DE4317512A1 - Vorrichtung zur berührungslosen Nullpunkt-, Positions- und Drehwinkelmessung - Google Patents
Vorrichtung zur berührungslosen Nullpunkt-, Positions- und DrehwinkelmessungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur berührungslosen Nullpunkt-, Positions-
und Drehwinkelmessung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Es sind magnetoresistive Streifenleiter bekannt, die eine betrags- und
richtungsmäßige Messung von Magnetfeldern ermöglichen (DD-PS 2 56 628).
Vier Streifenleiter sind zu einer Wheatstone-Brücke verbunden. Infolge der
Symmetrie der Anordnung der Streifenleiter werden induktive und kapazitive
Störeinflüsse kompensiert. Der Sensor wird üblicherweise mit einer
Auswerteschaltung betrieben. Vorteilhaft wird die Auswerteschaltung integriert, die
mit üblichen Dünnschicht- oder Mikroelektronik-Technologien herstellbar ist.
Die integrierte Schaltung kann im wesentlichen einen Multiplexer und einen AD-
Wandler beinhalten.
Mit Hilfe dieser Sensoren ist eine Messung des Magnetfeldes nach Betrag und
Richtung in einer Position möglich.
In EP-OS 0 283 687 wird eine Positionsmeßvorrichtung beschrieben, bei der flächig
verteilte magnetoresistive Sensoren die Lage eines Positionsindikators im Raum
bestimmen.
Jeweils vier magnetoresistive Sensoren sind an den Eckpunkten von vier in der
Fläche liegenden Vierecken flächig verteilt angeordnet. Die einzelnen
magnetoresistiven Sensoren sind auf der Detektionsvorrichtung elektrisch
voneinander getrennt.
Durch eine Absolutauswertung der von den einzelnen Sensoren aufgenommenen
Signale in einer Auswerteeinrichtung wird die Position des bewegbaren Teils,
dessen Position bestimmt werden soll in X-, Y,- und Z-Richtung bestimmt.
Zur Messung muß zwischen den einzelnen Sensoren interpoliert werden.
Der Detektor ist nicht als Nullpunktsensor vorgesehen.
Die Erfindung soll das Problem lösen, hochgenau eine Positionsmessung,
insbesondere eine Nullpunktmessung, eines Objektes zu liefern, die von störenden
Umwelteinflüssen unabhängig ist.
Das Problem wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des
Anspruchs 1 gelöst.
Vier MR-Streifenleiter bilden eine Wheatstone-Brücke, wobei zwei MR-
Streifenleiter, die mit ihren Längsseiten eng parallel aneinander angeordnet sind,
jeweils eine Halbbrücke bilden und symmetrisch zu einer Achse liegen. Die
mindestens zwei Halbbrücken liegen um 180 Grad in einem gleichen Abstand zu
einem Zentrum (Koordinatenursprung des X-Y-Koordinatensystems) gegenüber.
Jeder MR-Streifenleiter kann aus einem oder mehreren magnetoresistiven Streifen
bestehen.
Vorzugsweise ist jeder MR-Streifenleiter mit schmalen Streifen aus elektrisch gut
leitfähigem Material (Barberpole) versehen, die üblicherweise in einem Winkel α
von ± 45 Grad zur Längsrichtung der MR-Streifenleiter angeordnet sind. Die MR-
Streifenleiter haben eine Vormagnetisierung in einer Magnetisierungsrichtung, die in
Längsrichtung der MR-Streifenleiter ausgerichtet ist.
Die Vormagnetisierung wird in einem ersten Fall durch ein von außen angelegtes
magnetisches Feld durch einen an dem Substrat angeordneten
Permanentmagneten oder durch eine in der Nähe des Substrates angeordnete
stromdurchflossene Spule erzeugt, wobei die Feldlinien in paralleler Richtung zu
der Magnetisierungsrichtung der jeweiligen MR-Streifenleiter verlaufen.
Die Vormagnetisierung wird in einem zweiten Fall durch eine auf der Sensorfläche
integrierte Vorfeld-Spule oder eine in das Substrat integrierte Spule (z. B. durch
LIGA-Verfahren) hergestellt.
Die Vormagnetisierung wird in einem dritten Fall durch eine in die MR-Streifenleiter
bei deren Herstellung und Strukturierung eingeprägte Magnetisierung hergestellt.
Vorzugsweise ist eine Auswerteschaltung mit den Wheatstone-Brücken auf dem
Substrat integriert. Auf dem Substrat ist weiterhin ein weiterer MR-Streifenleiter zur
Kompensation der Temperaturdrift angeordnet.
Der Positionsindikator erzeugt in einem ersten Fall selbst ein
permanentmagnetisches oder elektromagnetisches Feld, welches auf die MR-
Streifenleiter einwirkt.
Der Positionsindikator besteht in einem zweiten Fall aus einem ferromagnetischen
Material. In dem Substrat oder in der Nähe des Substrates ist ein Magnet
angeordnet, dessen Magnetisierung in Richtung senkrecht zur Substratoberfläche
liegt. Der ferromagnetische Positionsindikator wirkt auf die Richtung der Feldlinien
ein, was von den MR-Streifenleitern registriert wird.
Der Positionsindikator ist in einem ersten Fall in einem Abstand von der X-Y-Ebene
parallel zu dieser Ebene linear bewegbar. In dieser Form ist eine Positions- und
Nullpunktmessung durchführbar.
Zur Messung in X-Y-Richtung sind mindestens zwei Wheatstone-Brücken um das
Zentrum angeordnet, wobei die Halbbrücken verschiedener Wheatstone-Brücken
gegeneinander einen definierten Winkel γ bilden.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung ermöglicht durch die Anwendung eines
neuartigen Prinzips zur Nullpunktmessung eine Genauigkeitssteigerung. Neben der
exakten Nullpunkt-Bestimmung wird eine lineare Abstandsinformation des
Positionsindikators zum Nullpunkt geliefert. Der Nullpunkt wird durch den
Herstellungsprozeß des Sensors vorgegeben und unterliegt keinen zeitlichen
Veränderungen. Durch den kleinen Aufbau der Sensoren ist das
Temperaturverhalten in allen MR-Streifenleitern gleich.
Der Positionsindikator ist in einem zweiten Fall in einem Abstand von der X-Y-
Ebene um Achsen parallel zu dieser Ebene kippbar um einen Drehpunkt gelagert.
Diese Ausführung realisiert die Funktion eines Joysticks.
Der Positionsindikator ist in einem dritten Fall in einem Abstand von der X-Y-Ebene
um die Z-Achse in einen Drehpunkt gelagert. Diese Ausführung realisiert die
Funktion eines Drehwinkel- oder Drehzahlgebers.
Die Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung als Joystick und als
Drehwinkel- und Drehzahlgeber liefert einfach aufgebaute, robuste Baugruppen, die
einen minimalen Justieraufwand erfordern.
Die Erfindung wird an Hand von Beispielen beschrieben.
Es zeigen:
Fig. 1 Grundprinzip (Messung in einer Raumrichtung),
Fig. 2 Anordnung eines Sensors mit Auswerteschaltung auf dem Substrat,
Fig. 3 Zweifach-Anordnung für Messung in X-Y-Richtung,
Fig. 4 Zweifach-Anordnung mit integrierter Spule,
Fig. 5 Vierfach-Anordnung ohne Leitungsbrücken,
Fig. 6 Vorrichtung mit Magnet oder Spule als Positionsindikator,
Fig. 7 Vorrichtung mit ferromagnetischem Positionsindikator und
Zusatzmagnet,
Fig. 8 Verwendung der Anordnung als Joystick,
Fig. 9 Verwendung der Anordnung als Drehwinkel- und Drehzahlgeber.
Gemäß Fig. 1 sind auf einem Substrat 1 vier mit Leitbahnen 2 verbundene MR-
(magnetoresistive) Streifenleiter 3 aufgebracht und bilden eine Wheatstone-Brücke.
Die Wheatstone-Brücke ist mit Hilfe einer Widerstandsabgleichfläche 11
abgleichbar. Jeweils zwei MR-Streifenleiter 3 liegen mit ihren Längsseiten in einem
engen Abstand parallel nebeneinander. Die zwei MR-Streifenleiterpaare sind
spiegelsymmetrisch zu einer Y-Achse entlang einer X-Achse angeordnet. Dabei hat
das Vorfeld der Streifenleiter eine Magnetisierungsrichtung 9, die der Richtung ihrer
Längsausdehnung (X-Richtung) entspricht. Die Leitbahnen 2 verschalten die vier
MR-Streifenleiter 3 so, daß eine Wheatstone-Brücke realisiert wird.
Die Betriebsspannung wird an die Anschlüsse a1 und a2 angelegt. An den
Anschlüssen a3 und a4 wird das Meßsignal abgenommen und einer
Auswerteschaltung zugeführt.
Die MR-Streifenleiter 3 enthalten Barberpole 10 für die Realisierung einer linearen
Abhängigkeit des Widerstands der MR-Streifenleiter 3 vom äußeren Magnetfeld.
Mit Hilfe dieser Anordnung wird die Position eines in der unmittelbaren Umgebung
des Koordinatenursprunges in einem Abstand z von der Substratoberfläche (X-Y-
Ebene) befindlichen Positionsindikators 4 in einer Raum-Richtung, der X-Richtung
gemessen.
Fig. 2A stellt eine Zweifach-Anordnung und Fig. 2B stellt eine Vierfach-
Anordnung dar. Auf das Substrat 1 sind die Halbbrücken 13, der MR-Streifenleiter 3
zur Kompensation der Temperaturdrift 7 und die Auswerteschaltung 5 angeordnet.
Eine Verdrahtung 14 stellt die elektrischen Verbindungen zwischen den
Halbbrücken 13 und der Auswerteeinheit 5 her.
Die Zweifach-Anordnung nach Fig. 3, bei der zwei Wheatstone-Brücken, die
jeweils aus vier MR-Streifenleitern 3 aufgebaut sind, um 90 Grad versetzt in der X-
Y-Ebene angeordnet sind, liefert Meßergebnisse über die Position des
Positionsindikators 4 in X-Richtung und in Y-Richtung. Die Anschlüsse a3 und a4
liefern ein Meßsignal für die X-Richtung. Die Anschlüsse a5 und a6 liefern ein
Signal für die Y-Richtung.
In Fig. 4 ist eine zusätzlich auf das Substrat 1 aufgebrachte oder in das Substrat 1
integrierte Vorfeld-Spule 6 schematisch dargestellt. Die Vorfeld-Spule 6 dient dem
Einprägen der inneren Magnetisierung der MR-Streifenleiter 3 und/oder der
Erzeugung des Vorfeldes in dem MR-Streifenleiter 3. Die Betriebsspannung wird an
die Anschlüsse a1 und a2 angelegt.
Fig. 5 zeigt eine Vierfach-Anordnung, deren Layout nur eine Isolationsschicht
zwischen der integrierten Vorfeld-Spule 6 und den Leitbahnen 2 der MR-
Streifenleiter 3 des Sensors erfordert. In der Ebene des Sensors sind keine
Leiterkreuzungen notwendig. Dies ist für eine kostengünstige Herstellung des
Sensors vorteilhaft.
Fig. 6 zeigt die Vorrichtung mit einem Magnet oder Spule als Positionsindikator 4.
Magnetfeldlinien 12 des Positionsindikators 4 durchdringen die aus MR-
Streifenleitern 3 bestehenden Halbbrücken 13.
Fig. 7 zeigt die Vorrichtung mit einem Positionsindikator 4 aus ferromagnetischem
Material und Zusatzmagnet 8. Die Feldlinien 12 des von dem Zusatzmagneten 8
erzeugten Feldes verlaufen senkrecht zu der Substratoberfläche (X-Y-Ebene).
Durch den Positionsindikator 4 aus ferromagnetischem Material wird die Richtung
der Feldlinien 12 verändert. Diese Veränderungen werden durch die aus den MR-
Streifenleitern 3 bestehenden Halbbrücken 13 registriert.
Fig. 8 zeigt eine Anwendung der Vorrichtung als Joystick mit Maßangaben. Über
einer Sensoranordnung nach Fig. 7 oder Fig. 8 befindet sich ein
Positionsindikator 4, dessen Drehpunkt 15 sich über dem Zentrum des X-Y-Z-
Koordinatensystems befindet. Eine Bewegung des Positionsindikators 4 in X- oder
Y-Richtung erzeugt eine lineare Ausgangsspannung in den entsprechenden
Brücken. Diese Anordnung liefert bei einer entsprechenden Auswertung der
Ausgangsspannungen die Funktion eines Joysticks.
Fig. 9 zeigt die Vorrichtung als Drehwinkel- und Drehzahlgeber. Die Maße
entsprechen denen der Fig. 8. Über einer Sensoranordnung nach Fig. 6 oder
Fig. 7 befindet sich ein Positionsindikator 4, dessen Drehpunkt 15 sich parallel zur
X-Y-Ebene über dem Zentrum des X-Y-Z-Koordinatensystems befindet. Durch
Drehung um die Z-Achse wird in einer Wheatstone-Brücke ein Winkel von ±45°
detektiert. Bei einer Anordnung von mindestens zwei Wheatstone-Brücken wird der
Winkelbereich von 360° abgedeckt. Diese Anordnung ist als Drehwinkel- und
Drehzahlgeber bis zu hohen Frequenzen einsetzbar.
Bezugszeichenliste
1 Substrat
2 Leitbahn
3 MR-Streifenleiter
4 Positionsindikator
5 Auswerteschaltung
6 Vorfeld-Spule
7 MR-Streifenleiter zur Kompensation der Temperaturdrift
8 Zusatzmagnet
9 Vormagnetisierung
10 elektrische Kurzschlüsse (Barberpole)
11 Widerstandsabgleichfläche
12 Feldlinien
13 Halbbrücke
14 Verdrahtung
15 Drehpunkt
a1, a2, Betriebsspannung
a3, . . . .,an Meßsignale
s1, s2 Anschluß für integrierte Spule
α, γ Winkel
X, Y, Z Koordinaten.
2 Leitbahn
3 MR-Streifenleiter
4 Positionsindikator
5 Auswerteschaltung
6 Vorfeld-Spule
7 MR-Streifenleiter zur Kompensation der Temperaturdrift
8 Zusatzmagnet
9 Vormagnetisierung
10 elektrische Kurzschlüsse (Barberpole)
11 Widerstandsabgleichfläche
12 Feldlinien
13 Halbbrücke
14 Verdrahtung
15 Drehpunkt
a1, a2, Betriebsspannung
a3, . . . .,an Meßsignale
s1, s2 Anschluß für integrierte Spule
α, γ Winkel
X, Y, Z Koordinaten.
Claims (14)
1. Vorrichtung zur berührungslosen Nullpunkt-, Positions- und Drehwinkelmessung,
bestehend aus einem Substrat (1) mit flächig verteilten MR- (magnetoresistiven)
Sensoren (3), die vorzugsweise mit einer Auswerteschaltung (5) auf dem Substrat
(1) verbunden sind und mit einem magnetischen Positionsindikator (4), der über der
Sensorfläche (X-Y-Ebene) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß
- - vier MR-Streifenleiter (3) eine Wheatstone-Brücke bilden, wobei
- - zwei MR-Streifenleiter (3) jeweils eine Halbbrücke (13) bilden, und
- - diese zwei MR-Streifenleiter (3) mit ihren Längsseiten eng parallel aneinander, symmetrisch zu einer Achse liegen und sich
- - die zwei Halbbrücken (13) um 180 Grad in einem gleichen Abstand zu einem Zentrum (Koordinatenursprung des X-Y-Z-Koordinatensystems) gegenüberliegen und der Positionsindikator (4) im Raum bewegbar ist.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der MR-Streifenleiter (3) aus einem oder mehreren magnetoresistiven Streifen
besteht.
3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
der MR-Streifenleiter (3) mit elektrischen Kurzschlüssen (Barberpole) (10) versehen
sind, die in einem Winkel (α) von ± 45 Grad zur Längsrichtung der MR-Streifenleiter
(3) angeordnet sind.
4. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die MR-Streifenleiter (3) eine Vormagnetisierung (9) haben, die in Längsrichtung
der MR-Streifenleiter (3) ausgerichtet ist.
5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
die Vormagnetisierung (9) durch ein von außen angelegtes magnetisches Feld
erzeugbar ist, wobei die Feldlinien (12) in paralleler Richtung zur Längsrichtung der
jeweiligen MR-Streifenleiter (3) verlaufen.
6. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
die Vormagnetisierung durch eine auf der Sensorfläche integrierte Vorfeld-Spule (6)
oder eine in das Substrat (1) integrierte Spule (z. B. durch LIGA-Verfahren)
erzeugbar ist.
7. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
die Vormagnetisierung durch eine in die MR-Streifenleiter (3) bei deren Herstellung
und Strukturierung eingeprägte Magnetisierung realisierbar ist.
8. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
auf dem Substrat (1) eine geeignete Auswerteschaltung (5) und eine
Widerstandsabgleichfläche (11) integriert ist.
9. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
auf dem Substrat (1) ein weiterer MR-Streifenleiter zur Kompensation der
Temperaturdrift (7) angeordnet ist.
10. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Positionsindikator (4) ein permanentmagnetisches oder elektromagnetisches
Feld erzeugt oder daß der Positionsindikator (4) aus einem ferromagnetischen
Material hergestellt ist und in dem Substrat (1) oder in der Nähe des Substrates (1)
ein Magnet (8) angeordnet ist, dessen Magnetisierung in Richtung senkrecht zur
Substratoberfläche (1) liegt.
11. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
mehrere Wheatstone-Brücken um das Zentrum angeordnet sind, wobei die
Halbbrücken (13) verschiedener Wheatstone-Brücken gegeneinander einen
definierten Winkel (γ) von kleiner oder /gleich 90 Grad bilden.
12. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Positionsindikator (4) in einem Abstand von der X-Y-Ebene parallel zu dieser
Ebene linear bewegbar ist.
13. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Positionsindikator (4) in einem Abstand von der X-Y-Ebene um Achsen parallel
zu dieser Ebene kippbar um einen Drehpunkt (15) gelagert ist.
14. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Positionsindikator (4) in einem Abstand von der X-Y-Ebene um die Z-Achse in
einen Drehpunkt (15) gelagert ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19934317512 DE4317512C2 (de) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | Vorrichtung zur berührungslosen Nullpunkt-, Positions- und Drehwinkelmessung |
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Publications (2)
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