DE4308361A1

DE4308361A1 - Verfahren zur Herstellung einer Verbindung zweier Keramikteile bzw. eines Metall- und eines Keramikteils

Info

Publication number: DE4308361A1
Application number: DE19934308361
Authority: DE
Inventors: Roland Dipl Ing Roesel; Ramona Dr Rer Nat Eberhardt; Angela Dipl Ing Paliege; Juergen Dr Ing Schnapp; Dietrich Dr Rer Nat Keil
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1993-03-16
Filing date: 1993-03-16
Publication date: 1994-09-22
Anticipated expiration: 2013-03-17
Also published as: DE4308361C2; DE4433025C2; DE4433025A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer vakuumdichten Verbindung zweier Keramikteile bzw. eines Metall- und eines Keramikteils einer Elektronenröhre, ins besondere einer Röntgenröhre.

Derartige Verbindungen werden in der Regel durch Hart- oder Aktivmetallöten hergestellt, wobei in beiden Fällen eine Metallisierung der Keramikteile im Bereich der Ver bindungsstelle erforderlich ist. Als Lote werden verschie dene Metalle bzw. ihre Legierungen verwendet. Die Metalli sierung und die Lötung mittels Metallot stellen immer eine Beeinflussung der in der Regel bezweckten elektrischen Isolation dar und müssen daher prinzipiell konstruktiv berücksichtigt werden.

Bei einem Aktivmetallötverfahren, bei dem die Keramik mit TiH₂ metallisiert wird und ein silberhaltiges Aktivlot verwendet wird, besteht die Gefahr, daß während des Löt vorganges eine Bedampfung des Keramikteiles bzw. der Kera mikteile mit Silber erfolgt. Selbst wenn erheblicher ver fahrenstechnischer Aufwand betrieben wird, ist eine Ver ringerung der Länge der theoretisch möglichen Isolier strecke nicht vermeidbar, wobei die Verringerung der Länge der Isolierstrecke in der Größenordnung von bis zu einigen Millimetern liegen kann. Es kommt hinzu, daß die Ränder der an den Keramikteilen vorgesehenen Metallisierungen und beim Löten entstehende sehr dünne Lotausläufer hochspan nungstechnisch extreme Spitzen darstellen, die für die elektrische Spannungsfestigkeit nachteilig sind.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art so auszubilden, daß eine Ver ringerung der im Bereich der Verbindungsstelle vorliegen den Isolierstrecke und nachteilige Auswirkungen des Vor handenseins einer Verbindungsstelle auf die elektrische Spannungsfestigkeit zumindest vermindert sind.

Nach der Erfindung wird diese Aufgabe durch folgende Ver fahrensschritte gelöst:

a) zwischen die beiden zu verbindenden Teile wird ein anorganisches, nichtmetallisches Lot gebracht, und
b) die zu verbindenden Teile einschließlich des Lotes werden zumindest im Bereich der Verbindungsstelle auf eine solche Temperatur erwärmt, daß sich eine die Teile verbindende Zwischenschicht des Lotes ausbildet.

Im Falle der erfindungsgemäßen Verbindung ist also die aufwendige Metallisierung des Keramikteils bzw. der Kera mikteile im Bereich der Verbindungsstelle und die Verwen dung metallischer Lote nicht mehr notwendig. Durch die Vermeidung metallischer Lote kann eine Bedampfung des Keramikteils bzw. der Keramikteile mit einem elektrisch leitenden Material im Bereich der Verbindungsstelle nicht mehr auftreten. Ebenso können die eingangs erwähnten, störenden elektrisch leitenden Lotausläufer nicht auf treten. Es werden also eine verbesserte Isolierwirkung und eine verbesserte elektrische Spannungsfestigkeit erreicht. Unter Umständen können ohne Verringerung der Isolierwir kung sogar kleinere Abmessungen des Keramikteils bzw. der Keramikteile realisiert werden. Mittels des erfindungsge mäßen Verfahrens können aufgrund der Verwendung eines anorganischen, nichtmetallischen Lotes, das ebenso wie Keramik ein Isolator ist, aus Keramikbauteilen größere Baugruppen zusammengefügt werden, ohne daß die erzielbare Isolationswirkung beeinträchtigt wird. Wesentlich ist außerdem, daß bei nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Verbindungen die Rißausbreitungsenergien in den Oberflächenspannungszentren der Keramikteile bzw. des Keramikteiles höher als im Falle herkömmlicher Verbindun gen ist, so daß in Bereichen gefährlicher Oberflächenspan nungskonzentrationen eine erhöhte Festigkeit erreicht wird. Als weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Verbin dung ist zu nennen, daß die Neigung von anorganischen, nichtmetallischen Loten im Hochvakuum Gase abzugeben, wesentlich geringer als die von Metallen ist. Die Gefahr, daß die Qualität des in der Elektronenröhre vorhandenen Vakuums durch die erfindungsgemäße Verbindung beeinträch tigt wird, ist also wesentlich geringer als bei nach her kömmlichen Verfahren hergestellten Verbindungen. Die Er wärmung erfolgt übrigens auf eine Temperatur, die wenig stens gleich der Erweichungs- bzw. Transformationstempe ratur bzw. im Interesse einer guten Benetzung der zu ver bindenen Teile mit dem Lot vorzugsweise höher als die Kristallisationstemperatur des Lotes ist.

Gemäß einer bevorzugten Variante der Erfindung wird als Lot ein kristallisierendes Glaslot verwendet. Hierdurch wird eine gute Benetzung der zu verbindenden Teile im Be reich der Verbindungsstelle erreicht. Eine gute Benetzung der zu verbindenden Teile mit dem Lot ist eine wichtige Voraussetzung für eine vakuumdichte Verbindung. Von Vor teil ist außerdem, daß kristallisierendes Glaslot im Hoch vakuum Gase nur in sehr geringem Umfang abgibt. Im Inter esse einer guten Benetzung der zu verbindenden Teile mit dem Glaslot ist es von Vorteil, wenn die Erwärmung auf eine Temperatur erfolgt, die innerhalb oder oberhalb des Kristallisationsbereiches bzw. in dem Bereich zwischen viskosem Fließen und Kristallisation des Glaslotes liegt.

Als besonders geeignet hat sich als Glaslot ein Glas des Systems ZnO-B₂O₃-PbO erwiesen. Ein geeignetes Glas ist unter der Bezeichnung P 393 erhältlich. Wenn dieses Glas außerdem V₂O₅ enthält, ist es zur Verbindung eines Kera mik- und eines Metallteils besonders geeignet, da das Lot dann das Metallteil besser benetzt. Um eine verbesserte Benetzung zu erreichen, sieht eine besonders bevorzugte Variante der Erfindung vor, daß das Metallteil wenigstens im Bereich der Verbindungsstelle vor der Herstellung der Verbindung oxidiert wird. Dies bedeutet, daß die Metall oberfläche mit einer festhaftenden Oxidschicht versehen wird. Es hat sich gezeigt, daß diese Oxidschicht eine ver besserte Bindung mit dem anorganischen, nichtmetallischen Lot bewirkt, da das Metalloxid in dem Lot teilweise in Lösung geht. Um sicherzustellen, daß die durch die Vor oxidation zustandegekommene Oxidschicht auch bei der Er wärmung erhalten bleibt, sieht eine Variante der Erfindung vor, daß die Erwärmung unter Vakuum oder in einer Schutz gasatmosphäre, vorzugsweise Stickstoff oder Argon, vorge nommen wird. Für den Fall, daß die durch die Voroxidierung entstandene Oxidschicht die Funktion der Elektronenröhre stört, ist gemäß einer Ausführungsform vorgesehen, daß die Oxidschicht des Metallteils nach erfolgter Verbindung außerhalb der Verbindungsstelle durch eine reduzierende thermische und/oder chemische Behandlung entfernt wird.

Eine bevorzugte Variante der Erfindung sieht vor, daß das Metallteil aus einer zumindest Eisen, Nickel und Kobalt enthaltenden Legierung gebildet ist. Als besonders ge eignet hat sich eine Legierung erwiesen, die 49% Eisen, 28% Nickel und 23% Kobalt enthält (Angaben in Gewichts prozenten). Diese Legierung ist auch unter der Bezeichnung Nicosil 71 bekannt und zeigt aufgrund ihrer Lage im Drei stoffdiagramm im Temperaturbereich zwischen der Schmelz temperatur (ca. 1400°C) und dem absoluten Nullpunkt keine strukturellen Umwandlungen. Diese Legierung findet bei der Fertigung hochbeanspruchter vakuumdichter elektro nischer Bauelemente als sogenannte Einschmelzlegierung Verwendung. Da Nicosil 71 bei erhöhter Temperatur sehr empfindlich auf Sauerstoff reagiert, ist es angebracht, die Erwärmung grundsätzlich in einer Schutzgasatmosphäre oder unter Vakuum vorzunehmen.

Eine weitere bevorzugte Variante der Erfindung sieht vor, daß wenigstens eines der zu verbindenden Teile aus Alu miniumoxidkeramik gebildet ist. Hier ist insbesondere eine Aluminiumoxidkeramik der DIN-Klasse KER 708 geeignet. Sie besteht zu 92% aus Al₂O₃ und zeichnet sich durch eine maximale Arbeitstemperatur von 1700°C, geringe dielek trische Verluste und gute Isolationseigenschaften aus.

Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung handelt es sich bei den zu verbindenden Teilen um Bestandteile der Vakuum hülle einer Elektronenröhre, insbesondere einer Röntgen röhre. In diesem Falle kommen die Vorteile des Verfahrens in besonderem Maße zum Tragen, da hier an die Vakuumdich tigkeit, die Isolierwirkung und Hochspannungsfestigkeit sowie die geringe Gasabgabe besondere Ansprüche gestellt werden. Das erfindungsgemäße Verfahren ist für die Her stellung von Röntgenröhren auch deshalb besonders ge eignet, weil die entsprechend hergestellten Verbindungen eine hohe mechanische Festigkeit sowie eine hohe Tempera tur- und Temperaturwechselbeständigkeit aufweisen. Dabei ist das erfindungsgemäße Verfahren insbesondere für solche Fälle geeignet, bei denen die zu verbindenden Teile eine elektrische Leiterdurchführung und ein diese in einer Boh rung aufnehmender elektrischer Isolator sind.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Figuren der bei gefügten Zeichnungen naher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 den Ausdehnungs-Temperatur-Verlauf von für das er findungsgemäße Verfahren besonders geeigneten Werk stoffen,

Fig. 2 den Spannungs-Temperatur-Verlauf im Bereich der Verbindungsstelle für zwei unterschiedliche Füge temperaturen,

Fig. 3 den Temperatur-Zeit-Verlauf bei der Erwärmung der zu verbindenden Teile und des Lotes, und

Fig. 4 in teilweise geschnittener, schematischer Darstel lung einen Bereich der Vakuumhülle einer Röntgen röhre, der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Verbindungen aufweist.

In Fig. 1 ist der Ausdehnungs-Temperatur-Verlauf von für das erfindungsgemäße Verfahren besonders geeigneten Werk stoffen, nämlich der metallischen Legierung Nicosil 71, einer Aluminiumoxid-Keramik und des Glaslots P 393 darge stellt. Wie die Fig. 1 zeigt, in der der Quotient der Längenänderung Δl und der Länge l über der Temperatur T aufgetragen ist, liegt eine relativ gute Anpassung des Ausdehnungs-Temperatur-Verlaufes der an der Verbindung beteiligten Werkstoffe vor. Bei der Verbindung zweier aus Aluminiumoxid-Keramik bestehender Bauteile sind keine be sonderen Probleme zu erwarten.

Für die Verbindung eines Bauteiles aus Nicosil 71 und eines Bauteiles aus Aluminiumoxid-Keramik ist wesentlich, daß das Glaslot P 393 im Temperaturbereich zwischen 100 und 300°C einen Temperaturausdehnungskoeffizienten von 70×10⁻⁷ K⁻¹ und eine Transformationstemperatur von ca. 544°C aufweist. Der Knickpunkt des Ausdehnungs-Temperatur verlaufes von Nicosil 71 liegt bei 510°C und damit nur wenig unterhalb der Transformationstemperatur des Glas lotes. Unter diesen Bedingungen steht die Zwischenschicht aus Glaslot unter Druckspannungen, die unterhalb der Bruchspannung der Verbindung liegen. In Fig. 2 sind für Löttemperaturen von 600 und 800°C die in der Zwischen schicht zu erwartenden Spannungen δ über der Temperatur T qualitativ dargestellt. Es wird deutlich, daß für eine Löttemperatur von 800°C Druckspannungen zu erwarten sind, während für eine Löttemperatur von 600°C vergleichsweise geringe Spannungen in der Zwischenschicht auftreten, bei denen es sich jedoch unterhalb von etwa 450°C um Zugspan nungen handelt. Da die Druckfestigkeit des Glaslotes P 393 etwa 10mal größer als die Zugfestigkeit ist, empfiehlt es sich, eine Löttemperatur zu wählen, die zu Druckspannungen in der Zwischenschicht führt.

In Fig. 3 ist der aufgrund von Versuchen ermittelte Ver lauf der Temperatur T über der Zeit t für den Lötvorgang dargestellt, der sich für die Verbindung eines Teiles aus Aluminiumoxid-Keramik mit einem Teil aus Nicosil 71 mit tels des Glaslotes P 393 als besonders günstig herausge stellt hat, aber auch für die Verbindung zweier Teile aus Aluminiumoxid-Keramik geeignet ist. Demnach erfolgt zu nächst eine Erwärmung mit einer Aufheizgeschwindigkeit von 12°C/min bis auf eine Temperatur von etwa 600°C. Diese Temperatur wird für etwa 15 Minuten gehalten. Anschließend erfolgt eine weitere Erwärmung mit einer Aufheizgeschwin digkeit von etwa 5°C/min auf die Löttemperatur von etwas oberhalb 800°C. Die Löttemperatur wird für ebenfalls etwa 15 Minuten gehalten. Anschließend führt eine relativ rasche Abkühlung mit einer Abkühlgeschwindigkeit von 20°C/min auf eine Temperatur von etwa 600°C. Anschließend erfolgt die weitere Abkühlung mit einer Abkühlgeschwindig keit von 6°C/min. Die bei dem Lötvorgang auftretende Maximaltemperatur liegt in demjenigen Bereich, der für das Glaslot P 393 den Übergang vom Kristallisationsbereich in den Schmelzbereich darstellt. Diejenige Temperatur, die bei der Erwärmung für einige Zeit gehalten wird bzw. bei der die Abkühlgeschwindigkeit verringert wird, entspricht der Transformationstemperatur, d. h. der Erweichungstempe ratur, des Glaslotes. Während des Lötens sollten die zu verlötenden Teile mit einem geringen Fügedruck aneinander gepreßt sein.

Bei Löten unter Schutzgas ist der Druck der Schutzgas atmosphäre für die Qualität der Lötung eine wesentliche Einflußgröße. Es hat sich herausgestellt, daß ein gegen über dem Umgebungsdruck leicht erhöhter Druck von Vorteil ist. Ebenso ist die Qualität der auf dem Bauteil aus Nicosil 71 vorhandenen Oxidschicht von Bedeutung für die Qualität der Lötung. Eine Unteroxidation, die zu einer zu dünnen Oxid-Glas-Grenzfläche führt, ist nämlich ebenso zu vermeiden wie eine Überoxidation, die zu Porosität in der Metalloxidzone und Blasenbildung im Glaslot führen kann. Es wurde festgestellt, daß die erforderliche Voroxidation von Nicosil 71 bei 520°C im Durchlaufofen realisiert wer den kann, wobei die Abkühlgeschwindigkeit 60°C/min betra gen sollte. Die Verweildauer der Teile aus Nicosil 71 in dem Durchlaufofen ist so zu wählen, daß sich eine Ge wichtszunahme von 0,1 bis 0,2 mg/cm² ergibt. Bei der Oxid schicht handelt es sich übrigens im wesentlichen um Fe₃O₄.

Es versteht sich, daß der in Fig. 3 gezeigte Temperatur- Zeit-Verlauf des Lötvorganges, der an die in Fig. 4 ge zeigte Baugruppe angepaßt ist, hinsichtlich der Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit sowie der Haltezeiten an den je weiligen Anwendungsfall angepaßt werden muß. Es hat sich gezeigt, daß die Aufheizgeschwindigkeiten zwischen 4 und 12°C/min, Abkühlgeschwindigkeiten zwischen 4 und 20°C/min sowie Haltezeiten von 10 bis 25 Minuten günstig sind.

In Fig. 4 ist eine einen Bereich der Vakuumhülle einer Röntgenröhre bildende Baugruppe dargestellt, die einen zylinderrohrförmigen Gehäuseabschnitt 1 aus Aluminiumoxid- Keramik der DIN-Klasse 708 und einen aus dem gleichen Material gebildeten kreisscheibenförmigen Isolator 2 auf weist. Der Gehäuseabschnitt 1 und der Isolator 2 sind mit tels des Glaslotes P 393 verlötet. Die durch den Lötvor gang gebildete Zwischenschicht aus dem Glaslot P 393 ist in Fig. 4 übertrieben dick dargestellt und mit 3 bezeich net. Der Isolator 2 weist zylindrische Bohrungen auf, in die bolzenförmige, aus Nicosil 71 gebildete Stromdurchfüh rungen 4, z. B. für den Kathodenheizstrom, eingesetzt sind, die mittels des Glaslotes P 393 mit dem Isolator 2 ver lötet sind. Die bei dem Lötvorgang entstehenden, übertrie ben dick dargestellten Zwischenschichten aus dem Glaslot P 393 sind in Fig. 4 mit 5 bezeichnet.

Vor der Lötung wird das Glaslot P 393 zwischen dem Gehäu seabschnitt 1 und dem Isolator 2 in Form eines Lotringes eingelegt, dessen mittlerer Durchmesser in etwa dem des Gehäuseabschnittes 1 entspricht. Das zur Verbindung der Stromdurchführungen 4 und des Isolators 2 dienende Glaslot P 393 wird in Form eine Paste auf die Bohrungswandungen des Isolators 2 aufgebracht. Zur Herstellung dieser Paste wird das Glaslot gepulvert und mit destilliertem Wasser versetzt. Die maximale Korngröße des Glaslotes sollte da bei 45 µm nicht wesentlich überschreiten. Grundsätzlich besteht aber auch die Möglichkeit, das Glaslot in pulveri sierter Form zwischen die zu verlötenden Flächen zu bringen.

Die Stromdurchführungen 4 wurden vor dem Lötvorgang oxidiert, und zwar derart, daß sie eine Gewichtszunahme von 0,1 bis 0,2 mg/cm² aufweisen.

Die Lötung kann unter Vakuum oder in einer Schutzgasatmos phäre erfolgen, und zwar gemäß dem in Fig. 3 dargestellten Temperatur-Zeit-Verlauf. Bei Verwendung einer Schutzgas atmosphäre sollte der Druck etwas oberhalb des Umgebungs druckes liegen.

Im Zusammenhang mit dem beschriebenen Ausführungsbeispiel werden bestimmte Werkstoffe für die Keramikteile, die Metallteile und das Glaslot genannt. Andere Werkstoffe sind möglich, wobei jedoch wesentlich ist, daß es sich bei dem Lot um ein anorganisches, nichtmetallisches Material handelt.

Das beschriebene Ausführungsbeispiel betrifft die Verbin dung von Teilen der Vakuumhülle einer Röntgenröhre. Das erfindungsgemäße Verfahren kann jedoch auch im Zusammen hang mit anderen Elektronenröhren Verwendung finden.

Claims

1. Verfahren zur Herstellung einer vakuumdichten Verbin dung zweier Keramikteile (1 und 2) bzw. eines Metall- und eines Keramikteils (2 und 4) einer Elektronenröhre, gekennzeichnet durch folgende Ver fahrensschritte:

a) zwischen die beiden zu verbindenden Teile (1 und 2, 2 und 4) wird ein anorganisches, nichtmetallisches Lot gebracht, und
b) die zu verbindenden Teile (1 und 2, 2 und 4) ein schließlich des Lotes werden zumindest im Bereich der Verbindungsstelle auf eine solche Temperatur erwärmt, daß sich eine die Teile (1 und 2, 2 und 4) verbindende Zwischenschicht (3, 5) des Lotes ausbildet.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, daß die Erwärmung auf eine Temperatur erfolgt, die wenigstens gleich der Transforma tionstemperatur des Lotes ist.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, daß die Erwärmung auf eine Temperatur erfolgt, die höher als die Kristallisations temperatur des Lotes ist.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, daß die Erwärmung des Glas lotes auf eine Temperatur erfolgt, die innerhalb oder oberhalb des Kristallisationsbereiches des Glaslotes liegt.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, daß die Erwärmung auf eine Temperatur erfolgt, die im Bereich zwischen viskosem Fließen und Kristallisation des Glasrohres liegt.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da durch gekennzeichnet, daß als Lot ein kristallisierendes Glaslot verwendet wird.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch ge kennzeichnet, daß als Glaslot ein Glas des Systems ZnO-B₂O₃-PbO verwendet wird.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch ge kennzeichnet, daß das Glas außerdem V₂O₅ enthält.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, da durch gekennzeichnet, daß das Metallteil (4) wenigstens im Bereich der Verbindungsstelle vor der Herstellung der Verbindung oxidiert wird.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da durch gekennzeichnet, daß die Er wärmung unter Vakuum oder in einer Schutzgasatmosphäre vorgenommen wird.

11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Oxidschicht des Metallteiles (4) nach erfolgter Verbindung außerhalb der Verbindungsstelle durch eine reduzierende thermische und/oder chemische Behandlung entfernt wird.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, da durch gekennzeichnet, daß das Metallteil (4) aus einer zumindest Eisen, Nickel und Kobalt enthaltenden Legierung gebildet ist.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch ge kennzeichnet, daß die Legierung 49% Eisen, 28% Nickel und 23% Kobalt enthält.

14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, da durch gekennzeichnet, daß wenigstens eines der zu verbindenden Teile (1, 2) aus Aluminiumoxid- Keramik gebildet ist.

15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch ge kennzeichnet, daß als Aluminiumoxid-Keramik eine Keramik der DIN-Klasse KER 708 vorgesehen ist.

16. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15, da durch gekennzeichnet, daß die zu verbindenden Teile (1 und 2, 2 und 4) Bestandteile der Vakuumhülle einer Röntgenröhre sind.

17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch ge kennzeichnet, daß die zu verbindenden Teile eine elektrische Leiterdurchführung (4) und ein diese in einer Bohrung aufnehmender elektrischer Isolator (2) sind.

18. Verfahren zur Herstellung einer vakuumdichten Verbin dung zweier Keramikteile (1 und 2) bzw. eines Metall- und eines Keramikteils (2 und 4) einer Elektronenröhre, gekennzeichnet durch folgende Ver fahrensschritte:

a) zwischen die beiden zu verbindenden Teile (1 und 2, 2 und 4) wird ein anorganisches, nichtmetallisches Lot gebracht, und
b) die zu verbindenden Teile (1 und 2, 2 und 4) ein schließlich des Lotes werden zumindest im Bereich der Verbindungsstelle auf eine solche Temperatur erwärmt, daß sich eine die Teile (1 und 2, 2 und 4) verbindende Zwischenschicht (3, 5) des Lotes ausbildet, derart, daß die Rißausbreitungsenergien in den Oberflächenspan nungszentren der Keramikteile (1 und 2) bzw. des Kera mikteiles (2) erhöht werden.