ATE224523T1 - Vorrichtung zum bestrahlen eines substrats mittels uv-strahlen und verfahren zum betrieb der vorrichtung - Google Patents

Vorrichtung zum bestrahlen eines substrats mittels uv-strahlen und verfahren zum betrieb der vorrichtung

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ATE224523T1
ATE224523T1 AT98916778T AT98916778T ATE224523T1 AT E224523 T1 ATE224523 T1 AT E224523T1 AT 98916778 T AT98916778 T AT 98916778T AT 98916778 T AT98916778 T AT 98916778T AT E224523 T1 ATE224523 T1 AT E224523T1
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    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B3/00—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat
    • F26B3/28—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by radiation, e.g. from the sun

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