DE4223987A1 - Vorrichtung fuer grossflaechiges ionenaetzen - Google Patents
Vorrichtung fuer grossflaechiges ionenaetzenInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung für groß
flächiges, homogenes Ionenätzen mittels einer Vakuuman
lage, mit einem Rezipienten, der Gasein- und Gasauslaßöff
nungen aufweist, mit wenigstens einer flächenhaft ausge
bildeten und auf Massepotential befindlichen Anode und
einer dazu weitgehend parallel angeordneten Kathode, die
als Substrathalter vorgesehen und mit einer HF-Spannungs
quelle verbunden ist.
Vorrichtungen, die zum Ionenätzen geeignet sind und in
nerhalb von Vakuumanlagen betrieben werden, in denen eben
so Sputterprozesse durchführbar sind, sind hinlänglich
bekannt. Nur beispielsweise seien an dieser Stelle zwei
Druckschriften DE-22 41 229 C2 und DE-21 49 606 genannt,
in denen Vorrichtungen beschrieben sind, die neben Sub
stratbeschichtung mittels Kathodenzerstäubung, durch
bloßes Umpolen der Elektroden, auch Ionenätzen ermög
lichen.
In der DE-22 41 229 C2 wird zum Ionenätzen von Substraten
durch eine Glimmentladung ein sogenanntes geschlossenes
System beschrieben, innerhalb dessen sich ein Plasma aus
bildet, das für den Materialabtrag auf dem Substrat er
forderlich ist und von den Elektrodenflächen weitgehend
umschlossen wird. Ein steter Gasaustausch innerhalb des
Plasmavolumens findet dabei nicht statt. Die Aufrechter
haltung eines stabilen Plasmas innerhalb der geschlossenen
Ätzkammer erfordert jedoch zum einen einen hochpräzisen
mechanischen Einschluß, d. h. eine hochgenaue gegenseitige
Anbringung der Elektrodenflächen unter Berücksichtigung
genau einzuhaltender Abstandserfordernisse und zum anderen
eine präzise Einstellung der Potentialverhältnisse zwi
schen der auf Masse liegenden Kathode, an der das zu
ätzende Substrat angebracht ist und der darüberbefind
lichen Anode.
Ferner ist zum gleichmäßigen Materialabtrag von der Sub
stratfläche eine weitgehend homogene Verteilung der Plas
madichte oberhalb des Substrats notwendig. In Verbindung
mit dem herrschenden Potentialgefälle können sich aber
auch durchaus unterschiedliche Ätzraten, aufgrund lokaler
Unterschiede in den für den Ätzprozeß bestimmenden Para
metern (z. B. Plasmadichte, Elektrodenabstand und Span
nungsverhältnis), auf der Substratoberfläche ausbilden.
Mit den an sich bekannten Ätzvorrichtungen, wie sie bei
spielsweise in den vorgenannten Druckschriften beschrieben
sind, können weitgehend homogene Ätzraten auf scheiben
förmigen Substratkörpern mit einem Durchmesser von bis zu
150 mm erzielt werden. Größere Substratflächen sind jedoch
mit den bisher bekannten Ätzvorrichtungen nicht in der
beschriebenen Gleichmäßigkeit ätztechnisch zu behandeln,
da insbesondere an den Substratrandbereichen eine ge
ringere Abtrageräte auftritt als im Mittelbereich des
Substrats. Dies liegt hauptsächlich daran, daß sich das
Plasma an den Substratrandbereichen aufgrund von Plasma
ausflüssen erheblich verdünnt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung
für großflächiges, homogenes Ionenätzen innerhalb einer
Vakuumanlage, mit einem Rezipienten, der Gasein- und Gas
auslaßöffnungen aufweist, derart weiterzubilden, daß die
Aufrechterhaltung eines stabilen Plasmas innerhalb des
Rezipientengehäuses vereinfacht wird und die Gleichmäßig
keit der Abtragerate auch bei größerflächigen Substraten,
als die mit den bisher bekannten Ätzvorrichtungen bisher
handhabbaren Substrate, gewährleistet werden kann.
Eine erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist im An
spruch 1 angegeben. Weiterbildungen der Erfindung sind
Gegenstand der Unteransprüche.
Erfindungsgemäß ist eine Vorrichtung für großflächiges,
homogenes Ionenätzen innerhalb einer Vakuumanlage, mit
einem Rezipienten, der Gasein- und Gasauslaßöffnungen
aufweist, mit wenigstens einer flächenhaft ausgebildeten
und auf Massepotential befindlichen Anode und einer dazu
weitgehend parallel angeordneten Kathode, die als Sub
strathalter vorgesehen mit einer HF-Spannungsquelle ver
bunden ist, derart angegeben, daß die Anodenoberfläche
stufenförmige Bereiche aufweist, die jeweils unterschied
lich weit von der Kathode beabstandet sind.
Das Prinzip des Ionenätzens mittels einer Vakuumkammer
beruht darauf, daß zwischen den zwei Elektrodenflächen,
von denen die Kathode den, das Substrat tragenden, nega
tiven Pol darstellt und die Anode, die flächenhaft der
Kathode gegenüberliegend angeordnet ist, Inertgas einge
leitet wird. Zumeist handelt es sich hierbei um Argon-Gas.
Zusätzlich wird an eine der beiden Elektroden eine HF-
Hochspannung angelegt, damit das zwischen den Elektroden
eingespeiste Inertgas dissoziiert und sich zu einem sta
tionären Plasma ausbildet. Die dabei entstehenden posi
tiven Argon-Ionen werden aufgrund elektrostatischer An
ziehung in Richtung der negativ geladenen Substratober
fläche beschleunigt und lösen beim Aufprall auf der Sub
stratoberfläche in Abhängigkeit ihrer kinetischen Energie
und den energetischen Oberflächenverhältnissen des Sub
strats eine bestimmte Menge an Substratmaterial aus. In
einem offenen System, in dem parallel zur Substratober
fläche ein Gasstrom aufrecht erhalten wird, werden somit
die abgesputterten Substratpartikel auf der Anode abge
schieden oder falls gasförmige Verbindungen entstehen,
werden diese aus dem Plasmavolumen in den Gasstrom ent
fernt, wodurch die chemische Zusammensetzung und damit
verbunden die elektronischen Verhältnisse innerhalb der
Plasmawolke unverändert bleiben.
Prinzipiell richtet sich die Ätzrate nach der pro Zeit auf
die Substratoberfläche auftreffenden Argonionenzahl, die
sich vornehmlich nach der Anzahl der über der Substratober
fläche befindlichen ionisierten Argonatome richtet. Bei
gegebenem Druck des in der Anlage vorhandenen Argongases
und gegebener Hochspannung zwischen der Kathode und dem
Gegenpotential brennt nur dann ein Plasma, wenn der Ab
stand zwischen den beiden Potentialen ausreichend groß
ist. Der Grund hierfür besteht darin, daß Ionen und Elek
tronen auf dem Wege zwischen den beiden Potentialen Stöße
ausführen, bei denen neue Ionen und Elektronen erzeugt
werden. Ist die Zahl der Stöße zu klein, beispielsweise
bei zu geringem Druck oder zu geringem Abstand zwischen
den beiden Potentialen, dann ist die Ionen- Elektronen
konzentration zu gering und das Plasma erlischt.
Will man umgekehrt vermeiden, daß zwischen zwei Flächen,
von denen eine Hochspannung führt, ein Plasma brennt, so
müssen diese Flächen so nahe zusammengerückt werden, daß
nur wenig Elektronenionen-Paare entstehen. Allein diese
Überlegung zeigt bereits, daß man durch Variation des
Abstandes zwischen den sich gegenüberliegenden Elektroden
einen genau einzustellenden Regelparameter besitzt, um die
Ätzrate auf der Substratoberfläche beliebig wählen zu
können.
Die Erfindung wird nachstehend ohne Beschränkung des all
gemeinen Erfindungsgedankens anhand von Ausführungsbei
spielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung exemplarisch
beschrieben, auf die im übrigen bezüglich der Offenbarung
aller im Text nicht näher erläuterten erfindungsgemäßen
Einzelheiten ausdrücklich verwiesen wird. Es zeigen:
Fig. 1 einen Querschnitt durch ein, die erfindungsge
mäßen Elektroden aufweisendes Rezipientenge
häuse,
Fig. 2 eine Draufsicht auf die erfindungsgemäße Stufen
anode.
Fig. 3 einen weiteren Querschnitt durch ein, die
erfindungsgemäßen Elektroden aufweisendes
Rezipientengehäuse.
Die in Fig. 1 dargestellte Seitenansicht eines Rezipi
entengehäuses, in dem die erfindungsgemäßen Elektroden
angeordnet sind, weist eine mittig angeordnete, flächen
hafte Elektrode 1 auf, die über ein spezielles Hochfre
quenzanpassungsnetzwerk 5 mit einer HF-Quelle 7 mit Hoch
spannung versorgt wird. Ihr gegenüberliegend innerhalb des
Rezipientengehäuses 4 befindet sich eine stufenförmig
ausgebildete Gegenelektrode 3, die vorzugsweise auf Masse
potential liegt. Die Elektrode 1 ist dabei durch einen
Kondensator mit der HF-Quelle 7 gekoppelt, ansonsten aber
gegen Erdpotential isoliert ausgeführt, so daß die Elek
trode 1 eine gegen Erdpotential von Null verschiedenes
Potential aufweisen kann. Ferner weist die Elektrode 1
gegenüber der Elektrode 3 und dem Rezipientengehäuse 4
eine kleinere Oberfläche auf, so daß die Elektrode 1 stets
negativ vorgespannt ist, wenn ein Plasma in dem Rezipi
enten R gezündet wird. Durch ein Gaseinlaßventil 2 tritt
Argongas in das Innere des Rezipienten R ein, überströmt
dabei die Elektrodenanordnung und wird auf der gegenüber
liegenden Seite durch ein geeignet angebrachtes Gasaus
laßventil 6 durch eine entsprechende Vakuumpumpe (nicht
dargestellt) wieder abgepumpt. Der Gaseinlaß 2 in den Re
zipienten R ist durch ein zusätzlich angebrachtes Fluß
meter (ebenfalls nicht dargestellt) regelbar. Der sich im
Rezipienten R dabei einstellende Arbeitsdruck beträgt
zwischen 10-3 und 10-2 hPa. Wegen der zwischen den Elek
troden 1 und 3 anliegenden Hochspannung werden die im
Zwischenraum der Elektroden befindlichen Argon-Atome
ionisiert und auf die Substratoberfläche beschleunigt.
Dort lösen sie aufgrund ihrer hohen kinetischen Energie in
Form von Stoßprozessen Substratpartikel aus. Diese Sub
stratpartikel werden entweder auf der gegenüberliegenden
Anode erneut abgeschieden oder falls diese mit einem zu
gesetzten Reaktivgas eine gasförmige Verbindung eingehen
durch Abpumpen aus dem Rezipienten R entfernt. Der offene
Aufbau mit stetiger Gaszuführung und Gasentfernung gewähr
leistet folglich eine weitgehend konstante Gaszusammen
setzung innerhalb des Rezipienten R.
Die Stufenanordnung der Ätzanode 3 ist dabei derart kon
zipiert, daß sie in der Fig. 1 dargestellten Ausführungs
form im Bereich des Gaseinlasses am weitesten von der
Kathode beabstandet ist, da dort die frisch in das Rezi
pientengehäuse eingeleiteten Argonatome zunächst erst
ionisiert werden müssen, damit sie zum Ätzprozeß beitragen
können. Erst nach einer Mindestverweildauer zwischen den
Elektrodenplatten werden die Argonatome durch Stoßprozesse
ionisiert, was dazu führt, daß die Argonionenkonzentration
im Bereich des Gaseinlasses geringer ist als im Bereich
des Gasauslasses. Ferner ist bekannt, daß die Ätzrate
abhängig ist von dem Arbeitsdruck, so daß bedingt durch
lokal unterschiedliche Arbeitsdrücke z. B. im Bereich des
Gaseinlasses 2 oder -auslasses 8 unterschiedliche Ätzraten
auftreten können. Um diese genannten unerwünschten Effekte
zu vermeiden und im gesamten Bereich der Substratfläche
eine einheitliche Ätzrate zu erzielen, wird - wie bereits
beschrieben - der gegenseitige Elektrodenabstand in Be
reichen zunehmender Argonionenkonzentration verringert.
Dies führt schließlich zu einer Stufenstruktur der Ätz
anode, wie sie in Fig. 1 dargestellt ist.
Fig. 2 stellt die Draufsicht auf die erfingungsgemäße
flächenhafte Stufenstruktur der Anode dar, wie sie bei
spielsweise in Fig. 1 im Querschnitt wiedergegeben ist.
Die treppenförmige Gestaltung der Oberfläche der Anode 3
erzeugt stufenförmige Bereiche 8, die in der Fig. 2 je
weils durch "Höhenlinienzüge voneinander getrennt sind.
Ein, die quadratische Anode 3 der Kantenlänge L, um
gebender Rahmen 9 sorgt für eine geeignete Positionierung
der Anode 3 innerhalb des Rezipientengehäuses 4.
Natürlich sind davon abweichende Stufenformanordnungen
denkbar, so z. B. eine Stufenüberhöhung im Mittelbereich
der Elektrodenanordnung, die zu den Randbereichen hin
jeweils abfällt. Eine derartige erfindungsgemäße Anoden
ausgestaltung gibt Fig. 3 wieder. Man hat erkannt, daß
die Plasmaausdünnung speziell in den Randbereichen dadurch
verringert werden kann, wenn die Elektrodenbeabstandung
stufenweise zu den Randbereichen vergrößert wird. Durch
eine stufenpyramidenförmige Anodenstruktur mit beliebig
vielen Stufenbereichen 8′ kann somit der Plasmaausdünnung
entgegengewirkt werden.
Grundsätzlich kann mit der erfindungsgemäßen Ausgestaltung
der Ätzanode die lokale Ätzrate durch eine Variation in
der Elektrodenbeabstandung individuell eingestellt werden.
Somit ist es zum erstenmal möglich, quadratische Substrat
flächen mit einer Seitenlänge von bis zu 50 cm in einem
bisher unerreichbar homogenen Maße zu ätzen.
Gerade die Herstellung von Halbleiterbausteinen in großer
Stückzahl erfordert eine nach den Maßstäben der Massenpro
duktion ausgelegte Prozeßführung. Um den Wechsel einer
Ätzcharge zur nächsten so schnell wie möglich vornehmen zu
können, ist die Kathode mit den an ihr befestigten Sub
straten beweglich gelagert, so daß sie in die Ätzkammer
fahrbar ist. Dies erleichtert erheblich den Substrat
wechsel und sorgt für eine weitgehend optimale Ausnutzung
der Ätzanlage, was sich letztlich kostenmindernd auf die
Produktion auswirkt.
Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann die Ätztechnik
derart weitergebildet werden, daß kostengünstig groß
flächige Substrate in gewünschter Weise homogen bearbeitet
werden können.
Claims (15)
1. Vorrichtung für großflächiges, homogenes Ionenätzen
innerhalb einer Vakuumanlage, mit einem Rezipienten
(R), der Gasein- (2) und Gasauslaßöffnungen (6) auf
weist, mit wenigstens einer flächenhaft ausgebildeten
und auf Massepotential befindlichen Anode (3) und
einer dazu weitgehend parallel angeordneten Kathode
(1), die als Substrathalter vorgesehen mit einer HF-
Spannungsquelle (7) verbunden ist, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Anodenoberfläche stufenförmige
Bereiche (8) aufweist, die jeweils unterschiedlich
weit von der Kathode beabstandet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Elektrodenform quadratisch ist und eine Sei
tenlänge (L) von bis zu 50 cm aufweist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß im Bereich des Gaseinlasses (2) der
Abstand zwischen den Elektroden am größten und im
Bereich des Gasauslasses (6) am geringsten ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß sich zwischen den Elektroden ein
mit dem Substrat reaktives Plasma ausbildet.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß zwei Anoden (3, 3′) vorgesehen
sind, die sich flächenhaft gegenüberliegen und in der
Ebene mittleren Abstands von beiden Anoden (3, 3′) die
Kathode (1) vorgesehen ist.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Plasmaausdehnung durch die
Elektrodenbeabstandung beeinflußbar ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß der Mittenbereich der Anode stufen
förmige Abschnitte (8′) aufweist, die zur Kathode
einen kleineren Abstand aufweisen als deren Randbe
reiche.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7 dadurch
gekennzeichnet, daß die Stufenanode in Sputteranlagen
modular einsetzbar ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß der Ätzprozeß in einem offenen
System, bei dem ein ständiger Gasaustausch innerhalb
des Rezipienten (R) vorgesehen ist, stattfindet.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, daß sich Gasein- (2) und Gasauslaß
öffnungen (6) am Rezipientengehäuse (4) gegenüber
liegen.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, da
durch gekennzeichnet, daß der Arbeitsdruck innerhalb
des Rezipienten zwischen 10-3 und 10-2 hPa beträgt.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, da
durch gekennzeichnet, daß die Kathode (1) zur Be
stückung mit Substraten verfahrbar angeordnet ist.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, da
durch gekennzeichnet, daß die Kathode (1) über ein
HF-Anpassungsnetzwerk (5) mit der HF-Spannungsquelle
(7) verbunden ist.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, da
durch gekennzeichnet, daß der Gaseinlaß (2) in den
Rezipienten (R) durch ein Flußmeter regelbar ist.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, da
durch gekennzeichnet, daß das Kathodenpotential durch
die HF-Leistung einstellbar ist.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4223987A DE4223987C2 (de) | 1991-11-13 | 1992-07-21 | Vorrichtung für großflächiges Ionenätzen |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE4137257 | 1991-11-13 | ||
DE4223987A DE4223987C2 (de) | 1991-11-13 | 1992-07-21 | Vorrichtung für großflächiges Ionenätzen |
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---|---|
DE4223987A1 true DE4223987A1 (de) | 1993-05-19 |
DE4223987C2 DE4223987C2 (de) | 2001-07-05 |
Family
ID=6444667
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4223987A Expired - Fee Related DE4223987C2 (de) | 1991-11-13 | 1992-07-21 | Vorrichtung für großflächiges Ionenätzen |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5292394A (de) |
DE (1) | DE4223987C2 (de) |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
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|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
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|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |