DE4427724A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Messen einer winkelabhängigen Größe - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Messen einer winkelabhängigen GrößeInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrich
tung zum Messen einer winkelabhängigen Größe. Insbesondere,
aber nicht ausschließlich, befaßt sich die Erfindung mit der
Messung von Winkeln zur optischen trigonometrischen Vermessung
und/oder Entfernungsbestimmung unter Benutzung einer Meßbasis.
Hieraus abgeleitet können Geschwindigkeiten und Beschleunigun
gen längs vorgegebenen Achsen gemessen und bestimmt werden.
Optische Vermessungsinstrumente mit optischen Visiereinrich
tungen zur Feststellung des Azimutwinkels oder des Höhenwinkels
sind in verschiedenen Ausführungsformen bekannt geworden. Da die
mechanische Winkelablesung nur eine begrenzte Genauigkeit lie
fert, sind auch bereits elektronische, drehempfindliche Vor
richtungen bekanntgeworden, die auf dem Kreiseleffekt beruhen.
Diese Anordnungen sind jedoch sehr aufwendig und teuer. Sie
sind beispielsweise für Navigationszwecke geeignet.
Andere Verfahren der Triangulationsmessung beruhen auf der
Detektion von auf der Objektoberfläche spiegelnd reflektiertem
Licht mit Hilfe einer positionsempfindlichen Diode (PSD). Der
Arbeitsabstand dieser Systeme liegt, bedingt durch die stören
de Aufweitung eines Lichtstrahls, bei maximal einigen cm. In
vielen technischen Anwendungen kann zudem eine spiegelnde Re
flexion nicht gewährleistet werden, im allgemeinen besitzen
technische Oberflächen eine im Vergleich zur eingestrahlten
Wellenlänge rauhe Oberfläche, wobei eine diffuse Streuung re
sultiert.
Die DE 41 15 785 C2 beschreibt ein Verfahren zur optischen
Distanzvermessung eines Objektes nach dem Triangulationsprinzip,
wobei als Detektionssignal die Position des Detektorstrahles
auf einem PSD ausgegeben wird.
Darüber hinaus existieren Entfernungsmeßverfahren, welche die
Laufzeit eines kurzen Laserpulses als Meßsignal ausnutzen.
Wegen der zu kurzen Zeiten hin begrenzten Pulsdauer des Lasers
sind diese Verfahren jedoch für größere Entfernungen, ab
typisch einige 10 m bis einige km einsetzbar.
Die DE 42 34 849 C1 beschreibt ein optisches Wegmeßsystem,
bei welchem als Detektor eine CCD-Zeilenkamera Verwendung
findet.
Die herkömmlichen Verfahren zum optischen Abtasten von Objek
ten besitzen jedoch den Nachteil, daß eine Triangulation nur
bei spiegelnder Rückstreuung durchgeführt werden kann. Im
technischen Einsatz ist es jedoch notwendig, daß nacheinander
verschiedene Objekte erfaßt werden, auch solche mit einer im
Vergleich zur eingestrahlten Wellenlänge rauhen Oberfläche.
Der Erfindung liegt demgegenüber die Aufgabe zugrunde, ein
Verfahren anzugeben, welches in einer einfachen, tragbaren
Vorrichtung verwirklicht werden kann, um Winkel zwischen
optisch erfaßbaren Punkten mit hoher Genauigkeit und Auflö
sung zu messen.
Gelöst wird die gestellte Aufgabe durch die im Kennzeichnungs
teil der Patentansprüche 1 bzw. 2 angegebenen Merkmale.
Die Erfindung beruht daher auf der Erkenntnis, daß die Winkel
messung auf eine Zeitmessung zurückgeführt werden kann, indem
die Zeit gemessen wird, die ein abgelenkter Strahl, beispiels
weise ein Laserstrahl, aber auch ein anderer elektromagneti
scher Strahl, benötigt, um von einem Bezugsobjekt nach einem
Meßobjekt zu gelangen. Die Ablenkgeschwindigkeit, d. h. die
Winkelgeschwindigkeit, kann dabei konstant sein, aber es kann
auch eine beschleunigte oder eine verzögerte Bewegung sein,
Voraussetzung ist lediglich, daß man die Beziehung zwischen
der Ablenkgeschwindigkeit und der Zeit kennt. Die Ablenkung
kann mittels rotierender Reflektoren erfolgen, sie kann jedoch
auch aus einer begrenzten Winkelschwenkbewegung bestehen.
Auf diese Weise lassen sich nicht nur Winkel mit einfachen
Mitteln präzise messen, sondern auch alle abgeleiteten Größen,
wie z. B. Winkelgeschwindigkeit und Winkelbeschleunigung. Insbe
sondere können jedoch Entfernungen längs einer vorbestimmten
Achse bestimmt werden, woraus eine Geschwindigkeitsbestimmung
durch mehrere Messungen innerhalb eines definierten Zeitfensters
durchgeführt werden kann.
Ferner kann die Erfindung zur Fahrzeugscannung mittels mehre
rer Meßpunkte benutzt werden, um ein Fahrzeug bei der Verkehrs
überwachung und zur Fahrzeugklassifikation wiederzuerkennen.
Ferner können verschiedene Objekte innerhalb einer Produktions
verfolgung abgetastet werden, und es ist es auch möglich, die
Erfindung in Form eines Theodoliten mit Neigungssensor zu ver
wirklichen. In der Meteorologie kann die Erfindung Anwendung
finden zur Feststellung von Regen, Schnee und Nebel. Als Licht
schranke kann die Erfindung ohne den sonst üblichen gegen
überliegenden Detektor verwendet werden. Schließlich ist eine
Vermessung von Gußteilen in einer Eisengießerei während der
Produktion ins Auge gefaßt.
Ferner können die zu erfassenden Parameter der Objekte sich
beziehen auf Veränderungen der Oberflächenstruktur, auf Ver
änderungen der Oberflächenrauhheit, auf Veränderungen des
Relativabstandes und Veränderungen der Geschwindigkeit und/
oder der Beschleunigung.
Vorstehend wurden nur einige von zahlreichen Anwendungen be
schrieben, für die die Erfindung benutzt werden kann.
Durch die Erfindung wird es demgemäß möglich, mittels einer
einfachen, tragbaren Vorrichtung lokale Objekteigenschaften
zeitlich aufgelöst zu realisieren, wobei eine berührungslose,
zerstörungsfreie, zeitlich und lokal hoch aufgelöste Messung
mit variablem Meßbereich vorgenommen werden kann.
Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den
Unteransprüchen.
Nachstehend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand
der Zeichnung beschrieben. Dieses in der Anwendung nicht be
schränkende Ausführungsbeispiel bezieht sich auf eine Entfer
nungsmessung durch Winkelbestimmung nach dem trigonometrischen
Prinzip.
In den Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 eine Ausführungsform der optischen
Trigulationseinrichtung mit einem Laser und zwei Detektoren;
Fig. 2 das Meßprinzip, welches die Entfernungs
messung mittels eines Rotationsspiegels (Polygonspiegel) auf
eine Zeitmessung zurückführt;
Fig. 3 ein Blockschaltbild der Auswerteeinheit
mit Mikrokontroller;
Fig. 4 ein typisches Meßsignal bei der Detektion;
Fig. 5 das Meßsystem mit räumlich verteilten und
entkoppelten Moduln;
Fig. 6 und 7 Meßanordnungen mit mehreren gegenläufigen
Drehspiegeln;
Fig. 8 eine Entfernungsmeßanordnung, die einen
Pulslaser benutzt.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel findet die Erfindung Anwendung
bei einer Vorrichtung zur Laserentfernungsmessung im mittleren
Entfernungsbereich von 0,5 bis 50 m. Weiterhin betrifft die
Erfindung ein Verfahren zur adaptiven Beeinflussung eines
solchen Entfernungssensors.
Das in der Erfindung eingesetzte Triangulationsverfahren wird
in vielfältiger Weise im Zusammenhang mit positionssensitiven
Detektoren und CCD-Zeilen eingesetzt. Durch die relativ klei
nen räumlichen Abmaße solcher Lateraldioden wird ein lang
reichweitiges Triangulationsmeßgerät geschaffen, welches durch
den Einsatz eines Mikrokontrollers portabel und kostengünstig
ist und mit einer Auflösung im Bereich weniger Millimeter mißt.
Das in der Erfindung beschriebene Meßgerät realisiert das die
Entfernung ergebende Dreieck aus dem einfallenden und dem re
flektierenden Laserstrahl eines rotierenden Spiegels 3 und der
Achse vom diffus reflektierten Laserstrahl und dem diesen
Leuchtfleck detektierenden Entfernungssensor 1 (Fig. 1). Bei
einer bekannten, vom Sensor meßbaren Winkelgeschwindigkeit ω
und mit Benutzung eines Referenzdetektors 2 zur Erzeugung eines
Startsignals läßt sich aus der Zeitdifferenz zwischen dem Licht
signal des Entfernungsdetektors 1 und dem Lichtsignal des
Referenzdetektors 2 die Entfernung x₁ (Fig. 1) nach folgen
der Gleichung bestimmen:
Die in der Gleichung vorkommenden Größen x₁ und x₃ ergeben
sich aus der Geometrie des Aufbaus und können je nach gewünsch
ten Abmaßen des Sensors und seiner Auflösung gewählt werden.
Der Faktor 2, mit dem die gemessene Zeit tmess belastet wird,
ergibt sich aus dem Verhältnis der geometrischen und der Spie
gelwinkel (Fig. 2).
Der Einsatz eines verspiegelten Polygons führt zu einer wesent
lichen Erhöhung der Meßfrequenz bei konstantem Meßfehler. Die
Zeitmessung erfolgt nach einer Signalpegelanpassung direkt mit
den Timer-Eingängen eines Mikrokontrollers (Fig. 3). Die in diesem Mikrokontroller ablaufende Software berechnet den Ent fernungswert und gibt diesen auf dem LC-Display aus.
den Timer-Eingängen eines Mikrokontrollers (Fig. 3). Die in diesem Mikrokontroller ablaufende Software berechnet den Ent fernungswert und gibt diesen auf dem LC-Display aus.
Über die Position des Referenzdetektors und dem daraus resul
tierenden Winkel α₂ läßt sich die zu messende Zeitdifferenz
je Entfernungsbereich in einen für den Mikrokontroller opti
malen Zeitmeßbereich bringen.
Eine Änderung des Einstrahlwinkels des Lasers gegenüber der
Achse x₃ ermöglicht bei entsprechender Flächenwahl des Poly
gonspiegels die Beschränkung des Meßbereichs in beide Rich
tungen und realisiert in dieser Weise sowohl eine Vordergrund
als auch eine Hintergrundausblendung. Wird hingegen ein größe
rer Meßbereich gewünscht, muß dieser Forderung mit einer ge
ringeren Flächenzahl des Polygonspiegels Rechnung getragen
werden.
Die sich mit dem neuen Einstrahlwinkel ergebende Gleichung zur
Bestimmung der Entfernung des Meßobjektes lautet:
Der Entfernungsdetektor zur Detektion des diffus reflektier
ten Laserstrahls besteht aus zwei integrierten Photoempfängern
mit analoger Tageslichtsubstraktion und einem Normalobjektiv
zur optimalen Abbildung des Laserflecks auf den Photoempfänger.
Mittels einer Gewindestange können die Photodetektoren und das
Objektiv in den optimalen Abstand zueinander gebracht werden,
um eine bestmögliche Leistungsausbeute des mit 1/r² abnehmen
den Lichtsignals zu gewährleisten. Ferner ist die Möglichkeit
gegeben, zusätzliche Filter zu montieren, um in verschiedenen
Wellenlängenbereichen arbeiten zu können (z. B. im nahen Infra
rotbereich). Durch das Innere der Gewindestange werden die Ver
sorgungsspannung und das vorverarbeitete Signal herausgeführt.
Die Gesetzmäßigkeiten eines Lambert′schen Strahlers, den die
diffuse Reflexion darstellt, erfordern eine adaptive Messung des
Lichtsignals, um den optimalen Zeitpunkt zu bestimmen. Zu diesem
Zweck wird mittels eines Peakholders über den A/D-Wandler des
Mikrokontrollers der maximale Pegel des diffus reflektierten
Lichtsignals bestimmt und in Abhängigkeit von diesem Wert ein
programmierbarer Verstärker zur Signalanpassung angesteuert. Um
Messungen mit den geforderten Meßabweichungen im Bereich weniger
Millimeter durchführen zu können, ist unbedingt eine Drehzahl
regelung der Umdrehungsgeschwindigkeit ω erforderlich. Da die
Erfindung auch zur Messung von Geschwindigkeiten und zum Abscan
nen von bewegten Objekten (z. B. Autos) geeignet ist, und um es
dem Benutzer zu ermöglichen, das Meßgerät optimal auf die
Bedürfnisse anzupassen, ist eine Sollwertvorgabe durch den
Mikrokontroller vorgesehen. Der Sollwert und andere Systemgrößen
können mittels einer Tastatur eingegeben werden.
Zur Vergrößerung der Auflösung des Entfernungsmessers kann das
Meßgerät in zwei Komponenten aufgeteilt werden; einen Sender,
bestehend aus dem Laser und dem Drehspiegel und dem Referenz
signalgeber, und einen Empfänger, bestehend aus dem Entfernungs
detektor. Die Kommunikation zwischen den beiden Komponenten
erfolgt über Funk oder über eine serielle Schnittstelle. Die
durch diese getrennte Anordnung mögliche Auflösung der zu mes
senden Entfernung wird dann im wesentlichen nur noch durch die
Gleichlaufschwankungen des Spiegels, die zeitliche Auflösung
und das Rayleighkriterium bestimmt. Sichtkontakt ist hierbei
nur vom Sendermodul zum Meßobjekt und vom Meßobjekt zum Empfän
ger notwendig (Fig. 5). Bei weiten Wegen zwischen den beiden
Moduln ist es notwendig, zum Ausgleich der Signallaufzeiten
in beiden Moduln eine gemeinsame Zeitbasis einzusetzen (z. B.
DCF oder GPS), mittels derer Start- und Endzeitpunkt als
Absolutzeitwerte bestimmt werden, deren Differenz-Zeitpunkt
unkritisch ausgewertet werden kann.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel ergibt sich aus Fig. 6. Hier
sind zwei gegenläufige Drehspiegel 3 in der Drehachse überein
ander zusammen mit einem Strahlteiler 10 angeordnet. Der Strahl
teiler 10 dient zum Auskoppeln der Reflexion. Hiermit kann
gleichzeitig die Länge und Geschwindigkeit eines abgescannten
Meßobjektes gemessen werden, das sich quer zum Beobachter
erstreckt. Befindet sich das Meßobjekt in Ruhe (V₀ = 0) läßt
sich aus dem zeitlichen Verlauf des Reflexionssignales bei
bekannten Abstand d zum Meßobjekt dessen Länge l₀ berechnen.
vspiegel ≈ ω · d
l₀ = ω · d · Δt
l₀ = ω · d · Δt
Mit zunehmender Geschwindigkeit verschieben sich die Endpunkte
der beiden Reflexionssignale immer weiter auseinander. Aus dem
Verhältnis der aus den verschiedenen Drehrichtungen hervorge
gangenen Signale berechnet sich die gesuchte Geschwindigkeit
des Meßobjektes wie folgt:
Grundlage dieser Berechnung ist die Entfernung d, die mit
dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel trigonometrisch
gemessen wurde.
Fig. 7 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem die Messung
aller gewünschten Größen (d, l₀, v₀)möglich ist. Der
Einsatz eines Mikrocontrollers macht diese Ausführung zu einem
universellen Meßgerät, das beispielsweise in der Verkehrstech
nik aber auch in der Prozeßverfolgung angewandt werden kann.
Ein weiteres wichtiges Ausführungsbeispiel betrifft die hoch
präzise Überwachung von Drehzahlschwankungen. Hierzu werden
bei einer fest eingestellten Entfernung die Schwankungen der
Zeitdifferenzen erfaßt und mittels dieser Abweichungen die
Schwankungen der Drehzahl im gewählten Winkelbereich nach der
folgenden Formel errechnet.
Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 8 wird zur Entfernungs
messung ein Pulslaser 4 benutzt, dessen Triggerzeitpunkte von
einem Pulsgenerator vorgegeben werden. Jeweils zwei Zeitpunkte
definierten Abstandes Δt werden in einem festen Zeitrahmen
ausgesandt. Dieser Zeitrahmen wird, wie auch die Drehgeschwin
digkeit des Rotationsspiegels 8, von einem Referenzgenerator
vorgegeben. Durch die um Δt verschobenen Signale des Spiegels
wird ein Puls direkt zum Meßobjekt und ein Puls über den Um
lenkspiegel zum Meßobjekt abgestrahlt.
Mittels der Variation der Zeitverschiebung Δt der beiden
Pulse lassen sich beide Strahlen auf dem Meßobjekt zur Deckung
bringen, was wiederum von einem Detektor erfaßt werden kann.
Aus dieser eingestellten Zeitverschiebung und der Winkelge
schwindigkeit des Rotationsspiegels wird die sich aus dem
Strahlendreieck ergebende Entfernung zum Meßobjekt berechnet.
Claims (23)
1. Verfahren zum Messen einer winkelabhängigen Größe
gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:
- - es wird ein Meßstrahl auf einen Reflektor gerichtet, der wenigstens über den zu messenden Winkelbereich schwenkbar ist;
- - der reflektierte Meßstrahl wird nacheinander auf wenigstens zwei im Winkelabstand (mit dem Reflektor als Scheitelpunkt) zueinander angeordnete Detektoren gerichtet, die bei Empfang des reflektierten Meßstrahles ein Signal liefern;
- - es wird der zeitliche Abstand der von den Detektoren gelieferten Signale bestimmt;
- - aus dem zeitlichen Schwenkverlauf des Reflektors und dem zeitlichen Abstand der Signale wird der von den Detektoren eingeschlossene Winkel bestimmt.
2. Verfahren zur Messung einer winkelabhängigen Größe
gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:
- - es wird ein Meßstrahlimpuls oder eine Impulsfolge auf einen Reflektor gerichtet, der wenigstens über den zu messenden Winkelbereich schwenkbar ist;
- - der bzw. die reflektierten Impulse werden auf einen Detektor gerichtet, der in dem zu bestimmenden Winkel (mit dem Reflektor als Scheitelpunkt) gegenüber der Meßstrahlquelle angeordnet ist;
- - es wird der zeitliche Abstand zwischen dem abgestrahlten und dem empfangenen Impuls gemessen;
- - aus dem zeitlichen Schwenkverlauf des Reflektors und dem zeitlichen Abstand der Impulse wird der von der Meßstrahlquelle und dem Detektor einge schlossene Winkel bestimmt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß zum Zwecke der Entfernungs
messung nach einem Meßobjekt der vom Reflektor reflektierte
Meßstrahl auf das Meßobjekt gerichtet und von diesem
nach dem einem Detektor gerichtet wird, wobei die
Entfernung trigonometrisch aus dem gemessenen Winkel
und einer Meßbasis berechnet wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß als Meßstrahl ein Laserstrahl
verwendet wird, der durch den Reflektor kontinuierlich oder
diskontinuierlich zwischen Referenzdetektor und Meßobjekt
verschwenkt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß als Reflektor ein rotierender
Polygonspiegel Verwendung findet.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß zur adaptiven Messung ein Peak
holder in Kombination mit einem Analog-Digital-Wandler ver
wendet wird.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß als Meßbasis (x₃) eine Funk
verbindung zwischen Referenzdetektor und Entfernungsdetektor
vorgesehen ist.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastbewegung des Sensor
strahls durch einen akusto-optischen Modulator oder eine
andere elektro-optische Vorrichtung bewirkt wird.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß durch Korrelation zwischen Lauf
zeitmessung und Winkelzeitdifferenzmessung eine Ausblendung
unerwünschter Reflexionen bewirkt wird.
10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß ein Sender-Array mit Laserstrah
len eine flächige Abtastung mit Winkelbestimmung bewirkt.
11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß detektierte, zeitliche Intensi
tätsverläufe mit abgespeicherten Werten verglichen werden.
12. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem
der Ansprüche 1 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß ein Dauerstrichlaser (4) vorge
sehen ist, dessen kohärenter Lichtstrahl auf einen Dreh
spiegel (3) gerichtet ist, und daß im Schwenkbereich des
vom Spiegel (3) reflektierten Laserstrahls ein Referenz
detektor (2) und ein Entfernungsdetektor (1) angeordnet
sind, und daß ein Komparator vorgesehen ist, der die vom
Referenzdetektor (2) und vom Entfernungsdetektor (1) ge
lieferten Signale vergleicht und aus der Zeitdifferenz den
Drehwinkel ableitet.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet, daß zur trigonometrischen Messung
der Meßsensor (1) auf das Meßobjekt gerichtet ist, das den
vom Drehspiegel reflektierten Laserstrahl längs der Detek
torachse reflektiert.
14. Vorrichtung nach den Ansprüchen 12 und 13,
dadurch gekennzeichnet, daß der Laserstrahl mit Drehspie
gel (3) auf einem diffus reflektierenden Meßobjekt ein ent
fernungsabhängiges Dreieck bildet.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, daß zur Erhöhung der Meßgenauigkeit
räumlich verteilte Detektorsysteme in fester Winkelbezie
hung angeordnet sind.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 15,
dadurch gekennzeichnet, daß eine gemeinsame Zeitbasis (GPS,
DFC) zur Bestimmung korrelierter Absolutwertmessungen vor
gesehen ist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 16,
dadurch gekennzeichnet, daß die Auswertung der gemeinsamen
Zeitbasis durch eine Datenverbindung beispielsweise mit
Hilfe elektromagnetischer Wellen realisiert ist.
18. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der
Ansprüche 1 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß zwei gegenläufige Drehspiegel
(3) vorgesehen sind, die in Verbindung mit einem Auskopp
lungsstrahlteiler (10) bei festem Abstand (d) die Geschwin
digkeit eines quer zum Beobachter bewegten Objektes fest
legen.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet, daß die gegenläufigen Spiegel (3)
um die gleiche Achse rotieren.
20. Vorrichtung nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet, daß die gegenläufig rotierenden
Spiegel in einem vorbestimmten Abstand zueinander ange
ordnet sind, wobei diese Spiegel über einen in der Mitte
dazwischen angeordneten Strahlteiler (10) beaufschlagt
werden, der seinerseits von einem Laser (4) bestrahlt wird.
21. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß ein Pulslaser (4) vorgesehen
ist, dessen Triggerzeitpunkte von einem Pulsgenerator vor
gegeben werden, wobei jeweils zwei Zeitpunkte definierten
Abstandes Δt in einem festen Zeitrahmen ausgestrahlt
werden (Fig. 8).
22. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1,
bei welchem einer der Detektoren durch einen die Spiegel
stellung erfassenden Signalgeber ersetzt ist.
23. Anwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 22
zur Feststellung von Drehzahlschwankungen rotierender Teile.
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