DE4314601A1 - Vorrichtung und Verfahren zum mit fokussiertem Licht erfolgenden Behandeln von kornorientierten Werkstücken - Google Patents
Vorrichtung und Verfahren zum mit fokussiertem Licht erfolgenden Behandeln von kornorientierten WerkstückenInfo
- Publication number
- DE4314601A1 DE4314601A1 DE4314601A DE4314601A DE4314601A1 DE 4314601 A1 DE4314601 A1 DE 4314601A1 DE 4314601 A DE4314601 A DE 4314601A DE 4314601 A DE4314601 A DE 4314601A DE 4314601 A1 DE4314601 A1 DE 4314601A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- workpiece
- light
- treatment
- light beams
- treatment line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0604—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams
- B23K26/0613—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams having a common axis
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0604—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/0643—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising mirrors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/0648—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0665—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by beam condensation on the workpiece, e.g. for focusing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D8/00—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment
- C21D8/12—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of articles with special electromagnetic properties
- C21D8/1294—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of articles with special electromagnetic properties involving a localized treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/02—Iron or ferrous alloys
- B23K2103/04—Steel or steel alloys
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum mit
fokussiertem Licht erfolgenden Behandeln von kornorientierten
Werkstoffbahnen, -Tafeln od. dgl. Werkstücken, insbesondere
Elektroblechen, mit einem während einer Förderung eines Werk
stücks auf eine im wesentlichen quer zur Domänenorientierung
verlaufende Behandlungslinie gerichteten Lichtstrahl.
Eine Vorrichtung mit den vorgenannten Merkmalen ist aus
dem Deutschen Patent 37 11 905 bekannt. Es wird ein während der
Förderung wiederholt im wesentlichen quer zur Förderrichtung
von einem Polygonspiegel od. dgl. über das Werkstück schwenkba
rer Laserstrahl eingesetzt. Es ist eine den Laserstrahl auf das
Werkstück fokussierende Optik vorhanden, die eine dem Werkstück
etwa entsprechende Breite hat und mit die Werkstückbreite un
terschreitendem Abstand vom Werkstück starr angeordnet ist. Die
Vorrichtung muß so ausgebildet sein, daß als Fokussieroptik ein
den Laserstrahl reflektierender Spiegel vorhanden ist, auf den
der geschwenkte Laserstrahl mit 45° unterschreitendem Winkel
zur Spiegelsenkrechten trifft. Darüber hinaus ist der Laser
strahl zu einem in Strahlbewegungsrichtung ausgerichteten
Strich fokussiert. Die Ablenkung des Laserstrahls erfolgt mit
einer Geschwindigkeit von ca. 100 m/s quer zur Bewegungsrich
tung des Werkstücks, welches sich mit einer Geschwindigkeit von
ca. 100 m/min bewegt. Als Laserstrahlquelle wird ein CO₂-Laser
der kW-Klasse eingesetzt. Das gesamte System für z. B. 1 m Band
bzw. Werkstückbreite hat hohe Kosten für die Laserstrahlquelle
und das Strahlhandhabungssystem. Beide Laser und die Bearbei
tungsanlage benötigen zusammen mit der Energieversorgung viel
Raum bzw. Aufstellfläche. Das komplexe Strahlhandhabungssystem
kann die Zuverlässigkeit und die Verfügbarkeit der gesamten An
lage beeinträchtigen. Darüber hinaus sind auch funktionelle
Nachteile nicht auszuschließen. Elektrobleche besitzen eine
Isolationsschicht, die für die Strahlung des CO₂-Lasers eine
vergleichsweise geringe Transparenz aufweist, so daß es deshalb
zu Aufschmelzungen dieser Schutzschicht an der Oberseite kommen
kann, was eine verringerte Produktqualität bedeutet.
Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ei
ne Vorrichtung mit den eingangs genannten Merkmalen so zu ver
bessern, daß sie erheblich kompakter ist und ohne bewegliche
Teile ihres Behandlungssystems auskommt.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß der Lichtstrahl
gleichzeitig mit weiteren Lichtstrahlen auf das kornorientierte
Werkstück auftrifft, und daß mehrere Lichtstrahlen eine gemein
same Behandlungslinie beleuchten und/oder eine Schar für die
einander mit Abstand parallelen Behandlungslinien des geförder
ten Werkstücks ausbilden.
Voraussetzung für jede Verbesserung der Vorrichtung ist
es, daß eine Behandlung quer oder nahezu quer zur Domänenrich
tung des Werkstücks erfolgen muß, um dadurch die Domänenbreite
zu verkleinern. Dementsprechend ist die Behandlungslinie auszu
richten, die bei der bekannten Vorrichtung vom Laserstrahl
überstrichen wird. Hiervon rückt die Erfindung ab. Es werden
mehrere Lichtstrahlen eingesetzt, die gleichzeitig auftreffen.
Sie können dazu benutzt werden, die Behandlungslinie so zu be
strahlen, daß beispielsweise eine durchgehende Behandlungslinie
erzeugt wird. Hierzu ist im Grundsatz kein platzerforderndes
Strahlhandhabungssystem für einen bewegten Lichtstrahl erfor
derlich, so daß die Vorrichtung entsprechend kompakt ausgebil
det werden kann. Darüber hinaus kann mit einer Vielzahl von
Lichtstrahlen eine grundsätzliche Systemerweiterung erreicht
werden. Es ist nicht erforderlich, eine einzige Behandlungsli
nie durch alle Lichtstrahlen gleichzeitig zu bestrahlen. Viel
mehr kann eine Gruppe von Lichtstrahlen auf einen Bereich des
Werkstücks auftreffen, der von einem anderen mit anderen Licht
strahlen bestrahlten Werkstückbereich entfernt ist. Es können
beispielsweise Behandlungslinienabschnitte erzeugt werden, die
auch in Förderrichtung des Werkstücks zueinander versetzt sein
können. Derartige Behandlungslinienabschnitte können vorteil
haft an das Werkstück angepaßt werden, beispielsweise wenn es
sich um bereits in Form geschnittene Blechstücke für die Ver
wendung bei Transformatorkernen handelt. Es kann beispielsweise
erreicht werden, daß Lichtstrahlen gruppenweise zur Erzeugung
mehrerer einander paralleler Behandlungslinien quer zur Förder
richtung des Werkstücks eingesetzt werden. Es ergibt sich eine
entsprechende Beschleunigung des Behandlungsvorgangs. Die Be
handlung eines Werkstücks kann aber auch so eingerichtet wer
den, daß seine Förderung in bestimmter Weise mit in den Behand
lungsprozeß eingebunden wird. Das ist beispielsweise dann der
Fall, wenn die Lichtstrahlen eine Schar für die einander mit
Abstand parallelen Behandlungslinien ausbilden. Die Lichtstrah
len haben also Abstand voneinander und die Förderung des Werk
stücks im Strahlungsbereich der gleichzeitig wirkenden Licht
strahlen hat entsprechende Behandlungslinien zur Folge, mit de
nen die Ummagnetisierungsverluste der Werkstücke weiter herab
gesetzt werden können. Dabei versteht es sich, daß die Domänen
richtung hierbei quer oder nahezu quer zur Förderrichtung sein
muß, was bei Tafeln oder bereits ausgestanzten Blechen problem
los zu erreichen ist.
Die Vorrichtung kann so ausgebildet sein, daß alle Licht
strahlen gleichzeitig eine einzige Behandlungslinie ausleuch
ten, oder daß jeder Lichtstrahl der Strahlenschar zur Erzeugung
einer der Behandlungslinien vorhanden ist. Wenn alle Licht
strahlen gleichzeitig eine einzige Behandlungslinie ausleuch
ten, wird die gesamte Lichtleistung der Vorrichtung für einen
einzigen Behandlungsschritt eingesetzt und die Vorrichtung kann
dementsprechend optimal dimensioniert werden. Das ist auch vor
teilhaft im Sinne eines kompakten Aufbaus der Vorrichtung. Wenn
jeder Lichtstrahl der Strahlenschar zur Erzeugung einer der Be
handlungslinien vorhanden ist, kann mit einer ebenfalls kompak
ten Vorrichtung erreicht werden, daß durch ununterbrochenen
Einsatz der Lichtstrahlen entsprechend ununterbrochene Behand
lungslinien auf dem Werkstück erzeugt werden. Domänenorientie
rung des Werkstücks quer zur Förderrichtung ist hierbei Voraus
setzung.
Vorteilhaft ist es, wenn der auf das geförderte Werkstück
auftreffende Lichtstrahl stillsteht. Jeglicher baulicher Auf
wand für eine Bewegung der Lichtstrahlen entfällt. Dementspre
chend können auch die zum Fokussieren des Lichts erforderlichen
optischen Teile der Vorrichtung einfach ausgebildet und präzise
justiert angeordnet werden.
Im Sinne eines kompakten und einfachen Aufbaus der Vor
richtung ist es auch, wenn die Lichtstrahlen in einer einzigen
Ebene einander parallel angeordnet sind. Die Vielzahl der
Lichtstrahlen bildet einen Lichtvorhang, mit dem beispielsweise
eine einzige Behandlungslinie gleichzeitig vollständig ausge
leuchtet werden kann. Die Justierung der Lichtstrahlen wird er
heblich vereinfacht und es können entsprechend einfache Bautei
le eingesetzt werden.
Zur Erzeugung der Lichtstrahlen können im Grundsatz belie
bige Lichtquellen herangezogen werden. Es können beispielsweise
Lichtstrahlen als Teilstrahlen einer Laserquelle eingesetzt
werden, sofern sich hierbei die erforderlichen Energiedichten
mit Hilfe dieser einzigen Laserstrahlquelle erzeugen lassen.
Von besonderem Vorteil ist es jedoch, daß die Lichtstrahlen von
Dioden erzeugt sind. Derartige Dioden, die insbesondere als so
genannte Laserdioden ausgebildet sein können, erzeugen das
Licht in einem derart kleinen Bereich, daß der Lichtstrahl mit
üblichen optischen Mitteln genügend klein bzw. linienschmal auf
dem Werkstück abgebildet werden kann.
Eine mit Dioden wirkende Vorrichtung wird zweckmäßigerwei
se so ausgestaltet, daß mehrere Dioden für jeweils einen der
Lichtstrahlen zeilenförmig angeordnet sind. Die zeilenförmige
Anordnung der Dioden ist zum einen im Hinblick auf die ge
wünschten Behandlungslinien vorteilhaft und ermöglicht die An
ordnung aller Dioden in einer gemeinsamen Wärmesenke zur Abfüh
rung der Verlustwärme.
Zur Steigerung der Leistung und der Leistungsdichte im Fo
kusbereich bzw. auf der Behandlungslinie können mehrere Dioden
zeilen einer einzigen Behandlungslinie zugeordnet sein. Mehrere
Diodenzeilen werden zweckmäßigerweise in einer gemeinsamen Ebe
ne angeordnet, um die Bauform zu vereinfachen.
Infolge einer zeilenweisen Anordnung einer Vielzahl von
Dioden für mehrere Lichtstrahlen kann die Vorrichtung so ausge
bildet werden, daß ihnen ein zylindrischer Kollimator gemeinsam
ist. Ein solcher zylindrischer Kollimator für eine Vielzahl von
Dioden-Lichtstrahlen ist wenig aufwendig herzustellen und ein
fach zu justieren. Gleiches gilt, wenn die Vorrichtung so aus
gebildet ist, daß allen Lichtstrahlen eine zylindrische Fokus
sierungslinse oder ein Fokussierungsspiegel zugeordnet ist.
Linse und Spiegel werden nicht nur für zeilenweise angeordnete
Dioden eingesetzt, sondern auch für flächenweise angeordnete
Dioden, deren Einzelstrahlen durch die Linse bzw. durch den
Spiegel auf eine Behandlungslinie fokussiert werden können.
Von besonderem Vorteil ist es, daß im Strahlengang jedes
Lichtstrahls eine dessen Divergenzwinkel in der Ebene der Be
handlungslinie kontrollierende Linse vorhanden ist. Dadurch
kann die Überlappung der Strahlflecken mehrerer Lichtstrahlen
beeinflußt bzw. dafür gesorgt werden, daß eine Behandlungslinie
ununterbrochen bestrahlt wird.
Die Vorrichtung wird dadurch verbessert, daß die Dioden
Licht der Wellenlänge des Bereichs von 0,6 bis 2 µm emittieren.
Das Licht dieser Wellenlängen vermag die üblicherweise bei
Elektroblechen vorhandene Schutzschicht verlustfreier zu durch
dringen, so daß die Gefahr einer Schutzschichtbeschädigung ver
ringert wird. Es ergeben sich auch günstigere Bedingungen für
den Materialmodifikationsprozeß des Werkstücks, was zur Verrin
gerung von Ummagnetisierungsverluste führt.
Die Erfindung bezieht sich ebenfalls auf ein Verfahren zum
mit fokussiertem Licht erfolgenden Behandeln von kornorientier
ten Werkstoffbahnen, -Tafeln od. dgl. Werkstücken, insbesondere
Elektroblechen, bei dem während einer Förderung eines Werk
stücks auf eine im wesentlichen quer zur Domänenorientierung
verlaufende Behandlungslinie ein Lichtstrahl gerichtet wird. Um
zu erreichen, daß das Verfahren ohne bewegliche Teile seines
Behandlungssystems auskommt, wird es so durchgeführt, daß der
Lichtstrahl gemeinsam mit weiteren Lichtstrahlen auf das korn
orientierte Werkstück gelenkt wird, wobei alle Lichtstrahlen
während der Förderung des Werkstücks gleichzeitig zugeschaltet
und nach vorbestimmter Behandlungsdauer abgeschaltet werden.
Der Einsatz mehrerer Lichtstrahlen wird mit ihrem Zu- und Ab
schalten so kombiniert, daß die gewünschte Werkstückbehandlung
erfolgt. Zwischen dem Abschalten und dem Zuschalten wird das
Werkstück weiter gefördert, so daß seine Behandlung mit Licht
unterbleibt. Die Zuschaltdauer des Lichts muß so kurz gewählt
werden, daß sich das Werkstück während der Bestrahlung nur ge
ringfügig bewegt.
Für das vorbeschriebene Verfahren ist es von Bedeutung,
daß es ohne mehr oder minder starken Laser oder Elektronen
strahl auskommt. Ein Abscannen des Werkstücks wird vermieden.
Die Gefahr einer Beschädigung einer Isolationsschicht des Werk
stücks durch Aufschmelzung an der Oberfläche kann entschieden
verringert werden, insbesondere aufgrund günstigerer Wellenlän
gen von Laserdioden im Vergleich zum CO₂-Laser. Beim Einsatz
von Laserdioden mit einem im Vergleich zu herkömmlichen Laser
strahlquellen erheblich günstigeren elektro-optischen Wirkungs
grad können größenreduzierte Versorgungsaggregate eingesetzt
werden. Die Reduzierung der Anschaffungs- und Betriebskosten
ermöglicht eine kostengünstigere Prozeßführung.
Das vorgenannte Verfahren kann so verbessert werden, daß
eine Vielzahl von Lichtquellen im Sinne werkstückangepaßter Be
handlungslinien geschaltet wird. Durch eine Schaltungssteuerung
der Lichtquellen kann einer großen Anzahl von Behandlungsanfor
derungen genügt werden. Das betrifft einerseits die Ausgestal
tung der Behandlungslinien, die nicht nur gerade sein müssen,
sondern das kann auch die Einschaltdauer betreffen, um bei
spielsweise von einer quer zur Förderrichtung angeordneten Be
handlungslinie auf eine in Förderrichtung verlaufende Behand
lungslinie übergehen zu können. Die Einsatzmöglichkeiten rich
ten sich im Grundsatz nur nach der Ausgestaltung des angewende
ten Lichtquellen-Arrays.
Das Verfahren kann so automatisiert werden, daß die Licht
strahlen in Abhängigkeit von der Fördergeschwindigkeit des
Werkstücks zu- und abgeschaltet werden. Infolgedessen kann auch
dann problemlos ein gleichbleibendes Behandlungsergebnis er
reicht werden, wenn das Werkstück mit unterschiedlichen Förder
geschwindigkeiten transportiert wird.
Es kann auch so verfahren werden, daß das Werkstück
gleichzeitig oder abwechselnd von zwei Seiten der Förderebene
bestrahlt wird. Auf diese Weise kann die zeitliche Belastung
der Lichtquellen reduziert werden bzw. der Effekt der
Domänenverfeinerung durch gleichzeitige Behandlung von oben und
unten verstärkt werden.
Die Erfindung wird anhand mehrerer in der Zeichnung darge
stellter Ausführungsbeispiele erläutert. Es zeigt
Fig. 1 eine Seitenansicht einer Diodenzeile zur Bestrahlung
einer in der Darstellungsebene bewegten Blechbahn in
schematischer Darstellung,
Fig. 2 die Vorrichtung der Fig. 1 in um 90° geschwenkter
Frontansicht der Diodenzeile,
Fig. 3, 4 mehrere einander parallele Diodenzeilen, die in
einer Ebene angeordnet sind, mit zugehörigen Fokus
siermitteln,
Fig. 5 eine Aufsicht auf die Anordnung der Fig. 3 in Rich
tung A, und
Fig. 6, 7 schematische Darstellungen von Strahlflecken auf
Werkzeugbahnen zur Erläuterung unterschiedlicher Be
handlungsverfahren.
Anhand der Fig. 1,2 wird der grundsätzliche Aufbau der Vor
richtung erläutert. Ein Werkstück 10 ist beispielsweise ein
kornorientiertes Elektroblech, welches beispielsweise eine von
einem Coil abgewickelte Werkstoffbahn ist, die in der Richtung
x mit einer vorbestimmten Fördergeschwindigkeit VB gefördert
wird. Es wird angenommen, daß sich die Orientierung des Korns
bzw. der magnetischen Domänen dieses Werkstücks 10 aufgrund des
Herstellungsvorgangs des Blechs in Förderrichtung erstreckt.
Infolgedessen ist eine Behandlungslinie 12 quer oder jedenfalls
im wesentlichen quer zu dieser Domänenrichtung und damit quer
zu der Förderrichtung x erforderlich, also in Richtung y gemäß
Fig. 2. Die Behandlungslinie 12 sollte sich über die gesamte
Bahnenbreite BBl erstrecken.
Die Behandlung des Werkstücks 10 erfolgt mit einem Licht
strahl 13, der von einer Lichtquelle 23 erzeugt wird, nämlich
einer Diode 22. In der Darstellungsebene soll die Diode 22 ei
nen typischerweise ± 30° betragenden Abstrahlwinkel haben, so
daß das Diodenlicht kollimiert werden muß. Hierzu ist ein Kol
limator 17 vorhanden, der das Licht sammelt bzw. bündelt und
auf eine Fokussierungslinse 18 richtet, von der der Lichtstrahl
13 ausgeht, welcher auf die Behandlungslinie 12 des Werkstücks
10 gerichtet ist. Die Breite der Behandlungslinie sollte typi
scherweise im Bereich von 50 bis 200 µm liegen. 10 bis 500 µm
sind ebenfalls möglich.
In Förderrichtung des Werkstücks 10 gesehen, also senk
recht zur Darstellungsebene der Fig. 2, erstreckt sich der
Lichtstrahl 13 nur über einen Bruchteil der Gesamtbreite BBl.
Der Divergenzwinkel des Lichts der Diode 22 quer zur Förder
richtung ist vergleichsweise gering, so daß die Länge 25 des
Strahlflecks 26 des Lichtstrahls 13 nur wenig breiter ist, als
die Diode 22 selbst. Infolge dieser Lichtabstrahlung und der
Fokussierung des Lichtstrahls 13 auf die Behandlungslinie 12
ergibt sich ein strichförmiger Strahlfleck 26, wie er in
Fig. 6, 7 dargestellt wurde. Wegen des kurzen Strahlflecks 26 ei
nerseits und der wesentlich größeren Länge der Behandlungslinie
12 andererseits werden weitere Lichtstrahlen 13′ eingesetzt,
welche auf dieselbe Weise von einer Diode 22 erzeugt, von einem
Kollimator 17 kollimiert und von einer Fokussierungslinse 12
fokussiert werden, so daß die Vielzahl aller Strahlungsflecken
26 der Lichtstrahlen 13′ die gesamte Behandlungslinie 12 abdecken
können. Das ist in Fig. 6 dargestellt, wo die Strahlflecken
26 elliptisch ausgebildet sind und aneinandergrenzen. Es ver
steht sich, daß die Linie 12 naht los bestrahlt werden sollte
und daß die Leistungsdichte über den Verlauf der Linie 12 mög
lichst gleichmäßig sein sollte. Hierzu ist es zweckmäßig, daß
sich die einzelnen Strahlflecken 26 überlappen. Das ist in
Fig. 2 dargestellt, wo die Überlappung 27 bedarfsweise dadurch
erreicht wird, daß den Strahlverlauf kontrollierende Linsen 21
vorhanden sind, die als geeignete strahlformende Elemente die
erforderliche Überlappung sicherstellen.
Die bisher beschriebene Vorrichtung hat starr angeordnete
Dioden 22, deren Lichtstrahlen 13, 13′ in einer einzigen Ebene
15 einander parallel angeordnet sind. Die auf das geförderte
Werkstück 10 auftreffenden Lichtstrahlen 13, 13′ stehen still.
Diese Ausbildung der Vorrichtung hat den Vorteil, daß die Vor
richtung vergleichsweise einfach und damit kompakt aufgebaut
sein kann. Beispielsweise können der zylindrische Kollimator 17
und die zylindrische Fokussierungslinse 18 jeweils allen Licht
strahlen 13, 13′ gemeinsam zugeordnet sein. Es sind also nur ein
einziger Kollimator 17 und eine einzige Fokussierungslinse 18
für alle Dioden 22 erforderlich. Sämtliche Dioden können neben
einander auf einer gemeinsamen Wärmesenke 28 angeordnet sein,
welche für die erforderliche Diodenkühlung sorgt.
Zur Steigerung der Leistung und der Leistungsdichte im Fo
kusbereich bzw. im Behandlungsbereich des Werkstücks 10 auf der
Behandlungslinie 12 können mehrere Diodenzeilen 16 verwendet
werden, die sämtlich einer einzigen Behandlungslinie 12 zuge
ordnet sind. Fig. 3 zeigt eine der Fig. 1 entsprechende Seitenan
sicht mehrere Diodenzeilen 16 mit jeweils einer Wärmesenke 28.
Jeder Diodenzeile 16 ist ein zylindrischer Kollimator 17 zuge
ordnet, der das emittierte Licht aller Dioden 22 einer Dioden
zeile 16 streng parallel auf eine Fokussierungslinse 18 bün
delt. Alle Kollimierungsstrahlen 29 werden fokussiert. Es er
folgt eine Bündelung von jeweils vier in der Darstellungsebene
der Fig. 3 gelegenen Ebene zu einem Lichtstrahl 13 mit vier
Teilstrahlen 13′′, die jedoch sämtlich einen gemeinsamen
Strahlfleck 26 im Fokus auf der Linie 12 haben. Auch mehr Teil
strahlen sind möglich. Alle Strahlflecke 26 aus den jeweils
vier Dioden sind beispielsweise gemäß Fig. 6 angeordnet. Infolge
der in Fig. 3 dargestellten Strahlführung ist das Werkstück 10
vertikal angeordnet - wobei eine waagerechte Anordnung eben
falls denkbar ist -, so daß die Förderebene 24 entsprechend
senkrecht ist. Die in Fig. 5 erfolgte Aufsicht auf die Vorrich
tung der Fig. 3 in Richtung A veranschaulicht die Parallelfüh
rung der Kollimierungsstrahlen 29 und der Teilstrahlen 13′′ von
jeweils vier Dioden in Ebenen senkrecht zur Darstellungsebene
der Fig. 5 für eine Vielzahl von nebeneinander angeordneten Dio
den 22, wobei unberücksichtigt bleibt, daß sich die Strahlen 13
in der Praxis überlappen müssen, wenn eine Behandlungslinie 12
überlappend bestrahlt werden soll.
Fig. 4 zeigt eine der Fig. 3 im Grundsatz ähnliche Anord
nung, wobei jedoch zur Fokussierung der Kollimierungsstrahlen
29 ein Fokussierungsspiegel 19 angeordnet ist, so daß eine von
Fig. 3 abweichende Strahlführung mit im wesentlichen vertikalen
Teilstrahlen 13′′ ermöglicht wird. Infolgedessen kann das Werk
stück 10 darstellungsgemäß horizontal angeordnet werden.
Die vorbeschriebenen Vorrichtungen werden sämtlich dafür
eingesetzt, daß eine einzige Behandlungslinie 12 über die ge
samte Werkstückbreite BBl durch nebeneinander und/oder einander
überlappend angeordnete Strahlflecken 26 abgedeckt wird, um auf
diese Weise eine Unterteilung der magnetischen Domänen im Werk
stück 10 zu bewirken. Die Domänenorientierung 11 innerhalb des
Kornes ist in Fig. 6 schematisch dargestellt. Sie verläuft in
Förderrichtung x, bedingt durch den Herstellungsprozeß des Ban
des. Die Domänenorientierung 11 könnte jedoch auch gemäß Fig. 7
sein, also quer zur Förderrichtung x. Das ist beispielsweise
der Fall, wenn als Werkstück 10 eine Tafel verwendet wird, die
beispielsweise von einem Band eines Coils abgeschnitten wurde.
Eine solche Tafel oder ein solches bereits fertig ausgestanztes
Blech könnte mit mehreren Lichtstrahlen gleichzeitig so be
strahlt werden, daß alle Lichtstrahlen in einer einzigen Ebene
15 einander parallel angeordnet sind, jedoch mit in Förderrich
tung x ausgerichteten Strahlflecken 26, die voneinander einen
Abstand 30 haben. Der Abstand 30 entspricht dem Abstand 31 der
Behandlungslinien 12 gemäß Fig. 6 und ist in beiden Fällen z. B.
in der Größenordnung von 1 bis 20 mm. Infolge der Förderung des
Werkstücks 10 in Richtung x werden die Lichtstrahlen 13, 13′
bzw. ihre Strahlflecken 26 und das Werkstück 10 in Fig. 7 derart
relativbewegt, daß sich bei dauernder Einstrahlung der Licht
strahlen 13, 13′ oder bei gepulster Einstrahlung mit entspre
chender Überlappung unterbrechungslos bestrahlte Behandlungsli
nien 12 als Spuren ergeben, welche die Breite der magnetischen
Domänen 11 verringern und dadurch für eine entsprechende Herab
setzung der Ummagnetisierungsverluste sorgen.
Im Fall der Vorrichtung gemäß Fig. 6 muß die Einschaltdauer
der Dioden 22 vergleichsweise kurz sein, damit sich das Blech
während der Bestrahlung nur geringfügig weiterbewegt. Ein typi
scher Wert ist 100 µm. Um trotz der geringen Einschaltdauer ei
ne hinreichende Leistungsdichte im Fokusbereich zu erreichen,
müssen erforderlichenfalls die gemäß Fig. 3 bis 5 beschriebenen
Maßnahmen ergriffen werden. Etwas derartiges ist im Fall der
Fig. 7 nicht erforderlich. Infolge der geringen Fördergeschwin
digkeit in Förderrichtung x ist die Bestrahlungsdauer des Werk
stücks 10 hinreichend groß, so daß auch Dioden 22 mit ver
gleichsweise geringer Leistung eingesetzt werden können. Be
darfsweise kann die Energieeinkopplung dadurch vergrößert wer
den, daß gemäß Fig. 7 mehrere Strahlflecken 26 hintereinander in
Richtung der Linie 12 eingesetzt werden. Auch im Fall der Vor
richtung gemäß Fig. 7 kann, wie im Fall der Vorrichtung der
Fig. 8, eine Steuerung der Zuschaltung bzw. der Abschaltung der
Lichtstrahlen 13, 13′ von Vorteil sein, um die in das Werkstück
10 eingekoppelte Energie zu beeinflussen und/oder um das Licht
nur an vorbestimmten Stellen auf ein Werkstück einwirken zu
lassen. Beispielsweise könnte die den Strahlfleck 26 erzeugende
Diode gemäß Fig. 6 abgeschaltet werden, falls sich in diesen Be
reich eine Ausnehmung des Werkstücks 10 befindet. Dasselbe gilt
für einen oder mehrere Strahlflecken 26 der Schar 14 der Licht
strahlen 13, 13′ gemäß Fig. 7.
Eine weitere Steuerungsmaßnahme ist es, die Lichtstrahlen
13, 13′ in Abhängigkeit von der Fördergeschwindigkeit des Werk
stücks 10 zuzuschalten und abzuschalten. Eine solche Steuermaß
nahme ist insbesondere bei Vorrichtungen von Vorteil, die mit
leistungsstarken Lichtquellen 23 gemäß Fig. 3 bis 5 ausgestattet
sind und auch mit geringerer oder größerer Fördergeschwindig
keit betrieben werden sollen.
Des weiteren ist es möglich, das Werkstück 10 gleichzeitig
oder abwechselnd von zwei Seiten der Förderebene 24 zu bestrah
len, um auch auf diese Weise mehr Energie in den Bereich von
Behandlungslinien 12 einbringen zu können. Eine solche Vorrich
tung kann mit Lichtstrahlen 13, 13′ von nur einer der beiden
Seiten bestrahlt werden, es kann abwechselnd von einer der bei
den Seiten bestrahlt werden und es kann auch gleichzeitig von
beiden Seiten auf das Werkstück 10 gestrahlt werden.
Claims (16)
1. Vorrichtung zum mit fokussiertem Licht erfolgenden Behan
deln von kornorientierten Werkstoffbahnen, -Tafeln od. dgl.
Werkstücken (10), insbesondere Elektroblechen, mit einem
während einer Förderung eines Werkstücks (10) auf eine im
wesentlichen quer zur Domänenorientierung (11) verlaufende
Behandlungslinie (12) gerichteten Lichtstrahl (13), da
durch gekennzeichnet, daß der Lichtstrahl (13) gleichzei
tig mit weiteren Lichtstrahlen (13′) auf das kornorien
tierte Werkstück (10) auftrifft, und daß mehrere Licht
strahlen (13, 13′) eine gemeinsame Behandlungslinie (12)
beleuchten und/oder eine Schar (14) für die einander mit
Abstand (30) parallelen Behandlungslinien (12) des geför
derten Werkstücks (10) ausbilden.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
alle Lichtstrahlen (13, 13′) gleichzeitig eine einzige Be
handlungslinie (12) ausleuchten, oder daß jeder Licht
strahl (13, 13′) der Strahlenschar (14) zur Erzeugung einer
der Behandlungslinien (12) vorhanden ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich
net, daß der auf das geförderte Werkstück (10) auftreffen
de Lichtstrahl (13, 13′) stillsteht.
4. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
3, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtstrahlen (13, 13′)
in einer einzigen Ebene (15) einander parallel angeordnet
sind.
5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
4, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtstrahlen (13, 13′)
von Dioden (22) erzeugt sind.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
mehrere Dioden für jeweils einen der Lichtstrahlen (13,
13′) zeilenförmig angeordnet sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeich
net, daß mehrere Diodenzeilen (16) einer einzigen Behand
lungslinie (12) zugeordnet sind.
8. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeich
net, daß ihnen ein zylindrischer Kollimator (17) gemeinsam
ist.
9. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
8, dadurch gekennzeichnet, daß allen Lichtstrahlen (13,
13′) eine zylindrische Fokussierungslinse (18) oder ein
Fokussierungsspiegel (19) zugeordnet ist.
10. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
9, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang jedes
Lichtstrahls (13, 13′) eine dessen Divergenzwinkel in der
Ebene (20) der Behandlungslinie (12) kontrollierende Linse
(21) vorhanden ist.
11. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis
10, dadurch gekennzeichnet, daß die Dioden (22) Licht der
Wellenlänge des Bereichs von 0,6 bis 2 µm emittieren.
12. Verwendung von Dioden (22) zum Behandeln von kornorien
tierten Werkstoffbahnen, -Tafeln od. dgl. Werkstücken (10),
insbesondere Elektroblechen, mit einem während einer För
derung eines Werkstücks (10) auf eine im wesentlichen quer
zur Domänenorientierung (11) verlaufende Behandlungslinie
(12) gerichteten Lichtstrahl (13).
13. Verfahren zum mit fokussiertem Licht erfolgenden Behandeln
von kornorientierten Werkstoffbahnen, -Tafeln od. dgl.
Werkstücken (10), insbesondere Elektroblechen, bei dem
während einer Förderung eines Werkstücks (10) auf eine im
wesentlichen quer zur Domänenorientierung (11) verlaufende
Behandlungslinie (12) ein Lichtstrahl (13) gerichtet wird,
dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtstrahl (13) gemeinsam
mit weiteren Lichtstrahlen (13′) auf das kornorientierte
Werkstück (10) gelenkt wird, wobei alle Lichtstrahlen (13,
13′) während der Förderung des Werkstücks (10) gleichzei
tig zugeschaltet und nach vorbestimmter Behandlungsdauer
abgeschaltet werden.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß
eine Vielzahl von Lichtquellen (23) im Sinne werkstückan
gepaßter Behandlungslinien (12) geschaltet wird.
15. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeich
net, daß die Lichtstrahlen (13, 13′) in Abhängigkeit von
der Fördergeschwindigkeit des Werkstücks (10) zu- und ab
geschaltet werden.
16. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 13 bis
15, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkstück (10) gleich
zeitig oder abwechselnd von zwei Seiten der Förderebene
(24) bestrahlt wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4314601A DE4314601C2 (de) | 1993-05-04 | 1993-05-04 | Vorrichtung und Verfahren zum mit fokussiertem Licht erfolgenden Behandeln von kornorientierten Werkstücken |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4314601A DE4314601C2 (de) | 1993-05-04 | 1993-05-04 | Vorrichtung und Verfahren zum mit fokussiertem Licht erfolgenden Behandeln von kornorientierten Werkstücken |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4314601A1 true DE4314601A1 (de) | 1994-11-10 |
DE4314601C2 DE4314601C2 (de) | 1996-08-08 |
Family
ID=6487067
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4314601A Expired - Fee Related DE4314601C2 (de) | 1993-05-04 | 1993-05-04 | Vorrichtung und Verfahren zum mit fokussiertem Licht erfolgenden Behandeln von kornorientierten Werkstücken |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4314601C2 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4442411A1 (de) * | 1994-11-29 | 1996-06-05 | Heidelberger Druckmasch Ag | Verfahren und Vorrichtung zur formenden Bearbeitung von Papier in einer Druckmaschine |
EP0897016A1 (de) * | 1997-01-24 | 1999-02-17 | Nippon Steel Corporation | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von kornorientiertem stahlblech mit hervorragenden magnetischen eigenschaften |
DE19756703A1 (de) * | 1997-10-22 | 1999-05-06 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten von Werkstücken mit Laserstrahlung |
WO2014005755A1 (de) * | 2012-07-04 | 2014-01-09 | Saint-Gobain Glass France | Vorrichtung und verfahren zur laserbearbeitung grossflächiger substrate unter verwendung von mindestens zwei brücken |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3711905A1 (de) * | 1987-04-08 | 1988-10-27 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung zum behandeln von werkstoffbahnen, -tafeln o. dgl. werkstuecken mit laserstrahlung, insbesondere fuer in laengsrichtung gefoerderte kornorientierte elektrobleche |
DE4023904A1 (de) * | 1990-07-27 | 1992-01-30 | Zeiss Carl Fa | Spiegel zur veraenderung der geometrischen gestalt eines lichtbuendels |
US5113055A (en) * | 1989-10-25 | 1992-05-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laser beam optical system and laser beam machining method using the same |
EP0504026A1 (de) * | 1991-03-08 | 1992-09-16 | Ugine S.A. | Optische statische Verfahren und Vorrichtung zur Laserbestrahlung eines metallischen Produktes und dessen Anwendung zur magnetischen Bleichbehandlung |
-
1993
- 1993-05-04 DE DE4314601A patent/DE4314601C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3711905A1 (de) * | 1987-04-08 | 1988-10-27 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung zum behandeln von werkstoffbahnen, -tafeln o. dgl. werkstuecken mit laserstrahlung, insbesondere fuer in laengsrichtung gefoerderte kornorientierte elektrobleche |
US5113055A (en) * | 1989-10-25 | 1992-05-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laser beam optical system and laser beam machining method using the same |
DE4023904A1 (de) * | 1990-07-27 | 1992-01-30 | Zeiss Carl Fa | Spiegel zur veraenderung der geometrischen gestalt eines lichtbuendels |
EP0504026A1 (de) * | 1991-03-08 | 1992-09-16 | Ugine S.A. | Optische statische Verfahren und Vorrichtung zur Laserbestrahlung eines metallischen Produktes und dessen Anwendung zur magnetischen Bleichbehandlung |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4442411A1 (de) * | 1994-11-29 | 1996-06-05 | Heidelberger Druckmasch Ag | Verfahren und Vorrichtung zur formenden Bearbeitung von Papier in einer Druckmaschine |
US5797320A (en) * | 1994-11-29 | 1998-08-25 | Heidelberger Druckmaschinen Ag | Method and apparatus for form-processing paper in a printing press |
US6584899B1 (en) | 1994-11-29 | 2003-07-01 | Heidelberger Druckmaschinen Ag | Apparatus for form-processing paper in a printing press |
DE4442411B4 (de) * | 1994-11-29 | 2007-05-03 | Heidelberger Druckmaschinen Ag | Verfahren zur formenden Bearbeitung von Papier in einer Druckmaschine |
EP0897016A1 (de) * | 1997-01-24 | 1999-02-17 | Nippon Steel Corporation | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von kornorientiertem stahlblech mit hervorragenden magnetischen eigenschaften |
EP0897016A4 (de) * | 1997-01-24 | 2004-06-02 | Nippon Steel Corp | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von kornorientiertem stahlblech mit hervorragenden magnetischen eigenschaften |
DE19756703A1 (de) * | 1997-10-22 | 1999-05-06 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten von Werkstücken mit Laserstrahlung |
DE19756703C2 (de) * | 1997-10-22 | 1999-09-30 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten von Werkstücken mit Laserstrahlung |
WO2014005755A1 (de) * | 2012-07-04 | 2014-01-09 | Saint-Gobain Glass France | Vorrichtung und verfahren zur laserbearbeitung grossflächiger substrate unter verwendung von mindestens zwei brücken |
CN104395033A (zh) * | 2012-07-04 | 2015-03-04 | 法国圣戈班玻璃厂 | 用于在使用至少两个桥情况下对大面积衬底进行激光处理的设备和方法 |
US9656346B2 (en) | 2012-07-04 | 2017-05-23 | Saint-Gobain Glass France | Device and method for laser processing of large-area substrates using at least two bridges |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4314601C2 (de) | 1996-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4328894C2 (de) | Laserbearbeitungsvorrichtung und zugehöriges Verfahren | |
DE19513354A1 (de) | Materialbearbeitungseinrichtung | |
DE10193737B4 (de) | Laserbearbeitungsvorrichtung | |
EP0831980B1 (de) | Materialbestrahlungsgerät und verfahren zum betrieb von materialbestrahlungsgeräten | |
DE4434409C1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Materialbearbeiten mit Plasma induzierender Laserstrahlung | |
DE10290217B4 (de) | Laserbearbeitungsvorrichtung und damit durchführbares Bearbeitungsverfahren | |
DE19534165A1 (de) | Verfahren zur Bestrahlung einer Oberfläche eines Werkstücks und Einrichtung zur Bestrahlung einer Oberfläche eines Werkstücks | |
DE19531050A1 (de) | Excimerlaserstrahl-Bestrahlungsvorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks | |
WO2008071347A2 (de) | Belichtungsanlage | |
WO2004020141A1 (de) | Strahlformungseinheit mit zwei axicon-linsen und vorrichtung mit einer solchen strahlformungseinheit zum einbringen von strahlungsenergie in ein werkstück aus einem schwach absorbierenden material | |
DE4316829A1 (de) | Verfahren zur Materialbearbeitung mit Diodenstrahlung | |
EP2439013B1 (de) | Vorrichtung zur simultanen Umfangsbearbeitung eines Werkstückes mit Laserstrahlen | |
EP1577048A1 (de) | Bearbeitungsvorrichtung mit zwei unterschiedlichen Bearbeitungswerkzeugen und Verfahren zum Steuern derselben | |
EP0223066B1 (de) | Vorrichtung zum Auflöten elektronischer Bauelemente auf eine Schaltungsplatine | |
DE102016201418A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur thermischen Bearbeitung | |
DE19846532C1 (de) | Einrichtung zur Strahlformung eines Laserstrahls und Hochleistungs-Diodenlaser mit einer solchen Einrichtung | |
DE10225387B4 (de) | Vorrichtung zur Substratbehandlung mittels Laserstrahlung | |
DE19841040A1 (de) | Vorrichtung zum Markieren einer Oberfläche mittels Laserstrahlen | |
WO2022028879A1 (de) | VERFAHREN ZUM LASERSCHWEIßEN VON ELEKTRODEN | |
DE4314601C2 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum mit fokussiertem Licht erfolgenden Behandeln von kornorientierten Werkstücken | |
WO1994017576A1 (de) | Leistungsgesteuertes fraktales lasersystem | |
DE102005017294A1 (de) | Laserstrahlbearbeitungseinrichtung und Verfahren zum Bearbeiten mittels Laserstrahl | |
EP0683007B1 (de) | Materialbearbeitungseinrichtung | |
DE102010007717A1 (de) | Verfahren und Vorrichtungen zum Durchstrahlschweißen | |
DE10152526B4 (de) | Vorrichtung zur Substratbehandlung mittels Laserstrahlung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8320 | Willingness to grant licences declared (paragraph 23) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |