DE4436222A1 - Meßfühler zur Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Gasgemischen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Meßfühler zur Bestim­ mung des Sauerstoffgehaltes in Gasgemischen nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Stand der Technik

Meßfühler der gattungsgemäßen Art sind bekannt. So zeigt beispielsweise die DE-A1 36 32 456 eine Sonde zur Regelung des Kraftstoff-Luft-Gemisches für Ver­ brennungskraftmaschinen. Diese weist eine erste Pumpzelle mit zwei porösen Elektroden, die auf ge­ genüberliegenden Seiten einer ersten Platte aus einem sauerstoffionenleitenden Festelektrolyten angeordnet sind, sowie eine zweite Pumpzelle mit ebenfalls zwei porösen Elektroden auf, die wiederum auf gegenüberliegenden Seiten einer zweiten Platte aus einem sauerstoffionenleitenden Festelektro­ lyten angeordnet sind. Je eine poröse Elektrode der beiden Pumpzellen steht mit einem zwischen den Pumpzellen befindlichen Gasraum in Kontakt, der seinerseits über einen als Diffusionsbegrenzungs­ teil wirkenden Kanal mit dem zu messenden Abgas der Verbrennungskraftmaschine in Verbindung steht. Eine der porösen Elektroden der ersten Pumpzelle, und zwar die nicht mit dem Gasraum in Kontakt stehende Elektrode, dient zugleich als interne Sauerstoff­ bezugsreferenz. Diese Elektrode ist über ein Leck­ drosselteil mit der anderen, mit dem Gasraum in Kontakt stehenden Elektrode der ersten Pumpzelle verbunden. Durch diese Anordnung wird jeweils eine als Pumpzelle ausgebildete Meßsonde und Referenz­ sonde gebildet.

Mittels eines derartigen Meßfühlers kann die Zusam­ mensetzung des Abgases der Verbrennungskraftmaschi­ ne dahingehend aus gewertet werden, ob in dem Kraftstoff-Luft-Gemisch, mit dem die Verbrennungs­ kraftmaschine betrieben wird, der Kraftstoff oder der Sauerstoff im stöchiometrischen Überschuß vor­ liegen oder der Kraftstoff und die Luft der Stöchiometrie entsprechen. Dies ist möglich, da be­ kannterweise die Zusammensetzung des Kraftstoff- Luft-Gemisches die Zusammensetzung des Abgases be­ stimmt. Im sogenannten fetten Bereich - bei stöchiometrischem Überschuß des Kraftstoffes - fin­ den sich erhebliche Mengen an unverbranntem oder teilweise verbranntem Kraftstoff im Abgas, während der Sauerstoffanteil gering ist. Im sogenannten mageren Bereich, - bei dem der Sauerstoff stöchio­ metrisch überwiegt - ist der Sauerstoffgehalt im Abgas entsprechend hoch. Bei einer stöchio­ metrischen Zusammensetzung des Kraftstoff-Luft-Gemisches sind sowohl der Kraftstoff als auch der Sauerstoff im Abgas minimiert. Ein gängiges Maß für das Kraftstoff-Luft-Verhältnis ist der im Abgas gemessene sogenannte Lambdawert, der im mageren Bereich <1, im fetten Bereich <1 und im exakt stöchiometrischen Bereich =1 ist. Der Lambdawert ist mittels des eingangs genannten Meßfühlers er­ mittelbar, so daß über eine mit dem Meßfühler ver­ bundene Auswerteschaltung eine Regelung des Kraft­ stoff-Luft-Gemisches für den Verbrennungsmotor mög­ lich ist.

Aus der älteren Patentanmeldung DE 43 32 487 ist ein Meßfühler zur Bestimmung des Sauerstoffgehaltes von Gasgemischen bekannt, bei dem eine Meßsonde und eine Referenzsonde jeweils als Pumpzelle mit einer gemeinsamen Elektrode ausgebildet sind, die schichtförmig auf einem gemeinsamen Substrat ange­ ordnet sind. Die Elektroden der beiden Pumpzellen werden von einem gemeinsamen Festelektrolyten um­ geben.

Den bekannten Meßfühlern ist gemeinsam, daß diese einerseits dem eine hohe Temperatur aufweisenden Abgas der Verbrennungsmotoren ausgesetzt sind und andererseits für ihre Anwendung eine Mindest­ betriebstemperatur benötigen, so daß diese oftmals eine zusätzliche Heizquelle besitzen. Hierbei ist nachteilig, daß es in den Meßfühlern auf Grund unterschiedlicher Wärmeausdehnungskoeffizienten der verwendeten Materialien zu einer thermischen Be­ lastung kommt, die zu einer Beeinträchtigung be­ ziehungsweise Zerstörung der Meßfühler führen kann.

Vorteile der Erfindung

Der erfindungsgemäße Meßfühler mit den im Anspruch 1 genannten Merkmalen bietet demgegenüber den Vor­ teil, daß dieser eine verbesserte thermische Belastbarkeit besitzt. Dadurch, daß die Meßsonde und die Referenzsonde voneinander getrennt in einem gemeinsamen Basissubstrat eingebettet sind und die Festelektrolyten von Festelektrolytinseln gebildet sind, die ausschließlich im Bereich der Elektroden angeordnet sind, werden die thermischen Spannungen durch einen unterschiedlichen Wärmeausdehnungs­ koeffizienten der Festelektrolyten und des Basis­ materials reduziert. Insbesondere durch die Aus­ bildung der Festlektrolyten als Festelektrolytin­ seln werden die Absolutwerte der thermisch be­ dingten Dehnungsunterschiede zwischen den Festelek­ trolytinseln und dem Basissubstrat derart mini­ miert, daß keine thermischen Spannungen und damit keine Rißbildungen in den Meßfühlern auftreten können.

Darüber hinaus ist durch die voneinander getrennte Anordnung - also ohne gemeinsame Elektrode - der Meßsonde und der Referenzsonde der Aufbau des Meßfühlers vorzugsweise aus einzelnen, insbesondere im Siebdruckverfahren aufgebrachten Schichten möglich. Durch einen einfachen - da technologisch bekannt und beherrschbaren - Schichtaufbau kann so ein Meßfühler mit getrennter Meßsonde und getrenn­ ter Referenzsonde hergestellt werden. Die Referenz­ sonde kann hierbei vorteilhaft als Lambdasonde ausgebildet sein, die den Sauerstoffgehalt des Gasgemisches ermittelt, während die Meßsonde als Grenzstrom-Pumpzelle mit unterschiedlicher Pump­ stromrichtung aufgebaut sein kann. Die Lambdasonde dient hier vorteilhafterweise zur Einstellung der Pumpstromrichtung der Meßsonde, so daß über eine angeschlossene Auswerteschaltung auf die Zusammen­ setzung des gemessenen Gasgemisches, insbesondere über die Einstellung eines Kraftstoff-Luft-Ge­ misches für Verbrennungskraftmaschinen, Einfluß ge­ nommen werden kann.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den übrigen in den Unteransprüchen genannten Merkmalen.

Zeichnung

Die Erfindung wird nachfolgend in einem Aus­ führungsbeispiel an Hand der zugehörigen Zeich­ nungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Schnittdarstellung durch einen Meßfühler;

Fig. 2 ein elektrisches Ersatzschaltbild des Meßfühlers und

Fig. 3a bis 3e einen Schichtaufbau des Meßfühlers.

Beschreibung des Ausführungsbeispiels

Fig. 1 zeigt einen allgemein mit 10 bezeichneten Meßfühler zur Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Gasgemischen, insbesondere in Abgasen von Verbren­ nungskraftmaschinen. Der Meßfühler 10 besteht aus einer elektrochemischen Meßsonde 12 und einer elek­ trochemischen Referenzsonde 14. Sowohl die Meßsonde 12 als auch die Referenzsonde 14 sind auf einem gemeinsamen Basissubstrat 16 aufgebaut. Das Basis­ substrat 16 kann beispielsweise aus Aluminiumoxid Al₂O₃ bestehen. Auf dem Basissubstrat 16 ist eine Diffusionsbarriere 18 aufgebracht, die über ein Diffusionsloch 20 mit dem zu messenden Gasgemisch in Verbindung steht. Die Diffusionsbarriere 18 besteht beispielsweise aus porösem Zirkonoxid. Die Meßsonde 12 besteht aus einer ersten Elektrode 22 und einer zweiten Elektrode 24, zwischen denen ein Festelektrolyt 26 angeordnet ist. Die Elektrode 22 ist hierbei auf der Diffusionsbarriere 18 ange­ ordnet, während die Elektrode 24 direkt dem zu messenden Gasgemisch ausgesetzt ist. Die Elektroden 22 und 24 sind porös und bestehen beispielsweise aus Platin. Der Festelektrolyt 26 besteht bei­ spielsweise aus einem mit Yttriumoxid stabili­ siertem Zirkonoxid. Die einzelnen Bestandteile der Meßsonde 12, das heißt, die Diffusionsbarriere 18, die Elektrode 22, der Festelektrolyt 26 und die Elektrode 24 sind im Basissubstrat 16 eingebettet, wobei im Bereich der Meßsonde 12 das Basissubstrat 16 in einzelnen Schichten 28 aufgetragen ist. Jede der Schichten 28 umschließt hierbei - wie an Hand der Fig. 3 noch näher erläutert wird - einen Teil der Meßsonde 12. Eine obere Schicht, die die Elektrode 24 so umschließt, daß diese noch dem Abgas ausgesetzt ist, ist aus Gründen der Über­ sichtlichkeit nicht dargestellt. Die einzelnen Schichten 28 bestehen beispielsweise ebenfalls aus Aluminiumoxid Al₂O₃. Die Elektrode 22 ist mittels des Festelektrolyts 26 und der überlappenden Schichten 28 gasdicht gegenüber dem zu messenden Abgas abgedichtet.

Die Referenzsonde 14 besteht aus einer ersten Elektrode 30 und einer zweiten Elektrode 32, zwischen denen ein Festelektrolyt 34 angeordnet ist. Die Elektroden 30 und 32 bestehen bei­ spielsweise wiederum aus porösem Platin, während der Festelektrolyt 34 beispielsweise aus Yttrium­ oxid stabilisiertem Zirkonoxid besteht. Die Elek­ troden 30 und 32 sowie der Festelektrolyt 34 sind ebenfalls wieder in den Schichten 28 des Basis­ substrats 16 eingebettet. Die erste Elektrode 30 der Referenzsonde 14 ist durch die Schichten 28 und den Festelektrolyten 34 ebenfalls gasdicht gegen­ über dem zu messenden Gasgemisch abgedichtet und steht mit einem Referenzgas, beispielsweise der Atmosphäre, in Verbindung. Die zweite Elektrode 32 der Referenzsonde 14 ist dem zu messenden Gas­ gemisch unmittelbar ausgesetzt.

Der Meßfühler 10 besteht also insgesamt aus den getrennt aufgebauten Meßsonden 12 und Referenzsonde 14, die jedoch in einem gemeinsamen Basissubstrat 16 eingebettet sind. Die Festelektrolyten 26 be­ ziehungsweise 34 sind ausschließlich im Bereich der Elektroden 22 und 24 beziehungsweise 30 und 32 angeordnet und in den übrigen Bereichen des Meß­ fühlers 10 von den Schichten 28 des Basissubstrats 16 umgeben. Die Festelektrolyten 26 beziehungsweise 34 bilden somit Festelektrolytinseln 36 (Fig. 3) aus, die ausschließlich im Bereich der Elektroden 22 und 24 beziehungsweise 30 und 32 angeordnet sind. Die Elektroden 22, 24, 30 und 32 sind über in Fig. 1 nicht dargestellte Leiterbahnen mit nach außen geführten Kontaktstellen verbunden, die mit einer Auswerteschaltung verbindbar sind. Die Elek­ trode 32 ist mit einer ersten Kontaktstelle 38, die Elektrode 24 mit einer zweiten Kontaktstelle 40 und die Elektroden 22 und 30 mit einer gemeinsamen dritten Kontaktstelle 42 verbunden.

In der Fig. 2 ist ein elektrisches Ersatzschalt­ bild des in Fig. 1 dargestellten Meßfühlers 10 verdeutlicht. Hierbei wird ersichtlich, daß die Meßsonde 12 und die Referenzsonde 14 miteinander verschaltete, getrennt aufgebaute Elemente sind.

Der in den Fig. 1 und 2 gezeigte Meßfühler 10 übt folgende Funktion aus:

Sowohl die Meßsonde 12 als die Referenzsonde 14 sind dem zu messenden Gasgemisch, beispielsweise dem Abgas einer Verbrennungskraftmaschine, ausge­ setzt. Die Referenzsonde 14 arbeitet hierbei als allgemein bekannte Lambdasonde. Über die Referenz­ sonde 14 fließt hierbei ein konstanter Strom I, der von einer nicht dargestellten Stromquelle, bei­ spielsweise der Batterie eines Kraftfahrzeuges, geliefert wird. Ändert sich nunmehr eine Sauerstoffkonzentration zwischen den Elektroden 32 und 30 der Referenzsonde 14, beispielsweise weil sich das Kraftstoff-Luft-Gemisch, mit dem die nicht dargestellte Verbrennungskraftmaschine betrieben wird, vom fetten in den mageren Bereich oder umgekehrt verändert, ändert sich an der Referenz­ sonde 14 eine Detektorspannung, die von der nicht dargestellten Auswerteschaltung abgegriffen werden kann. Bei einem Wechsel in den fetten Bereich, also bei einer niedrigeren Sauerstoffkonzentration im zu messenden Abgas, fällt die Detektorspannung ab, während sie im mageren Bereich ansteigt. Die Referenzsonde 14 liefert somit ein Signal, ob die Verbrennungskraftmaschine mit einem fetten oder einem mageren Gemisch betrieben wird. Die nicht dargestellte Auswerteschaltung vergleicht die von der Referenzsonde 14 gelieferte Detektorspannung mit einer Referenzspannung und liefert im Ergebnis dessen - in hier nicht näher zu betrachtender Weise - einen Meßstrom I_M der über die Kontaktstelle 14 an der Meßsonde 12 anliegt. Die Diffusionsbarriere 18 an der Meßsonde 12 bewirkt, daß der Meßstrom I_M in der Meßsonde 12 ausschließlich durch einen Sauerstoffionen-Diffusionsvorgang bestimmt wird und an der Elektrode 22 ein konstanter Sauerstoff­ partialdruck aufrechterhalten werden kann. Bei Be­ trieb im mageren Bereich, das heißt, bei sauer­ stoffreichen Abgasen, behindert die Diffusions­ barriere 18 insbesondere die Diffusion von Sauer­ stoffionen zur Elektrode 22 und bei Betrieb im fet­ ten Bereich, das heißt, bei Abgasen mit wenig Sauerstoff, insbesondere die Diffusion von unver­ brannten Anteilen wie Kohlenmonoxid und Wasserstoff zur Elektrode 22. Die Diffusionsbarriere 18 ist so aufgebaut, daß sich an der Elektrode 22 der Sauer­ stoffpartialdruck einstellen kann, der der Re­ ferenzspannung entspricht. Die Referenzspannung wird so gewählt, daß sich ein bestimmter Sauer­ stoffpartialdruck einstellt, wenn der Lambdawert des Abgases =1 beträgt, also ein Kraftstoff-Luft-Gemisch im stöchiometrischen Bereich gefahren wird. Es wird also gewährleistet, daß die Meßsonde 12 als spannungsunabhängige Grenzstromsonde arbeitet. Je nach dem über die Referenzsonde 14 ermittelten Lambdawert des Abgases ist die Kontaktstelle 40 als Kathode oder Anode für die Meßsonde 12 geschaltet. Bei einem Lambdawert <1, das heißt, im mageren Bereich des Kraftstoff-Luft-Gemisches, ist die Kon­ taktstelle 40 als Kathode und′ bei einem Lambdawert <1, das heißt, im fetten Bereich des Kraftstoff-Luft-Gemisches, als Anode geschaltet. Der sich ein­ stellende Meßstrom I_M wird über eine Meßeinrichtung 44, beispielsweise ein Amperemeter, ermittelt. Die Richtung und die Größe des Meßstromes I_M ergibt somit ein Maß für den Sauerstoffgehalt in dem zu messenden Gasgemisch, insbesondere im Abgas eines Kraftfahrzeuges. Der Meßstrom I_M ist hierbei dem Sauerstoffgehalt direkt proportional.

In den Fig. 3a bis 3e ist der Schichtaufbau des Meßfühlers 10 verdeutlicht, wobei der Meßfühler 10 beginnend mit der Fig. 3a im weiteren immer mit einer zusätzlichen Schicht in Draufsicht darge­ stellt ist. Gleiche Teile wie in den Fig. 1 und 2 sind mit gleichen Bezugszeichen versehen und nicht nochmals erläutert.

In der Fig. 3a ist eine Draufsicht auf das Basis­ substrat 16 gezeigt, auf den die Diffusions­ barrieren 18 angeordnet sind. Die Diffusions­ barrieren 18 sind hierbei dreiviertelkreisförmig um einen, später das Diffusionsloch 20 ergebenden Mittelpunkt angeordnet. Die Diffusionsbarrieren 18 bilden hierbei jeweils Kreissegmente, die um einen Winkel von ca. 90° zueinander versetzt sind. Auf den Diffusionsbarrieren 18 sind die ersten Elektro­ den 22 der Meßsonde 12 angeordnet. Die Elektroden 22 sind über eine kreisbogenförmig verlaufende Leiterbahn 46 miteinander verbunden. Über eine weitere Leiterbahn 48 sind die Elektroden 22 mit der Kontaktstelle 42 verbunden. Weiterhin ist die erste Elektrode 30 der Referenzsonde 14, die in einer gleichen Schicht 28 (Fig. 1) wie die Elek­ trode 22 liegt, dargestellt. Die Elektrode 30 ist über eine Leiterbahn 50 ebenfalls mit der Kon­ taktstelle 42 verbunden. Auf dem Basissubstrat 16 sind weiterhin die noch nicht kontaktierten Kon­ taktstellen 38 und 40 vorgesehen. Die Diffusions­ barrieren 18, die Elektroden 22 und 30 sowie die Leiterbahnen 46, 48 und 50 können jeweils in auf­ einander folgenden Schritten im Siebdruckverfahren auf das Basissubstrat 16 aufgebracht werden. Sowohl die Diffusionsbarrieren 18 als auch die Elektroden 22 beziehungsweise 30 mit ihren Anschluß-Leiter­ bahnen 46, 48 beziehungsweise 50 sind jeweils in­ nerhalb der in Zwischenschritten aufgebrachten Schichten 28 (Fig. 1) des Basissubstrats 16 ein­ gebettet, das heißt, in der Ebene umschlossen.

In einem in Fig. 3b verdeutlichten nächsten Ver­ fahrensschritt werden die Festelektrolyte 26 und 34 aufgebracht. Die Festelektrolyte 24 sind hierbei auf den Elektroden 22 und der Festelektrolyt 34 auf der Elektrode 30 plaziert. Sowohl die Festelek­ trolyte 24 als auch der Festelektrolyt 34 sind als Festelektrolytinseln 36 ausgebildet, das heißt, diese sind nicht großflächig, sondern nur bereichs­ weise, auf den Bereich der Elektroden 22 bezie­ hungsweise 30 beschränkt, aufgebracht. Der Bereich zwischen den Festelektrolyten 26 und 34 ist mit ei­ ner weiteren Schicht 28 des Basissubstrats 16 - wie Fig. 3c zeigt - ausgefüllt. Hierdurch wird die Ausbildung der Festelektrolytinseln 36, die quasi in einer Ebene in der entsprechenden Schicht 28 des Basissubstrats 16 angeordnet sind, erreicht. Hier­ durch ergibt sich, daß bei einer betriebsbedingten Erwärmung des gesamten Meßfühlers 10 und damit der einen unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizien­ ten besitzenden Festelektrolyten 26 und 34 bezie­ hungsweise des Basissubstrats 16, durch die klein­ flächige Ausbildung der Festelektrolyten 26 bezie­ hungsweise 34, daß die Absolutwerte der thermisch bedingten Dehnungsunterschiede zwischen den Fest­ elektrolyten 26 und 34 beziehungsweise dem Basis­ substrat 16 minimiert werden. Hierdurch werden die thermischen Spannungen innerhalb des Meßfühlers 10 reduziert, so daß eine Rißbildung in den Festelek­ trolyten 26 beziehungsweise 34 vermieden werden kann.

In einem nächsten, in Fig. 3d verdeutlichten Ver­ fahrensschritt, wird eine weitere Schicht 28 des Basissubstrats 16 auf die bisher geschaffene Struk­ tur aufgebracht. Die Schicht 28 besitzt eine Mas­ kierung 52, die der späteren Anordnung der Elek­ troden 24 beziehungsweise 32 entspricht. Die Mas­ kierung 52 beinhaltet ebenfalls die Ausbildung des Diffusionslochs 20. In einem nächsten, in Fig. 3e verdeutlichten Schritt, werden nunmehr die Elek­ troden 24 und 32 aufgebracht. Die Elektroden 24 sind hierbei wiederum entsprechend der Anordnung der Elektroden 22 auf einer Kreislinie angeordnet. Die Elektroden 24 sind durch eine Leiterbahn 54 untereinander und mit einer weiteren Leiterbahn 56 mit der Kontaktstelle 40 verbunden. Die Elektrode 32 ist über eine Leiterbahn 58 mit der Kontakt­ stelle 38 verbunden. Die Elektroden 24 und 32 und die Leiterbahnen 54, 56, 58 können wiederum durch Siebdruck aufgebracht werden.

Insgesamt ist der Meßfühler 10 durch einen ein­ fachen Schichtaufbau gekennzeichnet, der durch all­ gemein bekannte und zuverlässig beherrschbare auf­ einanderfolgende Siebdruckschritte erzielbar ist. Insbesondere kann auch so der getrennte Aufbau der Meßsonde 12 und der Referenzsonde 14 in einem gemeinsamen Basissubstrat 16 erreicht werden, wobei die Festelektrolyten 26 beziehungsweise 34 im Ver­ hältnis zum Basissubstrat 16 klein gehalten werden können.

Die im Ausführungsbeispiel angegebenen Material an­ gaben sind lediglich beispielhaft und können durch jede andere für den Einsatzzweck des Meßfühlers 10 geeignete Materialien ersetzt werden.

Claims (12)

1. Meßfühler zur Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Gasgemischen, insbesondere in Abgasen von Verbrennungskraftmaschinen, mit einer elektrochemi­ schen Meßsonde und einer elektrochemischen Refe­ renzsonde, die einen zwischen zwei mit einer Aus­ werteschaltung verbundenen Elektroden angeordneten Festelektrolyten aufweisen, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßsonde (12) und die Referenzsonde (14) voneinander getrennt in einem gemeinsamen Basis­ substrat (16) eingebettet sind und die Festelektro­ lyte (26, 34) von Festelektrolytinseln (36) gebil­ det sind, die ausschließlich im Bereich der Elek­ troden (22, 24 bzw. 30, 32) angeordnet sind.

2. Meßfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Meßsonde (12) als Pumpzelle und die Referenzsonde (14) als Lambdasonde ausgebildet sind.

3. Meßfühler nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßfühler (12) aus einzelnen, vorzugsweise im Siebdruckverfahren auf das Basissubstrat (16) aufgebrachten Schichten (28) aufgebaut ist.

4. Meßfühler nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichten (28) die einzelnen Bestandteile der Meßsonde (12) und der Referenzsonde (14) in der Ebene umschließen.

5. Meßfühler nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß in einer ersten Schicht (28) eine Diffusionsbarriere (18) für die Meßsonde (12) angeordnet ist.

6. Meßfühler nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß in einer zweiten Schicht (28) die Elektroden (22) der Meßsonde (12) und die Elektrode (34) der Referenzsonde (14) ange­ ordnet sind.

7. Meßfühler nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß in einer dritten Schicht (28) die Festelektrolyte (26, 34) der Meß­ sonde (12) und der Referenzsonde (14) angeordnet sind.

8. Meßfühler nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß in einer vierten Schicht (28) die Elektroden (24 und 32) der Meß­ sonde (12) und der Referenzsonde (14) angeordnet sind.

9. Meßfühler nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß die Diffusions­ barriere (18), die Elektroden (22), der Festelek­ trolyt (26) und die Elektroden (24) der Meßsonde (12) von auf einer Kreislinienform angeordneten, einzelnen, zueinander beabstandeten Kreissegmenten gebildet sind, wobei die Elektroden (22) über eine Leiterbahn (46) und die Elektroden (24) über eine Leiterbahn (54) miteinander verbunden sind.

10. Meßfühler nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich­ net, daß die Kreissegmente in einem Winkel von 90° zueinander versetzt angeordnet sind.

11. Meßfühler nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß die Kreissegmente um ein von den Schichten (28) gebildetes, die Diffusionsbarriere (18) mit dem Gasgemisch verbin­ denden Diffusionsloch (20) angeordnet sind.

12. Meßfühler nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßsonde (12) von drei jeweils aus einer Diffusionssperre (18), Elektrode (22), Festelektrolyt (26) und Elektrode (24), jeweils um 90° zueinander versetzt auf einer Kreisebene angeordneten Kreissegmenten gebildet ist, und ein viertes in derselben Ebene liegendes Kreissegment die Referenzsonde (14) bildet.