DE4330747C1 - Ultraschallwandler und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents

Ultraschallwandler und Verfahren zu dessen Herstellung

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Description

Die Erfindung betrifft einen Ultraschallwandler nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung. Ein derartiger Ultraschallwandler ist insbesondere geeignet für den Einsatz in Luftmassen- oder Gasdurchflußmessern.
Zur Anpassung von piezoelektrischen Ultraschallwandlern an das Ausbreitungsmedium, wie beispielsweise Luft, ist ein Anpaßkör­ per mit einer akustischen Impedanz notwendig, die zwischen der des Materials des piezoelektrischen Elements und der des Aus­ breitungsmediums liegt. Die optimale akustische Impedanz des Anpaßkörpers wäre das geometrische Mittel der Impedanzen des Piezoelements und des Ausbreitungsmediums. Der Einsatzbereich des Ultraschallwandlers setzt weiterhin einen robusten mechani­ schen Aufbau voraus.
Die DE 38 32 947 A1 beschreibt einen Ultraschallwandler der eingangs genannten Art, bei dem ein Kompromiß zwischen optimaler akustischer Impedanz und mechanischer Robustheit gewählt wurde. Ein topfförmiges Gehäu­ se, welches gleichzeitig den Anpaßkörper darstellt, umschließt das Piezoelement. Als Anpaßmaterial dient ein Gemisch aus einem organischen Harz, wie beispielsweise Epoxidharz und Hohlkugeln aus Glas oder Siliziumdioxid. Dessen akustische Impedanz liegt bei 1·10⁶ Ns/m³. Die optimale akustische Impedanz liegt bei 1·10⁵ Ns/m³. Die akustische Anpassung ist somit nicht optimal ge­ wählt. Weiterhin ist bei der bekannten Ausführungsform von Nachteil, daß das Anpaßmaterial teuer und die Herstellung eines exakten topfförmigen Gehäuses aus dem Anpaßmaterial aufwendig ist. Das obengenannte Gemisch ist außerdem nicht spritzgußfä­ hig.
Eine Aufgabe der Erfindung ist es, einen Ultraschallwandler an­ zugeben, der eine optimale Anpassung an das Ausbreitungsmedium und eine hohe mechanische Robustheit aufweist. Weiterhin soll die Herstellung und Montage des Ultraschallwandlers einfach und kostengünstig sein.
Diese Aufgaben werden durch einen Ultraschallwandler gemäß dem Patentanspruch 1 gelöst.
Während die abhängigen Ansprüche weitere vorteilhafte Ausge­ staltungen des Ultraschallwandler betreffen, ist der Anspruch 5 auf ein Verfahren zu dessen Herstellung gerichtet.
Die Erfindung beruht darauf, daß eine funktionelle Trennung zwischen der Umsetzung der radialen Schwingung des Piezoele­ ments in axiale Schwingungen einerseits und der Anpassung an das Ausbreitungsmedium andererseits erfolgt. Dies gelingt dadurch, daß das Gehäuse die Umsetzung von radia­ len Schwingungen in axiale Schwingungen übernimmt und ein zu­ sätzliches Element, welches auf das Gehäuse aufgebracht wird, die Funktion des Anpaßkörpers übernimmt.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Figur näher erläu­ tert, die einen Querschnitt des Ultraschallwandlers zeigt.
Der Ultraschallwandler, wie in der Figur abgebildet, enthält eine vorzugsweise scheibenförmige Piezokeramik S, welche über die Anschlußdrähte D mit einer nicht dargestellten Ansteuerein­ heit verbunden ist. Das Piezoelement S, welches vorzugsweise eine Piezokeramik ist, wird von einem topfförmigen Gehäuse T, das beispielsweise aus Polystyrol besteht, umschlossen und fest mit diesem verbunden. Auf der dem Piezoelement S gegen­ überliegenden Außenseite des topfförmigen Gehäuses T ist ein Anpaßkörper aufgebracht, der aus einem Material besteht, dessen akustische Impedanz für die Anpassung der akustischen Impedanz des Piezoelements S an die akustische Impedanz des Ausbreitungsmediums optimiert ist. Für das Ausbreitungsmedium Luft eignet sich ein Gemisch aus einem organischen Harz, wie Epoxidharz und Hohlkugeln aus Glas oder Siliziumdioxid, die einen Durchmesser von 50-100 µm aufweisen. Auch Aerogele, wie sie aus GERLACH, R. et al.: Modified SiO₂ aerogels as accustic impedance matching layers in ultrasonic devices. In: Journal of Nou-Crystalline Solids 145 (1992), S. 227-232 bekannt sind, lassen sich als Anpaßmaterial verwenden. Das topfförmige Gehäuse T kann dahingehend optimiert werden, daß eine bestmögliche Umwandlung der vom Piezoelement S erzeugten radialen Schwingungen in axiale Schwingungen möglich wird.
Vorteilhaft für die Herstellung des Ultraschallwandlers ist, daß für das topfförmige Gehäuse T ein spritzgußfähiger Kunst­ stoff verwendbar ist.
Das Piezoelement S kann z. B. bereits bei der Herstellung des topfförmigen Gehäuses T in dieses integriert werden. Es ent­ fällt die nachträgliche Montage und die Verklebung des Pie­ zoelements S mit dem topfförmigen Gehäuse T.
Das topfförmige Gehäuse T mit dem innenseitig angebrachten Pie­ zoelement S wird anschließend mit einem Dämpfungsmaterial V aufgefüllt.
Man kann auch das Dämpfungsmaterial V zuerst mit dem Piezoele­ ment S verbinden und anschließend diese Elemente mit Kunststoff topfförmig ummanteln, so daß das Piezoelement und das Dämp­ fungsmaterial V fest im topfförmigen Gehäuse T eingeschlossen sind.
Weiterhin ist bei dem erfindungsgemäßen Ultraschallwandler von Vorteil, daß der Materialverbrauch zur Herstellung der Anpaß­ schicht erheblich sinkt.
Als Dämpfungsmaterial V eignen sich schwere Stoffe mit hoher innerer Dämpfung. Für Ultraschallwandler, die hohen Temperaturen ausgesetzt sind, ist ein Silikonschaum und für Ultraschall­ wandler, die bei normalen Umgebungstemperaturen eingesetzt werden, ein Polyurethanschaum, der Bleioxid und Wolfram enthält, verwendbar.
Ein erfindungsgemäßer Ultraschallwandler kann insbesondere durch fol­ gendes Verfahren hergestellt werdend:
  • 1. Kontaktierung der Piezokeramik mit Anschlußdrähten.
  • 2. Herstellung der Anpaßschicht aus epoxidharzgebundenen Glashohlkugeln.
  • 2. Guß des Topfes aus spritzgußfähigem Kunststoff mit geringer Dichte. Die Piezokeramik mit Anschlußdrähten ist Bestandteil der unteren Form und wird während des Gusses mit dem Topf verbunden. Die Anpaßschicht aus epoxidharzgebundenem Glashohlkugeln oder Aerogelen ist Be­ standteil der oberen Form.
  • 3. Guß des Dämpfungsmaterials wie bekannt. Es sind jedoch auch hierfür spritzgußfähige Materialien verwendbar.
Alternativ hierzu ist es auch möglich, das Dämpfungsmaterial zuerst auf die Keramik zu gießen und den Verbund aus Piezokera­ mik und Dämpfungsmaterial als Bestandteil der unteren Form in den Spritzguß des Topfes einzubringen.
Der Vorteil des Verfahrens liegt zum einen in einer Materialer­ sparnis für das relativ teure Anpaßmaterial (die Materialer­ sparnis beträgt bei Haushaltsgaszählern etwa 70%) und zum ande­ ren darin, daß alle Verfahrensschritte mit Ausnahme der Kontak­ tierung und der Herstellung der Anpaßschicht in Spritzgußtech­ nik möglich sind. Besonders vorteilhaft ist ferner, daß die La­ ge der Anschlußdrähte keine Rolle mehr spielt, da sie mit ein­ gegossen werden.

Claims (5)

1. Ultraschallwandler mit einem aus einem ersten Material be­ stehenden topfförmigen Gehäuse (T) und einem am Boden des topfförmigen Gehäuses (T) angeordneten Piezoelement (S), dadurch gekennzeichnet,
  • - daß ein aus einem zweiten Material bestehender Anpaßkörper (AK) auf einer dem Piezoelement (S) gegenüberliegenden Fläche des Gehäusebodens aufgebracht ist und
  • - daß das Gehäuseinnere mit einem das Piezoelement (S) bedec­ kenden Dämpfungsmaterial (V) aufgefüllt ist.
2. Ultraschallwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (T) aus spritzgußfähigem Kunststoff besteht.
3. Ultraschallwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (T) aus Polystyrol besteht.
4. Ultraschallwandler nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet,
  • - daß der Anpaßkörper (AK) ein Gemisch aus organischem Harz und Hohlkugeln aus Glas oder Siliziumdioxid aufweist oder aus einem Aerogel besteht.
5. Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallwandlers nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet,
  • - daß das Dämpfungsmaterial (V) auf das kontaktierte Piezoelement aufgebracht wird,
  • - daß um das kontaktierte Piezoelement und das Dämpfungs­ material (V) herum ein topfförmiges Gehäuse (T) aus Kunststoff hergestellt wird, und
  • - daß auf den topfförmigen Gehäuseboden der Anpaßkörper (AK) aufgebracht wird.
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