minute 20. Photolack abziehen Hot PRS2000, 20 Minuten Spülen, DI Wasser, 5 Minuten Spin-Trocknen 21. TEOS Abscheidung LPCVD, 8 μm 22. Verdichten 800°C, 1 Stunde 23. CMP (chemisch-mechanisches Polieren) bis 2 ± 0,2 μm stehenbleibt 24. Fotolithographie Maske #5: Anker SCS a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 25. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 26. Photolack abziehen Hot PRS2000, 20 Minuten Spülen, DI Wasser, 5 Minuten Spin-Trocknen 27. Nitridabscheidung LPCVD, 6000 Å 28. Fotolithographie Maske #6: Nitrid_Strukt a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 29. Nitrid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 30. Photolack abziehen Hot PRS2000, 20 Minuten Spülen, DI Wasser, 5 Minuten Spin-Trocknen 31. Polysiliziumglas abscheiden LPCVD, 5000 Å 32. Fotolithographie Maske #7: Poly0_Strukt a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 33. Abziehen des Rückseiten-Polysiliziums RIE: SF6, O2 34. Polysilizium ätzen RIE: HBr, Cl2, Ätzratenziel: 5000 Å/Minute 35. Photolack abziehen Hot PRS2000, 20 Minuten Spülen, DI Wasser, 5 Minuten Spin-Trocknen 36. Polysiliziumglas (PSG) abscheiden PECVD, 2 μm 37. Fotolithographie Maske #8: Poly1_Vertiefung a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 38. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 39. Photolack abziehen Hot PRS2000, 20 Minuten Spülen, DI Wasser, 5 Minuten Spin-Trocknen 40. Fotolithographie Maske #9: PSG1_Loch a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 41. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 42. Photolack abziehen Hot PRS2000, 20 Minuten Spülen, DI Wasser, 5 Minuten Spin-Trocknen 43. Polysiliziumglas abscheiden LPCVD, 2 μm 44. PSG abscheiden PECVD, 2000 A 45. Tempern (annealen) 1000°C, 1 Stunde 46. Abziehen des Rückseiten-Polysiliziums RIE: SF6, O2 47. Fotolithographie Maske #10: Poly1_Strukt a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 48. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 49. Polysilizium ätzen RIE: HBr, Cl2, Ätzratenziel: 5000 Å/Minute 50. Photolack abziehen Hot PRS2000, 20 Minuten Spülen, DI Wasser, 5 Minuten Spin-Trocknen 51. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 52. Oxid abscheiden PECVD, 7500 Å 53. Fotolithographie Maske #11: PSG2_Loch a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 54. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 55. Photolack abziehen Hot PRS2000, 20 Minuten Spülen, DI Wasser, 5 Minuten Spin-Trocknen 56. Fotolithographie Maske #12: PSG2_PSG2_Loch a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 57. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 58. Photolack abziehen Hot PRS2000, 20 Minuten Spülen, DI Wasser, 5 Minuten Spin-Trocknen 59. Polysiliziumglas abscheiden LPCVD, 1,5 μm 60. Oxid abscheiden PECVD, 2000 Å 61. Tempern (annealen) 1000°C, 1 Stunde 62. Fotolithographie Maske #13: Poly2_Strukt a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 63. Abziehen des Rückseiten-Polysiliziums RIE: SF6, O2 64. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 65. Polysilizium ätzen RIE: HBr, Cl2, Ätzratenziel: 5000 Å/Minute 66. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 67. Photolack abziehen Hot PRS2000, 20 Minuten Spülen, DI Wasser, 5 Minuten Spin-Trocknen 68. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 69. Fotolithographie Maske #14: SCS_Freilegen a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 70. Oxid ätzen HF 71. Fotolithographie Maske #15: Dick_Metall a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 72. Metall aufdampfen Cr/Au: 300 Å/5000 Å 73. Lift off Hot 1112A 74. Fotolithographie Maske #16: Dünn_Metall a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 75. Metall aufdampfen Cr/Au: 200 Å/300 Å 76. Lift off Hot 1112A 77. Fotolithographie Maske #17: Rückseite a) Ausheizen bei 110°C, 15 Minuten b) HMDS, 5.OK, 30 Sekunden c) AZ1813, 4.OK, 30 Sekunden, 1.3 μm d) sanft Ausheizen bei 90°C, 30 Minuten e) Belichten, 5.0 mW/cm2, 12 Sekunden f) Entwickeln MF 319, 1.1 Minuten g) Spülen, DI Wasser, 4 Minuten h) Spin-Trocknen i) intensiv Ausheizen bei 110°C, 30 Minuten 78. Nitrid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 79. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 80. Vorderseite schützen Spin-On Beschichten (proprietär) 81. Photolack (Rückseite) abziehen Hot PRS2000, 20 Minuten Spülen, DI Wasser, 5 Minuten Spin-Trocknen 82. KOH ätzen 45%, 65–85°C 83. Nitrid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute 84. Oxid ätzen RIE: CF4, Ätzratenziel: 2500 Å/Minute -
3 veranschaulicht den Wafer nach Abschluss von Schritt6 . Substratkontaktlöcher22 mit ungefähr 4 Mikrometer Breite werden auf die SCS-Schicht12 des Wafers strukturiert. Reaktives Ionenätzen (RIE) des thermischen Oxids20 wird durchgeführt, und die SCS-Schicht12 wird durch das vergrabene Oxid16 geätzt, ebenso unter Verwendung des reaktiven Ionenätzens. Der Fotolack, der verwendet wurde, um die Löcher22 zu strukturieren, wird zurückgelassen, um den Rest des Oxids20 zu schützen, und eine RIE-Ätze des freigelegten vergrabenen Oxids16 um 1 Mikrometer nach unten wird durchgeführt. Dadurch wird die BOX-Schicht16 weggeätzt und hinterlässt die Substratschicht14 am Boden der Kontaktlöcher22 freigelegt. -
4 veranschaulicht den Zustand des Wafers nach Abschluss des Schrittes14 . SCS-Vertiefungslöcher24 mit 4 Mikrometer Breite werden auf der SCS-Schicht12 strukturiert und eine RIE-Ätze des thermischen Oxids20 wird durchgeführt, gefolgt von einer RIE-Ätze der SCS-Schicht12 durch die BOX-Schicht16 . Der Fotolack wird zurückgelassen, um den Rest des thermischen Oxids20 zu schützen und eine RIE-Ätze der freigelegten BOX-Schicht16 wird durchgeführt, bis ungefähr die Hälfte der Dicke der BOX-Schicht weggeätzt ist. Der Fotolack wird entfernt Polysilizium26 wird abgeschieden, um die Vertiefung24 und die Substrat-Kontaktlöcher22 zu füllen. In dieser Ausführungsform sollten 2,5 Mikrometer Polysilizium ausreichen, da die Vertiefungen24 und die Substratlöcher22 4 Mikrometer breit sind. Das Polysilizium26 wird mit RIE unter Verwendung des thermischen Oxids20 als Ätzstopp geätzt. Dies entfernt das Polysilizium26 überall, außer in der Vertiefung und den Substrat-Kontaktlöchern wo die Dicke des Polysiliziums geringer ist als auf dem Rest des Wafers, abhängig von dem Betrag des Polysilizium-Überätzens. -
5 veranschaulicht den Zustand des Wafers nach Abschluss des Schrittes17 . Ein Muster in Form eines Gitters28 wird zuerst auf der SCS-Schicht12 angelegt. Das Gitter28 muss in dieser frühen Verarbeitungsstufe an den Wafer angelegt werden. Optimale Fokussierung der angelegten Maske ist notwendig, da der Linienabstand des Gitters in derselben Größenordnung liegt wie die Wellenlänge des Lichts, was bedeutet, dass die Auflösung so gut wie möglich sein muss. Um einen optimalen Fokus sicherzustellen, muss das Gitter28 an dem Wafer angelegt werden, wenn es noch wenig oder keine Topographie gibt, die bereits ausgebildet ist. Dies stellt sicher, dass es keine Probleme gibt mit der Tiefe des Fokusses, der die Qualität des sich ergebenden Gitters beeinflussen würde. Zusätzlich stellt das Anlegen des Gitters, während es minimale Topografie auf dem Wafer gibt, sicher, dass es keine nachteiligen Effekte von Schatten gibt, die von vorhandenen topografischen Merkmalen geworfen werden. Ist das Gitter28 einmal auf dem Wafer strukturiert, wird eine schnelle RIE-Oxidätze durchgeführt, um das thermische Oxid20 zu entfernen, gefolgt von einer 3 Mikrometer RIE-Ätze der SCS-Schicht12 . Der Fotolack, der verwendet wird, um das Gitter28 anzulegen, wird dann entfernt. - Verschiedene Typen von Gitter
28 können auf der SCS-Schicht12 angelegt werden; der exakte Gittertyp hängt von der Anwendung der besonderen mikromechanischen oder mikrooptomechanischen Vorrichtung ab. Beispiele für Gitter schließen ein Fresnel-Muster, das für reflektive optische Anwendungen nützlich ist, ein einheitliches Quadratgitter, das für Lichtfrequenzauftrennung in Anwendungen, wie z.B. einem Spektrumanalysator nützlich ist, und ein Gitter mit variablem Abstand ein, wobei Liniensätze in dem Gitter in variablen Schrittweiten beabstandet sind, um eine bessere spektrale Abdeckung von bestimmten Wellenlängen zu erreichen und um die optische Leistung zu verbessern. Unterschiedliche Gitter können auch verwendet werden für andere optische Zwecke, wie z.B. einem Kristalloszillator, der die Resonanz, basierend auf Oberflächeneffekten, ändert, oder für nicht-optische Zwecke, wie z.B. chemische oder biologische Sensoren, wobei das Gitter den verfügbaren Oberflächenbereich für chemische oder biologische Bindungen erhöht. -
6 veranschaulicht den Wafer nach Abschluss des Schrittes23 . Die SCS-Schicht12 wird mit voll-tiefen Merkmalen30 strukturiert, und eine schnelle RIE-Ätze wird durchgeführt, um das thermische Oxid20 zu entfernen. Eine Chlor-basierende RIE-Ätze wird auf dem Weg durch die SCS-Schicht12 durchgeführt unter Verwendung der BOX-Schicht16 als ein Ätzstopp. 0,2 Mikrometer eines nicht-dotierten, chemischen Niederdruck-Dampfabscheidungsoxids (LPCVD) (nicht gezeigt) werden abgeschieden, um die Seitenwände der voll-tiefen Merkmale30 zu schützen. Sechs (6) Mikrometer Planarisierungsoxid (POX)32 werden abgeschieden, so dass der Wafer nach späterem chemischem, mechanischem Polieren (CMP, chemical mechanical polishing) flach ist; das Planarisierungsoxid32 ist vorzugsweise Borpolysilikatglas (BPSG) oder thermisch gestütztes Oxid (TEOS, thermally enhanced oxide). Eine zeitlich festgelegte chemisch-mechanische Politur des POX32 wird durchgeführt, bis 2 ± 0,2 Mikrometer des Planarisierungsoxids32 auf der SCS-Schicht12 übrig bleiben. -
7 veranschaulicht den Wafer nach Abschluss des Schrittes27 . Ein Paar Löcher34 werden in die POX-Schicht32 strukturiert und eine RIE-Ätze wird durchgeführt, um das Muster in das POX32 und nach unten auf die SCS-Schicht zu übertragen. Der Fotolack wird entfernt und eine Nitridschicht36 mit einer Dicke von 0,6 Mikrometer wird über LPCVD abgeschieden. Eine zweite Nitridschicht38 wird auch auf der Rückseite des Wafers für eine Extraselektivität während einer späteren Kaliumhydroxid-(KOH)-Ätze abgeschieden. -
8 veranschaulicht den Wafer nach Abschluss des Schrittes31 . Der Lack auf dem Vorderseitenmuster wird mit Nitridstrukturen strukturiert und das Muster wird auf die Vorderseiten-Nitridschicht36 unter Verwendung einer RIE-Ätze übertragen. Eine Schicht mit LPCVD-Polysilizium40 wird auf der Vorderseite abgeschieden und eine ähnliche Schicht42 wird auf der Rückseite des Wafers aufgetragen; beide Schichten besitzen eine Dicke von 0,5 μm. -
9 veranschaulicht den Wafer nach Abschluss des Schrittes36 . Die Vorderseite des Wafers wird mit Polysiliziumstrukturen44 strukturiert und dann RIE geätzt, um das Muster auf die Polysiliziumschicht40 zu übertragen. Der Fotolack wird beibehalten, der Wafer umgedreht und eine andere Schicht Polysilizium (nicht gezeigt) wird auf der Rückseite abgeschieden und RIE geätzt. Der Wafer wird wieder umgedreht und der Vordersei tenlack wird entfernt, der als eine Schutzschicht für die Vorderseite diente, als er umgedreht war. Eine Schicht PECVD-Polysiliziumglas (PSG)46 wird auf die Vorderseite des Wafers hinzugefügt und auf 2 Mikrometer verdichtet. -
10 veranschaulicht den Wafer nach Schritt46 . Löcher48 werden in die PSG-Schicht46 strukturiert und eine RIE-Ätze wird durchgeführt, um das Muster auf die PSG-Schicht zu übertragen unter Verwendung der Polysiliziumschicht40 als ein Ätzstopp. Der Fotolack wird entfernt und eine Vorderseitenschicht50 und eine Rückseitenschicht52 von LPCVD-Polysilizium mit 2 Mikrometer Dicke werden abgeschieden, gefolgt von einer Abscheidung von 0,2 Mikrometer von PECVD-Polysiliziumglas (PSG) (nicht gezeigt), und der Wafer wird bei 1000°C für eine Stunde temperaturbehandelt, um die Polysiliziumschichten50 und52 zu dotieren und den Stress zu reduzieren. -
11 veranschaulicht den Wafer nach Abschluss des Schrittes52 . Die PSG-Schicht46 wird mit Polysiliziumstrukturen56 strukturiert und eine RIE-Ätze wird durchgeführt, um das Muster auf eine PSG-Hartmaske zu übertragen, gefolgt von einer RIE-Ätze, um das Muster auf die Polysiliziumschicht50 zu übertragen. Der Lack wird beibehalten und der Wafer wird umgedreht und RIE geätzt, um das Rückseiten-Polysilizium52 zu entfernen unter Verwendung des Vorderseitenlacks und der Hartmaske, um die Vorderseite zu schützen. Danach wird der Wafer wieder umgedreht, der Fotolack entfernt, und die Hartmaske wird mit einer RIE-Ätze entfernt, was alles freiliegendes Oxid um ungefähr 0,3 Mikrometer verdünnt. Eine Schicht aus PECVD-Polysiliziumglas (PSG2)54 wird abgeschieden und auf 0,75 Mikrometer verdichtet. -
12 veranschaulicht den Wafer nach Abschluss des Schrittes55 . Löcher58 werden in die PSG2-Schicht54 strukturiert und eine RIE-Ätze wird durchgeführt, um das Muster auf das PSG zu übertragen unter Verwendung der Polysiliziumschicht als Ätzstopp. Der Fotolack wird dann entfernt. -
13 veranschaulicht den Wafer nach Abschluss des Schrittes68 . Die thermische Oxidschicht20 wird mit Polysiliziumstrukturen strukturiert und eine RIE-Ätze wird durchgeführt, um das Muster auf die PSG-Hartmaske zu übertragen. Eine RIE-Ätze wird durchgeführt, um das Muster auf das Polysilizium54 zu übertragen. Der Wafer wird umgedreht und eine RIE-Ätze wird durchgeführt, um das Rückseiten-Polysilizium zu entfernen unter Verwendung des Vorderseitenlacks und der Hartmaske, um die Vorderseite zu schützen. Der Lack wird entfernt und die Hartmaske wird mit einer RIE-Ätze entfernt. -
14 veranschaulicht den Wafer nach Abschluss des Schrittes70 . Bereiche auf der Vorderseite, wo das POX32 entfernt werden sollte, werden strukturiert. Diese Schicht sollte nur in Bereichen verwendet werden, wo kein Polysilizium oder Metall vorhanden ist, da diese als Ätzstopps für die darauffolgenden Ätzvorgänge wirken würden. Ein Nassätzschritt wird durchgeführt, um die thermische Oxidschicht20 zu entfernen, wodurch ausgewählte Bereiche der SCS-Schicht12 freigelegt werden. Die Designer müssen vorsichtig sein, dass die nebenan liegenden Strukturen nicht durch die Flusssäure (HF)-Ätze beschädigt werden. Polysiliziumschichten, die vorher auf der SCS-Schicht zugefügt wurden, können weggeätzt werden, ohne dass etwas von der SCS-Schicht geätzt wird, da die SCS-Schicht12 selbst einen Ätzstopp erzeugt. - Das Freilegen von ausgewählten Bereichen der SCS-Schicht an diesem Punkt in dem Verfahren erlaubt es, dass mechanische, elektrische und optische Strukturen direkt auf den ausgewählten Bereichen aufgebaut werden, nachdem andere wichtige strukturelle (d.h. nicht zu opfernde) Merkmale auf der SCS ausgebildet wurden. Diese mechanischen, elektrischen und optischen Strukturen sind so besser in der Lage, die Vorteile der nützlichen Eigenschaften der SCS-Schicht zu nutzen. In der gezeigten Ausführungsform wird eine Metallschicht
60 direkt auf das Gitter28 , das vorher in die SCS-Schicht12 (siehe15 ) geätzt wurde, aufgetragen. Das Auftragen der Metallschicht60 wandelt das Gitter28 in ein reflektierendes Gitter um. Ähnlich können Metallelemente auf die SCS-Schicht aufgetragen werden, um elektrischen Strom zu leiten, isolierende Elemente können auf das SCS unter Verwendung von Nitrid- oder Oxidschichten aufgebaut werden, oder es können Elemente auf die SCS-Schicht aufgebaut werden, die sowohl leitende als auch isolierende Teile umfassen. -
15 veranschaulicht den Wafer beim Abschluss des Schrittes76 . Ein Fotolack wird für eine Lift-Off-Metallisierung strukturiert und 0,5 Mikrometer des Metalls60 werden auf dem Gitter28 auf der Vorderseite der SCS-Schicht12 abgeschieden. Der Lack wird abgehoben und entfernt dabei das Metall in diesen Bereichen. Ein Muster wird aufgetragen mit Bereichen, wo Metall entfernt werden soll und 200 Å Chrom (Cr) werden auf der Vorderseite des Gitters28 abgeschieden, gefolgt von 300 Å Gold (Au). In diesem Fall erhöht das Gold die Reflektivität des Gitters und aufgrund dessen, wie es aufgetragen wurde, glättet es auch die Ränder des Gitters. Andere Metalle mit der erforderlichen Reflektivität können auch auf dem Gitter28 verwendet werden; Beispiele schließen Aluminium (Al) und Platin (Pt) ein. Der Lack und der Metallbeschichtungslack werden dann entfernt. -
16 veranschaulicht den Wafer nach Abschluss des Schrittes84 . Die Rückseiten-Nitrid/Oxidschicht38 wird mit Löchern strukturiert, die so in der Größe ausgelegt sind, dass KOH in der gewünschten Tiefe ätzt. Die Unbestimmtheit der Waferdicke beeinflusst die Größe der Löcher, die auf der anderen Seite des Wafers entstehen. Das Muster wird auf die Nitridschicht38 mit einer RIE-Ätze übertragen und dasselbe Muster wird auch auf die Oxidschicht18 mit einer RIE-Ätze übertragen. Eine KOH-Ätze durch den Wafer hindurch wird durchgeführt, während die Vorderseite mit einer abgeschiedenen Schicht geschützt wird. Wenn eine Beschichtung verwendet wird, sollte sie für den nächsten Schritt zurückbleiben, die das Entfernen des Rückseitennitrid-Oxids unter Verwendung einer Nitrid-RIE-Ätze und dann einer Oxid-RIE-Ätze beinhaltet, die das freigelegte, vergrabene SCS ablöst. Die Schutzschicht, die möglicherweise von dem letzten Schritt vorhanden ist, wird die Vorderseite schützen. Rückseitenätzen des Wafers10 ist in diesem Verfahren möglich, wegen der Verwendung von verschiedenen Materialien für die Substratschicht14 (die aus Polysilizium gemacht ist) und der Geräteschicht12 (die aus Silizium-Einkristall gemacht ist). Dies ermöglicht es, dass das Substrat weggeätzt wird, ohne dass die Rückseite der Geräteschicht weggeätzt wird, und erlaubt es, dass beide Seiten der Geräteschicht verwendet werden, um verschiedene mechanische und optische Komponenten herzustellen, wie z. B. der gezeigte zweiseitige Spiegel. - Um das zweiseitige Gitter
204 herzustellen, wird eine Deckschicht aus 0,1 Mikrometer Metall62 auf der Rückseite des Wafers abgeschieden, um die Rückseite des Spiegels zu metallisieren. Das Metall wird auf die Rückseite des Wafers gesputtert; geeignete Metalle für die Metallisierung der Rückseite schließen all die Metalle ein, die für die Vorderseitenschicht60 verwendet wurden. Wenn die Komponente, deren Rückseite metallisiert werden soll, Löcher hat, die durch die Geräteschicht hindurchgehen, muss das Rückseitenmetall sorgfältiger abgeschieden werden, um sicherzustellen, dass das Metall nicht durch die Löcher fließt und die Qualität der vorderen Oberfläche des Gerätes ruiniert. Dies ist bei optischen Komponenten besonders wichtig, wo die Vorderseitenfläche eine nahezu perfekte optische Qualität aufweisen muss und wo kein Durchfluss von der Rückseite zur Vorderseite toleriert werden kann. Ein effektiver Weg, dieses Problem des Metallflusses durch die Vorderseitenfläche anzusprechen, ist es, den Wafer zu kippen, während das Metall auf die Rückseite gesputtert wird; dies verhindert den Durchfluss des Metalls. Alle freigelegten Löcher in der SCS-Schicht12 müssen klein gehalten werden (ungefähr 2 Mikrometer) um zu vermeiden, dass gesputtertes Metall den ganzen Weg durch den Wafer wandert. Dieselbe Technik kann verwendet werden, wenn Metall auf die Vorderseite des Wafers gesputtert wird, wenn eine zweiseitige optische Komponente benötigt wird. - Die Metallisierung der Rückseite einer Komponente, wie z.B. das Gitter
204 , hat verschiedene Vorteile. Unter anderem hilft die Rückseitenmetallisierung beim Ablösen der Komponente, wenn sie fertig ist. Wenn sie auf einem einseitigen optischen Gerät, wie z.B. einem Spiegel, verwendet wird, reduziert die Rückseitenmetallisierung die Transmission von Licht durch den Spiegel. Die Rückseitenmetallisierung hilft auch sicherzustellen, dass der ganze Reststress in dem Spiegel ausgeglichen wird, so dass das Gitter204 nicht gestört wird. Schließlich erlaubt die Rückseitenmetallisierung die Fertigung von zweiseitigen optischen Komponenten. - Die
17 und18 veranschaulichen den Wafer nach Abschluss des Verfahrens, nachdem das Gitter204 , das in den Wafer eingebaut wurde, herausgelöst wurde. Das Herauslösen kann durch irgendeines von verschiedenen Verfahren, einschließlich Standard-MUMPS-Verfahren durchgeführt werden, das einschließt (1) Abstreifen des Fotolacks durch Tränken in Aceton für 20 bis 30 Minuten unter sanfter Bewegung, (2) Ätzen in 49 % reiner HF für 2 1/2 bis 3 Minuten und Spülen in deionisiertem Wasser für 10 Minuten, oder (3) Spülen in IPA für 5 Minuten und Ausheizen des Chips bei 100 bis 110°C für 10 bis 15 Minuten. - Da die Herstellungstechnologie, die verwendet wird, um mikrooptoelektromechanische (MOEMS) Komponenten herzustellen, zu Herstellungshindernissen in den Dünnfilmeigenschaften führen kann, die mit dem Verfahren zusammenhängen, schließt die vorliegende Erfindung einen Herstellungsprozess für mikrooptoelektromechanische Systeme ein, der es ermöglicht, Hindernisse in der optomechanischen Eigenschaften der Dünnfilmstrukturen zu überwinden. Die Schlüsselneuerung, diese Dünnfilmeigenschaften zu überwinden, ist, Silizium auf Isolator-(SOI)-Wafer als Startsubstrat in einem Oberflächen-Mikrobearbeitungsverfahren (siehe
1 ) zu verwenden. SOI ist eine gattungsmäßige Bezeichnung, die sich auf eine Struktur bezieht, in der eine Siliziumschicht durch ein dielektrisches Material unterstützt ist. In dieser Ausführungsform weist eine Siliziumgeräteschicht, die auf einem konventionellen Siliziumträgerwafer gebondet ist, eine SiO2-Dünnfilmschicht an seiner Schnittstelle auf. Dies erlaubt es, kritische optische und elektronische Komponenten in einer Silizium-Einkristall-Geräteschicht herzustellen, die von dem Trägerwafer durch Ätzen des Oxids an der Schnittstelle zwischen der Geräteschicht und dem Substrat abgelöst werden kann. - Die Oxidschicht an der Schnittstelle kann auch verwendet werden als Rückseitenätz stoppschicht zum Ablösen optischer Komponenten, wie z. B. einem Spiegel, der keine Ätzlöcher enthalten darf. Die Geräteschicht hat eine benutzerspezifische Dicke, die geeignet ist für eine gegebene Anwendung und hat ausgezeichnete und reproduzierbare elektrische und Dünnfilmeigenschaften. Sowohl die Rückseite als auch die Vorderseite der Geräteschicht wird poliert und solche optische Elemente, die in dieser Schicht hergestellt wurden, erfordern keine zusätzlichen Nachbearbeitungstechniken durch chemisch-mechanisches Polieren (CMP), um einen Oberflächenzustand in optischer Qualität zu erreichen. Da die Geräteschicht Silizium-Einkristall ist, weist sie keinen intrinsischen Stress oder Stressgradienten bei Abwesenheit von Dünnfilmbeschichtungen auf. Da sie dicker gemacht werden können als konventionelle, mit chemischer Dampfabscheidung (CVD) abgeschiedene Dünnfilme, haben optische Komponenten, die in dieser Schicht hergestellt wurden, minimale Störungen, nachdem Dünnfilme abgeschieden wurden, wie z.B. Aluminium, um die Oberflächenreflektivität zu erhöhen, oder dielektrische Dünnfilme, um die Oberflächenreflektivität zu vermindern. Die zusätzliche Dicke ist auch wichtig, Störungen für dynamisch angetriebene optische Elemente zu minimieren.
Claims (9)
- Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen oder mikrooptomechanischen Struktur (
200 ), die folgende Schritte umfasst: Strukturieren und Ätzen einer Struktur an einer Stirnfläche einer Einkristallsiliziumschicht (12 ), die durch eine Isolierschicht (16 ) von einer Substratschicht (14 ) getrennt ist, worin die Struktur (28 ) Merkmale mit Abmessungen in der Größenordnung der Wellenlänge von Licht einschließt, und worin die Strukturen (28 ) gebildet werden, bevor irgend eine andere Struktur auf der Einkristallsiliziumschicht (12 ) gebildet wird; Strukturieren und Ätzen von mindestens einer Komponente (204 ) der mikromechanischen oder mikrooptomechanischen Struktur in der Einkristallsiliziumschicht (12 ); Abscheiden und Ätzen einer Polysiliziumschicht (40 ) über der Einkristallsiliziumschicht (12 ), wobei das Polysilizium beibehalten wird, das mechanische oder optische Elemente der Struktur bildet; und Lösen der gebildeten Struktur. - Verfahren nach Anspruch 1, worin die Strukturierung und das Ätzen einer Struktur (
28 ) auf einer Stirnfläche der Einkristallsiliziumschicht folgendes umfasst: photolithographisches Definieren der Struktur auf einer Stirnfläche der Einkristallsiliziumschicht (12 ); und Bedecken der Struktur mit einer schützenden Oxidschicht (32 ). - Verfahren nach Anspruch 2, das weite hin die Entfernung der Schutzschicht (
32 ) des Oxids umfasst, nachdem die mechanischen oder optischen Elemente aus Polysilizium ausgebildet wunden. - Verfahren nach Anspruch 1, worin die Struktur (
28 ) ein optisches Gitter ist - Verfahren nach Anspruch 4, worin das optische Gitter aus der Gruppe bestehend aus einem optischen Fresnel-Gitter, einem regelmäßigen optischen Gitter und einem proportional beabstandeten optischen Gitter ausgewählt wird.
- Verfahren nach Anspruch 4, das weiterhin das Aufbringen einer Beschichtung auf die Struktur (
60 ) umfasst. - Verfahren nach Anspruch 6, worin die Beschichtung (
60 ) ein Metall ist, das aus der Gruppe bestehend aus Gold, Aluminium, Chrom und Platin ausgewählt wird. - Verfahren nach Anspruch 1, worin das Ätzen des Einkristallsiliziums (
12 ) weiterhin den Schritt des photolithographischen Strukturierens und Trockenätzens der Einkristallsiliziumschicht umfasst. - Verfahren nach Anspruch 1, worin die Isolierschicht (
16 ) eine Oxidschicht ist.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/724,506 US6479311B1 (en) | 2000-11-27 | 2000-11-27 | Process for manufacturing micromechanical and microoptomechanical structures with pre-applied patterning |
US724506 | 2000-11-27 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE60128440D1 DE60128440D1 (de) | 2007-06-28 |
DE60128440T2 true DE60128440T2 (de) | 2008-01-24 |
Family
ID=24910687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE60128440T Expired - Lifetime DE60128440T2 (de) | 2000-11-27 | 2001-11-27 | Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen und mikrooptomechanischen Strukturen mit einem aufgebrachten Muster |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6479311B1 (de) |
EP (1) | EP1213260B1 (de) |
JP (1) | JP3986047B2 (de) |
DE (1) | DE60128440T2 (de) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6506620B1 (en) * | 2000-11-27 | 2003-01-14 | Microscan Systems Incorporated | Process for manufacturing micromechanical and microoptomechanical structures with backside metalization |
US20040240034A1 (en) * | 2001-11-30 | 2004-12-02 | Scharf Bruce R. | Diffraction compensation using a patterned reflector |
US6755982B2 (en) * | 2002-01-07 | 2004-06-29 | Xerox Corporation | Self-aligned micro hinges |
US7067355B2 (en) * | 2004-05-26 | 2006-06-27 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Package having bond-sealed underbump |
US20090088618A1 (en) | 2007-10-01 | 2009-04-02 | Arneson Michael R | System and Method for Manufacturing a Swallowable Sensor Device |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6149190A (en) | 1993-05-26 | 2000-11-21 | Kionix, Inc. | Micromechanical accelerometer for automotive applications |
DE4318466B4 (de) | 1993-06-03 | 2004-12-09 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Sensors |
US5476819A (en) | 1993-07-26 | 1995-12-19 | Litton Systems, Inc. | Substrate anchor for undercut silicon on insulator microstructures |
US5589083A (en) | 1993-12-11 | 1996-12-31 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Method of manufacturing microstructure by the anisotropic etching and bonding of substrates |
US5660680A (en) | 1994-03-07 | 1997-08-26 | The Regents Of The University Of California | Method for fabrication of high vertical aspect ratio thin film structures |
US5645684A (en) | 1994-03-07 | 1997-07-08 | The Regents Of The University Of California | Multilayer high vertical aspect ratio thin film structures |
US5484073A (en) | 1994-03-28 | 1996-01-16 | I/O Sensors, Inc. | Method for fabricating suspension members for micromachined sensors |
US5569355A (en) | 1995-01-11 | 1996-10-29 | Center For Advanced Fiberoptic Applications | Method for fabrication of microchannel electron multipliers |
US6084257A (en) | 1995-05-24 | 2000-07-04 | Lucas Novasensor | Single crystal silicon sensor with high aspect ratio and curvilinear structures |
SE9502258D0 (sv) | 1995-06-21 | 1995-06-21 | Pharmacia Biotech Ab | Method for the manufacture of a membrane-containing microstructure |
DE19603829A1 (de) | 1996-02-02 | 1997-08-07 | Daimler Benz Ag | Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen Strukturen aus Silizium |
US6074890A (en) * | 1998-01-08 | 2000-06-13 | Rockwell Science Center, Llc | Method of fabricating suspended single crystal silicon micro electro mechanical system (MEMS) devices |
US5853960A (en) | 1998-03-18 | 1998-12-29 | Trw Inc. | Method for producing a micro optical semiconductor lens |
US6117344A (en) | 1998-03-20 | 2000-09-12 | Borealis Technical Limited | Method for manufacturing low work function surfaces |
US6014240A (en) | 1998-12-01 | 2000-01-11 | Xerox Corporation | Method and apparatus for an integrated laser beam scanner using a carrier substrate |
US6002507A (en) * | 1998-12-01 | 1999-12-14 | Xerox Corpoation | Method and apparatus for an integrated laser beam scanner |
US6238581B1 (en) | 1998-12-18 | 2001-05-29 | Eastman Kodak Company | Process for manufacturing an electro-mechanical grating device |
-
2000
- 2000-11-27 US US09/724,506 patent/US6479311B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-11-27 JP JP2001360360A patent/JP3986047B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-11-27 EP EP01128169A patent/EP1213260B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-11-27 DE DE60128440T patent/DE60128440T2/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6479311B1 (en) | 2002-11-12 |
EP1213260B1 (de) | 2007-05-16 |
EP1213260A3 (de) | 2004-06-16 |
EP1213260A2 (de) | 2002-06-12 |
JP3986047B2 (ja) | 2007-10-03 |
DE60128440D1 (de) | 2007-06-28 |
JP2002283296A (ja) | 2002-10-03 |
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Date | Code | Title | Description |
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8364 | No opposition during term of opposition |