DE59805621D1 - Vorrichtung zum bestrahlen eines substrats mittels uv-strahlen und verfahren zum betrieb der vorrichtung - Google Patents

Vorrichtung zum bestrahlen eines substrats mittels uv-strahlen und verfahren zum betrieb der vorrichtung

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Date Code Title Description
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8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: UVITERNO AG, BERNECK, CH

8328 Change in the person/name/address of the agent

Representative=s name: FRITZSCHE, R., RECHTSANW., 38120 BRAUNSCHWEIG

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