DE60105386D1 - Vorrichtung und Verfahren zur Echtzeitbestimmung einer Festkörperzusammensetzung als Funktion der Probentiefe - Google Patents
Vorrichtung und Verfahren zur Echtzeitbestimmung einer Festkörperzusammensetzung als Funktion der ProbentiefeInfo
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP01400254A EP1235067B1 (de) | 2001-02-01 | 2001-02-01 | Vorrichtung und Verfahren zur Echtzeitbestimmung einer Festkörperzusammensetzung als Funktion der Probentiefe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE60105386D1 true DE60105386D1 (de) | 2004-10-14 |
DE60105386T2 DE60105386T2 (de) | 2005-02-24 |
Family
ID=8182610
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE60105386T Expired - Lifetime DE60105386T2 (de) | 2001-02-01 | 2001-02-01 | Vorrichtung und Verfahren zur Echtzeitbestimmung einer Festkörperzusammensetzung als Funktion der Probentiefe |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6784989B2 (de) |
EP (1) | EP1235067B1 (de) |
JP (1) | JP4165797B2 (de) |
DE (1) | DE60105386T2 (de) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1643369A (zh) * | 2002-03-15 | 2005-07-20 | 松下电器产业株式会社 | 金属鉴别装置以及金属鉴别方法 |
JP4051634B2 (ja) * | 2005-06-22 | 2008-02-27 | 学校法人慶應義塾 | グロー放電掘削装置及びグロー放電掘削方法 |
DE102006016229B4 (de) * | 2006-03-29 | 2010-05-27 | Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung von Zusammensetzungen einer Festkörperprobe mittels Glimmentladungsspektroskopie und zur Ermittlung von Höhenunterschieden simultan dazu |
DE102010004774A1 (de) | 2010-01-14 | 2011-07-28 | IMM Photonics GmbH, 85716 | Verfahren und Einrichtung zum sicheren Emittieren einer Anregungsstrahlung |
CN102253028B (zh) * | 2011-03-29 | 2013-05-29 | 钢铁研究总院 | 用于在线实时溅射深度测量的格林辉光放电光源 |
CN102829732B (zh) * | 2011-06-15 | 2016-07-06 | 钢研纳克检测技术有限公司 | 一种用于辉光放电溅射深度测量的双激光器在线实时测量装置及方法 |
JP6313984B2 (ja) * | 2014-01-30 | 2018-04-18 | 株式会社堀場製作所 | グロー放電分光分析装置、試料支持体及び試料押圧電極 |
FR3019298B1 (fr) * | 2014-03-31 | 2016-04-15 | Horiba Jobin Yvon Sas | Procede et appareil de mesure d'un echantillon solide organique par spectrometrie de decharge luminescente |
FR3020684B1 (fr) * | 2014-04-30 | 2017-05-19 | Horiba Jobin Yvon Sas | Systeme et procede de spectrometrie de decharge luminescente et de mesure in situ de la profondeur de gravure d'un echantillon |
CN106770620B (zh) * | 2016-11-21 | 2019-03-19 | 汕头大学 | 用溅射深度剖析技术确定薄膜中元素成分深度分布的方法 |
US10481052B2 (en) | 2018-03-28 | 2019-11-19 | Ford Global Technologies, Llc | Quality control process to assess the aluminized coating characteristics of hot stamped parts |
CN110596076B (zh) * | 2019-07-09 | 2022-03-15 | 中国航发北京航空材料研究院 | 一种辉光放电光谱仪自动样品加载装置及其加载方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3809479A (en) * | 1971-11-26 | 1974-05-07 | J Greene | Sputtering method and apparatus for quantitative and qualitative analysis of materials |
US5081397A (en) * | 1989-07-11 | 1992-01-14 | University Of British Columbia | Atmospheric pressure capacitively coupled plasma atomizer for atomic absorption and source for atomic emission spectroscopy |
US5078494A (en) * | 1990-08-31 | 1992-01-07 | Fraser Robert B | Glow discharge chamber and gas flow system for glow discharge emission spectrometer |
JPH04126347A (ja) * | 1990-09-18 | 1992-04-27 | Toshiba Corp | 二次イオン質量測定装置 |
JPH11304709A (ja) * | 1998-04-20 | 1999-11-05 | Shimadzu Corp | 薄膜分析装置 |
-
2001
- 2001-02-01 DE DE60105386T patent/DE60105386T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-02-01 EP EP01400254A patent/EP1235067B1/de not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-01-30 JP JP2002062685A patent/JP4165797B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2002-02-04 US US10/061,457 patent/US6784989B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4165797B2 (ja) | 2008-10-15 |
US6784989B2 (en) | 2004-08-31 |
EP1235067B1 (de) | 2004-09-08 |
DE60105386T2 (de) | 2005-02-24 |
EP1235067A1 (de) | 2002-08-28 |
JP2002296187A (ja) | 2002-10-09 |
US20020183940A1 (en) | 2002-12-05 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition |