DE4313458C2 - 3-D-Koordinaten-Meßmaschine - Google Patents
3-D-Koordinaten-MeßmaschineInfo
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- DE4313458C2 DE4313458C2 DE19934313458 DE4313458A DE4313458C2 DE 4313458 C2 DE4313458 C2 DE 4313458C2 DE 19934313458 DE19934313458 DE 19934313458 DE 4313458 A DE4313458 A DE 4313458A DE 4313458 C2 DE4313458 C2 DE 4313458C2
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- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
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Description
Die Erfindung betrifft eine 3-D-Koordinaten-Meßma
schine mit einem Meßtisch, einem darüber angeordne
ten Gestell, das oberhalb des Meßtisches einen
rechteckförmigen Rahmen bildet, und einer Pinole,
an deren äußerem Ende sich ein Meßkopf befindet,
die in der X-Y-Ebene parallel zum Meßtisch mit ei
nem Antriebskreuz, das über vier Kreuzschlitten in
Führungen horizontal beweglich ist, mit Antrieben
verschiebbar angebracht und in der dazu senkrechten
Z-Richtung verstellbar ist, wobei die Position des
Meßkopfes mittels Maßstäben bestimmbar ist.
Meßmaschinen in Brücken-, Portal- oder Auslegearm
konstruktionen entsprechen dem üblichen Aufbau und
sind deshalb allgemein bekannt. Hierbei sind für
eine Meßachse die Meßeinrichtungen am Umfang des
Maschinentisches anbracht. Der Antrieb im Bereich
des Randes des Tisches bedeutet, daß die zur Bewe
gung mit Hilfe des Antriebes aufgebrachte Kraft au
ßerhalb des Schwerpunktes angreift und zur Entste
hung von Drehmomenten Anlaß gibt, die ihrerseits zu
Durchbiegungen, Schwingungen und anderen Verstel
lungen und Veränderungen Anlaß geben. Das Ergebnis
sind Ungenauigkeiten und Verschlechterungen der
Meßresultate.
Aus der DE 38 26 783 C1 ist eine Vorrichtung be
kannt, bei der ein Gestell oberhalb des Meßtisches
einen rechteckigen Rahmen bildet, in dem ein kreuz
förmiges Antriebs- und Meßsystem in horizontaler
Richtung verschiebbar ist. An ihm ist die in Z-Ko
ordinate arbeitende Pinole angebracht, an deren äu
ßerem Ende der Meßkopf befestigt ist und die senk
recht zur horizontalen Ebene verläuft. Hierbei wer
den die Verschiebungswege mittels parallel zu den
Führungsbahnen angeordneten Maßstäben erfaßt. Auch
hier wird versucht, einzelne Komponenten der 3-D-
Meßmaschine in ihrem Schwerpunkt anzutreiben, um
Meßungenauigkeiten zu vermeiden.
Ferner beschreiben die Druckschriften US 49 10 446
und US 50 12 587 3D-Koordinaten-Meßmaschinen, bei
denen der Antrieb des Meßkopfes sowie die Bestim
mung seiner Position an voneinander getrennten Füh
rungen erfolgt, damit Verformungen des Antriebssy
stems keine Meßfehler zur Folge haben. Um eine Ein
schränkung der Bewegbarkeit des Meßkopfes zu ver
meiden, ist es jedoch bei beiden Vorrichtungen er
forderlich, die Führungen von Antriebs- und Meßsy
stem gegeneinander versetzt oder zum Meßkopfasym
metrisch anzuordnen, so daß der Antrieb außerhalb
des Schwerpunktes erfolgt. Erhöhte Verformungen
während des Meßvorgangs sind die nachteilige Folge,
die im Fall der US 49 10 446 durch eine aufwendige
Kompensation ausgeglichen wird.
Hiervon ausgehend hat sich die Erfindung die Wei
terentwicklung derartiger 3-D-Koordinaten-Meßma
schinen dahingehend zur Aufgabe gemacht, daß eine
präzise Messung durch weitestgehenden Ausschluß von
in der Maschinen entstehenden Kräften oder doch
zumindest der Übertragung auf die Meßeinheit
sichergestellt ist.
Gelöst wird diese Aufgabe erfindungsgemäß durch die
im Kennzeichen des Anspruches 1 angegebenen Merk
male.
Die erfindungsgemäß vorgeschlagene Lösung ist in
mehrerer Hinsicht in entscheidender Weise gegenüber
dem Stande der Technik verbessert:
Zunächst wird ein Gestell, das sich im Sinne eines
über den Maschinentisch erstreckender Teil des ge
samten Maschinenrahmens definiert, aus auf vier
quadratisch oder rechteckförmig Pfeilern angeordne
ter horizontaler Führungen erzeugt.
Die Antriebsebene wird durch ein Kreuz gebildet,
dessen einzelne Arme über insgesamt vier Schlitten
in einer in der Horizontalen verlaufenden und die
X-, Y-Koordinate darstellenden Ebene bewegt und
verschoben werden. Im Zentrum des Antriebskreuzes
ist die die Z-Richtung erfassende Pinole befestigt,
die in der Mitte des Führungskreuzes geführt ist.
Um das Zentrum des Antriebskreuzes
sind drei Motoren, die jeweils dem Antrieb
in einer Koordinate dienen, so angeordnet, daß der Schwerpunkt im
Zentrum erhalten bleibt. Demnach be
tätigt einer der Motoren die Pinole in der Z-Rich
tung, an deren äußeren Ende sich der Meßkopf befin
det, der in bekannter Weise der Aufnahme des Meß
wertes dient. Die anderen beiden Motoren dienen der
Verschiebung des Führungskreuzes relativ zum Ge
stell. Sie können auf dem Antriebskreuz unmittelbar
oder am Rahmen angebracht sein, was zu einer Ge
wichtsentlastung des Antriebskreuzes führt. Über
den verbleibenden vierten Arm des Führungskreuzes
werden beispielsweise die externen Versorgungslei
tungen zugeführt. Für die Antriebsebene charakteri
stisch ist, daß in ihr nur die Verstellung, nicht
jedoch die Messung erfolgt.
Zu diesem Zweck befindet sich unterhalb der An
triebsebene eine weitere Meßebene. Sie besteht
ebenfalls aus einem Führungskreuz, das seitlich
über vier Schlitten im Gestell geführt ist. Den Ar
men des Führungskreuzes sind die Maßstäbe, z. B.
Glasmaßstäbe, die Meßskala oder der Meßwertgeber
zugeordnet. Das Führungskreuz ist mit der Antrieb
sebene über vier Kugelfinger gekoppelt, die am An
triebskreuz symmetrisch zur Mitte befestigt sind
und etwa in vertikaler Richtung nach unten greifen
und an ihrem äußeren Ende mit der beweglichen Kugel
versehen sind, die ihrerseits in ebenfalls symme
trisch zur Mitte angeordnete und nach oben offene
Taschen eingreifen. Die Kugelfinger werden so ju
stiert, daß sie entweder in Richtung auf das Zen
trum zu oder nach außen anliegen. Der Kugelfinger
bewirkt, daß Kräfte, Schwingungen, Durchbiegungen
und andere zu Meßungenauigkeiten führende Deforma
tionen auf die Führungsebene nicht übertragen wer
den. Die Meßebene ist weitgehend frei von Kräften,
da die Verstellung durch die Antriebsebene erfolgt.
Die erfindungsgemäß vorgeschlagene Lösung zielt in
zwei Richtungen:
Zum einen soll durch Verlegung der Kraftangriffs punkte in den Schwerpunkt die Erzeugung von Momen ten unterbleiben. Gleichzeitig erfolgt die Messung über eine Führungsebene, die weitgehend von der mit den Kräften beaufschlagten und deshalb zu Schwin gungen, Deformationen und anderen nachteiligen Ein flüssen erzeugten Antriebsebene entkoppelt ist.
Zum einen soll durch Verlegung der Kraftangriffs punkte in den Schwerpunkt die Erzeugung von Momen ten unterbleiben. Gleichzeitig erfolgt die Messung über eine Führungsebene, die weitgehend von der mit den Kräften beaufschlagten und deshalb zu Schwin gungen, Deformationen und anderen nachteiligen Ein flüssen erzeugten Antriebsebene entkoppelt ist.
Zur weiteren Erhöhung der Meßgenauigkeit ist vorge
sehen, das Führungskreuz in Luftlagern aufzunehmen,
wohingegen der Antrieb in Kugellagern geführt sein
kann.
Die Verschiebung der Pinole in Z-Richtung erfolgt
gemäß oben geschilderter Zusammenhänge über einen
Motor, der in der Antriebsebene angeordnet ist. Um
auch die Pinole möglichst frei von Schwingungen,
die von diesem Antrieb herrühren könnten, zu be
treiben, ist eine Schwingungsentkoppelung vorgese
hen.
Die Kugelfinger, deren Charakteristikum darin be
steht, über eine bewegliche Kugel am Führungskreuz
im Sinne einer Berührung anzugreifen, ist zur Über
tragung von Kräften nur in der einen, durch die je
weilige Richtung der Achse bestimmte Koordinate in
der Lage. Um die Übertragung von Rotationsschwin
gungen um die Achse der Pinole zusätzlich zu ver
meiden, ist es von Vorteil, wenn die Taschen auf
einem Kreis liegen, dessen Mittelpunkt der des Füh
rungskreuzes ist und die Taschen Sektoren hiervon
beschreiben.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Er
findung lassen sich dem folgenden Beschreibungsteil
entnehmen, in dem anhand der Zeichnung ein Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung näher erläutert ist. Es
zeigen:
Fig. 1 eine Seitenansicht des erfindungsge
mäßen 3-D-Koordinaten-Meßgerätes
Fig. 2 die Antriebsebene und
Fig. 3 die Meßebene jeweils in Draufsicht.
Auf einem Tisch (1) befindet sich das aus einem
Rahmen (2) bestehende Gestell. In Seitenansicht er
kennt man die durch die beiden übereinander ange
ordneten Kreuze (3, 4) jeweils gebildeten Ebenen,
nämlich die obere Antriebsebene (5) und die untere
Meßebene (6). Das Antriebs- (3) und das Führungs
kreuz (4) sind in der Horizontalen verschiebbar. In
der Mitte des Antriebskreuzes (3) befestigt und im
Führungskreuz (4) in Z-Richtung verschiebbar ge
führt ist die Pinole (9). Sie weist an ihrem unte
ren überstehenden Ende den Meßkopf (7) auf. Weiter
ist eingezeichnet ein an der Antriebsebene (5) be
festigter Kugelfinger (8), der in entsprechende Ta
schen (11) des Führungskreuzes (4) der Meßebene (6)
eingreift. Die Bewegung der Pinole (9) erfolgt über
einen Antrieb (10), der vorzugsweise schwingungs
entkoppelt mit der Pinole (9) derart in Verbindung
steht, daß eine Bewegung in die Z-Richtung möglich
ist. Weitere Antriebe (12, 13) sind für die X-, Y-
Richtung vorgesehen.
Fig. 2 zeigt das im Rahmen (2) angeordnete An
triebskreuz (3). Um den Mittelpunkt, in dem die
Pinole (9) verläuft, befinden sich auf jedem Arm
des Antriebskreuzes (3) jeweils ein Antrieb (10,
12, 13) angeordnet, wovon einer (12) in die X-Rich
tung und der andere (13) in die Y-Richtung und der
dritte Antrieb (10) die Pinole (9) in die Z-Rich
tung bewegt. In der X- und Y- Ebene werden hierfür
parallel zu den Armen des Antriebskreuzes (3) ver
laufende Zugstangen (14) eingesetzt.
Fig. 3 zeigt das Führungskreuz (4) der Meßebene
(6). Bei jedem Führungskreuz (4) sind Taschen (11),
in die die in Fig. 1 gezeigten und am Arbeitskreuz
(3) befestigten Kugelfinger (8) eingreifen, ausge
spart. Die Pinole (9) ist im Mittelpunkt des Füh
rungskreuzes (4) und über Kreuzschlitten innerhalb
des Rahmens (2) geführt.
Im Ergebnis erhält man ein von Momenten, Schwingun
gen, Biegekräfte u. dgl. weitgehend freien Meßkopf (7),
der die Durchführung von 3-D-Meßungen höchster
Präzision erlaubt.
Claims (6)
1. 3-D-Koordinaten-Meßmaschine mit einem Meßtisch,
einem darüber angeordneten Gestell, das oberhalb
des Meßtisches einen rechteckförmigen Rahmen bil
det, und einer Pinole, an deren äußerem Ende sich
ein Meßkopf befindet, die in der X-Y-Ebene parallel
zum Meßtisch mit einem Antriebskreuz, das über vier
Kreuzschlitten in Führungen horizontal beweglich
ist, mit Antrieben verschiebbar angebracht und in
der dazu senkrechten Z-Richtung verstellbar ist,
wobei die Position des Meßkopfes mittels Maßstäben
bestimmbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß
- - indem Gestell zwei übereinanderliegende Ebenen angeordnet sind (Antriebs- (5), Meßebene (6)),
- - in der oberen, der Antriebsebene (5), das Antriebs kreuz (3) angebracht ist, in dessen Mitte die Pinole (9) angeordnet ist sowie drei Antriebe (10, 12, 13), von denen einer (10) dem Antrieb der Pinole (9) in Z-Richtung und die beiden anderen (12, 13) der Ver schiebung in X- und Y-Richtung dienen, in der Weise angeordnet sind, daß der Schwerpunkt des Antriebs kreuzes in seinem Zentrum liegt, und die Versor gungsleitungen über einen Arm des Antriebskreuz es (3) zugeführt sind,
- - in der Meßebene (6) ein Führungskreuz (4) eben falls über vier Kreuzschlitten in ihnen zugeordne ten Führungen horizontal beweglich angeordnet ist, zwei Armen des Führungskreuzes (4) jeweils ein Maß stab zugeordnet ist
- - und symmetrisch zur Mitte des Führungskreuzes (4) vier Taschen (11) angeordnet sind, in die am An triebskreuz (3) starr befestigte Kugelfinger (8) entweder in Richtung auf das Zentrum zu oder von diesem weg an den Taschen (11) anliegend eingreifen, sowie die durch den Antrieb (10) in Z-Richtung gehaltene und mit einem Maßstab versehene Pinole (9) in Z-Richtung im Führungskreuz geführt ist.
2. Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die Antriebe (10, 12, 13) auf den Armen
des Antriebskreuzes (3) angeordnet sind.
3. Maschine nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Führungskreuz (4) luftgelagert
ist.
4. Maschine nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da
durch gekennzeichnet, daß das Antriebskreuz (3) ku
gelgelagert ist.
5. Maschine nach einem der Ansprüche 1 bis 4, da
durch gekennzeichnet, daß die Pinole (9) von ihrem
Antrieb (10) schwingungsentkoppelt ist.
6. Maschine nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da
durch gekennzeichnet, daß die Taschen (11) auf ei
nem Kreis liegen, dessen Mittelpunkt das Zentrum
des Führungskreuzes (4) ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934313458 DE4313458C2 (de) | 1993-04-24 | 1993-04-24 | 3-D-Koordinaten-Meßmaschine |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934313458 DE4313458C2 (de) | 1993-04-24 | 1993-04-24 | 3-D-Koordinaten-Meßmaschine |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4313458A1 DE4313458A1 (de) | 1994-11-03 |
DE4313458C2 true DE4313458C2 (de) | 1996-09-05 |
Family
ID=6486284
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19934313458 Expired - Fee Related DE4313458C2 (de) | 1993-04-24 | 1993-04-24 | 3-D-Koordinaten-Meßmaschine |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4313458C2 (de) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2160975B (en) * | 1984-05-14 | 1988-11-09 | Mitutoyo Mfg Co Ltd | Coordinate measuring instrument |
JPS6228146A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-06 | Hiroshi Teramachi | リニアモ−タ付xyテ−ブル |
GB8614539D0 (en) * | 1986-06-14 | 1986-07-23 | Renishaw Plc | Coordinate positioning apparatus |
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-
1993
- 1993-04-24 DE DE19934313458 patent/DE4313458C2/de not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
DE4313458A1 (de) | 1994-11-03 |
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OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: SCHUM, MATTHIAS, 97846 PARTENSTEIN, DE |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |