DE4242789A1

DE4242789A1 -

Info

Publication number: DE4242789A1
Application number: DE4242789A
Authority: DE
Inventors: Shinobu Kakizaki; Kimihisa Kasajima
Original assignee: Atsugi Unisia Corp
Current assignee: Hitachi Unisia Automotive Ltd
Priority date: 1991-12-17
Filing date: 1992-12-17
Publication date: 1993-07-01
Anticipated expiration: 2012-12-18
Also published as: GB9226270D0; GB2262613A; DE4242789C2; GB2262613B; JPH05164775A; US5633461A; US5548999A; US5546644A

Description

Die Erfindung betrifft einen Beschleunigungssensor für Kraftfahrzeuge. Insbesondere betrifft die Erfindung einen Halbleiterbeschleunigungssensor, dessen Erfassungschip vor einem übergroßen Eingang in einer Beschleunigungsrichtung geschützt werden soll.

Halbleiterbeschleunigungssensoren gehören zum Stand der Technik und werden vielfach auf dem Gebiet der Kraftfahr zeuge einschließlich der Aufhängungssteuerung, der Airbag steuerung u. dgl. angewandt.

Gemäß Fig. 8 wird der Erfassungschip 55 eines derartigen Halbleiterbeschleunigungssensors mit Hilfe der LSI-Technik auf einem Silikonsubstrat hergestellt. Wie aus der Zeichnung ersichtlich, wird der Erfassungschip 55 mit einem Pendel gewichtsabschnitt (heavy bob section) bzw. einem Pendel bereich (pendulum section) 52 in Form eines Auslegers durch Ätzen o. dgl. hergestellt. Ferner ist ein Dehnungsmeßbereich 53 beispielsweise mit einem Piezowiderstandselement an einem Basisbereich des Pendelgewichtsabschnitts 52 angeformt und außerdem ist eine Signalsteuerschaltung 54 wie etwa ein Ver stärker o. dgl. auf dem Silikonsubstrat, auf dem der Pendel gewichtsabschnitt geformt ist, angebracht. Ein als Komponente eines Beschleunigungssensors geeigneter Er fassungschip 55 kann mit einer herkömmlichen Ein-Chip-Kon struktion gebildet werden.

Bei der vorbeschriebenen Konstruktion wird ein elektrischer Signalausgang aufgrund des in dem Dehnungmeßbereich erzeugten Spannungswechsels erhalten, wenn der Pendelge wichtsabschnitt 52 eine Beschleunigung erfährt.

Wie aus Fig. 9 ersichtlich, wird ein solcher Erfassungschip 55 in eine mit isolierendem Silikonöl 56 o. dgl. gefüllte Umhüllung 57 eingeschlossen, um die Erfassungseinheit 58 eines Beschleunigungssensors zu bilden. Gemäß Fig. 10 und 11 ist die Erfassungseinheit 58 auf einem Substrat 60 mit Prozess-Schaltkreisen 59 angebracht, und das Substrat 60 ist in einem Gehäuse 61 eingeschlossen. Eine Verschlußmasse 62 füllt die Rückseite des Gehäuses 61; außerdem ist ein Anschlußteil 63 vorgesehen.

In der vorbeschriebenen Konstruktion wird innerhalb der Umhüllung 57 Silikonöl vorgesehen, um für den Fall einer übermäßigen Beschleunigung auf den Erfassungschip 55 eine Dämpfungskraft zu bewirken und eine Schwächung und/oder Deformation an dem Basisbereich des Pendelgewichtsabschnitts 52 zu verhindern.

Das Silikonöl 56 bewirkt eine solche Dämpfung aufgrund seiner Viskosität, die jedoch entsprechend der Temperatur stark verändert wird, so daß die Erfassungsempfindlichkeit des Erfassungschips 55 sich dementsprechend ändert und die Beständigkeit sowie die Genauigkeit des Beschleunigungs sensors herabgesetzt wird.

Außer dem Problem der Viskositätsänderung des Silikonöls 56 setzt das in der Umhüllung 57 der Erfassungseinheit 58 vorhandene Dämpfungsfluid die Empfindlichkeit des Erfas sungschips 55 herab, weil eine absolute Verlagerung des Pendelgewichtsabschnitts 52 durch den viskosen Widerstand des Silikonöls 56 oder eines anderen Dämpfungsfluids herabgesetzt wird. Deshalb müssen die Empfindlichkeit und die Stabilität insbesondere einer Verstärker- und einer Filterschaltung, ebenso wie andere mit dem Beschleunigungs sensor verbundene Signalverarbeitungsschaltkreise, wesent lich höher ausgelegt werden. Die Kosten und die Kompliziert heit des gesamten Sensors wird dadurch erhöht.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, die Nachteile des Standes der Technik zu vermeiden und einen Halbleiter beschleunigungssensor zu schaffen, bei dem ein Erfassungs chip zuverlässig vor überhöhter Beaufschlagung geschützt ist und die Dämpfung der Bewegung eines beweglichen Teils des Erfassungschips auf konstante, temperaturunabhängige Weise und ohne Einsatz eines Dämpfungsfluids bewirkt wird.

Zur Lösung der vorstehenden Aufgabe weist ein Beschleuni gungssensor folgende Bauteile auf: ein umschlossenes Gehäuse; Halbleiter-Beschleunigungserfassungs-Mittel, die auf einem Silikonsubstrat geformt sind und einen Pendelge wichtsabschnitt aufweisen, der an wenigstens einem Ende unterstützt und damit in wenigstens einer Richtung ent sprechend einer Eingangsbeschleunigung verlagerbar ist, wobei die Beschleunigungserfassungs-Mittel ein dem Ausmaß der Verlagerung des Pendelgewichtsabschnitts entsprechendes Signal ausgeben und die Beschleunigungserfassungs-Mittel in dem geschlossenen Gehäuse angebracht sind; Signalverarbei tungsmittel zum Verarbeiten des Ausgangs aus den Beschleuni gungserfassungs-Mitteln; und elastische Unterstützungs mittel, welche zumindest die Beschleunigungserfassungs- Mittel in einer Beschleunigungsrichtung unterstützen, so daß bei einem gegebenen Beschleunigungsgrad eine Verformung der elastischen Unterstützungsmittel in Bezug auf das um schlossene Gehäuse erfaßt wird.

Nach einem anderen Aspekt der Erfindung weist ein Be schleunigungssensor ferner folgende Bauteile auf: ein Gehäuse; in dem Gehäuse übereinander angeordnete obere und untere Platten mit einer in der oberen Platte ausgeformten Öffnung; ein in dem Gehäuse derart angeordnetes flexibles Substrat, daß Teile des flexiblen Substrats an den oberen Flächen der oberen und der unteren Platte befestigt sind und die Öffnung in der oberen Platte bedecken; Beschleunigungs erfassungs-Mitttel, die an dem flexiblen Substrat an der oberen Platte an einer Stelle über der Öffnung in der oberen Platte angebracht sind und ein das Ausmaß der erfaßten Beschleunigung anzeigendes Signal abgeben; Mittel zur Signalverarbeitung, die auf dem flexiblen Substrat angebracht und den Beschleunigungserfassungs-Mitteln zugeordnet sind; Endteile, die an dem flexiblen Substrat befestigt und an die Beschleunigungserfassungs-Mittel sowie die Mittel zur Signalverarbeitung angeschlossen sind und ein Anschlußteil außerhalb des Gehäuses aufweisen; und Ver schlußmittel, die das flexible Substrat, die Signal verarbeitungsmittel, die oberen und unteren Platten sowie die Endteile in dem Gehäuse umschließen.

Nach einem weiteren Aspekt der Erfindung umfaßt eine andere Ausführung eines Beschleunigungsensors: ein Gehäuse; ein starres Substrat innerhalb des Gehäuses; Beschleunigungser fassungs-Mittel auf dem starren Substrat; Signalverarbei tungsmittel, die außerdem auf dem starren Substrat angebracht sind und ein Signal ausgeben, das das von den Beschleunigungserfassungs-Mitteln erfaßte Ausmaß der Beschleunigung repräsentiert; Abstandhalter aus elastischem Material an jeder Ecke des starren Substrats, die zumindest die Beschleunigungserfassungs-Mittel in Beschleunigungs richtung elastisch halten, so daß die Abstandhalter bei einem gegebenen Umfang der Beschleunigung in Bezug auf das umschließende Gehäuse eine elastische Deformation erfahren; Anschlußmittel, die wenigstens die Signalverarbeitungsmittel an externe Einrichtungen anzuschließen erlauben; und einen Bodenteil, der das starre Substrat, die Beschleunigungser fassungs-Mittel, die Signalverarbeitungsmittel und die Abstandhalter in dem Gehäuse einschließt.

Nach einem zusätzlichen Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren zum Herstellen eines Beschleunigungssensors mit folgenden Schritten vorgesehen: a) Formen eines langge streckten flexiblen Substrats; b) Anbringen eines Beschleu nigungserfassungs-Mittels an dem flexiblen Substrat; c) An bringen von Signalverarbeitungsmitteln an dem flexiblen Substrat; d) Anbringen von Endanschlüssen an dem flexiblen Substrat; e) Befestigen entgegengesetzter Enden des flexiblen Substrats jeweils an Platten, von denen eine von einer Öffnung durchsetzt ist, wobei ein Teil des an dem flexiblen Substrat angebrachten Beschleunigungserfassungs- Mittels sich über der Öffnung in einer der Platten befindet; f) Falten des flexiblen Substrats entlang einem zentralen Faltbereich; g) Einsetzen der Platten und des gefalteten flexiblen Substrats in ein Gehäuse mit einem offenen Boden in der Weise, daß die eine Platte zuoberst eingesetzt wird und das auf dem flexiblen Substrat angebrachte Beschleuni gungserfassungs-Mittel in eine Beschleunigungsrichtung weist, wobei die Form der Platten der Umfangsform des Gehäuses entspricht und die andere Platte am Boden des offenen Gehäuseteils eingesetzt wird; h) Einrichten von Anschlußmitteln zum Verbinden des Beschleunigungser fassungs-Mittels mit einem Außenanschluß an dem Gehäuse; und i) Verschließen des Gehäuses mit einem Verschlußmittel.

Schließlich ist erfindungsgemäß ein weiteres Verfahren zum Herstellen eines Beschleunigungssensors mit folgenden Schritten vorgesehen: a) Anbringen eines Beschleunigungser fassungs-Mittels an einem starren Substrat; b) Anbringen eines Signalverarbeitungsmittels an dem starren Substrat; c) Anordnen von Abstandhaltern aus einem elastischem Material an jeder Ecke des starren Substrats, so daß die Abstand halter zumindest das Beschleunigungserfassungs-Mittel in der Beschleunigungswirkrichtung elastisch halten; d) Einrichten von Anschlußmitteln, die zumindest das Signalverarbeitungs mittel an eine äußere Einrichtung anzuschließen erlauben; und e) Anbringen eines Bodenteils, um das starre Substrat, das Beschleunigungserfassungs-Mittel, das Signalverarbei tungsmittel und die Abstandhalter in dem Gehäuse einzu schließen.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 eine Schnittdarstellung einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Beschleunigungssensors,

Fig. 2 eine vergrößerte perspektivische Ansicht der wichtigsten Teile von Fig. 1,

Fig. 3 eine Aufsicht auf eine gedruckte Leiterplatte für einen erfindungsgemäßen Beschleunigungssensor,

Fig. 4 einen Schnitt entlang der Linie a-a in Fig. 3, form eines erfindungsgemäßen Beschleunigungssensors,

Fig. 6 eine vergrößerte perspektivische Ansicht eines Abstandhalters für einen Beschleunigungssensor gemäß Fig. 5,

Fig. 7 eine Schnittdarstellung des Abstandhalters gemäß Fig. 6,

Fig. 8 eine vergrößerte perspektivische Darstellung der Einzelheiten eines herkömmlichen Erfassungs-Chipab schnittes eines Halbleiter-Beschleunigungssensors,

Fig. 9 eine Schnittdarstellung einer herkömmlichen Be schleunigungs-Erfassungseinheit mit dem Erfassungs chip gemäß Fig. 8 als zentrale Komponente,

Fig. 10 eine Schnittdarstellung eines herkömmlichen Be schleunigungssensors mit der Erfassungseinheit gemäß Fig. 9, und

Fig. 11 eine Aufsicht auf eine gedruckte Leiterplatte für einen herkömmlichen Beschleunigungssensor gemäß Fig. 10.

Untere Bezugnahme auf die Zeichnung ist insbesondere in Fig. 1 eine erfindungsgemäßer Beschleunigungssensor gezeigt. Wie ersichtlich umfaßt der Sensor 1 ein rechtwinkliges Gehäuse 2 und darin übereinander angeordnet eine obere Platte 3 und eine untere Platte 4, beispielsweise aus synthetischem Material. Ein flexibles gedrucktes Leitersubstrat 5 ist in dem Gehäuse 2 so angeordnet, daß Teile davon an die oberen Flächen sowohl der oberen Platte 3 als auch der unteren Platte 4 mit einem Klebemittel 6 angeklebt sind, wie in Fig. 4 gezeigt. Auf der oberen Fläche des oberen Teils 5A des gedruckten Leitersubstrats 5 sind ein Erfassungschip 55 und eine zugehörige Signalverarbeitungsschaltung 8 angebracht, während auf der oberen Fläche des unteren Teils 5B des gedruckten Leitersubstrats 5 Endteile 10 eines Anschlusses 9 durch Löten o. dgl. befestigt sind. Ferner ist unter der unteren Platte 4 der Bodenteil des Gehäuses vollständig durch ein Versiegelungsmittel 11 verschlossen, so daß die Komponenten des Beschleunigungsdetektors 1 vollständig in dem Gehäuse 1 eingeschlossen sind.

Der Aufbau des Erfassungschips ist bekannt und wurde eingangs unter Bezugnahme auf Fig. 8 beschrieben, so daß sich eine nochmalige Beschreibung erübrigt. Bei Bezugnahme auf Teile des Erfassungschips 55 werden zur eindeutigen Erläuterung dieselben Bezugsziffern verwandt.

Gemäß Fig. 2 ist eine kreisförmige Öffnung 12 mit einem größeren Umfang als der Erfassungschip in der oberen Platte 3 unter dem Erfassungschip ausgeformt. Dadurch wird im Bereich des Erfassungschips dieser nur von dem gedruckten Leitersubstrat 5 ohne darunterliegende Platte unterstützt. Zusätzlich sind mehrere kleinere Öffnungen 13 in dem ge druckten Leitersubstrats 5 den Erfassungschip umgebend ausgeformt. Die kleineren Öffnungen 13 sind so ausgebildet, daß sie teilweise einen Teil der großen Öffnung 12 in der oberen Platte überlappen. Der Erfassungschip ist damit an elastischen Brücken 14 aufgehängt, die von den kleineren Öffnungen 13 und den Teilen des gedruckten Leitersubstrats 5 gebildet werden, die über die große kreisförmige Öffnung 12 reichen. Damit wird ein Beschleunigungspuffer geschaffen, durch den eine übermäßige Beschleunigungseinwirkung auf den Erfassungschip durch Deformation der elastischen Brücke absorbiert wird.

Bei der erläuterten Ausführung sind mehrere (vier) Öffnungen 13 vorgesehen, jedoch kann der vorteilhafte Effekt der Erfindung auch allein durch große Öffnung 12 erzielt werden, die von dem den Erfassungschip tragenden gedruckten Leiter substrat 5 überdeckt ist. Die Zahl und Größe der umgebenden kleineren Öffnungen 13 kann entsprechend dem Maß der elastischen Deformierbarkeit für die Brücken 14 bestimmt werden. Ein größerer Elastizitätsgrad bewirkt einen höheren Puffereffekt für den Erfassungschip 55.

Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf Fig. 3 und 4 ein Verfahren zum Zusammenbauen eines erfindungsgemäßen Beschleunigungssensors beschrieben.

Zunächst wird gemäß Fig. 3 das langgestreckte flexible gedruckte Leitersubstrat 5 gebildet und vorab mit den erforderlichen Komponenten wie dem Erfassungschip 55, den Signalverarbeitungsschaltungen 8, den kleinen Öffnungen 13 und den Endteilen 10 des Anschlusses 9 versehen. Als nächstes werden die Teile 5A und 5B des flexiblen gedruckten Leitersubstrats 5 mit dem Kleber 6 an die obere und die untere Platte 3 und 4 angeklebt, wie am besten aus Fig. 4 ersichtlich.

Nachdem das flexible gedruckte Leitersubstrat 5 an den Platten 3 und 4 befestigt ist, wird es an einem langge streckten mittleren Faltbereich 5C gefaltet und durch den offenen Boden des Gehäuses in der Weise eingeführt, daß sich die Platte 3 zuoberst befindet und sich dabei an den Umfang des Gehäuses anpaßt und die Platte 4 in den Boden des Gehäuses eingesetzt wird, worauf dieser mit der Verschluß masse 11 versiegelt wird. Aus Fig. 1 und der vorstehenden Beschreibung ergibt sich, daß der Faltbereich 5C, für den an einer Seite der Platte ein kleiner Ausschnitt vorgesehen ist, zusätzlich als elastische Unterstützung für die obere Platte wirkt und damit eine weitere Pufferung gegen über mäßige Beschleunigung bildet.

Bei der vorstehend beschriebenen Anordnung mit beispiels weise in einem Fahrzeug eingebautem Beschleunigungssensor 1 wird dann, wenn eine übermäßige Einwirkung in der Er fassungsrichtung der Beschleunigung erfolgt, der Faltbereich 5C deformiert und erzeugt einen Puffereffekt im wesentlichen für die gesamte obere Platte 3; da jedoch das wesentliche Element des Beschleunigungssensors 1, nämlich der Er fassungschip 55, auf der Brücke 14 über der Öffnung 12 in der oberen Platte 3 angebracht ist, wird die Brücke eben falls in Richtung der Beschleunigungseinwirkung elastisch deformiert und absorbiert übermäßige, auf den Erfassungschip einwirkende Beschleunigungskraft, so daß eine Verformung oder Beschädigung an der Basis des Pendelgewichtsabschnittes 52 des Erfassungschips vermieden wird.

Nachfolgend wird eine zweite Ausführungsform der Erfindung unter Bezugnahme auf die Fig. 5 bis 7 beschrieben.

Wie am besten aus Fig. 5 ersichtlich, werden bei dieser Ausführung der Erfassungschip 55, die Signalverarbeitungs schaltkreise 8 u. dgl. auf einer herkömmlichen starren Leiterplatte 16 angebracht, die dann an einem Gehäuse 18 durch Abstandhalter 17 aus einem elastischen Material wie Gummi o. dgl. elastisch aufgehängt werden.

Im einzelnen ist der Abstandhalter 17 hohl und mit einem Schlitz 19 ausgebildet. An allen vier Ecken der Leiterplatte 16 werden Abstandhalter 17 angebracht und im ganzen in ein rechtwinkliges Gehäuse 18 eingesetzt, so daß die Leiter platte 16 von den Abstandhaltern unterstützt wird, wobei obere und untere Positioniervorsprünge 17a der Abstandhalter jeweils eine abgestufte Fläche 18b des Gehäuses 18 und die obere Fläche eines Bodens 20 berühren, mit dem das Gehäuse 18 nach dem Einsetzen der Leiterplatte 16 und der Abstand halter 17 verschlossen wird.

Bei der vorstehend beschriebenen Anordnung bewirken die Abstandhalter nach der zweiten Ausführungsform in gleicher Weise einen Puffereffekt in der Abstützung des Erfassungs chips des Beschleunigungsensors 1 wie die elastische Brücke in der ersten Ausführungsform. Die Abstandhalter nach der zweiten Ausführungsform bewirken darüber hinaus eine elastische Unterstützung der Komponenten des Beschleuni gungssensors 1 nicht nur in der Richtung der Beschleuni gungseinwirkung, sondern auch in Quer- und Längsrichtung. Gemäß Fig. 7 können ferner durch geeignete Bemessung der Dicken t1, t2 und t3 des Abstandhalters 17 sowie die Auswahl passenden harten oder weichen elastischen Materials dafür unterschiedliche elastische Eigenschaften erzielt werden, mit denen optimale Charakteristiken für den jeweiligen Ein satzzweck des Beschleunigungssensors 1 eingestellt werden können.

Die vorliegende Erfindung kann auch bei einem kapazitiven Beschleunigungssensor zur Anwendung kommen, bei dem die Beschleunigung aufgrund der Kapazitätsänderung eines Kondensators in Abhängigkeit von der Verlagerung eines an einem seitlichen Pol des Kondensators angeordneten Pendel gewichtes ermittelt wird.

Nach der Erfindung kann somit ein Erfassungschip elastisch angebracht werden, um ihn zuverlässig vor Beschädigung und/oder Deformation infolge von übermäßiger Einwirkung einer Beschleunigungskraft in Wirkrichtung zu schützen. Dabei wird die Erfassungsgenauigkeit verbessert, weil kein Dämpfungsfluid wie etwa Silikonöl benötigt wird. Außerdem wird eine wechselnde Erfassungsgenauigkeit infolge von Temperatureinflüssen vermieden.

Da ferner die Verlagerung des Pendelgewichtes des Er fassungschips nicht durch ein Dämpfungsfluid abgeschwächt wird, brauchen weder Signalverarbeitunsschaltungen mit übermäßig hoher Empfindlichkeit eingesetzt zu werden, noch sind aufwendige Techniken zum hermetischen Verschließen, um das Fluid abzudichten, bei der Herstellung des erfindungsge mäßen Sensors erforderlich. Die Kosten für den Beschleuni gungssensor können damit insgesamt verringert werden.

Zusammenfassend weist erfindungsgemäß ein Halbleiter-Be schleunigungssensor eine flexible gedruckte Leiterplatte auf, auf der ein Halbleiter-Erfassungschip angebracht ist. Der Erfassungschip ist mit Öffnungen versehen, die eine Öffnung in einer rückseitigen Basisplatte der flexiblen gedruckten Leiterplatte überlappen, so daß der Erfassungs chip nur durch einen Brückenteil gehalten wird. Bei einer übermäßigen Einwirkung in Beschleunigungsrichtung bewirken eine elastische Deformation des Brückenteiles und ein gebogener Bereich der flexiblen gedruckten Leiterplatte eine Absorption der übermäßigen Beschleunigung zum Schutz des Erfassungschips.

Im Rahmen der Erfindung sind zahlreiche Abwandlungen möglich.

Claims

1. Beschleunigungssensor, gekennzeichnet durch folgende Bauteile:
ein umschlossenes Gehäuse,
Halbleiter-Beschleunigungserfassungs-Mittel, die auf einem Silikonsubstrat geformt sind und einen Pendelgewichtsab schnitt (heavy bob section) aufweisen, der an wenigstens einem Ende unterstützt und damit in wenigstens einer Richtung entsprechend einer Eingangsbeschleunigung verlager bar ist, wobei die Beschleunigungserfassungs-Mittel ein dem Ausmaß der Verlagerung des Pendelgewichtsabschnitts entsprechendes Signal ausgeben und die Beschleunigungser fassungs-Mittel in dem geschlossenen Gehäuse angebracht sind,
Signalverarbeitungsmittel zum Verarbeiten des Ausgangs aus den Beschleunigungserfassungs-Mitteln, und
elastische Unterstützungsmittel, welche zumindest die Beschleunigungserfassungs-Mittel in einer Beschleunigungs richtung unterstützen, so daß bei einem gegebenen Be schleunigungsgrad die elastischen Unterstützungsmittel in Bezug auf das umschlossene Gehäuse eine elastische Verfor mung erfahren.

2. Beschleunigungssensor, gekennzeichnet durch folgende Bauteile:
ein Gehäuse,
in dem Gehäuse übereinander angeordnete obere und untere Platten mit einer in der oberen Platte ausgeformten Öffnung,
ein in dem Gehäuse derart angeordnetes flexibles Substrat, daß Teile des flexiblen Substrats an den oberen Flächen der oberen und der unteren Platte befestigt sind und die Öffnung in der oberen Platte bedecken,
Beschleunigungserfassungs-Mittel, die an dem flexiblen Substrat an der oberen Platte an einer Stelle über der Öffnung in der oberen Platte angebracht sind und ein das Ausmaß der erfaßten Beschleunigung anzeigendes Signal ab geben,
Mittel zur Signalverarbeitung, die auf dem flexiblen Substrat angebracht und den Beschleunigungserfassungs- Mitteln zugeordnet sind,
Endteile, die an dem flexiblen Substrat befestigt und an die Beschleunigungserfassungs-Mittel sowie die Mittel zur Signalverarbeitung angeschlossen sind und ein Anschlußteil außerhalb des Gehäuses aufweisen, und
Verschlußmittel, die das flexible Substrat, die Signal verarbeitungsmittel, die oberen und unteren Platten sowie die Endteile in dem Gehäuse umschließen.

3. Beschleunigungssensor nach Anspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, daß die obere und die untere Platte aus Kunstharz bestehen.

4. Beschleunigungssensor nach Anspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, daß in dem flexiblen Substrat angrenzend an die Beschleunigungserfassungs-Mittel eine Öffnung ausgeformt ist, so daß ein Teil davon die Öffnung in der oberen Platte überlappt und der Erfassungschip an einer elastischen Brücke aufgehängt ist, welche von dem durch die Öffnung gebildeten Teil des flexiblen Substrats gebildet wird, das über die Öffnung in der oberen Platte ragt.

5. Beschleunigungssensor nach Anspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, daß in dem flexiblen Substrat eine Vielzahl von Öffnungen ausgebildet sind, die die Beschleunigungser fassungs-Mittel umgeben, und daß alle Öffnungen Teilbereiche aufweisen, die die Öffnung in der oberen Platte überlappen.

6. Beschleunigungssensor nach Anspruch 5, dadurch gekenn zeichnet, daß Zahl und Größe der umgebenden Öffnungen einem elastischen Deformationsgrad für die Brücke entsprechen, der die Elastizität des die Beschleunigungs-Erfassungsmittel tragenden Brückenteils bestimmt.

7. Beschleunigungssensor nach Anspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, daß die Öffnung in der oberen Platte kreisförmig ist und das auf dem flexiblen Substrat angeordnete Beschleu nigungs-Erfassungsmittel im wesentlichen über dem Zentrum der Öffnung angeordnet ist.

8. Beschleunigungssensor nach Anspruch 5, dadurch gekenn zeichnet, daß die das Beschleunigungs-Erfassungsmittel umgebenden Öffnungen kreisförmig und kleiner als die kreisförmige Öffnung in der oberen Platte sind und das Beschleunigungs-Erfassungsmittel symmetrisch umgeben.

9. Beschleunigungssensor nach Anspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, daß das Beschleunigungs-Erfassungsmittel einen Halbleiter-Beschleunigungssensor auf einem Silikonsubstrat aufweist und daß der Halbleiter-Beschleunigungssensor einen Pendelgewichtsabschnitt (heavy bob section) (52) etwa in Form eines Auslegers, einen Dehnungsmeßbereich (53) mit einem Piezowiderstandselement an einem Basisbereich des Pendelgewichtsabschnittes sowie eine Signalverarbeitungs schaltung enthält, die ebenfalls auf dem Silikonsubstrat angeordnet sind.

10. Beschleunigungssensor nach Anspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, daß die Signalverarbeitungsschaltung zumindest eine Verstärkerschaltung und eine Filterschaltung enthält.

11. Beschleunigungssensor nach Anspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, daß das Erfassungsmittel ein kapazitiver Be schleunigungssensor ist, der die Kapazitätsänderung eines Kondensators aufgrund der Verlagerung eines an einem Seitenpol des Kondensators angeordneten Pendelgewichtsab schnittes erfaßt.

12. Beschleunigungssensor nach Anspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, daß ein sich zwischen der oberen und der unteren Platte erstreckender Faltbereich des flexiblen Substrats die obere Platte gegenüber dem Gehäuse elastisch abstützt.

13. Beschleunigungssensor, gekennzeichnet durch folgende Bauteile:
ein Gehäuse,
ein starres Substrat innerhalb des Gehäuses,
Beschleunigungserfassungs-Mittel auf dem starren Substrat,
Signalverarbeitungsmittel, die außerdem auf dem starren Substrat angebracht sind und ein Signal ausgeben, das das von den Beschleunigungserfassungs-Mitteln erfaßte Ausmaß der Beschleunigung repräsentiert,
Abstandhalter aus elastischem Material an jeder Ecke des starren Substrats, die zumindest die Beschleunigungser fassungs-Mittel in Beschleunigungsrichtung elastisch halten, so daß die Abstandhalter bei einem gegebenen Ausmaß der Beschleunigung in Bezug auf das umschließende Gehäuse eine elastische Deformation erfahren,
Anschlußmittel, die wenigstens die Signalverarbeitungsmittel an externe Einrichtungen anzuschließen erlauben, und
einen Bodenteil, der das starre Substrat, die Beschleuni gungserfassungs-Mittel, die Signalverarbeitungsmittel und die Abstandhalter in dem Gehäuse einschließt.

14. Beschleunigungssensor nach Anspruch 13, dadurch gekenn zeichnet, daß das Gehäuse rechtwinklig und jeder Abstand halter hohl mit einer Eingriffsausnehmung ausgebildet ist und die Abstandhalter an allen vier Ecken des Gehäuses angeordnet sind, und daß das starre Substrat so in das rechtwinklige Gehäuse eingesetzt ist, daß es innerhalb der hohlen Teile der Abstandhalter gehalten wird.

15. Beschleunigungssensor nach Anspruch 13, dadurch gekenn zeichnet, daß die Abstandhalter obere und untere Posi tioniervorsprünge (17a) aufweisen, die jeweils eine abgestufte Fläche (18b) des Gehäuses (18) und die obere Fläche des Bodens (20) berühren, welcher das starre Substrat und die Abstandhalter in dem Gehäuse einschließt.

16. Beschleunigungssensor nach Anspruch 13, dadurch gekenn zeichnet, daß die Dicke von ebenen Teilen der Abstandhalter entsprechend einem vorgegebenen Umfang der elastischen Aufhängung für die Beschleunigungserfassungmittel bemessen ist.

17. Beschleunigungssensor nach Anspruch 13, dadurch gekenn zeichnet, daß das elastische Material für jeden Abstand halter entsprechend einem vorgegebenen Umfang der elasti schen Aufhängung für die Beschleunigungserfassungmittel ausgewählt ist.

18. Beschleunigungssensor nach Anspruch 13, dadurch gekenn zeichnet, daß das Beschleunigungs-Erfassungsmittel einen Halbleiter-Beschleunigungssensor auf einem Silikonsubstrat aufweist und daß der Halbleiter-Beschleunigungssensor einen Pendelgewichtsabschnitt etwa in Form eines Auslegers, einen Dehnungsmeßbereich mit einem Piezowiderstandselement an einem Basisbereich des Pendelgewichtsabschnittes sowie eine Signalverarbeitungsschaltung enthält, die ebenfalls auf dem Silkonsubstrat angeordnet sind.

19. Beschleunigungssensor nach Anspruch 13, dadurch gekenn zeichnet, daß die Signalverarbeitungsschaltung zumindest eine Verstärkerschaltung und eine Filterschaltung enthält.

20. Beschleunigungssensor nach Anspruch 13, dadurch gekenn zeichnet, daß das Erfassungsmittel ein kapazitiver Be schleunigungssensor ist, der die Kapazitätsänderung eines Kondensators aufgrund der Verlagerung eines an einem Seitenpol des Kondensators angeordneten Pendelgewichtsab schnittes erfaßt.

21. Verfahren zum Herstellen eines Beschleunigungssensors, gekennzeichnet durch folgende Schritte:

a) Formen eines langgestreckten flexiblen Substrats;
b) Anbringen eines Beschleunigungserfassungs-Mittels an dem flexibeln Substrat;
c) Anbringen von Signalverarbeitungsmitteln an dem flexiblen Substrat;
d) Anbringen von Endanschlüssen an dem flexiblen Substrat;
e) Befestigen entgegengesetzter Enden des flexiblen Substrats jeweils an Platten, von denen eine von einer Öffnung durchsetzt ist, wobei ein Teil des an dem flexiblen Substrat angebrachten Beschleunigungserfassungs-Mittels sich über der Öffnung in einer der Platten befindet;
f) Falten des flexiblen Substrats entlang einem zentralen Faltbereich;
g) Einsetzen der Platten und des gefalteten flexiblen Substrats in ein Gehäuse mit einem offenen Boden in der Weise, daß die eine Platte zuoberst eingesetzt wird und das auf dem flexiblen Substrat angebrachte Beschleunigungser fassungs-Mittel in eine Beschleunigungsrichtung weist, wobei die Form der Platten der Umfangsform des Gehäuses entspricht und die andere Platte am Boden des offenen Gehäuseteils eingesetzt wird;
h) Einrichten von Anschlußmitteln zum Verbinden des Be schleunigungserfassungs-Mittels mit einem Außenanschluß an dem Gehäuse; und
i) Verschließen des Gehäuses mit einem Verschlußmittel.

22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß in dem flexiblen Substrat neben dem Beschleunigungser fassungs-Mittel eine Öffnung in der Weise angebracht wird, daß nach dem Befestigen ein Teil jeder der Öffnung die Öffnung in der einen Platte überlappt.

23. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß in dem flexiblen Substrat neben dem Beschleunigungser fassungs-Mittel mehrere Öffnungen in der Weise angebracht werden, daß nach dem Befestigen ein Teil jeder der Öffnungen die Öffnung in der einen Platte überlappt.

24. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung in der einen Platte kreisförmig ist und die Öffnungen in dem flexiblen Substrat ebenfalls kreisförmig und kleiner als die Öffnung in der Platte sind, und daß die kleineren Öffnungen symmetrisch um das Beschleunigungs erfassungsmittel herum angeordnet sind.

25. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß das Beschleunigungs-Erfassungsmittel einen Halbleiter-Be schleunigungssensor auf einem Silikonsubstrat aufweist und daß der Halbleiter-Beschleunigungssensor einen Pendel gewichtsabschnitt etwa in Form eines Auslegers, einen Dehnungsmeßbereich mit einem Piezowiderstandselement an einem Basisbereich des Pendelgewichtsabschnittes sowie eine Signalverarbeitungsschaltung enthält, die ebenfalls auf dem Silkonsubstrat angeordnet sind.

26. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Signalverarbeitungsschaltung zumindest eine Verstärker schaltung und eine Filterschaltung enthält.

27. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß das Erfassungsmittel ein kapazitiver Beschleunigungssensor ist, der die Kapazitätsänderung eines Kondensators aufgrund der Verlagerung eines an einem Seitenpol des Kondensators angeordneten Pendelgewichtsabschnittes erfaßt.

28. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß das Beschleunigungserfassungmittel im Abstand von den An schlußmitteln auf dem flexiblen Substrat angebracht wird, so daß nach dem Falten das Beschleunigungserfassungmittel über der oberen Platte und die Anschlußmittel an der anderen, unter der oberen Platte befindlichen Platte befestigt sind.

29. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine der Platten eine Größe aufweist, die es dem Faltbereich des flexiblen Substrats ermöglicht, die eine Platte gegenüber der anderen Platte elastisch abzustützen.

30. Verfahren zum Herstellen eines Beschleunigungssensors, gekennzeichnet durch folgende Schritte:

a) Anbringen eines Beschleunigungserfassungs-Mittels an einem starren Substrat;
b) Anbringen eines Signalverarbeitungsmittels an dem starren Substrat;
c) Anordnen von Abstandhaltern aus einem elastischem Material an jeder Ecke des starren Substrats, so daß die Abstandhalter zumindest das Beschleunigungserfassungs-Mittel in der Beschleunigungswirkrichtung elastisch halten;
d) Einrichten von Anschlußmitteln, die zumindest das Signalverarbeitungsmittel an eine äußere Einrichtung anzuschließen erlauben; und
e) Anbringen eines Bodenteils, um das starre Substrat, das Beschleunigungserfassungs-Mittel, das Signalverarbeitungs mittel und die Abstandhalter in dem Gehäuse einzuschließen.

31. Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse rechtwinklig und jeder Abstandhalter hohl mit einer Eingriffsausnehmung ausgebildet ist und die Abstand halter an allen vier Ecken des Gehäuses angeordnet sind, und daß das starre Substrat so in das rechtwinklige Gehäuse eingesetzt ist, daß es innerhalb der hohlen Teile der Abstandhalter gehalten wird.

32. Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandhalter obere und untere Positioniervorsprünge aufweisen, die jeweils eine abgestufte Fläche des Gehäuses und die obere Fläche des Bodens berühren, welcher das starre Substrat und die Abstandhalter in dem Gehäuse einschließt.

33. Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke von ebenen Teilen der Abstandhalter entsprechend einem vorgegebenen Umfang der elastischen Aufhängung für die Beschleunigungserfassungmittel in den jeweiligen Unter stützungsrichtungen ausgewählt wird.

34. Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß ein elastisches Material für jeden Abstandhalter entspre chend einem vorgegebenen Umfang der elastischen Aufhängung für die Beschleunigungserfassungmittel ausgewählt wird.

35. Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß das Beschleunigungs-Erfassungsmittel einen Halbleiter-Be schleunigungssensor auf einem Silikonsubstrat aufweist und daß der Halbleiter-Beschleunigungssensor einen Pendel gewichtsabschnitt etwa in Form eines Auslegers, einen Dehnungsmeßbereich mit einem Piezowiderstandselement an einem Basisbereich des Pendelgewichtsabschnittes sowie eine Signalverarbeitungsschaltung enthält, die ebenfalls auf dem Silkonsubstrat angeordnet sind.

36. Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß die Signalverarbeitungsschaltung zumindest eine Verstärker schaltung und eine Filterschaltung enthält.

37. Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß das Erfassungsmittel ein kapazitiver Beschleunigungssensor ist, der die Kapazitätsänderung eines Kondensators aufgrund der Verlagerung eines an einem Seitenpol des Kondensators angeordneten Pendelgewichtsabschnittes erfaßt.