DE4207194A1 - Optischer schalter - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 57
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical group [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 11
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N Phenanthrene Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C=CC2=C1 YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N [1,10]phenanthroline Chemical compound C1=CN=C2C3=NC=CC=C3C=CC2=C1 DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 2
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 2
- 101100400378 Mus musculus Marveld2 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
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- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
- G02B6/3568—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details characterised by the actuating force
- G02B6/3578—Piezoelectric force
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
- G02B6/3566—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details involving bending a beam, e.g. with cantilever
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/351—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
- G02B6/353—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being a shutter, baffle, beam dump or opaque element
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/354—Switching arrangements, i.e. number of input/output ports and interconnection types
- G02B6/3544—2D constellations, i.e. with switching elements and switched beams located in a plane
- G02B6/3548—1xN switch, i.e. one input and a selectable single output of N possible outputs
- G02B6/3552—1x1 switch, e.g. on/off switch
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
- G02B6/358—Latching of the moving element, i.e. maintaining or holding the moving element in place once operation has been performed; includes a mechanically bistable system
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/3598—Switching means directly located between an optoelectronic element and waveguides, including direct displacement of either the element or the waveguide, e.g. optical pulse generation
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Description
Diese Erfindung betrifft einen optischen Schalter.
Insbesondere betrifft diese Erfindung einen optischen Schalter, der haupt
sächlich als Verschluß zum Unterbrechen oder Durchlassen von Licht
signalen benutzt wird, und der dadurch gekennzeichnet ist, daß er eine
geringe Größe aufweist und leichtgewichtig ist, und der einen Verschluß
umfaßt, der durch eine piezoelektrische Betätigungsvorrichtung und einen
Spiegel betrieben wird zum Ändern von Übertragungsrichtungen von
Lichtsignalen.
Verschlüsse zum Unterbrechen oder Durchlassen von Lichtsignalen sind
typischerweise in zwei Typen klassifiziert, d. h. mechanische Verschlüsse
und nichtmechanische Verschlüsse.
Die mechanischen Verschlüsse werden durch mechanische Methoden
betrieben, wie beispielsweise als Rotationsspiegel, Linsen oder Prismen in
den Verschlüssen, oder durch Ändern des Verbindungspunktes zwischen
optischen Kabelfasern darin.
Die nichtmechanischen Verschlüsse werden durch nichtmechanische
Methoden betrieben, wie beispielsweise durch Anwenden eines akusto
optischen Effekts oder eines elektro-optischen Effekts.
Die bisher bekannten mechanischen Verschlüsse sind nicht geeignet, da
sie ziemlich unhandlich derart sind, daß sie schwer sind und eine große
Menge elektrischer Leistung erfordern, weil Motoren in ihren Antriebs
systemen benutzt werden, um ihre optischen Elemente zu drehen oder zu
bewegen. Beispielsweise wird ein Motor zum Drehen eines Polygon
spiegels benutzt, wobei der Spiegel benutzt wird, um die Lichtsignale zu
unterbrechen, und weiterhin müssen präventative Maßnahmen ergriffen
werden, um vibrationsmäßige und elektromagnetische Geräusche des
Motors in Betracht zu ziehen.
Andererseits haben auch die vorgenannten nichtmechanischen Verschlüsse
Probleme. Die nichtmechanischen Verschlüsse, die durch Anwenden
eines elektro-optischen Effekts von PLZT (Lanthan-dotiertes Bleizirkonat-
Bleititanat) usw. sind ungeeignet oder unbrauchbar für unsere Zwecke
darin, daß die Intensität von Ausgangs-Lichtsignalen, die durch die
Verschlüsse geführt werden, sehr viel geringer ist als jene von Eingangs-
Lichtsignalen zu den Verschlüssen, weil Polarisatoren und optische Detek
toren, die in den Verschlüssen benutzt werden, die Eingangs-Lichtsignale
absorbieren.
Verschlüsse, die durch Anwenden von Flüssigkristallen betrieben werden,
sind auch ungeeignet oder unbrauchbar für unsere Zwecke darin, daß
ihre S/N (Signal-zu-Rausch)-Verhältnisse geringer werden, weil die Flüs
sigkristalle einfallende Lichtsignale absorbieren, und weiterhin die Flüssig
kristalle durch intensive Lichtsignale zerstört werden können.
Verschlüsse, die durch Anwenden von CCD (ladungsgekoppelte Vor
richtung oder Elektroladungs-Kombinationsvorrichtung) betrieben werden,
sind auch unbrauchbar oder ungeeignet für unsere Zwecke darin, daß
Lichtsignale nicht direkt durch die Verschlüsse durchgehen können, weil
die Lichtsignale in den Verschlüssen in elektrische Signale umgewandelt
werden.
Eine Aufgabe dieser Erfindung ist es, einen optischen Schalter zu schaf
fen, der die Probleme der oben beschriebenen herkömmlichen Verschlüs
se nicht aufweist, und einen optischen Schalter zu schaffen, der haupt
sächlich als ein Verschluß zum Unterbrechen oder Durchlassen von
Lichtsignalen benutzt wird, und der dadurch gekennzeichnet ist, daß er
eine geringe Größe aufweist und leichtgewichtig ist, und der einen
Verschluß umfaßt, der durch eine piezoelektrische Betätigungsvorrichtung
und einen Spiegel betrieben wird zum Ändern von Übertragungsrichtun
gen von Lichtsignalen.
Ein optischer Schalter gemäß dieser Erfindung umfaßt eine piezoelek
trische Betätigungsvorrichtung, die zwei Enden aufweist, wobei eines der
zwei Enden an einer Basisplatte angebracht ist, und das andere der zwei
Enden an einem Objekt angebracht ist zum Unterbrechen oder Durch
lassen von Lichtstrahlen, einen Spiegel zum Reflektieren der Lichtstrah
len, der an einem Ort nahe des Platzes oder des einen Endes angeord
net ist, wo die piezoelektrische Betätigungsvorrichtung an der Basisplatte
angebracht ist, um durchgelassene Lichtstrahlen zu reflektieren, und eine
Einrichtung zum Anlegen einer Spannung an die piezoelektrische Betäti
gungsvorrichtung.
Dieser erfinderische optische Schalter unterbricht oder läßt Lichtsignale
durch, wie beispielsweise Lichtstrahlen, und zwar in Antwort auf eine
Einschalt- oder Ausschaltbedingung, wie es im nachfolgenden erklärt wird.
Wenn an die piezoelektrische Betätigungsvorrichtung keine Spannung
angelegt wird, d. h. in einer Ausschaltbedingung der piezoelektrischen
Betätigungsvorrichtung, werden Lichtstrahlen, die aus einer optischen
Quelle herauskommen, die an einer Seite entgegengesetzt der Seite der
Basisplatte angeordnet ist, durch das Objekt unterbrochen, das an dem
anderen Ende der piezoelektrischen Betätigungsvorrichtung angebracht ist,
und werden nicht übertragen.
Wenn die Spannungen an die piezoelektrische Betätigungsvorrichtung
angelegt sind, d. h. in ihrer Einschaltbedingung, wird das Objekt, das an
dem anderen Ende der piezoelektrischen Betätigungsvorrichtung ange
bracht ist, nach unten zu einem Ort bewegt, was zuläßt, daß die Licht
strahlen durch eine Veränderung des anderen Endes der piezoelektri
schen Betätigungsvorrichtung über das Objekt geführt wird. Wenn die
Lichtstrahlen über das Objekt geführt werden können, treffen sie auf den
Spiegel auf, der an der Basisplatte installiert ist, oder an der piezoelek
trischen Betätigungsvorrichtung, und dann werden die aufgetroffenen
Lichtstrahlen durch die Spiegeloberfläche reflektiert und werden zu einem
optischen Detektor gerichtet, der so an einer Position angeordnet ist, daß
er die aufgetroffenen Lichtstrahlen detektieren kann.
Die piezoelektrische Betätigungsvorrichtung, die bei dieser Erfindung
benutzt wird, enthält piezoelektrische Betätigungsvorrichtungen vom
bimorphen Typ, piezoelektrische Betätigungsvorrichtungen vom unimor
phen Typ und piezoelektrische Betätigungsvorrichtungen vom multimor
phen Typ.
Das Material, das für das Objekt benutzt wird, das die Lichtstrahlen bei
dieser Erfindung unterbrechen soll, enthält alle Materialien, die die
Fähigkeit haben, Lichtstrahlen zu unterbrechen und keinen Einfluß auf
die Veränderung der piezoelektrischen Betätigungsvorrichtung haben.
Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung
ergeben sich aus der weiteren Beschreibung in Verbindung mit der
beigefügten Zeichnung:
Fig. 1 ist eine schematische Schnittansicht des optischen Schalters
gemäß dieser Erfindung, die ein Ausführungsbeispiel darstellt,
das eine piezoelektrische Betätigungsvorrichtung vom bimorphen
Typ benutzt;
Fig. 2 ist eine vergrößerte Teilschnittansicht, die eine Aus-Bedingung
die in Fig. 1 gezeigten optischen Schalters darstellt;
Fig. 3 ist eine vergrößerte Teilschnittansicht, die eine Ein-Bedingung
des in Fig. 1 gezeigten optischen Schalters darstellt;
Fig. 4 ist eine schematische Teilansicht der Erfindung, wobei ein ande
res Ausführungsbeispiel dargestellt wird, das eine piezoelektrische
Betätigungsvorrichtung vom unimorphen Typ benutzt; und
Fig. 5 ist ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung, das eine
piezoelektrische Betätigungsvorrichtung vom multimorphen Typ
benutzt.
Nun wird im einzelnen auf Fig. 1 Bezug genommen, die eine schemati
sche Schnittansicht des Ausführungsbeispiels des optischen Schalters
gemäß dieser Erfindung zeigt, das einen bimorphen Typ benutzt.
Bei diesem Ausführungsbeispiel umfaßt die piezoelektrische Betätigungs
vorrichtung vom bimorphen Typ 2 eine Unterlegplatte 3, die zwischen
zwei piezoelektrische Elemente 4A und 4B gelegt ist, die an entgegen
gesetzten Seiten der Unterlegplatte 3 plaziert sind, und zwar zur Ver
wendung als die piezoelektrische Betätigungsvorrichtung dieser Erfindung.
Die piezoelektrischen Elemente 4A und 4B sind jeweils an der oberen
und der unteren Oberfläche der Unterlegplatte 3 fest angebracht. Die
Bedingung ist die, daß die Richtung der spontanen Polarisierung jedes
piezoelektrischen Elements in eine Abwärtsrichtung zeigt.
Ein Ende der piezoelektrischen Betätigungsvorrichtung an der Unterleg
platte 3 ist mit einer Grundplatte 1 aus Messing verbunden, und das
andere Ende der Unterlegplatte 3 ist mit einer optischen Abschirmung
5 verbunden. Die optische Abschirmung kann auch mit den piezoelek
trischen Elementen 4A und 4B verbunden sein.
Deshalb wird, wenn Spannungen an die piezoelektrische Betätigungsvor
richtung vom bimorphen Typ 2 angelegt sind, das gezeigte Ende der
piezoelektrischen Betätigungsvorrichtung vom bimorphen Typ 2 so abge
ändert, daß es sich nach unten in eine Richtung zu dem Boden der Fig.
1 bewegt, und zwar durch das Schrumpfen oder Kürzerwerden der
Längendimension L eines piezoelektrischen Elements 4A und das Erwei
tern oder Anwachsen bezüglich der Längendimension des piezoelektri
schen Elements 4B. Dies resultiert in einer Bewegung von der in der
Fig. 2 dargestellten Position zu der in der Fig. 3 dargestellten Position,
wobei die piezoelektrischen Enden bei der Abschirmung 5 nach unten
zeigen, was am besten in Fig. 3 gesehen wird.
Das eine Ende der Unterlegplatte 3 ist mit der Grundplatte 1 aus
Messing verlötet, um im rechten Winkel zur Grundplatte 1 aus Messing
zu sein.
Das andere Ende der Unterlegplatte 3 ist an einer zentralen Position
der Aluminiumplatte 5 angebracht, und zwar durch ein Klebemittel 6 aus
Epoxidharz, was in den Fig. 2 und 3 gesehen wird. Die Aluminium
platte 5 bildet die optische Abschirmung, die die Fähigkeit hat, Licht
strahlen zu unterbrechen.
Die Unterlegplatte 3 ist an ihrem einen Ende elektrisch mit einem
Gleichstrom-Netzgerät 8 verbunden, und zwar durch einen Führungsdraht
7A, so daß sie die Masse für das Gleichstrom-Netzgerät wird, und die
einzelnen piezoelektrischen Elemente 4A und 4B werden mit dem
Gleichstrom-Netzgerät 8 durch einen Führungsdraht 7B so elektrisch
verbunden, daß ihre oberen Oberflächen elektrisch positive Seiten wer
den.
Ein Spiegel 9 ist an einem Ort an der Grundplatte 1 aus Messing
angebracht, um einen Lichtstrahl 11 zu reflektieren, der aus einer He-
Ne-Laserquelle 10 heraustritt und über die optische Abschirmung 5 zu
einem optischen Detektor 12 hindurchgelassen wird, wenn der optische
Schalter in seiner Einschaltbedingung ist.
Der Ort, wo der Spiegel an der Grundplatte 1 aus Messing angebracht
ist, ist nahe dem Platz, wo das eine Ende der Unterlegplatte 3 an die
Grundplatte 1 aus Messing gelötet ist. Der Spiegel 9 hat eine Spiegel
oberfläche 9A, die eine Neigung von 45° aufweist, oder einen Winkel
von 45°, und zwar gegenüber der Grundplatte 1 aus Messing.
Wenn durch die Leistungsquelle 8 keine Spannungen an den optischen
Schalter angelegt sind, d. h. wenn der Schalter in seiner Ausschaltbedin
gung ist, wird der Lichtstrahl 11 durch den oberen Teil der Aluminium
platte 5 unterbrochen, wie es in Fig. 2 gezeigt ist.
Wenn eine Spannung an den optischen Schalter angelegt ist, d. h. er in
einer Einschaltbedingung ist, wird die Aluminiumplatte 5, die an dem
anderen Ende der Unterlegplatte 3 der piezoelektrischen Betätigungsvor
richtung 2 angebracht ist, derart nach unten zu einem Ort bewegt, daß
der Lichtstrahl 11 über die obere Kante davon entlang der Richtung
durchgelassen werden kann, die durch einen Pfeil A gezeigt ist, und
dann kann der Lichtstrahl über die Aluminiumplatte 5 durchgelassen
werden und trifft auf dem Spiegel 9 auf und wird durch die Spiegelober
fläche 9A in eine Richtung reflektiert, die orthogonal zu der ursprüng
lichen Richtung des Lichtstrahls 11 ist, ausgesendet von der Laserquelle
10, und wird weiterhin durch den optischen Detektor 12 detektiert, wie
es in Fig. 3 gezeigt ist.
Bei diesem Ausführungsbeispiel kann ein Spiegel mit einem Winkel von
weniger als 45° benutzt werden, um einen kleineren Reflexionswinkel
des Lichtstrahls zu erhalten.
Der Spiegel 12 kann auch auf der piezoelektrischen Betätigungsvorrich
tung vom bimorphen Typ angeordnet sein, aber in diesem Fall wird es
ernsthaft erwägt, daß der Winkel des Spiegels durch eine Veränderung
der piezoelektrischen Betätigungsvorrichtung vom bimorphen Typ 2
geändert werden kann.
Da der Änderungsbetrag des gezeigten Endes der piezoelektrischen
Betätigungsvorrichtung vom bimorphen Typ 2 im Verhältnis zu seiner
Länge steht, kann durch Verwenden einer piezoelektrischen Betätigungs
vorrichtung vom bimorphen Typ mit einer längeren Länge L ein Strah
lungslicht größeren Durchmessers bei niedrigeren Spannungen gesteuert
werden, und auf ähnliche Art kann eine piezoelektrische Betätigungsvor
richtung vom bimorphen Typ mit einer kürzeren Länge für einen Licht
strahl kleineren Durchmessers benutzt werden.
Wenn der Lichtstrahl über die Aluminiumplatte 5 durchgelassen wird,
wird er dann zu der Spiegeloberfläche 9A hindurchgelassen und wird
durch die Spiegeloberfläche 9A reflektiert und durch den optischen
Detektor 12 detektiert.
Andererseits kann der Lichtstrahl nicht über die Aluminiumplatte 5
durchgelassen werden, wenn die Gleichspannung nicht an den optischen
Schalter angelegt ist.
Eine piezoelektrische Betätigungsvorrichtung vom bimorphen Typ 2 mit
dem piezoelektrischen Element einer Länge, die ungefähr 30 mm beträgt,
wird bei diesem Test benutzt.
Das eine Ende der Unterlegplatte 3 der piezoelektrischen Betätigungsvor
richtung vom bimorphen Typ 2 wird an die Grundplatte 1 aus Messing
gelötet und ist rechtwinklig zu dieser.
Wenn durch das Gleichstrom-Netzgerät 8 eine Gleichspannung von 200
Volt an diese piezoelektrische Betätigungsvorrichtung vom bimorphen Typ
2 angelegt ist, wird das andere Ende der Unterlegplatte 3, an die eine
Aluminiumplatte 5 fest angebracht ist, nach unten gezogen, und zwar zu
einer Position, die 600 bis 700 µm niedriger als der Ursprungsort ist,
und zwar entlang der Richtung des Pfeils A in Fig. 3, und zwar auf
grund des Schrumpfens des Elements 4A und der Ausdehnung des
Elements 4B.
Bei diesem Test hatte die Aluminiumplatte 5 eine Dimension von 2,2
mm × 2,2 mm und war an dem anderen Ende der Unterlegplatte 3
durch Epoxidharz 6 derart angeklebt, daß die Platte 5 den Lichtstrahl 11
mit einem Strahlendurchmesser von 400 bis 500 µm von der optischen
Quelle 10 unterbrechen kann, wenn an die piezoelektrische Betätigungs
vorrichtung vom bimorphen Typ 2 keine Spannung angelegt ist, und der
Lichtstrahl 11 kann durchgelassen werden, wenn die Spannung daran
angelegt ist.
Der Spiegel 9 ist an einem Ort nahe dem Platz angebracht, wo das eine
Ende der Unterlegplatte 3 an der Grundplatte 1 aus Messing angebracht
ist, so daß der durchgelassene Lichtstrahl auf den Spiegel 9 auftreffen
kann, wenn die Spannung an die piezoelektrische Betätigungsvorrichtung
vom bimorphen Typ angelegt ist. Der optische Detektor 12 ist in einer
Position derart angeordnet, daß er den Lichtstrahl detektieren kann, der
durch den Spiegel 9 reflektiert wird, wenn die Spannung an die piezo
elektrische Betätigungsvorrichtung vom bimorphen Typ angelegt ist.
Wenn eine Gleichspannung von 200 bis 250 Volt an den obigen opti
schen Schalter angelegt ist, wird der Lichtstrahl 11 durch die Aluminium
platte 5 gelassen, und dann wird der durchgelassene Lichtstrahl durch die
Spiegeloberfläche 9A des Spiegels 9 reflektiert und wird durch den
optischen Detektor 12 detektiert.
Andererseits kann der Lichtstrahl nicht durch die Aluminiumplatte 5
hindurchgelassen werden, wenn die Gleichspannung nicht an den opti
schen Schalter angelegt ist.
Nimmt man nun insbesondere auf Fig. 4 Bezug, ist die Erfindung auf
eine piezoelektrische Betätigungsvorrichtung vom unimorphen Typ zur
Verwendung bei dem optischen Schalter anwendbar. Für diesen Zweck
wird eine Betätigungsvorrichtung vom unimorphen Typ 22 benutzt, die
eine Unterlegplatte 23 mit einer einzigen piezoelektrischen Platte 24
umfaßt, die an eine Seite der Unterlegplatte 23 fest angebracht ist. Bei
diesem Ausführungsbeispiel ist ein Ende 21 der Unterlegplatte 23 mit
der Grundplatte 1 aus Messing der Fig. 1 verbunden, und das andere
Ende 25 ist mit der Aluminiumplatte 5 in Fig. 1 verbunden. Das
andere Ende 25 kann auch mit der Aluminiumplatte 5 durch das Ep
oxydharz verbunden sein, wie es in den Fig. 2 und 3 gezeigt ist.
Das dritte Ausführungsbeispiel wird in Fig. 5 gezeigt und ist auf eine
piezoelektrische Betätigungsvorrichtung vom multimorphen Typ 32 an
wendbar, die eine Unterlegplatte 33 umfaßt, deren eines Ende 31 mit
der Grundplatte aus Messing wie in Fig. 1 verbunden ist, und deren
anderes Ende 35 mit der Aluminiumplatte 5 verbunden ist.
Die piezoelektrische Betätigungsvorrichtung umfaßt viele piezoelektrische
Platten 34, mit einem Satz vieler Platten 34A, die an einer Seite der
Unterlegplatte 33 positioniert sind, und einem anderen Satz vieler Platten
34B, die an einer anderen Seite der Unterlegplatte 33 positioniert sind.
Der Betrieb der in den Fig. 4 und 5 gezeigten Ausführungsbeispiele ist
ähnlich jenem des in den Fig. 1 bis 3 gezeigten Ausführungsbeispiels,
und in einem Modus des optischen Schalters ist die Aluminiumplatte der
optischen Abschirmung 5 in der Position, die in Fig. 2 gezeigt ist, und
in dem anderen Modus des optischen Schalters, wenn er mit Energie
versorgt ist, ist die Aluminiumplatte der optischen Abschirmung 5 in der
in Fig. 3 gezeigten Position, um Lichtstrahlen zu erlauben, über die
optische Abschirmung 5 durchgelassen zu werden.
Während es gezeigt wurde, was als das bevorzugte Ausführungsbeispiel
der Erfindung betrachtet wird, wird es dem Fachmann offensichtlich sein,
daß verschiedene Änderungen und Modifikationen dabei gemacht werden
können, ohne von dem Schutzumfang der Erfindung abzuweichen.
Claims (16)
1. Optischer Schalter; der umfaßt:
eine piezoelektrische Betätigungsvorrichtung deren eines Ende an einer Grundplatte angebracht ist;
ein Objekt zum Unterbrechen oder Durchlassen eines Lichtstrahls, das an dem anderen Ende der piezoelektrischen Betätigungsvorrich tung angebracht ist;
einen Spiegel zum Reflektieren des Lichtstrahls, der an einem Ort nahe dem Platz angeordnet ist, wo die piezoelektrische Betätigungs vorrichtung an der Grundplatte angebracht ist; und
eine Einrichtung zum Anlegen einer Spannung an die piezoelek trische Betätigungsvorrichtung.
eine piezoelektrische Betätigungsvorrichtung deren eines Ende an einer Grundplatte angebracht ist;
ein Objekt zum Unterbrechen oder Durchlassen eines Lichtstrahls, das an dem anderen Ende der piezoelektrischen Betätigungsvorrich tung angebracht ist;
einen Spiegel zum Reflektieren des Lichtstrahls, der an einem Ort nahe dem Platz angeordnet ist, wo die piezoelektrische Betätigungs vorrichtung an der Grundplatte angebracht ist; und
eine Einrichtung zum Anlegen einer Spannung an die piezoelek trische Betätigungsvorrichtung.
2. Optischer Schalter nach Anspruch 1, wobei die piezoelektrische
Betätigungsvorrichtung eine piezoelektrische Betätigungsvorrichtung
vom bimorphen Typ ist.
3. Optischer Schalter nach Anspruch 1, wobei die piezoelektrische
Betätigungsvorrichtung eine piezoelektrische Betätigungsvorrichtung
vom unimorphen Typ ist.
4. Optischer Schalter nach Anspruch 1, wobei die piezoelektrische
Betätigungsvorrichtung eine piezoelektrische Betätigungsvorrichtung
vom multimorphen Typ ist.
5. Optischer Schalter nach Anspruch 1, wobei die piezoelektrische
Betätigungsvorrichtung ein Paar beabstandeter piezoelektrischer
Elemente mit einer Unterlegplatte dazwischen aufweist.
6. Optischer Schalter nach Anspruch 1, wobei die Grundplatte an ein
Ende der Unterlegplatte gelötet ist.
7. Optischer Schalter nach Anspruch 1, wobei das Objekt an dem
anderen Ende der Grundplatte angebracht ist, und zwar mit einem
Epoxid.
8. Optischer Schalter nach Anspruch 1, wobei das Objekt eine Alumini
umplatte ist.
9. Optischer Schalter nach Anspruch 1, wobei die piezoelektrische
Betätigungsvorrichtung eine Unterlegplatte aufweist, deren eines Ende
mit der Grundplatte verbunden ist und deren anderes Ende mit dem
Objekt verbunden ist, und wobei ein piezoelektrisches Element mit
einer Seite der Unterlegplatte verbunden ist.
10. Optischer Schalter nach Anspruch 1, wobei der optische Schalter
eine Unterlegplatte und zwei piezoelektrische Elemente umfaßt, und
zwar eines an jeder Seite der Unterlegplatte.
11. Optischer Schalter nach Anspruch 1, wobei die piezoelektrische
Betätigungsvorrichtung ein Paar vieler piezoelektrischer Platten und
eine dazwischen angeordnete Unterlegplatte aufweist.
12. Optischer Schalter nach Anspruch 1, wobei ein Ende der Unterleg
platte mit der Grundplatte verbunden ist, und ihr anderes Ende mit
dem Objekt verbunden ist.
13. Optischer Schalter nach Anspruch 1, wobei die piezoelektrische
Betätigungsvorrichtung eine Unterlegplatte und mindestens ein piezo
elektrisches Element aufweist.
14. Optischer Schalter nach Anspruch 1, wobei das mindestens eine
piezoelektrische Element mit dem Objekt verbunden ist.
15. Optischer Schalter nach Anspruch 1, wobei die piezoelektrische
Betätigungsvorrichtung ein piezoelektrisches Element und eine da
zwischen angeordnete Grundplatte aufweist, und wobei die piezo
elektrischen Elemente mit dem Objekt verbunden sind.
16. Optischer Schalter nach Anspruch 1, der einen optischen Detektor
zum Empfangen des Lichts aufweist, das von einer Laserquelle
übertragen wird, von dem Objekt durchgelassen wird und von dem
Spiegel in eine Richtung gebracht wird.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3041895A JP2836269B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 光学スイッチ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4207194A1 true DE4207194A1 (de) | 1992-09-10 |
Family
ID=12621024
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4207194A Ceased DE4207194A1 (de) | 1991-03-07 | 1992-03-06 | Optischer schalter |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5268974A (de) |
JP (1) | JP2836269B2 (de) |
DE (1) | DE4207194A1 (de) |
FR (1) | FR2673731B1 (de) |
GB (1) | GB2253923B (de) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2652940B2 (ja) * | 1993-05-31 | 1997-09-10 | アネルバ株式会社 | 波長変調分光器 |
US5594820A (en) * | 1995-02-08 | 1997-01-14 | Jds Fitel Inc. | Opto-mechanical device having optical element movable by twin flexures |
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1991
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-
1992
- 1992-03-05 FR FR929202874A patent/FR2673731B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1992-03-06 DE DE4207194A patent/DE4207194A1/de not_active Ceased
- 1992-03-06 GB GB9204923A patent/GB2253923B/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-03-09 US US07/848,111 patent/US5268974A/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2673731B1 (fr) | 1994-09-02 |
GB2253923B (en) | 1994-05-04 |
GB2253923A (en) | 1992-09-23 |
JPH04278908A (ja) | 1992-10-05 |
GB9204923D0 (en) | 1992-04-22 |
JP2836269B2 (ja) | 1998-12-14 |
FR2673731A1 (fr) | 1992-09-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8131 | Rejection |