DE4332720A1 - Mikromembranpumpe - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Mikromembranpumpe nach dem Oberbe­ griff des Patentanspruchs 1, wie sie aus dem Tagungsband s. 124 bis 133 des 3. Symposiums Mikrosystemtechnik, FH Regens­ burg, 17. bis 18.02.1993 bekannt ist.

Mikropumpen werden bislang fast ausschließlich in Silizium- Technologie gefertigt, wobei jeweils ein oder mehrere struktu­ rierte Wafer aus Silizium und Glas durch anodisches Bonden miteinander verbunden werden. Somit besteht auch die Pumpen­ membran aus einem dieser Materialien.

Aus J. Uhlemann, T. Wetzig, W. Rotsch, "Montagetechnologie strukturierter Flächenelemente am Beispiel einer Mikropumpe", 1. Symposium Mikrosystemtechnik, FH Regensburg, (1991), ist eine Pumpe mit einer Glasmembran bekannt.

Des weiteren ist aus F.C.M. van de Pol, "A pump based on micro engineering techniques", University of Twente, (1989) eine Pumpe mit einer Membran aus einkristallinem Silizium und aus S. Shoji, M. Esashi, "Fabrication of a micropump integrated chemical analizing systems", Electronics and Communication in Japan, Teil 2, vol. 72, Nr. 10, (1989), pp. 52-59 eine Pumpe mit einem Ventil aus Polysilizium bekannt.

Aufgrund der Herstellungstechnik sind die Membranen aus Sili­ zium ca. 20 µm und diejenigen aus Glas mindestens 40 µm dick, so daß nur geringe Membranauslenkungen von maximal 25 µm er­ zielt wurden. Zudem resultieren aus der Bindung an die Kri­ stallebenen beim anisotropen Ätzen des einkristallinen Silizi­ ums Pumpenmenbranen mit eingeschränkten Geometrien, z. B. eine quadratische Membrane. Diese führen zu einer inhomogenen Span­ nungsverteilung bei der Membranauslenkung, wodurch die zu­ lässigen Auslenkungen zusätzlich begrenzt werden. Zur Mem­ branauslenkung sind entsprechend dem Membranmaterial und der Membrandicke große Aktordrücke erforderlich.

Die Funktion der Ventile aus Silizium beruht auf der Auslen­ kung einer Biegezunge, die eine Öffnung freigibt bzw. ver­ schließt. Die Biegezunge besteht aus Silizium und wird durch die über ihr abfallende Druckdifferenz elastisch verformt. Um ausreichende Durchflüsse zu gewährleisten, müssen die Ventile wegen des hohen Elastizitätsmoduls von Silizium entsprechend groß (2-8 mm Durchmesser) dimensioniert werden. Alle auf der Basis von Silizium gefertigten Pumpen werden mit Flüssigkeiten als Fördermedium betrieben. Die Flüssigkeiten müssen dabei weitgehend partikelfrei sein, damit Ventilfunktionen, wie z. B. dichtes Schließen, nicht beeinträchtigt werden. Da Sili­ zium ein hydrophobes Material ist, bereitet die erstmalige Be­ füllung von Pumpen mit Wasser Schwierigkeiten. Für die Förde­ rung von Gasen sind bislang keine funktionierenden Mikropumpen bekannt.

Daneben gibt es Mikropumpen, die ohne bewegliche Teile auskom­ men. Sie beruhen auf dem elektrohydrodynamischen Prinzip, wie es aus A. Richter et al., Elektrohydrodynamische Mikropumpen, VDI-Berichte 960, 1992, pp 235-249, bekannt ist.

Mit dieser Pumpe können jedoch nur organische Lösungsmittel geringer elektrischer Leitfähigkeit, wie z. B. Ethanol, ge­ pumpt werden. Z. B. können wäßrige Lösungen, wie sie z. B. für die Medizintechnik benötigt werden, oder Gase nicht gepumpt werden.

Ein Nachteil der gattungsgemäßen Pumpe besteht darin, daß bei ihrer Herstellung eines der beiden Ventile gesondert gefer­ tigt, vereinzelt und an der dem ersten Ventil gegenüberliegen­ den Seite der Membran befestigt werden muß. Dazu ist ein er­ höhter Montage- und Justieraufwand erforderlich.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Pumpe der gattungsgemäßen Art so zu gestalten, daß beide Ventile auf der gleichen Seite der Membran aufgebaut werden können, und der Fertigungsprozeß für die Pumpenkörper wesentlich vereinfacht werden kann.

Gelöst wird diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1, oder des Patentanspruchs 9.

Die Unteransprüche beschreiben vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung.

Vorteile der Erfindung sind:

• - Kostensenkung bei der Herstellung,
• - Verbesserung von Ausbeute und Qualität,
• - optische Kontrolle des Fördervorgangs über eine durchsich­ tige Abschlußplatte aus Glas oder Pumpenkörper aus durch­ sichtigen Kunststoffen wie PMMA oder PVDF,
• - kostengünstige Massenherstellung, da Batchfabrikation von wesentlichen Teilkomponenten der Pumpe möglich ist,
• - parallele Abformung der Pumpenkörper aus chemisch inerten Kunststoffen wie PVDF, PFA oder PTFE,
• - Herstellung der Membran und der Ventile in Dünnfilmtechnik mittels optischer Lithografie.

Die Erfindung wird im folgenden anhand zweier Ausführungsbei­ spiele und der Fig. 1 bis 4 näher erläutert.

Dabei zeigt die Fig. 1 den schematischen Querschnitt einer Pumpe mit zwei Ventilen unterschiedlicher Steifigkeit und die Fig. 2 den schematischen Querschnitt einer Pumpe mit zwei gleichen Ventilen
Die Fig. 3 zeigt den schematischen Aufbau eines besonders vor­ teilhaften Ventils und die Fig. 4 ein Bemaßungsbeispiel.

Der obere Teil der Fig. 1 zeigt den unteren Pumpenkörper 1, welcher nach oben dicht mit der Membran 2 abgeschlossen ist. Auf dieser sitzt dicht mit ihr verbunden der obere Pumpenkör­ per 3. Der untere Pumpenkörper enthält die beiden Ventilkam­ mern 4, 5, die Pumpenkammer 6 sowie die beiden Kanäle 9, 10, welche die beiden Ventilkammern mit der Pumpenkammer verbin­ den.

Die Membran 2 enthält links das Einlaßventil 7 und rechts das Auslaßventil 8. Der Membranbereich oberhalb der Pumpenkammer 6 dient als Pumpenantrieb.

Der obere Pumpenkörper 3 enthält Einlaß - und Auslaßkanal 11, 12 für das zu fördernde Medium sowie eine Kammer für den Ven­ tilantrieb 13. Im Falle eines pneumatischen Antriebs ist, wie hier dargestellt, eine Zuleitung für das Antriebsmedium vorge­ sehen, welches durch seine Druckänderungen die Pumpe antreibt.

Die beiden Ventile 7, 8 sind im unteren Teil der Figur ver­ größert dargestellt. Dabei sind die Ventile so ausgelegt, daß die Steifigkeit des auf die Membran 2 strukturierten Teils des Ventils 8 größer und die Steifigkeit des auf die Membran 2 strukturierten Teils des Ventils 7 kleiner ist als die der Membran. Überdruck in der Pumpenkammer 6 öffnet daher das Ven­ til 8 und schließt das Ventil 7 und Unterdruck in der Pumpen­ kammer 6 öffnet das Ventil 7 und schließt das Ventil 8. Die Dimensionierung der Ventile wird unten näher erläutert.

Beim Beispiel von Fig. 2 sind die vergrößert dargestellten Ventile 7, 8 identisch aufgebaut. Die dargestellte Pumpe un­ terscheidet sich von der Pumpe von Fig. 1 nur im Bereich des Auslaßventils 8. An den Kanal 10 schließt sich vor dem Ventil 8 der Umlenkkanal 14 an, welcher die Membran 2 durchbricht und welcher dazu dient den Medienstrom auf die andere Seite des Ventils 8 zu lenken. Die Ventilkammer 5 ist über den Umlenk­ kanal 15, welcher ebenfalls die Membran durchbricht, mit dem Auslaßkanal 12 verbunden. Anstatt des Umlenkkanals 15 kann der Auslaßkanal 12 auch nach unten herausgeführt werden.

Die Pfeile bei beiden Figuren zeigen die Richtung des geför­ derten Mediums an.

Die Fig. 3 zeigt ein Ventil, welches den Merkmalen des Ventils der Fig. 3b der DE 41 39 668 A1 entspricht. Die Membran 2 entspricht dabei dem Ventilsitz 3 und das Ventil 7, 8 dem Ven­ tilkörper 6. Das hier beschriebene Ventil zeichnet sich durch eine vorteilhafte Formgebung der Öffnungen in Membran 2 und Ventil 7, 8 aus. Die Öffnungen in der Membran 2, oben darge­ stellt, sind drei Schlitze welche einen dreistrahligen Stern in der Membran 2 darstellen. Der Verlauf der Schlitze ist ellipsenförmig zum Zentrum des Sterns hin gekrümmt, wobei die durch die großen Halbachsen der ellipsenförmigen Schlitzlinien gelegten Geraden ein gleichseitiges Dreieck bilden. Die Schnitte laufen an ihren Enden jeweils über die Scheitel hin­ aus und die benachbarten Enden von jeweils zwei Schnitten lau­ fen trichterförmig mit umgebogenem Rand auseinander. Darunter ist der Hohlraum 16 zwischen Membran und Ventil dargestellt, welcher durch das Wegätzen einer dünnen Opferschicht bei der Ventilherstellung entsteht. Am Rande dieses Hohlraumes sind Membran und Ventil fest miteinander verbunden. Die Verbin­ dungslinie verläuft entlang des Außenrands der drei Schlitze bis zu deren Enden und von da jeweils in einem nach außen ge­ wölbten Bogen zum benachbarten Ende des benachbarten Schlit­ zes. Der Hohlraum 16 hat eine dreizählige Drehachse senkrecht zur Zeichenebene und drei zweizählige Drehachsen in der Zei­ chenebene.

Unten ist ein Ventil 7, 8 dargestellt. Es weist drei Reihen von aufeinanderzulaufenden Löchern auf, die über den drei zweizähligen Drehachsen des Hohlraums 16 verlaufen. Dabei ist darauf zu achten, daß die Löcher im Ventil 7, 8, bei Berührung von Membran und Ventil im geschlossenen Zustand des Ventils, weit genug von den Schlitzen in der Membran entfernt sind. Da­ bei sind die Ränder der Löcher mindestens 40 µm von den Schlitzen entfernt. Nur so ist eine ausreichende Dichtwirkung gewährleistet.

Im allgemeinen Fall kann auch ein mehr als dreiachsiger Stern gewählt werden.

Die Fig. 4 zeigt ein Bemaßungsbeispiel, bei welchem das Ven­ til, in der Draufsicht dargestellt, aus Polyimid und die Mem­ bran aus Titan besteht. Es sind nur die drei mittleren Ventil­ löcher eingezeichnet. Die übrigen Löcher sind nicht darge­ stellt, da auf sie auch verzichtet werden kann.

Dabei betragen:
Φp: 500 µm
l: 155 µm
r : 36 µm
s : 73 µm
µ₁: 22 µm
µ₂: 55 µm.

Ein Ventil mit der Materialkombination Polyimid und Titan kann nach dem in der DE 41 39 668 A1 beschriebenen Verfahren herge­ stellt werden.

Um Ventile zu erhalten, bei welchen die Titanmembran die leichter dehnbare Membran ist, wird die Polyimidmembran durch eine dickere, galvanisierte Schicht ersetzt. Als Galvanikmate­ rial wird Nickel verwendet, da dieses mit 200 GPa von den ver­ fügbaren Galvanikmaterialien mit Abstand den größten Elastizi­ tätsmodul besitzt.

Gegenüber Titan besitzt Nickel, aufgrund eines 1,5-fach größe­ ren Biaxialmoduls E/(1-ν), bei gleicher Dicke und Geometrie eine größere Biegesteifigkeit. Wählt man zudem für Nickel eine deutlich größere Dicke als die 2,7 µm des Titans, so wird bei Anliegen eines Differenzdrucks die Titanmembran stärker ge­ dehnt als die Nickelschicht.

Analog zum Herstellungsprozeß gemäß DE 41 39 668 A1 wird auf eine strukturierte Titanmembran eine Opferschicht aufgebracht und ebenfalls strukturiert. Anschließend werden in zwei Ar­ beitsgängen jeweils 16 µm Fotolack aufgeschleudert und licht­ optisch strukturiert. Dann erfolgt, unter Verwendung von KOH, die Entwicklung des Fotolacks im Maschinenentwickler. Danach wird der strukturierte Fotolack galvanisch aufgefüllt. An­ schließend kann der Fotolack mit Azeton entfernt und die Op­ ferschicht herausgelöst werden. Um ein Einzelventil zu erhal­ ten wird dann ein Rahmen aufgebracht, um ihn herum die Titan­ membran durchtrennt und das Ventil vom Siliziumsubstrat ge­ löst. Abschließend kann noch die Kohlenstoffschicht in einem Sauerstoffplasma entfernt werden.

Für die verschiedenen möglichen Materialkombinationen können aus den unten angegebenen Formeln 1 bis 5 Hinweise für die Konstruktion entnommen werden.

Dabei bedeuten

Index M: Membranwerkstoff (z. B. Ti)
Index S/E: Ventilwerkstoff am Einlaßventil (z. B. PI)
Index S/A: Ventilwerkstoff am Auslaßventil (z. B. Ni)
Δp: Druckdifferenz
E′ = E/1-ν: Biaxialmodul
a: Membranradius bei runder Membran
d: Membrandicke
Y: Geometriefaktor des Membrandesigns ω: Membranauslenkung
ν: Querkontraktionszahl
E: Elastizitätsmodul
E: Elastizitätsmodul
σ_o: Eigenspannung der Membran

aus (1) und (3):

mit:
E′_M/E = E′_M/A = E′_M (4a)
d_M/E = d_M/A = d_M (4b)
a_S/E = a_M/E (4c)
a_S/A = a_M/A (4d).

Wegen der Forderung gleicher lateraler Ventilgrößen gilt:

a_S/E = a_M/E = a_S/A = a_M/A (4e)

damit

Variante A:
Beide Ventile bis auf die Dicke geometrisch gleich

Variante B:
Gleiche Ventilwerkstoffe und Ventildicken

und daraus durch einfache Umformung:

Um die Ventilcharakteristik verschiedener Membranventile, be­ stehend aus zwei Membranen miteinander vergleichen zu können, werden folgende Annahmen gemacht:

• 1. Die Ventilcharakteristik wird u. a. durch den Abstand zwi­ schen den beiden Ventilmembranen unter Druckbeaufschlagung bestimmt. Zur Erzielung der identischen Ventilcharakteri­ stik zweier Ventile muß der Membranabstand unter Druckbe­ aufschlagung identisch sein (Gl. 1).
• 2. An beiden Ventilmembranen fällt derselbe Differenzdruck ab.

Die Formel für die Auslenkung einer runden Membran (ohne Öffnungen) unter Druckbeaufschlagung ist durch Gl. 2 gege­ ben. Hieraus ergibt sich für die Membranauslenkung Gl. 3, wobei:

• - Eigenspannungen der Membran nicht berücksichtigt wurden.
• - Abweichungen des Ventildesigns von einer runden Geome­ trie sowie Öffnungen in der Ventilmembran werden durch den Geometriefaktor Y berücksichtigt.

Aus Gl. 1 ergibt sich unter Einsetzen von Gl. 3 die Gl. 4. Diese vereinfacht sich zu Gl. 5, wenn berücksichtigt wird, daß:

• - eine der Membranen (Bsp. Ti-Membran) am Ein- und Auslaß aus demselben Material ist und dieselbe Dicke besitzt (Gl. 4a bzw. Gl. 4b),
• - die Außenabmessungen aller Membranen (Ventile) identisch sind (Gl. 4c-4e).

Variante A

Ein- und Auslaßventil unterscheiden sich, bei geometrisch identischem Ventildesign, in einem der Membranwerkstoffe.

Beispiel

Einlaßventil: Titan- und Polyimidmembran.

Auslaßventil: Nickel- und Titanmembran.

Da beide Ventile vom Design her identisch aufgebaut sind, benötigt man in Gl. 5 nur noch zwei unterschiedliche Geome­ triefaktoren für die beiden Ventilmembranen. Somit ergibt sich Gl. 5a. Sind beide Ventilmembranen vom Design her identisch (identische Membranöffnungen, die gegeneinander verdreht sind), so entfallen alle Geometriefaktoren in Gl. 5a.

Variante B

Gleiche Membranwerkstoffe bei unterschiedlicher Formsteifig­ keit (verschiedene Designs) der Ventilmembranen.

Beispiel

Ein- und Auslaßventil bestehen aus je einer Titan- und Polyi­ midmembran. Sowohl die Dicke der Titan- als auch Polyimidmem­ bran ist bei beiden Ventilen fertigungsbedingt identisch. Ein- und Auslaßventil unterscheiden sich jedoch in den Geometrie­ faktoren.

Hiermit ergibt sich Gl. 5b1 und durch einfachste Rechenopera­ tionen Gl. 5b2.

Variante C

Unterschiedliche Membranwerkstoffe und unterschiedliche Form­ steifigkeit (Ventildesign) von Ein- und Auslaßventil.

Es gilt Gl. 5 mit 4 unterschiedlichen Geometriefaktoren.

Die Nickelmembrane wurde möglichst biegesteif ausgeführt. Das heißt es wurde eine gegenüber dem Titan größere Dicke der Membran (10 µm) gewählt. Zudem enthält die Membran lediglich kleine Löcher, so daß neben der ohnehin guten Materialsteifigkeit (gegeben durch den Biaxialmodul) eine hohe Formsteifigkeit er­ halten wird.

Dagegen muß die Titanmembran, die an sich eine hohe Material­ steifigkeit aufweist (die allerdings kleiner ist, als die des Nickel), so strukturiert werden, daß die Formsteifigkeit der Membran sehr gering wird. Dies wird dadurch erreicht, daß in der Titanmembran eine Tripol-ähnliche Struktur erzeugt wird. Die Arme des Tripols sind schmal und damit biegeweich. Bei der Wahl der Außenkontur wurde darauf geachtet, daß Kerbspannungen geringgehalten werden. Dies muß berücksichtigt werden, da an­ dernfalls hohe Spannungen in der dünnen Titanmembran auftreten können, die die Bildung von Rissen und deren Fortschreiten entlang der strukturierten Schlitze bewirken würden, die die Tripolstruktur begrenzen und definieren. Außerhalb der struk­ turierten Tripole sind Titan und Nickel fest miteinander ver­ bunden, so daß eine "Hubbewegung" allein auf den Bereich der Tripole begrenzt bleibt.

Möglichkeit 2

Identische Ein- und Auslaßventile, wobei eine Umlenkung des Fördermediums durch eine zusätzliche Öffnung in der Membran an einem Anschluß erfolgt.

Bei der Verwendung identischer Ventile ist eine Anströmung je­ weils von derselben Ventilseite her notwendig. Deshalb muß das Fördermedium an einem Ventil in eine weitere Ebene umgelenkt werden. Teil 3 kann wiederum eine Mikrostruktur sein, die nach dem LIGA-Verfahren oder anderen Strukturierungsverfahren her­ gestellt wird. Sie kann zusätzlich den Antrieb der Pumpe (thermopneumatisch, oder Anschlüsse für pneumatischen Antrieb) beinhalten. Ob die Umlenkung am Einlaß- oder Auslaßventil er­ folgt, hängt vom verwendeten Ventil und der Einbaulage des Ventils ab. Wenn die Ventile aus je einer Titan und Polyimid­ membran bestehen und die Titanmembran gleichzeitig als Pumpen­ membran dient, auf der die Wände der Pumpenkammer als LIGA- Struktur aufgebaut werden; dann muß z. B. die Umlenkung am Auslaßventil erfolgen. Ebenso sind folgende Materialkombina­ tionen für Membran und Ventile denkbar:

• - Titan/Nickel;
• - Polyimid/Gold.

Die letztere Variante hat den Vorteil, daß damit als Pumpen­ membran eine extrem elastische Polyimidmembran zur Verfügung steht.

Eine weitere Möglichkeit besteht darin, die Pumpenkörper 1, 3 als Kunststoffteile aus einem einzigen Werkstoff, z. B. durch Kunststoffabformung herzustellen. Die Formen für diese Kunst­ stoffteile können je nach den gewünschten Abmessungen der Pum­ penkörper über feinwerktechnische Verfahren oder nach dem LIGA-Verfahren gefertigt werden. Von den Pumpenkörpern 1, 2 kann einer oder beide aus Metall gefertigt sein. Anstatt auf der Membran 2 die Wände des Pumpenkörpers 1 aufzubauen und den Pumpenkörper dann über das Montieren einer Abschlußplatte zu verschließen, kann die Membran (mit den Ventilen) auf den fertiggestellten Pumpenkörper montiert werden. Dies hat gegen­ über der aus gattungsgemäßen Pumpe den Vorteil, daß keine wei­ teren Strukturen auf der Membran aufgebaut werden müssen.

Die Pumpenkörper 1, 3 enthalten zusätzlich die fluidischen An­ schlüsse zu Ein- und Auslaßventil 4, 5, die Umlenkkanäle 14, 15 und eine weitere Kammer mit Anschluß oberhalb der Pumpen­ kammer 6 für einen z. B. pneumatischen Pumpenantrieb.

Bezugszeichenliste

1 Unterer Pumpenkörper
2 Membran
3 Oberer Pumpenkörper
4 Ventilkammer (Einlaß)
5 Ventilkammer (Auslaß)
6 Pumpenkammer
7 Ventil (Einlaß)
8 Ventil (Auslaß)
9 Kanal
10 Kanal
11 Einlaßkanal
12 Auslaßkanal
13 Pumpenantrieb
14 Umlenkkanal
15 Umlenkkanal
16 Ventilhohlraum

Claims (9)

1. Mikromembranpumpe bestehend aus zwei Ventilkammern, einer dazwischen angeordneten Pumpenkammer, wobei jede Ventilkam­ mer durch einen Kanal mit der Pumpenkammer verbunden ist, einem Pumpenantrieb und einer Membran welche die drei Kammern verschließt, wobei die Membran im Bereich der einen Ventilkammer ein Einlaßventil und im Bereich der anderen Ventilkammer ein Auslaßventil trägt dadurch gekennzeichnet, daß

• a) die Ventile (7, 8) in die Membran (2) integriert sind und
• b) die auf die Membran (2) strukturierten Ventilteile auf der gleichen Membranseite liegen.

2. Mikromembranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Ventile (7, 8) gleich aufgebaut sind und ein Umlenkkanal (14) bei der einen Ventilkammer angeordnet ist, der den Medienstrom auf die andere Seite der Membran führt.

3. Mikromembranpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Steifigkeit des auf die Membran (2) strukturierten Teils des einen Ventils größer und die Steifigkeit des auf die Membran (2) strukturierten Teils des anderen Ventils kleiner ist als die der Membran.

4. Mikromembranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Ventile (7, 8) mindestens drei Rei­ hen von aufeinander zulaufenden Löchern und die Membran (2) im Bereich der Ventile (7, 8) mindestens drei nach innen gekrümmte Schlitze aufweist.

5. Mikromembranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein Pumpenkörper (1), welcher die Pum­ penkammer (6) und die Ventilkammern (4, 5) enthält, aus Kunststoff besteht.

6. Mikromembranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein Pumpenkörper (1), welcher die Pum­ penkammer (6) und die Ventilkammern (4, 5) enthält, aus Me­ tall besteht.

7. Mikromembranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (2) aus Polyimid besteht.

8. Mikromembranpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (2) aus Metall besteht.

9. Mikromembranpumpe bestehend aus zwei Ventilkammern, einer dazwischen angeordneten Pumpenkammer, wobei jede Ventilkam­ mer durch einen Kanal mit der Pumpenkammer verbunden ist, einem Pumpenantrieb und einer Membran welche die drei Kam­ mern verschließt, wobei die Membran im Bereich der einen Ventilkammer ein Einlaßventil und im Bereich der anderen Ventilkammer ein Auslaßventil trägt dadurch gekennzeichnet, daß ein Pumpenkörper (1), welcher die Pumpenkammer (6) und die Ventilkammern (4, 5) enthält aus einem Stück gefertigt ist.