DE4333225A1 - Meßanordnung für Messungen an großflächigen magnetischen Körpern - Google Patents
Meßanordnung für Messungen an großflächigen magnetischen KörpernInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Meßanordnung zum hochauflösenden
Vermessen von magnetischen Körpern.
Grundsätzlich sind Verfahren zur Messung von Magnetfeldern unter
Verwendung von Spulen bekannt. Dazu werden z. B. drahtgewickelte Spulen
verwendet. So sind beispielsweise Verfahren bekannt, die unter Verwendung
mehrerer Spulen einen dazwischen eingebrachten Supraleiter vermessen.
Auch Anordnungen, die mit nur einer Spule Induktivitätsänderungen
anzeigen gehören zum Stand der Technik. Nachteilig bei allen
vorhergenannten Meßvorrichtungen und -verfahren ist, daß sie eine nur
schwache Ortsauflösung der zu vermessenden Magnetfelder zulassen und
schwierig hand zu haben sind. Dies ist in der Geometrie der
Meßanordnungen und den verwendeten Bauteilen begründet.
Der Erfindung liegt demgemäß die Aufgabe zugrunde, eine Meßanordnung
zu schaffen die einfach in der Anwendung ist und gleichzeitig eine hohe
Auflösung der zu vermessenden Bauteile zuläßt.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die im Kennzeichen des
Anspruchs 1 aufgeführten Merkmale gelöst. Weiterbildungen der Erfindung
und ein Verfahren zur Herstellung der Meßanordnung sind in den
Unteransprüchen enthalten.
Die besonderen Vorteile der Erfindung werden dadurch erreicht, daß eine
Meßvorrichtung geschaffen wird, die das Mehrspulenverfahren aufgreift und
die Spulen erfindungsgemäß in Schichten auf einem Substrat aufbaut. Die
Spulenschichten werden in einem bevorzugten Verfahren mit der
Photolitographietechnik auf einem Träger erzeugt.
In einer bevorzugten Ausführung werden die Spulen paarweise übereinander
als Sende- und als Empfängerspule ausgebildet. In einer weiteren bevor
zugten Ausführung werden die beiden Spulen als ineinander verschlungene
konzentrische Spiralen auf dem Substrat angeordnet. Mit diesen Meßan
ordnungen und -vorrichtungen können u. a. Supraleiter einfach und mit
hoher Auflösung auf Homogenität bzw. Inhomogenitäten untersucht werden.
Die Proben können auch auf weitere magnetische Eigenschaften, wie z. B.
die Permeabilität als Funktion der Feldstärke etc., untersucht werden.
Die Erfindung wird im folgenden anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele
beschrieben, aus denen der Fachmann leicht erfindungsgemäße Abwandlun
gen ableiten kann. Insbesondere stützt sich die Beschreibung auf Abbil
dungen bevorzugter Ausführungsbeispiele, die nur erläuternden Charakter
haben und keine Einschränkung des erfinderischen Konzepts darstellen.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile ergeben sich aus der
Beschreibung der Erfindung und den erfindungsgemäßen Ausführungsbei
spielen in Verbindung mit den Abbildungen.
Es zeigen:
Fig. 1 den prinzipiellen Aufbau des ersten bevorzugten Ausführungs
beispiels;
Fig. 2 die schematische Darstellung des zweiten bevorzugten Ausführungs
beispiels;
Fig. 3 den prinzipiellen Aufbau eines weiteren bevorzugten Ausführungs
beispiels und
Fig. 4 ein Beispiel zur Packung von Spulen zur flächigen Vermessung von
Proben.
Die Erfindung besteht in einer Meßvorrichtung und -anordnung, in der
Spulen auf einem Träger aufgebracht sind. Fig. 1 zeigt den prinzipiellen
Aufbau des ersten, bevorzugten Ausführungsbeispiels. Wie zu ersehen,
besteht die Anordnung A aus einem Träger 1, den Spulen 2 und 3 und einem
dazwischenliegendem Isolator 4. Ihr gegenübergestellt befindet sich die zu
vermessende Probe B. Der Träger 1 besteht vorzugsweise aus Silizium.
Andere Materialien wie z. B. dotiertes Silizium oder Isolatoren können
anwendungsspezifisch gemäß ihrer Eigenschaften, z. B. mechanische oder
thermische Eigenschaften, alternativ zu den Siliziumträgern verwendet
werden.
Gemäß dem ersten, bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung
befinden sich die Spulenpaare als Schichten 2 und 3 auf dem Träger 1.
Sie setzen sich aus Erregerspulen 2 und Detektorspulen 3 zusammen. Sie
bestehen aus leitenden Materialien, wie sie üblicherweise aus der
Halbleiter-, Supraleiter- oder Elektrotechnik für photolithographische
Verfahren oder Aufdampfen, Sputtern u.ä. bekannt sind. Auch Aufkleben
auf Träger stellt eine Alternative dar. Die Spulenmaterialien werden nach
ihren elektrischen, magnetischen und verfahrenstechnischen Eigenschaften
ausgewählt und können u. a. reine Metalle, Legierungen, Supraleiter oder
Halbleiter umfassen.
Die Spulen werden in einem bevorzugten Verfahren mit Hilfe der
Photolithographietechnik erzeugt. Man stellt die Schichtdicke der Spulen auf
unter 100 µm, vorzugsweise unter 30 µm, vorzugsweise auf etwa 5 µm ein.
Durch das beschriebene Produktionsverfahren ist eine außergewöhnlich
geringe Schwankung in den Schichtdicken möglich. Das wiederum
ermöglicht es, daß die Proben sehr nahe an die Meßanordnung
herangebracht werden können.
Erfindungsgemäß besteht ein weiterer Vorteil darin, daß den so
aufgebauten, hochempfindlichen Meßanordnungen die zu vermessenden
Proben problemlos der dem Träger 1 gegenüberliegenden Seite der
Meßanordnung gegenübergestellt werden können. Dies ist besonders dann
der Fall, wenn die zu untersuchenden Proben auf einem größeren Träger
aufgebracht sind, so z. B. supraleitende Schichten auf einem
Trägersubstrat.
In einer weiteren bevorzugten Ausführung ist die Meßvorrichtung mit einer
Schutzschicht überzogen. Fig. 2 zeigt den schematischen Aufbau der
Meßanordnung A aus Fig. 1 mit einer Schutzschicht 5. Die Schutzschicht 5
kann durch die dafür üblichen Verfahren erzeugt werden, so z. B. durch
Aufkleben, Bedampfen, Auflaminieren etc. Die Schutzschicht kann
oberflächlich mit einer Haftschicht versehen werden. Bei der Messung kann
davon ausgegangen werden, daß jede Meßspule den gleichen Abstand vom
Meßobjekt aufweist. Eine Schaltvorrichtung sorgt dafür, daß die Meßspulen
der Reihe nach ein- und ausgeschaltet werden, um die Meßfläche
abzutasten.
Fig. 3 zeigt als ein weiteres bevorzugtes Ausführungsbeispiel die
konzentrische Anordnung der Sende- und Empfängerspule. Dabei weisen die
Leiterbahnen der Spulen 31 und 32 Anschlüsse 31a und 32a, sowie eine
gemeinsame Erde 33 auf.
Fig. 4 zeigt eine Packung von Spulen zum großflächigen Vermessen von
Proben. Des weiteren ist ein Anschluß-Layout der Spulen deutlich zu
erkennen. Die Anschlüsse gehen zu den vorzugsweise elektronischen
Umschaltern und zum Sender bzw. Empfänger. Die Gesamtgestaltung des
Spulenaufbaus der Meßeinrichtung wird den jeweiligen Anforderungen
angepaßt.
Ein weiterer erfindungsgemäßer Vorteil der Meßanordnungen liegt darin,
daß keine umständlichen Justiervorgänge nötig sind. Mit der Produktion
ist die räumliche Beziehung der Spulenpaare 2, 3 zueinander sowie der
verschiedenen Spulenpaare untereinander festgelegt. Damit ist nur eine
einmalige Eichung nötig, da die Bauteile in ihren geometrischen
Beziehungen festliegen.
Die beschriebenen Meßanordnungen lassen auf extrem einfache Weise
außerordentlich exakte und hochauflösende Messungen zu, insbesondere für
die Ortsauflösung der zu vermessenden Proben. Die Dimensionierung der
Spulen läßt sich stark variieren und die einzelnen Spulenpaare können
dicht gepackt werden. Je nach gewünschter Empfindlichkeit und
Ortsauslösung können die Spulen in ihrer Dimensionierung und der Anzahl
ihrer Windungen gewählt werden. Die einzelnen Spulen oder Spulenpaare
können einschichtig oder mehrschichtig aufgebaut sein. Der mehrschichtige
Aufbau ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn die Anzahl der Windungen
erhöht werden soll ohne die geometrischen Abmessungen zu vergrößern.
Es wurden in den Experimenten verschiedene Dimensionierungen erprobt.
Bei Versuchen mit einer Ortsauflösung von 5 mm hatten die Spulen einen
Durchmesser von etwa 4 mm und wiesen einen Abstand von ca. 5,5 mm
gegeneinander auf. Die Breite der Leiterbahnen der Spulen war etwa 100
µm. Für die Messungen wurde ein Lock-in-Verstärker mit 100 kHz
verwendet. In den Versuchen wurden gute Ergebnisse erzielt, die eine
weitere Steigerung der Ortsauflösung bei einer Verminderung der Größe der
Bauteile erwarten läßt.
Eine weitere Anwendung des erfindungsgemäß beschriebenen Verfahrens ist
ein großflächiges, elektromagnetisches Vermessen von Proben oder
Körpern. So können die Spulen und Träger auch als dünne, großflächige
Folien ausgebildet werden. Diese Folien sind einfach zu handhaben und
können sich beliebigen Oberflächen flexibel anpassen oder an schwierig
zugänglichen Stellen eingebracht werden. So wurden als ein weiteres
bevorzugtes Ausführungsbeispiel Detektorfolien hergestellt. Diese können
selbsthaftend ausgerüstet werden, wobei die Wiederverwendbarkeit
gewährleistet sein sollte. In Versuchen wurden großflächige Detektorfolien
als passive Meßanordnung verwendet um die "low frequency magnetic
radiation" (LFMR) von Elektronenstrahlröhren, wie Fernsehern und
Computerbildschirmen, zu bestimmen. Auch können diese Meßanordnungen
verwendet werden, um die magnetischen Eigenschaften großflächiger,
elektromagnetischer Bauteile, wie z. B. Eisenbleche zur Erzeugung von
Elektromagneten oder -motoren, genauer zu studieren. Auch sind genaue
Vermessungen von Magneten und Elektromagneten mit hoher Auflösung
möglich, im aktiven sowohl als auch im passiven Zustand. So können die
Meßvorrichtungen z. B. in der Fertigung und zur Feinjustierung
großflächiger Magnete, wie Kernspintomographen aus der Medizin,
Anwendung finden.
Claims (10)
1. Meßanordnung zum hochauflösenden Vermessen von magnetischen
Körpern,
dadurch gekennzeichnet,
daß sie aus Spulen besteht, die auf einem Träger schichtförmig
aufgebracht sind.
2. Meßanordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die zu vermessenden Objekte auf der die Meßanordnung
tragende Schicht entgegengesetzten Seite plaziert sind.
3. Meßanordnung nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Spulenschichten aus je paarweise einer Sendespule und einer
Empfängerspule bestehen.
4. Meßanordnung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Spulenpaare als Schichten übereinander aufgebaut sind.
5. Meßanordnung nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Spulenpaare ineinander verschlungen als eine Schicht
ausgebildet sind.
6. Meßanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden
Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Trägermaterial für die Spulen ein Substrat aus Silizium oder
einer Siliziumverbindung ist.
7. Meßanordnung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Trägermaterial aus einer Kunststoffolie besteht.
8. Meßanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden
Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß sie insbesondere zum ortsaufgelösten Vermessen von Proben mit
beliebig geformter Oberfläche verwendet werden.
9. Meßanordnung nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß sie insbesondere zum hoch ortsauflösenden Vermessen von
Supraleitern auf Homogenität bzw. auf Inhomogenitäten verwendet
wird.
10. Verfahren zur Herstellung einer Meßanordnung zum hoch aufgelöstem
Vermessen von Magnetfeldern nach einem oder mehreren der
vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Meßanordnungen im Verfahren der Photolithographie erzeugt
werden.
Priority Applications (1)
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- 1993-09-30 DE DE19934333225 patent/DE4333225C2/de not_active Expired - Fee Related
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