DE4216779A1 - Verfahren und vorrichtung zum pruefen der verzahnung und des zahnflankenprofils von grosszahnraedern - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, zum Prüfen der Verzahnung und des Zahnflankenprofils von Zahnrädern sehr großen Durchmessers mit einem auf einer Kreuzschlittenmeßeinheit angeordnetem Prüfgerät sowie mit einer Fluchtmeßeinrichtung, mit der die Normale zur Tangente auf den Grundkreis der Verzahnung in Richtung auf die Mittenachse des zu prüfenden Zahnrades eingestellt wird und ein diese Mittenachse markierendes Eichnormal vorgesehen ist. Die Prüfung bezieht sich insbesondere auf die Evolvente der Verzah­ nung.

Das Prüfen von Verzahnungen einschließlich deren Zahnflankenpro­ fil ist an sich bekannt. Das Zahnflankenprofil wird mit einem Meßtaster abgefahren und die Meßwerte werden aufgezeichnet und mit aufgezeichneten Sollwerten eines fehlerfreien Sollzahnflan­ kenprofils verglichen. Mit dieser Meßmethode lassen sich Abwei­ chungen vom theoretisch genauen Zahnflankenprofil mit hoher Ge­ nauigkeit ermitteln, d. h. kleinste Abweichungen vom Sollprofil erkennen, anzeigen und/oder aufzeichnen.

Die Genauigkeit einer Verzahnung eines Zahnrades ist aber nicht allein durch die Einhaltung der Genauigkeit des Zahnflankenpro­ fils gegeben, sondern wird maßgeblich von der Lage der Zahnflan­ ken zum Wälzkreis- und/oder Grundkreis der Verzahnung bestimmt. Die Qualität einer Verzahnung läßt sich deshalb nur durch Messung der Lage und der Form des Zahnflankenprofils feststellen. Für alle Zahnräder, die von ihrer Größe und ihrem Gewicht her auf Meßmaschinen aufnehmbar sind, bestehen für derartige Messungen keine Probleme weil sowohl der Wälzkreisdurchmesser wie auch der Grundkreisdurchmesser bezogen auf die Zahnraddrehachse durch die Aufnahme des Zahnrades in der Meßmaschine meßbare Größen sind. Dadurch ist die Darstellung der theoretisch fehler­ freien Lage und Form der Zahnflanke und deren Vergleich zur Lage und Form jeder zu prüfenden Zahnflanke des Zahnradprüflings ohne weiteres ermittelbar.

Zur Messung von Verzahnungen ohne Meßmaschinen sind transportable Zahnradprüfgeräte bekannt, die in ihrer Genauigkeit den orts­ festen Meßmaschinen nicht nachstehen sollen. So ist aus der DE-OS 36 16 177 ein Verfahren zur Orientierung eines Fühlers eines Zahnradprüfgerätes bekannt, welches zum Inhalt hat, aus der Mes­ sung der Verzahnung in zwei voneinander entfernt liegenden Zahn­ lücken durch Auswertung und Umrechnung auf die Zahnradmittenachse und damit den Grundkreis der Verzahnung zu schließen. Dem liegt die Tatsache zugrunde, daß die Senkrechte zur Tangente an den Grundkreis durch die Zahnradmittenachse verläuft. Diese Messung geht von einer symmetrisch zur Sollverzahnung liegenden Zahnlücke aus, d. h. Zahnlückenfehler beeinträchtigen das Meßergebnis. Wenn auch zur Eliminierung des Zahnlückenfehlers vorgeschlagen wird, für diese Messung die gleiche Zahnlücke zugrunde zu legen und dafür die zweite erforderliche Meßposition durch Drehen des Zahnradprüflings um einen Schwenkwinkel anzufahren, so ist diese Messung diesmal von der Genauigkeit und Symmetrie des Schwenkwin­ kels zu der durch die Zahnradachse gehenden Senkrechten abhängig. Diese Senkrechte läßt sich beim Drehen des Zahnradprüflings nur durch den Meßtasterumkehrpunkt beim tangentialen Abtasten des Zahnradaußendurchmessers bestimmen. Die Genauigkeit dieser Um­ kehrpunktbestimmung nimmt aber mit zunehmendem Durchmesser des zu prüfenden Zahnrades ab. Insbesondere bei sehr großen Durchmessern der Zahnräder rufen Änderungen des Schwenkwinkels kaum Änderungen der tangentialen Abtastung des Außendurchmessers am zu prüfenden Zahnrad hervor. Eine eindeutige Zuordnung der Drehwinkellage zum Meßtasterumkehrpunkt ist nicht mehr gegeben. Die dadurch entste­ henden Abweichungen bei der Bestimmung der Senkrechten zur Tangen­ te am Grundkreis der Verzahnung, die wiederum Voraussetzungen für die Ermittlung des tatsächlich vorliegenden Grundkreises ist, sind so groß, daß die darauf aufbauenden weiteren Vergleichsmes­ sungen bei Großzahnrädern versagen.

Auch das Prüfverfahren nach DE-OS 31 50 773 basiert auf dem Auf­ finden der Tangente an den Grundkreis und damit dem Auffinden der Mittenachse des zu prüfenden Zahnrades durch Antasten von Zahn­ flanken dieses Zahnrades unter gleichzeitiger Messung des ange­ tasteten Abstandes über mehrere benachbarte Zähne. Aus den so ermittelten Werten wird durch Rechnung die Lage des Grundkreises ermittelt. Dieses Verfahren ist in seinem Einsatzbereich glei­ chermaßen begrenzt, weil bei der Messung sehr großer Zahnräder die Fehlereinflüsse für die Ermittlung des Grundkreises die Meß­ ergebnisse für die Lage des Zahnprofils unbrauchbar werden lassen.

Aus der DE-OS 29 34 347 ist ein Verfahren und ein Prüfgerät zum Prüfen des Zahnflankenprofils von Zahnrädern großen Durchmessers bekannt, welches im wesentlichen auf der gleichen vorgenannten Meßmethode beruht, nämlich durch Antasten und Messen der Zähne (Zahnlücke) auf die exakte Lage der Zahnflanke hinsichtlich des Grundkreises der Verzahnung zu schließen. Die Meßmethode ist den bereits genannten anderen bekannten Verfahren insofern gleich, daß diese für sehr große Zahnräder nicht mehr anwendbar ist. In diesem bekannten Stand der Technik sind mit Zahnrädern großen Durchmessers bereits Zahnräder ab 300 mm Durchmesser gemeint. Für Großzahnräder mit Durchmessern von mehreren Metern sind alle diese bekannten Verfahren und Prüfgeräte nicht geeignet.

Die Erfindung hat den Zweck, Verzahnungen für Großzahnränder entsprechend den als Qualitätsmerkmal einzuordnenden Toleranz­ klassen klassifizieren zu können.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Prü­ fen des Zahnflankenprofils von Großzahnrädern nach dem Gattungs­ teil des Hauptanspruches und eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zu schaffen, mit denen die Mittenachse des zu prüfenden Zahnrades als Ausgangspunkt für die Ermittlung des Grundkreises der Verzahnung bestimmt werden soll, und deren Ab­ stand zu einem Bezugspunkt gemessen werden soll von dem aus die Zahnflankenprofilmessung erfolgt.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß die Kreuzschlittenmeßeinheit in ihrer Verschiebeebene senk­ recht zur Zahnradmittenachse ausgerichtet wird und die Fluchtmeß­ einrichtung eine Winkelmeßeinrichtung mit Sensoren ist, die in Verbindung mit der Kreuzschlitteneinheit und einer senkrecht zu deren Verschiebeachse liegenden Positionsdreheinheit einen Nullab­ gleich zur Fluchtlinie ausführt. Auf dem oberen Meßschlitten der Kreuzschlittenmeßeinheit ist außerdem eine Präzisionslängenmeß­ einrichtung befestigt, deren Meßbezugspunkt zum Prüfgerät vor Beginn des Längenmeßvorganges geeicht wird und danach mit der Präzisionslängenmeßeinrichtung entlang der eingestellten Flucht­ linie der auf dem Eichnormal der Zahnradmittenachse markierte Genauigkeitsmeßpunkt angefahren wird. Auf der Basis dieser Mes­ sung wird die genaue Startposition für das Prüfgerät zum in be­ kannter Weise programmierten Anfahren des Zahnflankenprofils vorgegeben. Eine weitere Ausgestaltung des Verfahrens besteht darin, daß bei außerhalb des Zahnradaufnahmetisches angeordneter, aus Positionsdreheinheit und Kreuzschlittenmeßheit bestehender Meß- und Prüfeinrichtung die Ausrichtung zur Zahnradmittenachse so erfolgt, daß die gesamte Meß- und Prüfeinrichtung vorerst auf den Zahnradaufnahmetisch aufgesetzt wird und eine am Fußteil der Meßeinrichtung angeordnete Meßlibelle auf Null justiert wird und danach die Meß- und Prüfeinrichtung durch geradliniges Versetzen auf eine außerhalb des Zahnradaufnahmetisches ortsfeste Aufnahme­ plattform aufgesetzt und dort erneut mit Hilfe der Meßlibelle auf Null justiert wird. Die weitere Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht vor, daß die Präzisionslängen­ messung mit einem Laserinterferometer erfolgt, dessen Prisma von einem ortsfesten Bezugspunkt am Prüfgerät zu einem in die Zahn­ radmittenachse markierenden Bezugspunkt unter Aufrechterhaltung des Strahlenganges verfahren wird.

Die Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens basiert auf einer Kreuzschlittenmeßeinheit, die auf eine Dreheinheit montiert ist und auf ihrem oberen, das Prüfgerät tragenden Meßschlitten außer­ dem die Fluchtmeßeinrichtung und parallel darüber die Präzisions­ längenmeßeinrichtung aufnimmt. Dabei ist das die Mittenachse des zu prüfenden Zahnrades markierende Eichnormal um diese Mitten­ achse zur Ausrichtung auf die Fluchtlinie der Fluchtmeßeinrich­ tung drehbar. Die auf den oberen Meßschlitten befestigte Flucht­ meßeinrichtung ist ebenfalls um eine parallel zur Zahnradmitten­ achse verlaufende Achse schwenkbar und nimmt einen Meßdraht auf, der unter Zugbelastung steht und an seinem anderen Ende am Eich­ normal in der Zahnradmittenachse befestigt ist. Die Fluchtmeßein­ richtung besitzt eine über ihren Schwenkpunkt in entgegengesetz­ ter Richtung zum Meßdraht hinausragende Verlängerung, welche zwischen zwei ebenfalls am oberen Meßschlitten befestigten Sen­ soren für den Nullabgleich zur Fluchtlinie hineinragt. Bei der als Laserinterferometer ausgebildeten Präzisionslängenmeßeinrich­ tung ist das zugehörige Prisma in einem geeichten Bezugspunkt zum Flankenprüfgerät auf den oberen Meßschlitten der Kreuzschlitten­ einheit gehalten. Das Eichnormal in der Zahnradmittenachse be­ sitzt einen zweiten geeichten Bezugspunkt für die Aufnahme des Prismas. Ein parallel zur Fluchtlinie verschiebbarer Teleskoparm ist zum Verfahren des Prismas im Strahlengang des Laserinterfero­ meters vom Bezugspunkt des Prüfgerätes am oberen Meßschlitten zum Bezugspunkt des Eichnormals in der Zahnradmittenachse vorgesehen.

In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung darge­ stellt. Dabei zeigen:

Fig. 1 Eine Seitenansicht des Meß- und Prüfgerätes ein­ schließlich der Aufnahme des Eichnormals in der Achsmitte des zu prüfenden Großzahnrades.

Fig. 2 Die Draufsicht der Einrichtung und der Aufnahme des Eichnormals nach Fig. 1.

Das Meß- und Prüfgerät ist als Beistellgerät zur Verzahnmaschine konzipiert. Mit einem Meßtaster 1 wird in bekannter Weise die Verzahnungsgeometrie (Zahnflanke) eines Zahnes der zu prüfenden Verzahnung abgefahren und aufgenommen und ein Soll-Ist-Wertver­ gleich zur theoretisch genauen Zahnflanke (Verzahnungsevolvente) ausgeführt. Der Meßtaster 1 ist Teil des im oberen Meßschlitten 3 einer Kreuzschlittenmeßeinheit 2; 3 aufgenommenen Prüfgerätes. Die Kreuzschlittenmeßeinheit 2; 3 besitzt in den zugehörigen Achsen x, y je einen Servoantrieb. Die Kreuzschlittenmeßeinheit 2; 3 ist auf eine Positionseinheit 4 montiert, die einen Positionsstellantrieb zur Ausrichtung der Kreuzschlittenmeßeinheit 2; 3 zur Mittenachse des zu prüfenden Zahnrades 6 besitzt. Um die Prüfung der Flanke über die gesamte Zahnbreite ausführen zu können, ist das Meß- und Prüfgerät mit einem senkrechten Verstellantrieb 5 in der z-Achse ausgerüstet. Das Ausrichten der Kreuzschlittenmeßeinheit 2; 3 zur Mittenachse des Zahnradprüflings 6 (Korrektur evtl. Schiefstel­ lung) erfolgt mittels einer auf dem oberen Meßschlitten 3 befe­ stigten Fluchtmeßeinrichtung. Diese besteht einerseits am Zahn­ radprüfling 6 aus einer zentrisch zur Mittenachse des Zahnrad­ prüflings 6 aufgenommenen und in dieser drehbaren Meßdrahtbe­ festigung 11 und andererseits aus einer im oberen Meßschlitten 3 schwenkbar gelagerten Meßdrahtaufnehmers 7, dessen Schwenkachse 8 parallel zur Mittenachse des Zahnradprüflings 6 liegt. Eine über die Schwenkachse 8 hinausgehende Verlängerung 9 des Meßdrahtauf­ nehmers 7 ragt zwischen zwei am oberen Meßschlitten 3 befestigte Sensoren 10 hinein. Zwischen der Meßdrahtbefestigung 11 und dem Meßdrahtaufnehmer 7 befindet sich ein zugbelasteter Meßdraht 12. Der Meßdrahtaufnehmer 7 wird dadurch auf die Zahnradmitte fixiert und die evtl. Schieflage der Kreuzschlittenmeßeinheit 2, 3 von den Sensoren 10 ermittelt. Mit der Positionsdreheinheit 4 wird der Meßdrahtaufnehmer 7 in eine von den Sensoren 10 ermittelbare Nullage gebracht. Auf dem oberen Meßschlitten 3 ist ein Laser­ interferometer 13 angeordnet und das dazugehörige Prisma 14 ist ebenfalls auf dem oberen Meßschlitten 3 in einem Bezugspunkt zum Prüfgerät für die Zahnflanke fixiert. In der Mittenachse des Zahnradprüflings 6 befindet sich neben der Meßdrahtbefestigung 11 ein Aufnahmekörper 16 für das Prisma 14 des Laserinterferometers 13. Der Aufnahmekörper 16 ist gemeinsam mit der Meßdrahtbefesti­ gung 11 um die Mittenachse des Zahnradprüflings 6 drehbar. Das Prisma 14 wird mittels eines Teleskoparmes 17 vom Bezugspunkt am oberen Meßschlitten 3 zum Bezugspunkt in dem Aufnahmekörper 16 in der Mittenachse des Zahnradprüflings 6 ohne Unterbrechung des Strahlenganges verschoben und dort genau fixiert.

An der Unterseite des Gestells 18 des Meß- und Prüfgerätes befin­ det sich eine zur Kreuzschlittenmeßeinheit 2; 3 parallele Auflage­ fläche 20 mit einer Meßlibelle 19. Das Meß- und Prüfgerät wird mit dieser Auflagefläche 20 auf dem Drehtisch der Zahnradbear­ beitungsmaschine in gleicher Richtung wie für die anschließende Meßstellung erforderlich, aufgesetzt und die Meßlibelle 19 ge­ nullt. Das Meß- und Prüfgerät wird danach nur durch lineare Ver­ setzung auf die ortsfest außerhalb des Drehtisches der Zahnrad­ bearbeitungsmaschine auf eine Auflageplattform gebracht und dort justiert bis die Meßlibelle 19 wieder ihre Nullage anzeigt. Mit dieser Ausgangsjustierung ist die Meß- und Prüfeinrichtung in ihrer Drehachse c in eine parallele Lage zur Mittenachse des Zahnradprüflings 6 gebracht.

In der Mittenbohrung bzw. dem Mittenbund des Zahnradprüflings 6 wird die drehbar gelagerte Meßdrahtaufnahme 11 einschließlich dem Aufnahmekörper 16 für das Prisma 14 zentrisch zur Mittenachse des Zahnradprüflings 6 eingesetzt. Bei Zahnkränzen ohne Mittenbohrung bzw. Mittenbund ist dies eine am Aufnahmetisch des Zahnradprüf­ lings 6 in dessen Mittenachse befestigte Vorrichtung. Zwischen der Meßdrahtbefestigung 11 und dem Meßdrahtaufnehmer 7 wird der Meßdraht 12 zugbelastet eingesetzt und damit die Auslenkung der Verlängerung des Meßdrahtaufnehmers 7 von den Sensoren 10 erfaßt. Durch eine entsprechende Korrekturbewegung der Positionsdrehein­ heit 4 um die Drehachse c wird die Kreuzschlittenmeßeinheit 2; 3 zur Fluchtlinie auf Null abgeglichen. Danach wird der Meßtaster 1 des Zahnflankenprüfgerätes in die grob ausgerichtete Zahnlücke des Zahnradprüflings 6 eingefahren und durch Verschiebung des unteren Meßschlittens 2 in x-Richtung in die Zahnlücke vermessen. Anschließend wird die Mitte der so vermessenen Zahnlücke mit dem Meßschlitten 2 in x-Richtung eingestellt. Dabei kann dies zur, Änderung der vorher auf Null abgeglichen Fluchtmessung führen. Aus diesem Grunde muß eine iterative Einstellung des Nullab­ gleichs an den Sensoren 10 und des Nullabgleichs der mittigen Einstellung in der Zahnlücke erfolgen. Mit der so erfolgten Ge­ naueinstellung der Meß- und Prüfeinrichtung zur Fluchtlinie, die durch die Zahnlückenmitte und die Mittenachse des Zahnradprüf­ lings 6 geht, ist die Voraussetzung für die Messung des Grund­ kreis- Teilkreisdurchmessers der Verzahnung gegeben, auf deren Basis die Zahnflanken nach Lage und Form abgetastet werden können.

Zur Messung des Grundkreisdurchmesser dient das Laserinterferome­ ter 13, welches parallel zur eingestellten Fluchtlinie vom oberen Meßschlitten 3 aus den Abstand zur Mittenachse des Zahnradprüf­ lings 6 mißt. Dazu wird das in seiner Lage zum Prüfgerät am obe­ ren Meßschlitten 3 geeichte Prisma 14 des Laserinterferometers 13 aus seiner Eichposition heraus in die geeichte Aufnahmeposition im Aufnahmekörper 16 an der Mittenachse des Zahnradprüflings 6 gebracht.

Dazu dient der Teleskoparm 17, welcher das Prisma 14 parallel zur eingestellten Fluchtlinie ohne Unterbrechung des Strahlenganges bis in den Aufnahmekörper 16 verfährt. Die geeichte Aufnahmeposi­ tion für das Prisma 14 im Aufnahmekörper 16 garantiert die Genau­ igkeit zur Mittenachse des Zahnradprüflings 6. Nach Fixierung des Prismas 14 in der geeichten Aufnahmeposition wird das Maß zwi­ schen genullter Lage (Bezugspunkt am Meßgerät) und der geeichten Lage (Bezugspunkt des Prismas 14 am Aufnahmekörper 16) vom Laser­ interferometer 13 gemessen und zwischengespeichert. Anschließend bringt der Teleskoparm 17 das Prisma 14 in seine Ausgangslage auf den oberen Meßschlitten 2 zurück und der Meßdraht 12 wird ent­ fernt. Mit dem zwischengespeicherten Meßwert und den prüfgeräte­ internen Konstanten liegt der Istwert des Grundkreisdurchmessers der Verzahnung vor und der Meßtaster 1 des Prüfgerätes kann ent­ lang der Sollkontur der Zahnflanke (Evolvente) von der so ermit­ telten genauen Startposition aus verfahren werden. Dazu wird der im oberen Meßschlitten 2 aufgenommene Meßtaster 1 in den Koordi­ naten x und y von Präzisionsservoantrieben der Kreuzschlittenmeß­ einheit 2; 3 in Verbindung mit einer die Zahnflankensollkontur vorgebenden Bahnsteuerung verfahren. Die zur Istflanke auftreten­ den Abweichungen werden in bekannter Weise als Fehler aufgezeich­ net. Durch Verstellen der Meß- und Prüfeinrichtung in z-Achsrich­ tung kann die Messung der gleichen Zahnflankenlinie an unter­ schiedlichen Stellen bezüglich der Zahnbreite wiederholt werden.

Claims (6)

1. Verfahren zum Prüfen der Verzahnung und des Zahnflankenprofils von Großzahnrädern, insbesondere der Evolvente der Verzahnung mit einem auf einer Kreuzschlittenmeßeinheit angeordneten Prüfgerät sowie mit einer Fluchtmeßeinrichtung, mit der die Normale zur Tangente auf den Grundkreis der Verzahnung in Richtung auf die Mittenachse des zu prüfenden Zahnrades einge­ stellt wird und ein diese Mittenachse markierendes Eichnormal vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Kreuzschlittenmeßeinheit (2; 3) in ihrer Verschiebe­ ebene senkrecht zur Mittenachse des zu prüfenden Zahnrades (6) ausgerichtet wird und die Fluchtmeßeinrichtung eine Win­ kelmeßeinrichtung mit Sensoren (10) ist, die in Verbindung mit der Kreuzschlittenmeßeinheit (2; 3) durch eine senkrecht zu deren Verschiebeachsen angeordnete Positionsdreheinheit (4) einen Nullabgleich zur Fluchtlinie ausführt und daß auf dem oberen Meßschlitten (3) der Kreuzschlittenmeßeinheit (2; 3) außerdem eine Präzisionslängenmeßeinrichtung befestigt ist, deren Meßbezugspunkt zum Prüfgerät vor Beginn des Längenmeß­ vorganges geeicht wird und danach mit der Präzisionslängenmeß­ einrichtung (13) entlang der eingestellten Fluchtlinie ein auf dem Eichnormal in der Mittenachse markierter Genauigkeitsmeß­ punkt angefahren und die Distanz gemessen wird wobei auf der Basis dieser Messung die genaue Startposition für das Prüfge­ rät zum in bekannter Weise programmierten Abfahren des Zahn­ flankenprofils vorgegeben wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß bei außerhalb des Zahnradaufnahmetisches angeordneter, aus Positionsdreheinheit (4) und Kreuzschlittenmeßeinheit (2; 3) bestehender Meß- und Prüfeinrichtung die Ausrichtung zur Zahn­ radmittenachse so erfolgt, daß die gesamte Meß- und Prüfein­ richtung vorerst auf den Zahnradaufnahmetisch aufgesetzt wird und eine am Fußteil der Meßeinrichtung angeordnete Meßlibelle (19) auf Null justiert wird und danach die Meß- und Prüfeinrich­ tung durch geradliniges Versetzen auf eine außerhalb des Zahn­ radaufnahmetisches ortsfeste Aufnahmeplattform aufgesetzt und dort wieder auf die Meßlibellenanzeige Null justiert wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Präzisionslängenmessung mit einem Laserinterferometer (13) erfolgt, dessen Prisma (14) von seinem Bezugspunkt am Prüfgerät zu einem die Zahnradmittenachse markierenden Bezugs­ punkt unter Aufrechterhaltung des Strahlenganges verfahren wird.

4. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß die Kreuzschlittenmeßeinheit (2; 3) auf eine Positionsdreh­ einheit (4) montiert ist und auf ihrem oberen, das Prüfgerät tragenden Meßschlitten (3) außerdem die Fluchtmeßeinrichtung und parallel eine Präzisionslängenmeßeinrichtung angeordnet sind, wobei das die Zahnradmittenachse des zu prüfenden Zahn­ rades (6) markierende Eichnormal um diese Mittenachse zur Ausrichtung auf die Fluchtlinie der Fluchtmeßeinrichtung dreh­ bar ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die auf den oberen Meßschlitten (3) der Kreuzschlittenmeßein­ heit (2; 3) befestigte Fluchtmeßeinrichtung um einen parallel zur Zahnradmittenachse verlaufende Schwenkachse (8) schwenkbar ist und einen Meßdraht (12) zugbelastet aufnimmt, der an sei­ nem anderen Ende am Eichnormal befestigt ist, wobei eine über die Schwenkachse (8) der Fluchtmeßeinrichtung in entgegenge­ setzte Richtung zum Meßdraht (12) hinausragende Verlängerung (9) zwischen zwei am oberen Meßschlitten (3) befestigten zum Nullabgleich zur Fluchtlinie vorgesehenen Sensoren (10) hi­ neinragt.

6. Vorrichtungen nach den Ansprüchen 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Präzisionslängenmeßeinrichtung ein Laserinterferometer (13) ist, dessen Prisma (14) in einem geeichten Bezugspunkt zum Prüfgerät auf dem oberen Meßschlitten (3) der Kreuzschlit­ tenmeßeinheit (2; 3) gehalten ist und einen zweiten geeichten Bezugspunkt am Eichnormal in der Mittenachse des zu prüfenden Zahnrades (6) besitzt, wobei ein parallel zur Fluchtlinie verschiebbarer Teleskoparm (17) zum Verfahren des Prismas (14) im Strahlengang des Laserinterferometers (13) vom Bezugspunkt des Prüfgerätes zum Bezugspunkt des Eichnormals vorgesehen ist.