DE4220015A1

DE4220015A1 - Gas friction vacuum pump with high vacuum section and pre-vacuum section - has cooling system for high vacuum section and pump is equipped with heater at its pre-vacuum section

Info

Publication number: DE4220015A1
Application number: DE4220015A
Authority: DE
Inventors: Guenter Schuetz; Markus Szirmay
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1992-06-19
Filing date: 1992-06-19
Publication date: 1993-12-23

Abstract

The pump is equipped with one or more heat conducting resistances (37). The pump is provided on its high vacuum (HV) side with air cooling or liquid cooling (41). A regulating unit (43) is provided, which regulates the cooling and/or the heating dependent on signals, which are transmitted by one or more temp. sensors (44). The pump is designed as a turbo-molecular pump with a housing (1) and a stator (4), which has several distance rings (10). The pump is driven across a shaft (13) of a turbine runner (6) by means of a drive motor (16) designed as a slotted tube motor. USE/ADVANTAGE - Chemical processes. Pump cooled in manner so that solid matter build up problem is substantially eliminated.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Gasreibungsvakuumpumpe mit einem Hochvakuum (HV)-Bereich und einem Vorvakuum (VV)-Bereich, sowie mit einer Kühlung.The invention relates to a gas friction vacuum pump a high vacuum (HV) area and a fore vacuum (VV) area, as well as with cooling.

Zu den Gasreibungsvakuumpumpen gehören Molekularpumpen, Turbomolekularpumpen und Kombinationen davon. Die pumpaktiven Flächen einer Molekularpumpe werden von den einander zugewandten Flächen eines Rotors und eines Stators gebildet, wobei der Rotor und/oder der Stator mit einer gewindeähnlichen Struktur ausgerüstet sind. Turbomolekularpumpen weisen - ähnlich wie eine Turbine - Rotor- und Statorschaufeln auf, welche die pumpaktiven Flächen bilden. Die auf der Eintrittsseite befindlichen pumpaktiven Flächen bilden den Hochvakuum (HV)-Bereich. Die der Austrittsseite benachbaren pumpaktiven Flächen werden mit Vorvakuum (VV)-Bereich bezeichnet. Kombinierte Gasreibungspumpen sind in der Regel im HV-Bereich als Turbomolekularpumpe und im VV-Bereich als Molekularpumpe ausgebildet.Gas friction vacuum pumps include molecular pumps, Turbomolecular pumps and combinations thereof. The pump active areas of a molecular pump are determined by the mutually facing surfaces of a rotor and a stator formed, the rotor and / or the stator with a thread-like structure. Turbomolecular pumps have - similar to a turbine - rotor and stator blades which form the active pumping surfaces. The one on the Pump-active surfaces located on the inlet side form the High vacuum (HV) range. Those adjacent to the exit side Pump-active areas come with a pre-vacuum (VV) area designated. Combined gas friction pumps are usually in the HV range as a turbomolecular pump and in the VV range as Molecular pump trained.

Gasreibungsvakuumpumpen der beschriebenen Art sind für die Erzeugung eines Hochvakuums (ab 10^-3 mbar und weniger) geeignet. Sie benötigen eine sich an den VV-Bereich anschließende Vorvakuumpumpe, z. B. eine Drehschieberpumpe. Gas friction vacuum pumps of the type described are suitable for generating a high vacuum (from 10 ^-3 mbar and less). You need a backing pump connected to the VV area, e.g. B. a rotary vane pump.

Pumpen der beschriebenen Art werden immer häufiger zur Evakuierung von Kammern oder Rezipienten eingesetzt, in denen chemische Prozesse, wie Beschichtungs- oder Ätzprozesse usw., ablaufen. Bei derartigen Applikationen fallen relativ grobe Gasmengen an, die bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung des erforderlichen Vakuums von der Gasreibungsvakuumpumpe abgefördert werden müssen. Grobe Gasmengen bedeutet für die pumpaktiven Flächen eine hohe thermische Belastung. Auch der Antriebsmotor und die Rotorlagerungen - seien sie als Wälzlager oder als Magnetlager ausgebildet - tragen zur Wärmeerzeugung bei. Schließlich kann bei den geschilderten Einsätzen das Prozeßgas selbst warm sein. Bei den in chemischen Prozessen eingesetzten Gasreibungsvakuumpumpen ist es deshalb erforderlich, diese in an sich bekannter Weise mit einer Kühlung auszurüsten.Pumps of the type described are becoming more and more common Evacuation of chambers or recipients used in which chemical processes, such as coating or etching processes etc., expire. In such applications, relatively coarse fall Quantities of gas which, while maintaining the required vacuum is discharged from the gas friction vacuum pump Need to become. Coarse amounts of gas means for the pump-active Surfaces subject to high thermal stress. The drive motor too and the rotor bearings - be they as roller bearings or as Magnetic bearings designed - contribute to the generation of heat. Finally, the process gas in the operations described be warm yourself. For those used in chemical processes Gas friction vacuum pumps, it is therefore necessary to in this equip themselves with cooling in a known manner.

Bei den geschilderten Einsatzfällen besteht das Problem der Feststoff-Belastung der Gasreibungsvakuumpumpe. Die Bildung und Abscheidung von Feststoffen kann aufgrund chemischer Reaktionen von Bestandteilen der abzupumpenden Gase untereinander, durch Reaktionen von Gasbestandteilen an den pumpaktiven Flächen und/oder durch katalytische Effekte erfolgen. Die Abscheidung von Feststoffen führt zu Schichtbildungen, die insbesondere in Vakuumpumpen mit kleinen Spalten sehr bald Verengungen der Spalte und damit eine Abnahme der Leistung der Pumpe zur Folge haben. Auch Abrasionen, Spielaufzehrungen usw. treten auf, die mit erhöhten Verschleißerscheinungen einhergehen und damit zu reduzierten Standzeiten führen.In the cases described, there is the problem of Solid load of the gas friction vacuum pump. Education and Deposition of solids can occur due to chemical reactions of components of the gases to be pumped out among themselves, by Reactions of gas components on the pump-active surfaces and / or by catalytic effects. The deposition of solids leads to layer formation, particularly in Vacuum pumps with small gaps very soon narrow the gaps and consequently a decrease in the performance of the pump. Abrasions, game exhaustion etc. also occur with increased signs of wear and tear lead to reduced downtimes.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Gasreibungsvakuumpumpe der eingangs erwähnten Art derart zu kühlen, daß die geschilderten, mit dem Einsatz der Pumpe bei chemischen Prozessen verbundenen Feststoffbildungs-Probleme weitestgehend beseitigt sind. The present invention has for its object a Gas friction vacuum pump of the type mentioned in the introduction cool that outlined with the use of the pump problems associated with chemical processes are largely eliminated.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Kühlung der Pumpe in den HV-Bereich eingeleitet wird. Im Gegensatz zur üblichen Kühlung von Turbomolekularvakuumpumpen, die grundsätzlich von der VV-Seite her erfolgt, werden die Kühleinrichtungen nach der Erfindung hochvakuumseitig angeordnet, so daß die Kühlung der Pumpe zur Hauptsache von dieser Seite her erfolgt. Diese Maßnahme beruht auf der Erkenntnis, daß eine besonders wirksame Kühlung im HV-Bereich die Bildung von Feststoffen wegen des geringen Drucks noch nicht begünstigt. Von Bedeutung ist es, daß die pumpaktiven Flächen im W-Bereich wärmer sind als im HV-Bereich, da die Feststoffbildung mit zunehmendem Druck und abnehmender Temperatur begünstigt wird. Da bei erfindungsgemäß ausgebildeten Gasreibungsvakuumpumpen neben dem Druck auch die Temperatur zunimmt, kommt es innerhalb der Gasreibungspumpe nicht oder nur kaum zu den befürchteten Feststoffbildungen.According to the invention this object is achieved in that the Cooling the pump is initiated in the HV range. in the Contrary to the usual cooling of turbomolecular vacuum pumps, which basically takes place from the VV side, are the Cooling devices according to the invention arranged on the high vacuum side, so the cooling of the pump mainly from this side he follows. This measure is based on the knowledge that a particularly effective cooling in the HV range Solids not favored because of the low pressure. From It is important that the pumping areas in the W area are warmer than in the HV range because the solid formation with increasing pressure and decreasing temperature is favored. There in the case of gas friction vacuum pumps designed according to the invention in addition the pressure also increases the temperature, it occurs within the Gas friction pump not or hardly to the feared Solid formations.

Da insbesondere bei magnetgelagerten Gasreibungspumpen der Motor und seine Lagerungen nur einen unwesentlichen Beitrag zur thermischen Belastung der Vakuumpumpe liefern, kann es sogar zweckmäßig sein, im Vorvakuum-Bereich eine Heizung vorzusehen, um die in diesem Bereich gewünschten, relativ hohen Betriebstemperaturen aufrechtzuerhalten. Es muß lediglich sichergestellt sein, daß die oberen Temperaturgrenzen der im VV-Bereich befindlichen Bauteile - Motor, Magnetmaterial, Wälzlager, Rotorschaufeln (Fliehkraftfestigkeit) usw. - nicht überschritten werden. Nur dann, wenn im VV-Bereich zu hohe Temperaturen auftreten, ist auch im VV-Bereich eine Kühlung notwendig. Die Wirkung dieser Kühlung muß so gering gewählt werden, daß das gewünschte Temperaturprofil im Sinne der vorliegenden Erfindung erhalten bleibt.Since the motor is particularly important for magnetic friction gas pumps and its storage only makes an insignificant contribution to it can even deliver thermal stress to the vacuum pump be useful to provide heating in the fore-vacuum area the relatively high desired in this area Maintain operating temperatures. It just has to be sure that the upper temperature limits of the in Components located in the VV area - motor, magnetic material, Rolling bearings, rotor blades (centrifugal strength) etc. - not be crossed, be exceeded, be passed. Only if the VV range is too high Temperatures occur, is also cooling in the VV area necessary. The effect of this cooling must be chosen so low be that the desired temperature profile in the sense of present invention is preserved.

Um das gesetzte Ziel zu erreichen, kann es weiterhin zweckmäßig sein, einen Wärmeleitwiderstand zwischen dem HV-Bereich und dem W-Bereich der erfindungsgemäßen Gasreibungsvakuumpumpe vorzusehen. Durch diesen Widerstand wird erreicht, daß die Wirkung der in den HV-Bereich eingeleiteten Kühlung im VV-Bereich begrenzt ist, so daß dort die gewünschten, relativ hohen Temperaturen aufrecht erhalten werden können. Sind sowohl im HV-Bereich eine Kühlung als auch im VV-Bereich eine Heizung vorgesehen, dann verhindert der Wärmeleitwiderstand einen unnötigen Temperaturausgleich und damit eine wirtschaftliche Aufrechterhaltung des Temperaturgefälles.In order to achieve the goal set, it can continue to be useful be a thermal resistance between the HV range and the W range of the gas friction vacuum pump according to the invention to provide. This resistance ensures that the Effect of the cooling introduced in the HV area in the VV area is limited, so that the desired, relatively high Temperatures can be maintained. Are both in HV area cooling and in the VV area heating provided, then the thermal resistance prevents one unnecessary temperature compensation and therefore an economical one Maintaining the temperature gradient.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Fig. 1 und 2 dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigenFurther advantages and details of the invention will be explained with reference to exemplary embodiments shown in FIGS. 1 and 2. Show it

Fig. 1 eine erfindungsgemäß ausgebildete Turbomolekularvakuumpumpe mit einer Luftkühlung und Fig. 1 is a turbomolecular vacuum pump designed according to the invention with an air cooling and

Fig. 2 eine Turbomolekularvakuumpumpe mit einer Flüssigkeitskühlung. Fig. 2 is a turbomolecular vacuum pump with a liquid cooling.

Die in den Fig. 1 und 2 dargestellten Turbomolekularvakuumpumpen weisen die Gehäuseteile 1, 2 und 3 auf. Das Gehäuseteil 1 umgibt den Stator 4. Der Stator 4 besteht aus mehreren Distanzringen 10, zwischen denen die Statorschaufeln 5 gehaltert sind. Die Statorschaufeln 5 und die am Rotor 6 befestigten Rotorschaufeln 7 sind wechselnd in Reihen angeordnet und bilden den ringförmigen Gasförderkanal 8. Der Gasförderkanal 8 verbindet den Einlaß 9 der Pumpe, gebildet vom Anschlußflansch 11, mit dem Auslaß 12, an den üblicherweise eine Vorvakuumpumpe angeschlossen ist.The turbomolecular vacuum pumps shown in FIGS . 1 and 2 have the housing parts 1 , 2 and 3 . The housing part 1 surrounds the stator 4 . The stator 4 consists of a plurality of spacer rings 10 , between which the stator blades 5 are held. The stator blades 5 and the rotor blades 7 attached to the rotor 6 are alternately arranged in rows and form the annular gas delivery channel 8 . The gas delivery channel 8 connects the inlet 9 of the pump, formed by the connecting flange 11 , to the outlet 12 , to which a forevacuum pump is usually connected.

Der Rotor 6 ist auf einer Welle 13 befestigt, die sich ihrerseits über Magnetlagerungen 14 und 15 im Gehäuse der Pumpe abstützt. Zwischen den beiden Magnetlagerungen 14 und 15 befindet sich der Antriebsmotor 16, der von der Spule 17 und dem mit der Welle 13 rotierenden Anker 18 gebildet wird. Der Antriebsmotor 16 ist als Spaltrohrmotor ausgebildet. Das zwischen Spule 17 und Anker 18 angeordnete Spaltrohr ist mit 19 bezeichnet. Die Spule 17 befindet sich in einem vom Spaltrohr und vom Gehäuseteil 3 gebildeten Raum 21, der für die von der Pumpe 1 geförderten Gase nicht zugänglich ist. The rotor 6 is fastened on a shaft 13 , which in turn is supported in the pump housing via magnetic bearings 14 and 15 . The drive motor 16 , which is formed by the coil 17 and the armature 18 rotating with the shaft 13, is located between the two magnetic bearings 14 and 15 . The drive motor 16 is designed as a canned motor. The can between the coil 17 and the armature 18 is designated 19. The coil 17 is located in a space 21 formed by the canned tube and by the housing part 3 , which is not accessible for the gases conveyed by the pump 1 .

Das obere Magnetlager 14 ist als passives Magnetlager ausgebildet. Es besteht aus rotierenden Ringscheiben 22, welche auf der Welle 13 befestigt sind, und ortsfesten Ringscheiben 23, die von der Hülse 24 umgeben sind. Das weitere Magnetlager 15 ist teilweise aktiv (in axialer Richtung) und teilweise passiv (in radialer Richtung) ausgebildet. Um dieses zu erreichen, sind auf der Welle 13 Ringscheiben 25 befestigt, welche jeweils aus einem Nabenring 26, einem Permanentmagnetring 27 und einem Armierungsring 28 bestehen. Diese Armierungsringe haben die Aufgabe, Zerstörungen der Permanentmagnetringe 27 infolge der hohen Fliehkräfte zu vermeiden.The upper magnetic bearing 14 is designed as a passive magnetic bearing. It consists of rotating ring disks 22 , which are fastened on the shaft 13 , and stationary ring disks 23 , which are surrounded by the sleeve 24 . The further magnetic bearing 15 is partially active (in the axial direction) and partially passive (in the radial direction). To achieve this, 13 washers 25 are attached to the shaft, each consisting of a hub ring 26 , a permanent magnet ring 27 and a reinforcing ring 28 . These reinforcing rings have the task of preventing the permanent magnet rings 27 from being destroyed as a result of the high centrifugal forces.

Den rotierenden Permanentringen 27 sind feststehende Spulen 29 zugeordnet. Diese bilden Magnetfelder, die mit Hilfe des durch die Spulen fliegenden Stromes veränderbar sind. Die Änderungen des Spulenstromes erfolgen in Abhängigkeit von Axialsensoren, welche nicht dargestellt sind.Fixed coils 29 are assigned to the rotating permanent rings 27 . These form magnetic fields that can be changed with the help of the current flowing through the coils. The changes in the coil current are dependent on axial sensors, which are not shown.

Im Spalt zwischen den mit der Welle rotierenden Ringscheiben 25 befindet sich eine feststehende Ringscheibe 31 aus nicht magnetisierbarem Material hoher elektrischer Leitfähigkeit. Dieses Material bewirkt eine Lagerstabilisierung mit wirkungsvoller Wirbelstromdämpfung. Ein dem Magnetlager 15 entsprechendes Lager ist in der europäischen Patentschrift 155624 offenbart.In the gap between the ring disks 25 rotating with the shaft there is a fixed ring disk 31 made of non-magnetizable material with high electrical conductivity. This material stabilizes the bearings with effective eddy current damping. A bearing corresponding to the magnetic bearing 15 is disclosed in European patent 155624.

Die in Fig. 1 dargestellte Torbomolekularpumpe ist mit einer Luftkühlung 35 ausgerüstet. Bestandteil dieser Luftkühlung ist das Gebläse 36. Der vom Gebläse 36 erzeugte Kühlluftstrom ist nur auf den HV-Bereich der dargestellten Pumpe gerichtet. Die gewünschte Kühlung wird deshalb nur in diesem Bereich wirksam. Die Kühlluft kühlt zunächst den HV-seitigen Abschnitt des Gehäuses 1 und damit den HV-Bereich des dem Gehäuse 1 anliegenden Stators 4. Die Kühlung des Rotors 6 mit seinen Rotorschaufeln 7 erfolgt durch Strahlung. Die Kühlwirkung nimmt zur VV-Seite hin ab, so daß sich während des Betriebs dort höhere Temperaturen einstellen als im HV-Bereich.The torbomolecular pump shown in FIG. 1 is equipped with an air cooling 35 . The blower 36 is part of this air cooling. The cooling air flow generated by the fan 36 is directed only to the HV range of the pump shown. The desired cooling is therefore only effective in this area. The cooling air initially cools the HV-side section of the housing 1 and thus the HV region of the stator 4 which is in contact with the housing 1 . The rotor 6 with its rotor blades 7 is cooled by radiation. The cooling effect decreases towards the VV side, so that there are higher temperatures during operation than in the HV range.

Bestehen beispielsweise das Gehäuse 1 aus Edelstahl, ein schlechter Wärmeleiter, und die Statorringe 10 aus Aluminium, ein guter Wärmeleiter, dann kann es zweckmäßig sein, einen Wärmewiderstand 37 vorzusehen. Dieser ist als Ring aus schlecht wärmeleitendem Material ausgebildet und Bestandteil des Statorring-Paketes. Der Wärmewiderstand 37 trennt thermisch die HV-Seite des Stators von der VV-Seite, so daß der VV-seitige Bereich des Stators höhere Temperaturen annehmen kann.For example, if the housing 1 is made of stainless steel, a poor heat conductor, and the stator rings 10 are made of aluminum, a good heat conductor, then it may be expedient to provide a thermal resistor 37 . This is designed as a ring made of poorly heat-conducting material and part of the stator ring package. The thermal resistor 37 thermally separates the HV side of the stator from the VV side, so that the VV-side region of the stator can assume higher temperatures.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 hat der Wärmewiderstand 37 im Querschnitt die Form eines einfachen Ringes. Durch weitere Ringe wird seine Querschnittsform zu einem Statorring 10 ergänzt. Auch ein kompletter Statorring 10 kann aus wärmeisolierendem Material bestehen und den Wärmewiderstand 37 (vgl. Fig. 2) bilden. Schließlich besteht die Möglichkeit, zur Bildung des Wärmeleitwiderstandes einen Statorring stirnseitig mit einer wärmeisolierenden Schicht zu versehen.In the exemplary embodiment according to FIG. 1, the thermal resistance 37 has the shape of a simple ring in cross section. Its cross-sectional shape is supplemented by further rings to form a stator ring 10 . A complete stator ring 10 can also consist of heat-insulating material and form the thermal resistor 37 (see FIG. 2). Finally, it is possible to provide a stator ring on the end face with a heat-insulating layer in order to form the thermal resistance.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 ist die dargestellte Turbomolekularpumpe HV-seitig mit einem Kühlrohr 41 versehen, das mit dem Gehäuse 1 durch Löten oder Schweifen verbunden ist. Während des Betriebs ist das Rohr 41 von einem geeigneten Kühlmittel (z. B. Wasser) durchströmt. Gleichzeitig ist VV-seitig eine Heizung 42 vorgesehen, mit der die VV-Seite auf die gewünschte erhöhte Temperatur gebracht wird. Zur kontrollierten Aufrechterhaltung eines bestimmten Temperaturgefälles von der W-Seite zur HV-Seite ist eine nur schematisch dargestellte Regeleinrichtung 43 vorgesehen. Sie regelt die Temperatur oder die Menge des durch das Kühlrohr 41 strömenden Kühlmittels und/oder den der Heizung 42 zugeführten Strom, und zwar in Abhängigkeit von Signalen, die von einem oder mehreren Temperatursensoren geliefert werden. Ein Sensor 44 ist dargestellt. Mit ihm wird die Temperatur im VV-Bereich überwacht, die unter Einhaltung der oben erwähnten Temperaturgrenzen möglichst hoch sein soll.In the embodiment according to FIG. 2, the turbo-molecular pump shown HV-side is provided with a cooling pipe 41 which is connected to the casing 1 by soldering or tails. A suitable coolant (e.g. water) flows through the tube 41 during operation. At the same time, a heater 42 is provided on the VV side, with which the VV side is brought to the desired elevated temperature. A control device 43 , shown only schematically, is provided for the controlled maintenance of a certain temperature gradient from the W side to the HV side. It regulates the temperature or the amount of coolant flowing through the cooling tube 41 and / or the current supplied to the heater 42 , depending on signals provided by one or more temperature sensors. A sensor 44 is shown. It is used to monitor the temperature in the VV range, which should be as high as possible while observing the temperature limits mentioned above.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 ist neben dem Wärmeleitwiderstand 37 des Stators auch das Gehäuse 1 in etwa gleiche Höhe mit einem Wärmeleitwiderstand 46 ausgerüstet. Diese Maßnahme ist erforderlich, wenn das Gehäuse 1 aus gut wärmeleitendem Werkstoff, beispielsweise Aluminium, besteht. Eine wirksame thermische Trennung der W-Seite von der HV-Seite wird dadurch erzielt. Falls nötig, können auch der Rotor 6 und die Hülse 24 des Magnetlagers 14 mit Wärmeleitsperren (gestrichelt eingezeichnet) versehen sein.In the exemplary embodiment according to FIG. 2, in addition to the thermal resistance 37 of the stator, the housing 1 is also equipped with a thermal resistance 46 at approximately the same height. This measure is necessary if the housing 1 consists of a material which is a good heat conductor, for example aluminum. An effective thermal separation of the W side from the HV side is achieved. If necessary, the rotor 6 and the sleeve 24 of the magnetic bearing 14 can also be provided with thermal conductors (shown in dashed lines).

Claims

1. Gas friction vacuum pump with a high vacuum (HV) area and a fore vacuum (VV) area and with a cooling ( 35, 41 ), characterized in that the cooling is introduced into the HV area.

2. Pump according to claim 1, characterized in that its VV side is equipped with a heater ( 42 ).

3. Pump according to claim 1 or 2, characterized in that it is equipped for thermal separation of the HV side from the VV side with one or more thermal resistances ( 37 , 46 ).

4. Pump according to claim 1, 2 or 3, characterized in that it is equipped on its HV side with an air cooling ( 35 , 36 ) or a liquid cooling ( 41 ).

5. Pump according to claim 1, 2, 3 or 4, characterized in that a control device ( 43 , 44 ) is provided, which regulate the cooling ( 35 , 36 , 41 ) and / or the heater ( 42 ) as a function of signals provided by one or more temperature sensors ( 44 ).

6. Pump according to one of claims 1 to 5, characterized in that it is designed as a turbomolecular pump with a housing ( 1 ) and a stator ( 4 ) which has a plurality of spacer rings ( 10 ).

7. Pump according to claims 3, 6 characterized in that the housing ( 1 ) and / or the stator ( 4 ) and / or the rotor ( 6 ) and / or the sleeve ( 24 ) of a bearing ( 14 ) with a thermal resistance are equipped.

8. Pump according to claim 7, characterized in that one of the spacer rings ( 10 ) of the stator ( 4 ) consists of poorly heat-conducting material or is coated therewith.