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Hintergrund
der Erfindung
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Gebiet der
Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Radialmagnetlager nach
dem Oberbegriff des Anspruches 1. Ein solches Magnetlager ist aus
EP 0 939 480 A bekannt.
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Beschreibung
der verwandten Technik
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Magnetlager,
die anders als Lager mit Kontakt sind, wie Gleitlager oder Kugellager,
tragen einen Rotor berührungsfrei,
wodurch Vorteile geboten werden, wie beispielsweise: 1) der mechanische
Verlust ist niedrig; 2) Reibung und Abnutzung sind nicht vorhanden;
3) Schmieröl
ist nicht erforderlich; 4) geringe Schwingungen und Geräusche treten
auf; und 5) sie sind instandhaltungsfrei. Einige Beispiele der Anwendung
von Magnetlagern mit solchen Merkmalen weisen Turbomolekularpumpen
auf, die verwendet werden, um eine Vakuumumgebung zu erzeugen, die wenig
Verunreinigungen enthält,
und Spindeln für Hochgeschwindigkeitsbearbeitungswerkzeuge.
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Wenn
das Magnetlager in einer Umgebung zu verwenden ist, die extrem gegen
Verunreinigungen abgeneigt ist oder in einer korrosiven Umgebung,
tauchen Probleme durch die Emission von gasförmigen Substanzen aus Materialien
des Magnetlagers auf, wie beispielsweise Magnetbänder, Kupferspulen und organische
Materialien und beispielsweise aus der Korrosion von diesen Materialien.
Aus diesem Grund wird eine Schutzbeschichtung auf das Magnetlager
aufgebracht, um die Materialien vor der korrosiven Umgebung zu schützen. Ein
Beispiel der Anwendung von Magnetlagern, um frei drehbar die sich
drehende Welle eines Zirkulationsgebläses schweben zu lassen, ist
eine Excimer-Laservorrichtung.
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6 zeigt
eine Querschnittsansicht einer herkömmlichen Excimer-Laservorrichtung
und 7 ist eine vergrößerte Ansicht eines Schnittes
der 6. Bei der herkömmlichen Excimer-Laservorrichtung,
wie in 6 gezeigt, ist ein Laserbehälter 10, welcher ein
Lasergas abdichtet bzw. umschließt, wie beispielsweise ein
Gas der Halogen-Gruppe, mit Folgendem versehen: einer (nicht gezeigten)
Vorionisierungselektrode zur Vorionisierung des Lasergases; und
mindestens ein Paar von Hauptentladungselektroden 12, 12 um
eine elektrische Entladung zu erhalten, um die Oszillation von Laserlicht
zu ermöglichen. Weiterhin
ist innerhalb des Laserbehälters 10 ein
Zirkulationsgebläse 14 vorgesehen,
um einen Fluss des Lasergases mit hoher Geschwindigkeit zwischen
den Hauptentladungselektroden 12, 12 zu erzeugen.
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Das
Zirkulationsgebläse 14 hat
eine sich drehende Welle 16, die durch den Laserbehälter 10 läuft und
sich zwischen beiden Endabschnitten des Laserbehälters 10 erstreckt.
Die sich drehende Welle 16 ist frei drehbar von Magnetlagern 20, 22 und
einem Axialmagnetlager 24 berührungsfrei aufgehängt, die
an jedem Endteil des Laserbehälters 10 angeordnet sind.
Es ist auch ein Motor 26 an der axialen Endseite des Radialmagnetlagers 20 an
einem Ende vorgesehen.
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Ein
Verschiebungssensor bzw. Versetzungssensor 20a und ein
Elektromagnet 20b des radialen Magnetlagers 20 an
einem Ende und der Stator 26a des Motors 26 sind
in dem Motorgehäuse 28 aufgenommen
und ihre inneren Flächen
sind durch eine dünnwandige
zylindrische Isolationswand 30 geschützt, die aus einem Material
gemacht ist, welches beständig
gegen Korrosion durch Gase aus der Halogen-Gruppe ist, die in dem
Lasergas enthalten sind, wie beispielsweise austenitische rostfreie
Stähle
wie beispielsweise SUS316L und so weiter. Entsprechend wird verhindert,
dass der Verschiebungssensor 20a, der Elektromagnet 20b und
der Stator 26a des Motors 26 in Kontakt mit dem
Lasergas kommen. Ein Verschiebungs- bzw. Versetzungssensor 22a des Radialmagnetlagers 22 und
der Elektromagnet 22b am gegenüberliegenden Ende sind ähnlich aufgebaut
und sind innerhalb des Lagergehäuses 32 aufgenommen,
und ihre inneren Flächen
werden durch eine Isolationswand 34 geschützt.
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Versatzsensor-Targets
bzw. Versatzsensorziele 20c, 22c und Elektromagnet-Targets 20d, 22d der
Radialmagnetlager 20, 22 und der Rotor 26b des Motors 26 sind
an der sich drehenden Welle 16 befestigt und sind so angeordnet,
dass sie den jeweiligen Versatzsensoren 20a, 22a und
den Elektromagneten 20b, 22b der Radialmagnetlager 20, 22 und dem
Stator 26a des Motors 26 entgegengesetzt sind. Die
Versatzsensor-Targets 20c, 22c und die Elektromagnet-Targets 20d, 22d für die Radialmagnetlager 20, 22 und
der Rotor 26b des Motors 26, der an der sich drehenden
Welle 16 angebracht ist, sind innerhalb des abgedichteten
Behälters
eingebaut, der mit dem Laserbehälter 10 in
Verbindung steht. Daher müssen
sie beständig
gegen Korrosion durch das Lasergas sein und dürfen nicht das Lasergas verunreinigen.
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Daher
werden die Versatzsensor-Targets 20c, 22c und
die Elektromagnet-Targets 20d, 22d im Allgemeinen
hergestellt durch Aufbringen einer Ni-Plattierung auf der Oberfläche einer
laminierten Stahlplatte oder durch Beschichtung der Oberfläche mit
rostfreiem Stahl oder durch Verwendung eines einzigen Stückes aus
ferromagnetischem Material, das beständig gegen Korrosion durch
das Lasergas ist, wie beispielsweise Permalloy (eine Fe-Ni-Legierung, die 35–80% Ni
enthält).
Weil der Rotor 26b des Motors 26 aus einem Verbundstoff
aus einer laminierten Stahlplatte und Aluminiumlegierungen oder
einem Permanentmagneten gemacht ist, haftet die Ni-Plattierung nicht
fest und gleichförmig
auf der Oberfläche,
und aus diesem Grund wird ein Kontakt mit dem Lasergas verhindert
durch Erzeugung eines abgedichteten Raums auf der Oberfläche, erzeugt durch
einen Einbau der Isolationswand 36, die aus rostfreiem
Stahl gemacht ist.
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Bei
den herkömmlichen
Radialmagnetlagern haftet jedoch die Ni-Plattierung nicht eng an
den laminierten Stahlblechen, wenn das Elektromagnet-Target aus
einer Struktur gemacht ist, die durch eine Oberflächenbehandlung,
wie beispielsweise eine Ni-Plattierung, auf den laminierten Stahlblechen erzeugt
wird, so dass eine Möglichkeit
besteht, dass die Plattierung sich abschälen kann, um den laminierten
Stahl einer Korrosion auszusetzen. Wegen der Laminierungsstruktur
ist weiterhin die Oberfläche groß und Gase
können
auf der Oberfläche
gefangen werden, um eine mögliche
Verunreinigung des Lasergases zu bewirken.
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Wenn
eine Struktur aus rostfreiem Stahl gemacht ist, wird auch Plattieren
(cladding) verwendet, weil die Distanz zwischen dem Elektromagneten
und dem Elektromagnet-Target des Radialmagnetlagers um eine Größe vergrößert werden
muss, die gleich der Blechdicke der Isolationswand ist, wobei die
Größe der Elektromagneten
dazu tendiert, zuzunehmen.
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Wenn
eine Struktur aus einem einzigen Stück eines ferromagnetischen
Materials gemacht ist, welches beständig gegen Korrosion ist, welches für das Radialmagnetlager 20 verwendet
wird, wie in 7 gezeigt, wird weiterhin Wirbelstrom
E im Inneren des Elektromagnet-Targets 20d aufgrund von
Variationen der Magnetfelder erzeugt, die durch die Drehung der
sich drehenden Welle 16 eingeleitet werden, und der Magnetfluss
M, der von dem Elektromagneten 20b erzeugt wird, wird durch
den Wirbelstrom E in dem Elektromagnet-Target 20d reduziert, so dass
die Magnetstärke
verringert wird. Insbesondere nimmt der Wirbelstrom E proportional
zum Quadrat der Geschwindigkeit der Magnetfeldveränderung
zu, so dass wenn die Drehzahl der sich drehenden Welle 16 ansteigt,
ein Abfall der Magnetstärke merklich
wird. Das gleiche Phänomen
tritt an dem Radialmagnetlager 22 am gegenüberliegenden
Ende auf.
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Zusammenfassung
der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung wird in Hinblick auf den oben dargestellten
Hintergrund ausgeführt, und
es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Magnetlager vorzusehen,
welches keine Gasverunreinigung erzeugt und eine gute Korrosionsbeständigkeit
hat, und welches ermöglicht,
drehbar einen schwebenden Körper
ohne Kontakt zu tragen, während
es eine Magnetkraft von ausreichender Stärke erzeugt, und eine Zirkulationsgebläsevorrichtung,
die mit dem Magnetlager ausgerüstet
ist.
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Gemäß einem
Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Magnetlager nach Anspruch
1 vorgesehen.
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Gemäß dem obigen
Magnetlager ist der Oberflächenbereich
des Elektromagnet-Target geringer im Vergleich zu einem ähnlichen
Elektromagnet-Target, welches durch laminierte Stahlbleche hergestellt
wurde, weil das Elektromagnet-Target aus einem ferromagnetischen
Material aus einem Stück besteht,
und Gaseinschlussstellen werden verringert, so dass eine Verunreinigung
durch das Elektromagnet-Target auch beträchtlich verringert werden kann. Weil
das Elektromagnet-Target eine elektrische Isolationsstruktur hat,
die parallel zu dem Magnetfluss orientiert ist, der von dem Elektromagneten
erzeugt wird, wird weiterhin ein Wirbelstrom, der im Inneren des
Elektromagnet-Target erzeugt wird, reduziert, weil das Elektromagnet-Target
eine elektrische Isolationsstruktur hat, die parallel zu dem Magnetfluss
orientiert ist, der von dem Elektromagneten erzeugt wird. Das heißt, der
spezifische Widerstand in Längsrichtung
der Magnetschaltung, die durch den Elektromagneten, das Elektromagnet-Target
und die elektrische Isolationsstruktur gebildet wird, wird gesteigert, so
dass das Elektromagnet-Target den Wirbelstrom reduzieren kann, der
durch die Magnetfeldänderung erzeugt
wird, so dass eine stabile Magnetkraft erzeugt werden kann. Das
Ergebnis ist, dass der schwebende Körper in stabiler Weise zu jedem
Zeitpunkt angehoben werden kann.
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Gemäß dieser
Struktur werden Gaseinschlussstellen verringert, und der Oberflächenbereich
des Elektromagnet-Target kann auf ein Minimum verringert werden,
weil die elektrische Isolationsstruktur an dem Elektromagnet-Target
in Form von Schlitznuten vorgesehen ist. Entsprechend kann eine
elektrische Isolationsstruktur, die nicht als Gasverunreinigungsquelle
wirkt, für
das Elektromagnet-Target mit niedrigen Kosten vorgesehen werden.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Zirkulationsventilatorvorrichtung
nach Anspruch 3 vorgesehen.
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Gemäß der obigen
Zirkulationsgebläsevorrichtung
besteht das Elektromagnet-Target
des Radialmagnetlagers, welches die sich drehende Welle des Zirkulationsgebläses trägt, aus
einem einzigen Stück
ferromagnetischen Materials und hat eine elektrische Isolationsstruktur,
die an einem gegebenen Abstand entlang der axialen Richtung der
sich drehenden Welle ausgeformt ist. Aus diesem Grund verunreinigt
das Elektromagnet-Target nicht die gasförmige Umgebung in dem Behälter und
kann leicht beständig
gegen korrosive Gase gemacht werden. Auch wenn Veränderungen
des Magnetfeldes aufgrund der Drehung der sich drehenden Welle und
so weiter erzeugt werden, wird weiterhin der Wirbelstrom verringert,
der im Inneren des Elektromagnet-Targets erzeugt wird. D.h., der
spezifische Widerstand der Magnetschaltung in Richtung der sich
drehenden Welle, der durch den Elektromagneten, das Elektromagnet-Target
und die elektrische Isolationsstruktur gebildet wird, wird vergrößert, so
dass das Elektromagnet-Target den Wirbelstrom reduzieren kann, der
von der Magnetfeldveränderung
erzeugt wird, und dass eine stabile Magnetkraft erzeugt werden kann.
Das Ergebnis ist, dass der schwebende Körper in stabiler Weise zu jedem
Zeitpunkt angehoben werden kann.
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Gemäß der obigen
Struktur werden Gaseinschlussstellen reduziert und die Oberfläche des
Elektromagnet-Targets wird auf ein Minimum reduziert, weil die elektrische
Isolationsstruktur an dem Elektromagnet-Target in Form von Schlitznuten
vorgesehen ist und entsprechend kann eine elektrische Isolationsstruktur
mit niedrigen Kosten für
das Elektromagnet-Target vorgesehen werden, die nicht als eine Gasverunreinigungsquelle
wirkt.
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Wie
oben erklärt,
können
gemäß der vorliegenden
Erfindung Wirbelstromverluste unterdrückt werden, auch wenn Variationen
des Magnetfeldes in dem Elektromagnet-Target aufgrund der Drehung
der sich drehenden Welle als angehobenem Körper auftreten, wodurch es
ermöglicht
wird, eine stabile Hubkraft zu erzeugen. Wenn die sich drehende
Welle als ein angehobener Körper
mit hoher Drehzahl gedreht wird, ist es auch durch Auswahl der Anzahl
der Schlitznuten in entsprechender Weise möglich, ein Radialmagnetla ger
vorzusehen, welches geringe Wirbelstromverluste erzeugt und eine
Gasverunreinigung der Arbeitsumgebung verhindert.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung wird eine Excimer-Laservorrichtung nach Anspruch 4 offenbart.
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Die
obigen und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden
Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung offensichtlich,
wenn diese in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen gesehen wird,
die bevorzugte Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung beispielhaft veranschaulichen.
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Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
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1 ist
eine Querschnittsansicht einer Excimer-Laservorrichtung als ein
Beispiel der Zirkulationsgebläsevorrichtung,
die mit dem Magnetlager gemäß dem ersten
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung ausgerüstet ist;
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2 ist
eine vergrößerte Ansicht
eines Nabenteils der 1;
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3 ist
eine Querschnittsansicht durch eine Ebene entlang der Linie A-A
in 2;
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4 ist
eine vergrößerte Querschnittsansicht
eines Nabenteils bzw. Schlüsselteils
einer Excimer-Laservorrichtung, die mit dem Magnetlager gemäß dem zweiten
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung ausgerüstet ist (Zeichnung entsprechend
der 2);
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5 ist
eine Querschnittsansicht durch eine Ebene entlang der Linie B-B
in 4;
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6 ist
eine Querschnittsansicht einer herkömmlichen Excimer-Laservorrichtung;
und
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7 ist
eine vergrößerte Ansicht
eines Nabenteils in 4.
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Detaillierte
Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele
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Bevorzugte
Ausführungsbeispiele
werden im Folgenden mit Bezugnahme auf die 1 bis 5 erklärt.
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1 ist
eine Querschnittsansicht einer Excimer-Laservorrichtung als ein
Beispiel einer Zirkulationsgebläsevorrichtung,
die mit dem Magnetlager des ersten Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung
ausgerüstet
ist, 2 ist eine vergrößerte Ansicht eines Schlüsselteils
bzw. Nabenteils der 1, und 3 ist eine
Querschnittsansicht durch eine Ebene entlang der Linie A-A in 2.
Hier sind jene Teile der vorliegenden Vorrichtung, die die gleichen
sind wie jene in dem in den 6, 7 gezeigten
herkömmlichen
Beispiel, mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und ihre Erklärungen werden
teilweise weggelassen.
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Diese
Excimer-Laservorrichtung, ähnlich
wie beim dem herkömmlichen
Beispiel, das in den 6 und 7 gezeigt
ist, hat einen Laserbehälter 10 mit einem
Gas der Halogen-Gruppe, wie beispielsweise Fluor, das darin abgeschlossen
ist, und innerhalb des Behälters 10 sind
eine (nicht gezeigte) Vorionisierungselektrode zur Vorionisierung
des Lasergases und mindestens ein Paar von Hauptentladungselektroden 12 vorgesehen,
um eine elektrische Entladung zu erhalten, um die Oszillation des
Laserlichtes zu ermöglichen.
Weiterhin ist ein Zirkulationsventilator 14 zur Erzeugung
eines Flusses von Hochgeschwindigkeitslasergas zwischen dem Paar
von Hauptelektroden 12 in dem Behälter 10 angeordnet.
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Der
Zirkulationsventilator 14 hat eine sich drehende Welle 16,
die durch den Laserbehälter 10 läuft und
sich zwischen beiden Endabschnitten des Laserbehälters 10 erstreckt.
Die sich drehende Welle 16 ist frei drehbar durch Magnetlager 40, 42 und
ein Axialmagnetlager 24 aufgehängt, die Berührungsfrei in
beiden Endteilen des Laserbehälters 10 angeordnet
sind. Es ist auch ein Motor 26 an der axialen Endseite
des Radialmagnetlagers 40 an einem Ende vorgesehen.
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Das
Radialmagnetlager 40 an einem Ende weist einen Verschiebungssensor
bzw. Versatzsensor 40a, einen Elektromagneten 40b,
ein Versatzsensor-Target
bzw. Versatzsensor-Ziel 40c und ein Elektromagnet-Target 40d auf.
Ein Positionssignal, welches von dem Versatzsensor 40a detektiert
wird, wird in eine (nicht gezeigte) Steuervorrichtung durch ein (nicht
gezeigtes) Kabel eingegeben, und die sich drehende Welle 16 wird
an der Target-Position schwebend gehalten, und zwar durch Anlegen
des Erregungsstroms an den Elektromagneten 40b basierend auf
dem Eingangspositionssignal.
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Der
Versatzsensor 40a und der Elektromagnet 40b sind
innerhalb des Motorgehäuses 28 aufgenommen,
und ihre Innenflächen
sind durch eine dünnwandige
zylindrische Isolationswand 30 bedeckt, die aus einem Material
gemacht ist, das beständig
gegen Korrosion durch ein Gas der Halogen-Gruppe ist, welche in
dem Lasergas enthalten ist, beispielsweise ein austenitischer rostfreier
Stahl, wie SUS316L. In dieser Weise wird verhindert, dass der Versatzsensor 40a und
der Elektromagnet 40b in Kontakt mit dem Lasergas kommen.
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Andererseits
sind das Versatzsensor-Target 40c und das Elektromagnet-Target 40d an
der sich drehenden Welle 16 angebracht und sind in einem hermetischen
Raum angeordnet, der mit dem Laserbehälter 10 in Verbindung
steht. Das Versatzsensor-Target 40c und das Elektromagnet-Target 40d sind
beide aus einem ferromagnetischen Material aus einem einzigen Stück gemacht,
welches beständig
gegen Korrosion durch ein Gas der Halogen-Gruppe ist, das in dem Lasergas enthalten
ist, beispielsweise Permalloy (eine Fe-Ni-Legierung, die 35–80% Ni
enthält).
Und das Elektromagnet-Target 40d ist mit Schlitznuten 44 versehen,
die sich vom Außenumfang
zum Inneren des Elektromagnet-Targets 40d mit einer gegebenen
Beabstandung entlang der Axialrichtung der sich drehenden Welle 16 erstrecken.
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Gemäß dieser
Struktur kann der Wirbelstrom E, der im Inneren des Elektromagnet-Targets 40d erzeugt
wird, verringert werden, auch wenn Variationen des Magnetfeldes
aufgrund der Drehung und aufgrund von anderen Effekten der sich
drehenden Welle 16 erzeugt werden. D.h., wie in 2 gezeigt,
wird der spezifische Widerstand des Magnetkreises in dem Elektromagnet-Target 40d entlang
der Axialrichtung der sich drehenden Welle, der durch den Elektromagneten 40b,
das Elektromagnet-Target 40d und die Schlitznuten 44 gebildet
wird, vergrößert, so
dass ein Magnetfluss M aufgrund des Elektromagneten 40b in
jeder Region der aufgeteilten Schlitznuten 44 des Elektromagnet-Targets 40d erzeugt
wird, was bewirkt, dass der Wirbelstrom E um jeden Magnetfluss M
herum fließt,
so dass Wirbelstrom, der von der Magnetfeldänderung erzeugt wird, minimiert wird,
wodurch eine stabile Magnetkraft erzeugt wird. Das Ergebnis ist,
dass die drehende Welle 16 zu jedem Zeitpunkt stabil schwebend
gehalten werden kann.
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Es
ist vorzuziehen, dass die Breite der Schlitznut 44 so schmal
wie möglich
ist, um den Magnetpolbereich zu sichern, und wie in 3 gezeigt, sollte
die Tiefe vorzugsweise mindestens gleich der Größe des Magnetpfades 46 des
Magnetflusses M oder größer sein,
wie vom Elektromagneten 40b erzeugt. Hier gilt, dass je
größer die
Zahl der Schlitznuten 44 ist, desto effektiver sie bei
der Verringerung des Wirbelstroms sind, jedoch wird die Magnetpolfläche proportional
verringert, so dass es vorzuziehen ist, diese Zahl entsprechend
der Drehzahl zu bestimmen, die die Magnetfeldveränderung induziert, d.h. basierend
auf einem Parameter, der durch den Außenradius des Elektromagnet-Targets 40d und
die Drehzahl bestimmt wird.
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Das
Radialmagnetlager 42 an dem gegenüberliegenden Ende weist in ähnlicher
Weise einen Versatzsensor 42a, einen Elektromagneten 42b,
ein Versatzsensor-Target 42c und ein Elektromagnet-Target 42d auf.
Ein Positionssignal, welches von dem Versatzsensor 42 detektiert
wird, wird in die (nicht gezeigte) Steuervorrichtung durch das (nicht gezeigte)
Kabel eingegeben und die sich drehende Welle 16 wird an
der Target- bzw. Zielposition schwebend gehalten durch Anlegen des
Erregungsstroms an den Elektromagneten 42b basierend auf
dem Eingangspositionssignal. Der Versatzsensor 42a und der
Elektromagnet 42b sind innerhalb des Lagergehäuses 32 aufgenommen
und ihre Innenflächen
sind durch eine Isolationswand 34 von dünner zylindrischer Form bedeckt.
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Auch
sind das Versatzsensor-Target 42c und das Elektromagnet-Target 42d,
die aus einem einzigen Stück
aus ferromagnetischem Material gemacht sind, wie beispielsweise
aus Permalloy, an der sich drehenden Welle 16 befestigt.
Und das Elektromagnet-Target 42d ist mit Schlitznuten 50 mit
einer gegebenen Beabstandung entlang der axialen Richtung der sich
drehenden Welle 16 versehen, so dass, auch wenn Variationen
der Magnetfelder aufgrund der Drehung und so weiter an der sich
drehenden Welle 16 auftreten, ein Wirbelstrom verringert
werden kann, der im Inneren des Elektromagnet-Targets 42d erzeugt
wird.
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4 und 5 zeigen
eine Excimer-Laservorrichtung, die mit dem Magnetlager des zweiten Ausführungsbeispiels
der vorliegenden Erfindung ausgerüstet ist. 4 ist
eine vergrößerte Querschnittsansicht
eines Nabenteils bzw. mittleren Teils der Excimer-Laservorrichtung
(die Zeichnung entspricht der 2), 5 ist
eine Querschnittsansicht durch eine Ebene entlang der Linie B-B
in 4.
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In
diesem zweiten Ausführungsbeispiel
hat ein Magnetlager 40, welches vom ersten Ausführungsbeispiel
abweicht, einen Elektromagneten 40b, dessen Vorsprünge der
Kerne 40e eine Isolationswand 30 durchdringen
und ihre Innenfläche
freilegen. Hierbei müssen
die Kerne 40e des Elektromagneten 40b eine Beständigkeit
gegen Korrosion haben, weil sie in Kontakt mit dem Lasergas kommen.
Daher sind die Kerne 40e des Elektromagneten 40b aus
Permalloy gemacht, welches beständig
gegen Korrosion durch das Lasergas ist. Die Kerne 40e des
Elektromagneten 40b sind an der Isolationswand 30 durch Schweißen und
so weiter befestigt, um zu verhindern, dass eine Spulenwicklung 40f des
Elektromagneten 40b, die eine schlechte Beständigkeit
gegen Korrosion durch das Lasergas hat, in Kontakt mit dem Lasergas
kommt.
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Gemäß dem zweiten
Ausführungsbeispiel wird
verhindert, dass ein Magnetspalt zwischen den Kernen 40e des
Elektromagneten 40b und einem Elektromagnet-Target 40d durch
das Vorhandensein der Isolationswand 30 vergrößert wird.
Daher kann dies einen verbesserten Wirkungsgrad des Magnetlagers,
einen verringerten Verbrauch von elektrischer Leistung und einen
kompakten Aufbau des Magnetlagers verwirklichen.
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In
diesen Ausführungsbeispielen,
wobei jede Anwendung der Magnetlager durch eine Excimer-Laservorrichtung
beispielhaft dargestellt wurde, ist dies nicht allein auf eine solche
Excimer-Laservorrichtung eingeschränkt. Es ist auch offensichtlich,
dass das Magnetlager auf irgendeine Anwendung anwendbar ist, die
eine Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit bei dem Elektromagnet-Target
des Magnetlagers und das Eliminieren einer Verunreinigung des Lasergases
erfordert.