DE4242585C1 - Meßsonde zur Bestimmung des ohmschen Oberflächen- und Volumenwiderstandes - Google Patents

Meßsonde zur Bestimmung des ohmschen Oberflächen- und Volumenwiderstandes

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Guenter Dipl Ing Eckardt
Hermann Schaufler
Sennor Stielke
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • G01R1/07307Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07314Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01RELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R2201/00Connectors or connections adapted for particular applications
    • H01R2201/20Connectors or connections adapted for particular applications for testing or measuring purposes

Description

Die Erfindung betrifft eine Meßsonde gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
In Betrieben, die elektrische, insbesondere elektronische Bauelemente verarbeiten, besteht Bedarf nach einer Meßsonde zur Bestimmung des ohmschen Oberflächen- und Volumenwider­ standes, z. B. der Verpackungen solcher Bauelemente. Diese Verpackungen bestehen häufig aus unebenen und unregelmäßig geformten Materialien, die auf ihre Tauglichkeit für elektrostatisch gefährdete Bauelemente getestet werden müssen.
Es ist eine Meßsonde der genannten Art bekannt, die eine Isolierstoffplatte aufweist, auf der zwei parallele Leisten aus elektrisch leitfähigem Material aufgebracht sind, die mit der Oberfläche des Prüflings kontaktiert werden. Die beiden Leisten sind mit zwei Anschlüssen für ein Widerstands- Meßgerät elektrisch verbunden. Diese bekannte Meßsonde eignet sich schlecht für unebene und unregelmäßig geformte Materialien.
Durch die Schrift DD 242 911 A1 ist ein Prüfnadelkopf bekannt, der aus einem Bündel elektrisch leitfähig miteinander verbundener, einzelner, sehr spitzkegelig geschliffener Prüfnadeln besteht. Dieser Prüfnadelkopf ist zum Leiterplattentest, nicht jedoch für die Messung des Oberflächen- und Volumenwiderstandes von Verpackungen von elektronischen Bauelementen geeignet.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßsonde zur Bestimmung des ohmschen Oberflächen- und Volumenwiderstandes eines Prüflings zu schaffen, die auch bei unebenen und unregelmäßig geformten Materialien genaue Meßergebnisse liefert.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch die Merkmale des kennzeichnenden Teiles des Patentanspruches 1. Jede Kontaktstiftreihe bildet dabei eine Meßelektrode und ist mit vorzugsweise seitlich an der Isolierstoffplatte angebrachten Anschlüssen für ein Widerstandsmeßgerät elektrisch verbunden. Die Kontaktstifte wirken als Kontaktgeber zwischen Prüfling und Meßgerät, gleichen sich unebenen Oberflächen an und tasten diese punktuell elektrisch ab.
Die erfindungsgemäße Meßsonde ist zur Beurteilung der Widerstandseigenschaften von nichtmetallischen, festen Werkstoffen der Elektrotechnik bzw. Elektronik anwendbar. Die Kontaktstifte können, ggf. zusammen mit einer diese tragenden Metalleiste, mit der Isolierstoffplatte auswech­ selbar verbunden sein, so daß die Form der Kontaktstifte an den jeweiligen Prüfling angepaßt werden kann. Auf diese Weise ist es z. B. möglich, wahlweise Kontaktstifte mit Kontaktspitzen oder flächenförmigen Kontaktteilen zu ver­ wenden.
Zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung sind nachfolgend anhand der Fig. 1 und 2 näher erläutert.
In den Fig. 1 und 2 ist eine Isolierstoffplatte 1 darge­ stellt, die seitlich zwei Abschlüsse 2 für ein Widerstands­ meßgerät trägt. Die Anschlüsse 2 sind bei dem Beispiel gemäß Fig. 1 mit zwei Metalleisten 3 elektrisch leitend ver­ bunden, welche auf der Isolierstoffplatte 1 befestigt sind und jeweils eine Reihe von Kontaktstiften 4 tragen. Die Kontaktstifte 4 federn senkrecht zur Isolierstoffplatte 1. Wird die Meßsonde mit den Kontaktstiften 4 auf einen Prüf­ ling aufgelegt, so passen sich die Kontaktstifte 4 in ihrer Lage an die Form der Oberfläche des Prüflings an, so daß eine genaue Messung gewährleistet ist. Für die Messung kann die Meßsonde durch ein Gewicht beschwert werden, das in ein Gewinde 5 der Isolierstoffplatte 1 eingeschraubt ist.
In der Fig. 2 ist dieses Gewicht dargestellt und mit 6 bezeichnet. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die Kon­ taktstifte 4 auf den Metalleisten 8 zickzackartig versetzt, also nicht wie bei dem Beispiel gemäß Fig. 1 längs einer Geraden ausgerichtet. Dadurch wird eine besonders gute Anpassung der Lage der Kontaktstifte 7 an die jeweilige Oberfläche des Prüflings gewährleistet.
Die Metalleisten 3, 8 können z. B. durch eine Schwalben­ schwanzführung mit der Isolierstoffplatte 1 verbunden sein, so daß sie zusammen mit den Kontaktstiften 4, 7 auswechsel­ bar sind. Dadurch können wahlweise jeweils geeignete Kontaktstifte, z. B. spitze Kontaktstifte oder Kontaktstifte mit größerer Andruckfläche verwendet werden.
Die Verbindung der Metalleisten 3, 8 mit den Anschlüssen 2 kann durch in der Isolierstoffplatte 1 vorgesehene Leitun­ gen erfolgen. Für die Messung wird die Meßsonde gemäß Fig. 1 oder 2 um 180° gedreht und von oben auf den Prüfling aufgelegt.

Claims (5)

1. Meßsonde zur Bestimmung des ohmschen Oberflächen- und Volumenwiderstandes eines Prüflings mit einer Isolierstoff­ platte (1), dadurch gekennzeich­ net, daß auf der Isolierstoffplatte (1) zwei Reihen von senkrecht zur Isolierstoffplatte (1) federnden Kontaktstiften (4, 7) angebracht sind, wobei die Kontaktstifte (4, 7) jeder Reihe elektrisch leitend miteinander verbunden sind.
2. Meßsonde nach Anspruch 1, bei der die Kontaktstifte (4, 7) in jeder Reihe längs einer Geraden ausgerichtet sind.
3. Meßsonde nach Anspruch 1, bei der die Kontaktstifte (4, 7) in jeder Reihe zickzackartig versetzt sind.
4. Meßsonde nach Anspruch 1-3, bei der die Kontaktstifte (4, 7) mit der Isolierstoffplatte (1) auswechselbar verbun­ den sind.
5. Meßsonde nach Anspruch 4, bei der die Kontaktstifte (4, 7) einer Reihe in einer Metalleiste (3, 8) gelagert sind, welche mit der Isolierstoffplatte (1) auswechselbar verbun­ den ist.
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