DE4427724C2 - Verfahren und Vorrichtung zum Messen einer winkelabhängigen Größe - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Messen einer winkelabhängigen Größe

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrich­ tung zum Messen einer winkelabhängigen Größe. Insbesondere, aber nicht ausschließlich, befaßt sich die Erfindung mit der Messung von Winkeln zur optischen trigonometrischen Vermessung und/oder Entfernungsbestimmung sowie zur Längen- und Distanzmessung. Hieraus abgeleitet können Geschwindigkeiten und Beschleunigun­ gen längs vorgegebenen Achsen bestimmt werden.
Optische Vermessungsinstrumente mit optischen Visiereinrich­ tungen zur Feststellung des Azimutwinkels oder des Höhenwinkels sind in verschiedenen Ausführungsformen bekannt geworden. Da die mechanische Winkelablesung nur eine begrenzte Genauigkeit lie­ fert, sind auch bereits elektronische, drehempfindliche Vor­ richtungen bekanntgeworden, die auf dem Kreiseleffekt beruhen. Diese Anordnungen sind jedoch sehr aufwendig und teuer. Sie sind beispielsweise für Navigationszwecke geeignet.
Andere Verfahren der Triangulationsmessung beruhen auf der Detektion von auf der Objektoberfläche spiegelnd reflektiertem Licht mit Hilfe einer positionsempfindlichen Diode (PSD). Der Arbeitsabstand dieser Systeme liegt, bedingt durch die stören­ de Aufweitung eines Lichtstrahls, bei maximal einigen cm. In vielen technischen Anwendungen kann zudem eine spiegelnde Re­ flexion nicht gewährleistet werden, im allgemeinen besitzen technische Oberflächen eine im Vergleich zur eingestrahlten Wellenlänge rauhe Oberfläche, woraus eine diffuse Streuung re­ sultiert.
Die DE 41 15 785 C2 beschreibt ein Verfahren zur optischen Distanzvermessung eines Objektes nach dem Triangulationsprinzip, wobei als Detektionssignal die Position dem Detektorstrahles auf einem PSD ausgegeben wird.
Darüber hinaus existieren Entfernungsmeßverfahren, welche die Laufzeit eines kurzen Laserpulses als Meßsignal ausnutzen. Wegen der zu kurzen Zeiten hin begrenzten Pulsdauer des Lasers sind diese Verfahren jedoch für größere Entfernungen, ab typisch einige 10 m bis einige km einsetzbar.
Die DE 42 34 849 C1 beschreibt ein optisches Wegmeßsystem, bei welchem als Detektor eine CCD-Zeilenkamera Verwendung findet.
Die JP 1-259214 A (Patents Abstracts of Japan P-987 January 10, 1990 Vol. 14/No. 8) beschreibt ein Verfahren und eine Vorrich­ tung zur Distanzmessung durch einen rotierenden Laserstrahl. Der rotierende Laserstrahl trifft nacheinander auf zwei quer zur Meßdistanz im vorbestimmten Abstand angeordnete Detektoren, und aus dem zeitlichen Abstand der von den Detektoren geliefer­ ten Signale erfolgt auf trigonometrischem Weg eine Entfernungs­ messung. Hierbei ist es erforderlich, am Ort des Meßobjektes (Ende der zu messenden Entfernung) Detektoren anzuordnen, die miteinander und mit einer Auswerteinheit am Meßort verbunden werden müssen.
Eine ähnliche Vorrichtung ist in der JP 4-47209 A (Patents Abstracts of Japan P-1359 May 25, 1992 Vol. 16/No. 222) be­ schrieben. Hierbei sind die Detektoren am Ort des Meßobjektes durch Reflexionsmarken ersetzt. Der Detektor sitzt am Meßort im Sensorkopf, so daß dieser jeweils beim Auftreffen des Laser­ strahls auf eine Reflexionsmarke ein Signal erhält. Auch hier handelt es sich um ein klassisches trigonometrisches Meß­ verfahren mit einer bekannten Meßbasis am Ort des Meßobjektes.
Die US-PS 52 25 882 betrifft eine Vorrichtung zur Distanzmessung und/oder zur Messung des Azimut-Winkels eines sich bewegenden Körpers, wobei ein Laserstrahl in Verbindung mit einem Abtast­ mechanismus benutzt wird. Über ein Pulslaser-Meßsystem wird ein Hindernis zweidimensional abgescannt und zum Abscannen wird ein rotierender Spiegel benutzt. Die Laserdiode wird ge­ pulst und als Detektor dient eine Avalanche-Photodiode. Als Meßsignal wird die Lichtlaufzeit ausgewertet, nicht aber eine winkelabhängige Größe.
Die DE-OS 25 46 714 betrifft ein Verfahren zum Messen des Ab­ standes von und der Geschwindigkeitskomponente eines Objektes senkrecht zu einer Bezugslinie. Mit Hilfe des Triangulationsprinzips und eines schwenkbaren Spiegels wird eine Abstands­ messung nach einem Meßobjekt vorgenommen, und durch wiederhol­ te zeitlich aufeinanderfolgende Abstandsmessung wird die Ge­ schwindigkeit abgeleitet, mit der sich das Meßobjekt auf den Meßort hin oder von diesem weg bewegt. Eine Messung in Trans­ versalrichtung ist hierbei nicht möglich.
Die DE 37 22 429 A1 zeigt eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Messung eines Winkels für die Gewinnung der Koordinaten eines Meßpunktes, wobei zwei Laserstrahlen von einem zentralen Meßpunkt aus gesendet werden, die mit der gleichen Winkel­ geschwindigkeit gegeneinander rotieren. Aus den im Meßpunkt empfangenen Reflexionssignalen werden Zeitintervalle er­ mittelt und zur Koordinatengewinnung ausgenutzt. Es wird hierbei jedoch nur eine Koordinate bezüglich einer Referenz­ richtung (Polarkoordinate) bestimmt und dabei nur ein Winkel erfaßt, so daß eine Geschwindigkeitsmessung oder Längenmessung mit dieser Vorrichtung nicht möglich ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein universell ver­ wendbares Verfahren anzugeben, mit dem über die optische Messung einer winkelabhängigen Größe mit hoher Genauigkeit die Transversalgeschwindigkeit eines Meßobjektes bzw. die Entfernung zu einem Meßobjekt vom Meßort aus ermittelt werden kann, wobei auch Meßobjekte erfaßt werden können, die mit einer im Vergleich zur eingestrahlten Wellenlänge rauhen Ober­ fläche versehen sind.
Gelöst wird die gestellte Aufgabe durch die Gesamtheit der im Patentanspruch 1 bzw. im Patentanspruch 7 angegebenen Merk­ male.
Weitere Ausgestaltungen dieser Verfahren ergeben sich aus den Unteransprüchen 2 bis 6 bzw. 8.
Vorrichtungen zur Durchführung dieser Verfahren ergeben sich aus den Ansprüchen 9 bzw. 16.
Weitere Ausgestaltungen der Vorrichtung gemäß Anspruch 9 er­ geben sich aus den Ansprüchen 10 bis 15.
Die Erfindung beruht demgemäß auf einer auf eine Zeitmessung zurückgeführten Winkelmessung. Die Ablenkgeschwindigkeit, d. h. die Winkelgeschwindigkeit, mit der der Laserstrahl rotiert, kann dabei konstant sein, aber es kann auch eine beschleunigte oder eine verzögerte Bewegung sein, Voraussetzung ist lediglich, daß man die Beziehung zwischen der Ablenkgeschwindigkeit und der Zeit kennt. Die Ablenkung kann mittels rotierender Reflektoren erfolgen, sie kann jedoch auch aus einer begrenzten Winkelschwenkbewegung bestehen.
Auf diese Weise lassen sich nicht nur Winkel mit einfachen Mitteln präzise messen, sondern auch alle abgeleiteten Größen, wie z. B. Winkelgeschwindigkeit und Winkelbeschleunigung. Insbe­ sondere können jedoch Entfernungen längs einer vorbestimmten Achse bestimmt werden, woraus eine Geschwindigkeitsbestimmung durch mehrere Messungen innerhalb eines definierten Zeitfensters durchgeführt werden kann, ebenso kann eine Beschleunigungs­ messung durch aufeinanderfolgende Geschwindigkeitsmessungen vorgenommen werden.
Ferner kann die Erfindung zur Fahrzeugscannung mittels mehre­ rer Meßpunkte benutzt werden, um ein Fahrzeug bei der Verkehrs­ überwachung und zur Fahrzeugklassifikation wiederzuerkennen.
Ferner können verschiedene Objekte innerhalb einer Produktions­ verfolgung abgetastet werden, und es ist es auch möglich, die Erfindung in Form eines Theodoliten mit Neigungssensor zu ver­ wirklichen. Als Licht­ schranke kann die Erfindung ohne den sonst üblichen gegen­ überliegenden Detektor verwendet werden. Schließlich ist eine Vermessung von Gußteilen in einer Eisengießerei während der Produktion ins Auge gefaßt.
Ferner können die zu erfassenden Parameter der Objekte sich beziehen auf Veränderungen des Relativabstandes und Veränderungen der Geschwindigkeit und/oder der Beschleunigung.
Vorstehend wurden nur einige von zahlreiche-n Anwendungen be­ schrieben, für die die Erfindung benutzt werden kann.
Nachstehend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung beschrieben. In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1 zeigt eine optische Triangulationseinrichtung mit einem Laser und zwei Detektoren zur Entfernungsmessung, wie sie bei der Anordnung nach Fig. 5 Anwendung findet,
Fig. 2 zeigt das Meßprinzip der Entfernungsmeßvorrich­ tung nach Fig. 1,
Fig. 3 zeigt das Meßsystem gemäß Fig. 1 und 2 mit räumlich verteilten und entkoppelten Modulen,
Fig. 4 und 5 zeigen Vorrichtungen zur Messung der Transversal- Geschwindigkeit mit mehreren gegenläufig rotierenden Dreh­ spiegeln,
Fig. 6 zeigt eine Entfernungsmeßanordnung, die einen Pulslaser benutzt.
Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung zur Laserentfernungsmessung im mittleren Entfernungsbereich von 0,5 bis 50 m.
Das in der Erfindung eingesetzte Triangulationsverfahren wird in vielfältiger Weise im Zusammenhang mit positionssensitiven Detektoren und CCD-Zeilen eingesetzt. Durch die relativ klei­ nen räumlichen Abmaße solcher Lateraldioden wird ein lang­ reichweitiges Triangulationsmeßgerät geschaffen, welches durch den Einsatz eines Mikrocontrollers portabel und kostengünstig ist und mit einer Auflösung im Bereich weniger Millimeter mißt.
Das in der Erfindung beschriebene Meßgerät realisiert das die Entfernung ergebende Dreieck aus dem einfallenden und dem re­ flektierenden Laserstrahl eines rotierenden Spiegels 3 und der Achse vom diffus reflektierten Laserstrahl und dem diesen Leuchtfleck detektierenden Entfernungssensor 1 (Fig. 1). Bei einer bekannten, vom Sensor meßbaren Winkelgeschwindigkeit ω und mit Benutzung eines Referenzdetektors 2 zur Erzeugung eines Startsignals läßt sich aus der Zeitdifferenz zwischen dem Licht­ signal des Entfernungsdetektors 1 und dem Lichtsignal des Referenzdetektors 2 die Entfernung x1 (Fig. 1) nach folgen­ der Gleichung bestimmen:
Die in der Gleichung vorkommenden Größen x2 und x3 ergeben sich aus der Geometrie des Aufbaus und können je nach gewünsch­ ten Abmaßen des Sensors und seiner Auflösung gewählt werden.
Der Faktor 2, mit dem die gemessene Zeit tmess belastet wird, ergibt sich aus dem Verhältnis der geometrischen (α1 und α2) und der Spiegelwinkel (αs1 und αs2). Um die geometrischen Winkel mit den Spiegelwinkeln vergleichen zu können, wird der Winkel αs2' aus dem Winkel αs2 abge­ leitet und mit αs1 in Relation gebracht.
Der Einsatz eines verspiegelten Polygons führt zu einer wesent­ lichen Erhöhung der Meßfrequenz bei konstantem Meßfehler. Die Zeitmessung erfolgt nach einer Signalpegelanpassung direkt mit den Timer-Eingängen eines Mikrocontrollers. Die in diesem Mikrocontroller ab laufende Software berechnet den Ent­ fernungswert und gibt diesen auf dem LC-Display aus.
Über die Position des Referenzdetektors und dem daraus resul­ tierenden Winkel α2 läßt sich die zu messende Zeitdifferenz je Entfernungsbereich in einen für den Mikrocontroller opti­ malen Zeitmeßbereich bringen.
Eine Änderung des Einstrahlwinkels des Lasers gegenüber der Achse x3 ermöglicht bei entsprechender Flächenwahl des Poly­ gonspiegels die Beschränkung des Meßbereichs in beide Rich­ tungen und realisiert in dieser Weise sowohl eine Vordergrund- als auch eine Hintergrundausblendung. Wird hingegen ein größe­ rer Meßbereich gewünscht, muß dieser Forderung mit einer ge­ ringeren Flächenzahl des Polygonspiegels Rechnung getragen werden.
Die sich mit dem neuen Einstrahlwinkel γ ergebende Gleichung zur Bestimmung der Entfernung des Meßobjektes lautet:
Der Entfernungsdetektor zur Detektion des diffus reflektier­ ten Laserstrahls besteht aus zwei integrierten Photoempfängern mit analoger Tageslichtsubtraktion und einem Normalobjektiv zur optimalen Abbildung des Laserflecks auf den Photoempfänger. Mittels einer Gewindestange können die Photodetektoren und das Objektiv in den optimalen Abstand zueinander gebracht werden, um eine bestmögliche Leistungsausbeute des mit 1/r2 abnehmen­ den Lichtsignals zu gewährleisten. Ferner ist die Möglichkeit gegeben, zusätzliche Filter zu montieren, um in verschiedenen Wellenlängenbereichen arbeiten zu können (z. B. im nahen Infra­ rotbereich) . Durch das innere der Gewindestange werden die Ver­ sorgungsspannung und das vorverarbeitete Signal herausgeführt.
Die Gesetzmäßigkeiten eines Lambert'schen Strahlers, den die diffuse Reflexion darstellt, erfordern eine adaptive Messung des Lichtsignals, um den optimalen Zeitpunkt zu bestimmen. Zu diesem Zweck wird mittels eines Peakholders über den A/D-Wandler des Mikrocontrollers der maximale Pegel des diffus reflektierten Lichtsignals bestimmt und in Abhängigkeit von diesem Wert ein programmierbarer Verstärker zur Signalanpassung angesteuert. Um Messungen mit den geforderten Meßabweichungen im Bereich weniger Millimeter durchführen zu können, ist unbedingt eine Drehzahl­ regelung der Umdrehungsgeschwindigkeit ω erforderlich. Da die Erfindung auch zur Messung von Geschwindigkeiten und zum Abscan­ nen von bewegten Objekten (z. B. Autos) geeignet ist, und um es dem Benutzer zu ermöglichen, das Meßgerät optimal auf die Bedürfnisse anzupassen, ist eine Sollwertvorgabe durch den Mikrokontroller vorgesehen. Der Sollwert und andere Systemgroßen können mittels einer Tastatur eingegeben werden.
Zur Vergrößerung der Auflösung des Entfernungsmessers kann das Meßgerät in zwei Komponenten aufgeteilt werden; einen Sender 6, bestehend aus dem Laser und dem Drehspiegel und dem Referenz­ signalgeber, und einen Empfänger 7, bestehend aus dem Entfernungs­ detektor. Die Kommunikation zwischen den beiden Komponenten erfolgt über Funk oder über eine optische Übertragungsstrecke. Die durch diese getrennte Anordnung mögliche Auflösung der zu mes­ senden Entfernung wird dann im wesentlichen nur noch durch die Gleichlaufschwankungen des Spiegels, die zeitliche Auflösung und das Rayleighkriterium bestimmt. Sichtkontakt ist hierbei nur vom Sendermodul zum Meßobjekt und vom Meßobjekt zum Empfän­ ger notwendig (Fig. 3). Bei weiten Wegen zwischen den beiden Moduln ist es notwendig, zum Ausgleich der Signallaufzeiten in beiden Moduln eine gemeinsame Zeitbasis einzusetzen (z. B. DCF oder GPS), mittels derer Start- und Endzeitpunkt als Absolutzeitwerte bestimmt werden, deren Differenz-Zeitpunkt unkritisch ausgewertet werden kann.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel ergibt sich aus Fig. 4. Hier sind zwei gegenläufige Drehspiegel 3 in der Drehachse überein­ ander zusammen mit einem Strahlteiler 10 angeordnet. Der Strahl­ teiler 10 dient zum Auskoppeln der Reflexion. Hiermit kann gleichzeitig die Länge und Geschwindigkeit eines abgescannten Meßobjektes gemessen werden, das sich quer zum Beobachter erstreckt. Befindet sich das Meßobjekt in Ruhe (Vo = 0) läßt sich aus dem zeitlichen Verlauf des Reflexionssignales bei bekannten Abstand d zum Meßobjekt dessen Länge lo berechnen.
ϑs = vspiegel ≈ ω.d
lo = ω.d.Δt
Mit zunehmender Geschwindigkeit verschieben sich die Endpunkte der beiden Reflexionssignale immer weiter auseinander. Aus dem Verhältnis der aus den verschiedenen Drehrichtungen hervorge­ gangenen Signale berechnet sich die gesuchte Geschwindigkeit ϑ0 des Meßobjektes wie folgt:
Grundlage dieser Berechnung ist die Entfernung d, die mit dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel trigonometrisch gemessen wurde.
Fig. 5 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem die Messung aller gewünschten Größen (d, l0, v0) möglich ist. Der Einsatz eines Mikrocontrollers macht diese Ausführung zu einem universellen Meßgerät, das beispielsweise in der Verkehrstech­ nik aber auch in der Prozeßverfolgung angewandt werden kann.
Ein weiteres wichtiges Ausführungsbeispiel betrifft die hoch­ präzise Überwachung von Drehzahlschwankungen. Hierzu werden bei einer fest eingestellten Entfernung die Schwankungen der Zeitdifferenzen erfaßt und mittels dieser Abweichungen die Schwankungen der Drehzahl im gewählten Winkelbereich nach der folgenden Formel errechnet.
Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 6 wird zur Entfernungs­ messung ein Pulslaser 4 benutzt, dessen Triggerzeitpunkte von einem Pulsgenerator vorgegeben werden. Jeweils zwei Pulse definierten Abstandes Δt werden in einem festen Zeitrahmen ausgesandt. Dieser Zeitrahmen wird, wie auch die Drehgeschwin­ digkeit des Rotationsspiegels 8, von einem Referenzgenerator vorgegeben. Durch die um Δt verschobenen Signale des Spiegels wird ein Puls direkt zum Meßobjekt und ein Puls über einen Um­ lenkspiegel zum Meßobjekt abgestrahlt.
Mittels der Variation der Zeitverschiebung Δt der beiden Pulse in Bezug zur Spiegelstellung lassen sich beide Strahlen auf dem Meßobjekt zur Deckung bringen, was wiederum von einem Detektor erfaßt werden kann. Aus dieser eingestellten Zeitverschiebung Δt und der Winkelge­ schwindigkeit ω des Rotationsspiegels wird die sich aus dem Strahlendreieck ergebende Entfernung zum Meßobjekt berechnet.

Claims (16)

1. Verfahren zum Messen einer winkelabhängigen Größe eines bewegten Meßobjekts mit den folgenden Schritten:
  • - zwei gegensinnig rotierende Meßstrahlen tasten das Meß­ objekt über einen Winkelbereich ab;
  • - die vom Meßobjekt reflektierten Meßstrahlen werden einer Meßdetektoranordnung zugeführt;
  • - zur Auswertung werden die beiden von der Meßdetektoran­ ordnung gelieferten Signale hinsichtlich ihrer Impulsdauer verglichen;
  • - und aus den beiden unterschiedlichen Impulsdauern der Meßsignale wird die Transversalgeschwindigkeit des Meßobjekts berechnet.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem aus den beiden unterschiedlichen Impulsdauern der Meßsignale die Länge des Meßobjekts berechnet wird.
3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, bei welchem die Meßstrahlen um die gleiche Achse rotieren, und die Meß­ detektoranordnung einen einzigen Meßdetektor aufweist.
4. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, bei welchem die Meßstrahlen um zwei im Abstand zueinander liegende Achsen rotieren und die Meßdetektoranordnung zwei Meßdetektoren auf­ weist.
5. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 4, bei welchem die Meßstrahlen von einem Laser erzeugt werden, der gegensinnig rotierende Spiegel beleuchtet.
6. Verfahren nach Anspruch 4, bei welchem eine trigo­ nometrische Entfernungsmessung mittels eines dritten Meßdetek­ tors in Verbindung mit wenigstens einem Referenzdetektor und einer Meßbasis durchgeführt wird.
7. Verfahren zur Messung einer winkelabhängigen Größe bei dem ein gepulster Laserstrahl einen rotierenden Spiegel beaufschlagt, der einen ersten Meßstrahlimpuls direkt und einen um einen Zeitabstand Δt verschobenen zweiten Meßstrahlimpuls über eine Meßbasis und einen Umlenkspiegel auf ein Meßobjekt richtet, wobei mittels einer Variation des Zeitabstands Δt in Richtung zur Spiegelstellung der beiden Meßstrahlimpulse ein Zeitabstand eingestellt wird, bei dem beide Meßstrahlimpulse auf dem Meßobjekt zur Deckung gelangen, was von einem Meßdetektor erfaßt wird, und wobei aus diesem eingestellten Zeitabstand Δt und der Winkelgeschwindigkeit ω des rotierenden Spiegels die sich aus dem Strahlendreieck ergebende Entfernung zum Meßobjekt berechnet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, bei welchem ein Puls­ generator zur Erzeugung des gepulsten Laserstrahls und der rotierende Spiegel über einen Referenzgenerator synchron an­ gesteuert werden.
9. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß ein Dauerstrichlaser (4) vorge­ sehen ist, dessen gebündelter Lichtstrahl auf eine Dreh­ spiegelanordnung (3) gerichtet ist, die zwei gegenläufig rotierende Strahlen erzeugt, die mit der gleichen Winkel­ geschwindigkeit ω rotieren und ein Meßobjekt abtasten, daß im Schwenkbereich des von der Drehspiegelanordnung (3) reflektierten Laserstrahls ein Referenzdetektor (2) und ein über einen Strahlteiler (10) beleuchteter Entfernungsdetek­ tor (1) angeordnet sind, daß ein Komparator vorgesehen ist, der die vom Referenzdetektor (2) und vom Entfernungsdetek­ tor (1) gelieferten Signale vergleicht und aus der Zeit­ differenz den Drehwinkel ableitet, und daß eine Einrichtung vorgesehen ist, die aus den Impulsdauern der vom Entfernungs­ detektor (1) gelieferten Signale die Transversalgeschwindig­ keit des Meßobjekts bestimmt.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zur trigonometrischen Messung der Entfernungsdetektor (1) auf das Meßobjekt gerichtet ist, das den von der Drehspiegelanordnung (3) reflektierten Laser­ strahl längs der Detektorachse reflektiert.
11. Vorrichtung nach den Ansprüchen 9 und 10, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erhöhung der Meßgenauigkeit räumlich verteilte Detektorsysteme in fester Winkelbeziehung angeordnet sind.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß eine gemeinsame Zeitbasis (GPS, DFC) zur Bestimmung korrelierter Absolutwertmessungen vor­ gesehen ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswertung der gemeinsamen Zeitbasis durch eine Datenverbindung beispielsweise mit Hilfe elektromagnetischer Wellen realisiert ist.
14. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehspiegelanordnung zwei gegenläufige Spiegel (3) aufweist, die um die gleiche Achse rotieren (Fig. 4).
15. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehspiegelanordnung zwei gegenläufig rotierende Spiegel aufweist, die in einem vor­ bestimmten Abstand zueinander angeordnet sind, wobei diese Spiegel über einen in der Mitte dazwischen angeordneten Strahlteiler (10) beaufschlagt werden, der seinerseits von dem Laser (4) bestrahlt wird (Fig. 5).
16. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß ein Pulslaser (4) vorgesehen ist, dessen Triggerzeitpunkte von einem Pulsgenerator vor­ gegeben werden, daß der gepulste Laserstrahl einen rotie­ renden Spiegel (8) beaufschlagt, der einen ersten Meßstrahl­ impuls direkt und einen um einen Zeitabstand Δt verscho­ benen zweiten Meßstrahlimpuls über eine Meßbasis und einen Umlenkspiegel auf ein Meßobjekt richtet, und daß eine Einrich­ tung vorgesehen ist, die mittels einer Variation des Zeitab­ stands Δt in Richtung zur Spiegelstellung der beiden Meß­ strahlimpulse einen Zeitabstand einstellt, bei dem beide Meßstrahlimpulse auf dem Meßobjekt zur Deckung gelangen, was von einem Meßdetektor (1) erfaßt wird, und die aus diesem einge­ stellten Zeitabstand Δt und der Winkelgeschwindigkeit ω des rotierenden Spiegels (8) die sich aus dem Strahlendreieck er­ gebende Entfernung zum Meßobjekt berechnet.
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