DE4342890A1 - Verfahren zum Abdichten herstellprozeßbedingter Öffnungen an mikromechanischen Beschleunigungssensoren - Google Patents
Verfahren zum Abdichten herstellprozeßbedingter Öffnungen an mikromechanischen BeschleunigungssensorenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abdichten
herstellprozeßbedingter Öffnungen an mikromechanischen
Beschleunigungssensoren, welche als Differentialkondensatoren
in Form eines Glas-Silizium-Glas-Schichtpaketes hergestellt
sind, wobei der Pendelmasse eines aus der elektrisch leitend
dotierten Siliziumschicht heraus strukturierten
Biegeschwingers auf den innenliegenden Flächen der
Glas schichten Gegenelektroden zugeordnet sind, welche mittels
gleichflächig angebrachten Leiterbahnen mit außerhalb des
Pendelraumes ausgebildeten Anschlußkontakten elektrisch
leitend verbunden sind, wobei in der den Pendelraum
umgebenden Siliziumschicht Öffnungen bzw. relativ flache
Freisparungen ausgebildet sind, welche einem
kurzschlußsicheren Herausführen der Leiterbahnen aus dem
Pendelraum dienen.
Bei mikromechanischen Beschleunigungssensoren basiert
die Beschleunigungsmessung in der Regel auf einer kapazitiven
Abstandsmessung zwischen den feststehenden Elektroden und der
beweglichen Elektrode, das heißt der Pendelmasse des
Biegeschwingers. Das Meßprinzip zeichnet sich bekanntlich
durch eine hohe Empfindlichkeit aus, wobei durch Anwendung
des Differentialmeßverfahrens temperaturbedingte Meßfehler
durch Eigenkompensation eliminierbar sind und eine
zufriedenstellende Linearität erzielt wird. Die
meßwertabhängigen Kapazitätsänderungen sind jedoch sehr
klein, ebenso die im 100stel mm-Bereich liegenden Spalte
zwischen der Pendelmasse des Biegeschwingers und den
feststehenden Elektroden. Finden demzufolge
Beschleunigungssensoren der gattungsgemäßen Art mit einer für
die Großserienherstellung vorteilhaften Architektur, bei
welcher der Pendelraum über Freisparungen mit der
Außenatmosphäre in Verbindung steht, ungeschützt,
insbesondere im Kraftfahrzeugmilieu Anwendung, so besteht
durch Verschmutzung des Pendelraumes, vor allem aber durch
Betauung, das heißt durch kondensierende oder ausfrierende
Feuchtigkeit die Gefahr nicht nur einer Beeinträchtigung der
Meßgenauigkeit sondern eines Totalausfalls der
Beschleunigungssensoren.
Dementsprechend ist es bekannt, den gattungsgemäßen
Beschleunigungssensor auf einem geeigneten Trägerelement
zusammen mit Mitteln einer Signalaufbereitungsschaltung zu
befestigen und mittels vorzugsweise einer Metallkappe
hermetisch zu kapseln, wobei die Metallkapsel in einer
Schutzgasatmosphäre mit dem Träger verschweißt wird. Dadurch
wird zwar ein problemlos handels- und handhabungsfähiges
Geberelement geschaffen, der hierfür erforderliche
Fertigungsaufwand ist jedoch durch die Herstellung eines
speziellen Gehäuses und dessen Verbindungstechnik sowie durch
das isolierte Einbetten von Kontaktstiften in den Träger und
deren Kontaktierung mit dem Sensor bzw. der
Signalaufbereitungsschaltung erheblich. Das auf diese Weise
erfolgende Verschließen des Beschleunigungssensors erfordert
somit eine Vielzahl von Fertigungsschritten und zwar
Fertigungsschritte, die bezüglich der Herstellung des Sensors
nicht mehr prozeßgerecht sind. Außerdem sind eine relativ
lange Schweißnaht hermetisch dicht auszubilden und am
Einbauort, das heißt auf einer Leiterplatte eines Gerätes den
für das relativ großflächige Geberelement erforderlichen
Platz sowie die Kontaktverbindungen bereitzustellen.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung bestand somit
darin, einen gattungsgemäßen Beschleunigungssensor mit
möglichst geringem Aufwand und mit in der Großserie
produzierbaren Maßnahmen abzudichten.
Die Lösung der Aufgabe beschreibt der Anspruch 1. Die
Unteransprüche betreffen vorteilhafte Maßnahmen zur
Durchführung des Verfahrens gemäß dem Anspruch 1.
Die gefundene Lösung zeichnet sich insbesondere dadurch
aus, einen Beschleunigungssensor gemäß dem Oberbegriff des
Patentanspruchs, der mit einem Minimum an Prozeßaufwand
hergestellt ist, ohne weitere bauliche Maßnahmen abzudichten.
Dadurch wird der mit einer Kapselung verbundene Aufwand
vermieden und ein unmittelbares Anordnen des
Beschleunigungssensors auf einer in ein Gerät einsetzbaren
Leiterplatte ermöglicht.
Von entscheidender Bedeutung ist ferner die Erkenntnis,
einen mittels UV-Licht aushärtbaren Klebstoff als
Dichtungsmaterial zu verwenden. Dabei wird einerseits die
klebstofftypische Eigenschaft einer guten Benetzung der für
den Beschleunigungssensor verwendeten Materialien für eine
selbsttätige Verteilung des Klebstoffes und das Verschließen
der Freisparungen durch kapillare Effekte genutzt,
andererseits kann der Verteilungsprozeß verhältnismäßig
kurzzeitig durch Belichten des Klebstoffes gestoppt werden.
Vorteilhaft ist ferner, daß sich das Abdichten der
Beschleunigungssensoren in deren Herstellungsprozeß
eingliedern läßt in dem unmittelbar nach dem Vereinzeln der
Beschleunigungssensoren diese zunächst evakuiert und
nachfolgend in einer N₂-Atmospähre in einer geeigneten
Vorrichtung magaziniert und einem Klebstoffdispenser
zugeführt werden. Nach dem Anbringen einer definierten
Klebstoffmenge, beispielsweise 0,5 mm³, wird nach einer
experimentell ermittelten Verteilzeit des Klebstoffs von
beispielsweise 2 Minuten der vom Klebstoff benetzte Bereich
ca. 5 Sekunden lang belichtet. Während der Verteilzeit des
Klebstoffs, die mit der Prozeßtemperatur in gewissen Grenzen
steuerbar ist, bleiben die Beschleunigungssensoren
vorteilhafterweise in dem entsprechend gestalteten Magazin,
das im Takt der Klebstoffanbringung fortschaltbar ist,
gehaltert.
Im folgenden sei die Erfindung anhand der beigefügten
Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung des
Beschleunigungssensors der gattungsgemäßen Art nach dem
Vereinzeln aus einem Glas-Silizium-Glas-Schichtpaket,
Fig. 2 eine Seitenansicht des in Fig. 1 dargestellten
Beschleunigungssensors im Augenblick der Klebstoffzufuhr,
Fig. 3 eine Draufsicht des Beschleunigungssensors, bei
welchem die deckende Glasplatte und die Pendelmasse teilweise
ausgebrochen sind.
Einleitend sei zunächst der Aufbau des
Beschleunigungssensors 1 beschrieben. Die insbesondere aus
der Fig. 3 ersichtlichen rautenförmigen Konturen des
Beschleunigungssensors 1 lassen erkennen, daß für die
Herstellung des Beschleunigungssensors 1 ein bzw. einer
Vielzahl gleicher Beschleunigungssensoren eine 110-
orientierte Siliziumscheibe verwendet worden ist. Dadurch
lassen sich die Vorteile der anisotropen Ätztechnik, nämlich
ein erheblich schnelleres Ätzen rechtwinklig zur
Schichtfläche nutzen. Der Vollständigkeit halber sei erwähnt,
daß zum Vereinzeln der Beschleunigungssensoren aus einem
verbondeten Glas-Silizium-Glas-Schichtpaket an diesem durch
geeignetes kreuzweises Einschneiden Sollbruchstellen
geschaffen werden und nachfolgend das Schichtpaket durch
Abdrücken beispielsweise auf einer elastischen Unterlage
zerbrochen wird.
Bei dem in Fig. 1 dargestellten Beschleunigungssensor 1
sind die Bruchflächen schraffiert dargestellt. Mit 2 und 3
sind Platten aus Pyrex-Glas bezeichnet, die mit einem Rahmen
4 aus Silizium verbondet sind. Die Glasplatten 2 und 3 decken
einen aus der ehemals geschlossenen Silizium-Schicht
heraus strukturierten Pendelraum 5 sowie einen
beschleunigungssensitiven Biegeschwinger 6 ab, dessen
Pendelmasse 7 mittels federungsfähig ausgebildeter Arme 8 und
9 mit dem Rahmen 4 in Verbindung steht. In der Pendelmasse 7
angebrachte Schlitze, von denen einer mit 10 bezeichnet ist,
dienen der Optimierung des Frequenzverhaltens des
Biegeschwingers 6 mit dem Ziel einer annähernd aperiodischen
Dämpfung und somit einer Verkürzung der Ansprechzeit. Der
Pendelmasse 7, die, da die Silizium-Schicht elektrisch
leitfähig dotiert ist, als bewegliche Elektrode dient, sind
an den Innenflächen der Glasplatten 2 und 3 deckungsgleich
Gegenelektroden 11 und 12 zugeordnet. Letztere bestehen
vorzugsweise aus Aluminium und sind durch Aufdampfen
angebracht. Die elektrische Verbindung der Gegenelektroden 11
und 12 mit von außen zugänglichen Anschlußkontakten 13 und 14
des Beschleunigungssensors 1 erfolgt über gleichflächig mit
den Gegenelektroden 11 und 12 bzw. den Anschlußkontakten 13
und 14 angebrachten, nicht näher bezeichneten Leiterbahnen.
Ein dritter, mit einer Leiterbahn verbundener Anschlußkontakt
15 dient der Kontaktierung des Rahmens 4 und somit der
Pendelmasse 7. Dabei erfolgt die leitende Verbindung zwischen
der dem Anschlußkontakt 15 zugeordneten Leiterbahn und dem
Schenkel 4a des Rahmens 4 durch Druckkontaktierung während
des Bondens des Glas-Silizium-Glas-Schichtpaketes.
In dem Schenkel 4a des Rahmens 4 sind ferner den
Leiterbahnen der Gegenelektroden 11 und 12 zugeordnete
Freisparungen 16 und 17 ausgebildet, die der
kurzschlußsicheren elektrischen Verbindung zwischen den
Anschlußkontakten 13 und 14 und den Elektroden 11 und 12
dienen. Dabei muß eine dieser Verbindungen von der einen
Glasplatte 3 auf die andere Glasplatte 2 umgelenkt werden,
was mittels eines Siliziumblocks 18 erfolgt. Die mechanische
Verbindung des Siliziumblocks 18 mit dem Rahmen 4 wird beim
Vereinzeln des Glas-Silizium-Glas-Schichtpaketes abgebrochen
und somit der Siliziumblock 18 auch elektrisch isoliert bzw.
als Leiterbahnelement zwischen der Ebene des
Anschlußkontaktes 13 und der auf der Glasplatte 3
befindlichen Gegenelektrode 11 freigestellt. Mit 19 und 20
sind die stehengebliebenen Teile der mechanischen
Verbindungen zwischen einerseits einem Siliziumblock
andererseits einem Rahmen benachbarter
Beschleunigungssensoren bezeichnet.
Der für das Abdichten der Freisparungen 16 und 17
vorgesehene Klebstoff wird, wie Fig. 2 zeigt, mittels eines
geeigneten Dispensers 21 zugeführt, wobei die in Fig. 2
dargestellte, für den Abdichtvorgang vorteilhafte Arbeitslage
zwischen dem Beschleunigungssensor 1 und dem Dispenser 21
durch eine nicht dargestellte Vorrichtung vorgegeben ist. Mit
22 ist ein Klebstofftropfen bezeichnet, der sich entsprechend
der Eintauchtiefe des Dispensers in einen Vorratsbehälter an
der Spitze des Dispensers 21, abhängig von der Viskosität des
Klebstoffs, bildet, wobei durch Versuch die benötigte
Klebstoffmenge in der Größenordnung von 0,5 mm³ ermittelbar
ist. Der Klebstofftropfen 21 wird an einer bestimmten Stelle
des Beschleunigungssensors 1 angebracht und zwar bevorzugt an
der Stelle, wo zwischen dem Siliziumblock 18 und dem Rahmen 4
ein von außen gut zugänglicher Spalt 23 ausgebildet ist.
Infolge der durch den Spalt 23 und den zwischen dem
Siliziumblock 18 und dem Schenkel 4a des Rahmens 4
bestehenden Spalt 24 erhöhten Kapillarwirkung, verteilt sich
der angegebene Klebstofftropfen 22 relativ schnell in
Richtung der Freisparungen 16 und 17, mit anderen Worten: Der
Klebstoff wird sozusagen in die Spalte 23 und 24
hineingezogen. Dadurch werden die zu verschließenden
Freisparungen 16 und 17 vom Klebstoff mit nur geringem
Zeitversatz erreicht. Infolge der geringen Höhe der
Freisparungen 16 und 17 ist die Verteilgeschwindigkeit in den
Freisparungen verlangsamt, so daß sie in etwa gleichzeitig
geschlossen werden. Bei Erreichen eines Verteilstadiums des
Klebstoffs gemäß Fig. 3 wird der Klebstoff am Weiterfließen,
das heißt Eindringen in den Pendelraum 5 gehindert, indem er
mittels UV-Licht bestrahlt wird und dadurch aushärtet.
Wie bereits angedeutet, wird der Raum, in welchem das
Abdichten der Beschleunigungssensoren erfolgt, zunächst
evakuiert und dann mit trockenem Stickstoff geflutet. Nur auf
diese Weise kann garantiert werden, daß sich der Pendelraum
eines Beschleunigungssensors vor dessen Abdichten in relativ
kurzer Zeit mit Schutzgas gefüllt hat. Selbstverständlich
darf der verwendete Klebstoff kein Wasser aufnehmen, da sonst
Feuchtigkeit über den Klebstoff in den Pendelraum
diffundieren würde.
Claims (2)
1. Verfahren zum Abdichten herstellprozeßbedingter
Öffnungen an mikromechanischen Beschleunigungssensoren,
welche als Differentialkondensatoren in Form eines
Glas-Silizium-Glas- Schichtpaketes hergestellt sind,
wobei der Pendelmasse eines aus der elektrischen
leitend dotierten Siliziumschicht herausstrukturierten
Biegeschwingers auf den innenliegenden Flächen der
Glasschichten Gegenelektroden zugeordnet sind, welche
mittels gleichflächig angebrachten Leiterbahnen mit
außerhalb des Pendelraumes ausgebildeten
Anschlußkontakten elektrisch leitend verbunden sind,
wobei in der den Pendelraum umgebenden Siliziumschicht
Öffnungen bzw. relativ flache Freisparungen ausgebildet
sind, welche einem kurzschlußsicheren Herausführen der
Leiterbahnen aus dem Pendelraum dienen,
dadurch gekennzeichnet,
daß zum Abdichten der Freisparungen (16, 17) ein mittels Licht aushärtbarer Klebstoff Anwendung findet,
daß unter Ausnutzung von durch Kapillarkräfte verursachtes Klebstoffkriechen an einer bestimmten Stelle des Beschleunigungssensors (1) eine definierte Menge (22) des Klebstoffs angegeben wird und
daß nach einer experimentell ermittelten Verteilzeit der Klebstoff durch Belichten ausgehärtet wird.
daß zum Abdichten der Freisparungen (16, 17) ein mittels Licht aushärtbarer Klebstoff Anwendung findet,
daß unter Ausnutzung von durch Kapillarkräfte verursachtes Klebstoffkriechen an einer bestimmten Stelle des Beschleunigungssensors (1) eine definierte Menge (22) des Klebstoffs angegeben wird und
daß nach einer experimentell ermittelten Verteilzeit der Klebstoff durch Belichten ausgehärtet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Abdichten in einer Schutzgasatmosphäre vorgenommen wird und
daß der Pendelraum (5) des Beschleunigungssensors (1) vor dem Abdichten evakuiert wird.
daß das Abdichten in einer Schutzgasatmosphäre vorgenommen wird und
daß der Pendelraum (5) des Beschleunigungssensors (1) vor dem Abdichten evakuiert wird.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: VDO ADOLF SCHINDLING AG, 60326 FRANKFURT, DE |
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8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: MANNESMANN VDO AG, 60326 FRANKFURT, DE |
|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |