JPH04278908A - 光学スイッチ - Google Patents
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- JPH04278908A JPH04278908A JP3041895A JP4189591A JPH04278908A JP H04278908 A JPH04278908 A JP H04278908A JP 3041895 A JP3041895 A JP 3041895A JP 4189591 A JP4189591 A JP 4189591A JP H04278908 A JPH04278908 A JP H04278908A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 59
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
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- G02—OPTICS
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
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- G02B6/3568—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details characterised by the actuating force
- G02B6/3578—Piezoelectric force
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- G02B6/3544—2D constellations, i.e. with switching elements and switched beams located in a plane
- G02B6/3548—1xN switch, i.e. one input and a selectable single output of N possible outputs
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光学スイッチに係り、特
にビーム状の光のシャッタとして用いられる光学スイッ
チであって、構造が簡易で、軽量小型、かつ低コストで
高性能な光学スイッチに関する。
にビーム状の光のシャッタとして用いられる光学スイッ
チであって、構造が簡易で、軽量小型、かつ低コストで
高性能な光学スイッチに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、光学シャッタとしては、主に機械
的シャッタと非機械的なシャッタとがある。機械的なシ
ャッタとしては、■ 多面鏡(ポリゴンミラー)を回
転させて、光を走査する方式。■ ファイバを移動し
てファイバ間の結合を変える方式。などがある。一方、
非機械的なシャッタとしては、音響光学効果や電気光学
効果を利用する方式がある。
的シャッタと非機械的なシャッタとがある。機械的なシ
ャッタとしては、■ 多面鏡(ポリゴンミラー)を回
転させて、光を走査する方式。■ ファイバを移動し
てファイバ間の結合を変える方式。などがある。一方、
非機械的なシャッタとしては、音響光学効果や電気光学
効果を利用する方式がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の光学シャッ
タのうち、機械的なシャッタでは、次のような欠点があ
る。即ち、ポリゴンミラーなどでは、入射光を回転する
多面鏡で反射させるために駆動系にモーターを用いるの
で、シャッタ全体が重くなるばかりでなく、モーター駆
動のため、大きな電力が必要となる。また、モーターの
振動対策や、電磁的ノイズの防止対策を必要とする。
タのうち、機械的なシャッタでは、次のような欠点があ
る。即ち、ポリゴンミラーなどでは、入射光を回転する
多面鏡で反射させるために駆動系にモーターを用いるの
で、シャッタ全体が重くなるばかりでなく、モーター駆
動のため、大きな電力が必要となる。また、モーターの
振動対策や、電磁的ノイズの防止対策を必要とする。
【0004】一方、非機械的なシャッタのうち、PLZ
Tなどの電気光学効果を利用したシャッタでは、偏光子
と検光子を用いるため、光の吸収により、入射光に対し
て取り出される出射光の強度比が著しく低下するという
欠点がある。また、液晶を用いるものでは、液晶による
光の吸収によりS/N比が低下するという欠点がある。 また、強い光により液晶が劣化するという不具合もある
。CCD(電荷結合素子)を用いたスイッチでは、光の
信号を一旦、電気信号に変換して使用するため、直接的
な光スイッチングができないという不具合がある。
Tなどの電気光学効果を利用したシャッタでは、偏光子
と検光子を用いるため、光の吸収により、入射光に対し
て取り出される出射光の強度比が著しく低下するという
欠点がある。また、液晶を用いるものでは、液晶による
光の吸収によりS/N比が低下するという欠点がある。 また、強い光により液晶が劣化するという不具合もある
。CCD(電荷結合素子)を用いたスイッチでは、光の
信号を一旦、電気信号に変換して使用するため、直接的
な光スイッチングができないという不具合がある。
【0005】本発明は上記従来の問題点を解決し、構造
が簡易で、軽量小型の光スイッチであって、モーターな
どの駆動源が不要で、しかもS/N比が高く、光による
劣化もない、高性能光スイッチを提供することを目的と
する。
が簡易で、軽量小型の光スイッチであって、モーターな
どの駆動源が不要で、しかもS/N比が高く、光による
劣化もない、高性能光スイッチを提供することを目的と
する。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の光スイッチは、
基体に取り付けられた圧電アクチュエータと、該圧電ア
クチュエータの先端に取り付けられた光学遮蔽物体と、
該圧電アクチュエータと基体との取り付け部近傍に設け
られた鏡体と、前記圧電アクチュエータに電圧を印加す
るための手段とを備えてなることを特徴とする。
基体に取り付けられた圧電アクチュエータと、該圧電ア
クチュエータの先端に取り付けられた光学遮蔽物体と、
該圧電アクチュエータと基体との取り付け部近傍に設け
られた鏡体と、前記圧電アクチュエータに電圧を印加す
るための手段とを備えてなることを特徴とする。
【0007】請求項2の光学スイッチは、請求項1の光
学スイッチにおいて、圧電アクチュエータがバイモルフ
型圧電アクチュエータであることを特徴とする。
学スイッチにおいて、圧電アクチュエータがバイモルフ
型圧電アクチュエータであることを特徴とする。
【0008】請求項3の光学スイッチは、請求項1の光
学スイッチにおいて、圧電アクチュエータがユニモルフ
型圧電アクチュエータであることを特徴とする。
学スイッチにおいて、圧電アクチュエータがユニモルフ
型圧電アクチュエータであることを特徴とする。
【0009】請求項4の光学スイッチは、請求項1の光
学スイッチにおいて、圧電アクチュエータがマルチモル
フ型圧電アクチュエータであることを特徴とする。
学スイッチにおいて、圧電アクチュエータがマルチモル
フ型圧電アクチュエータであることを特徴とする。
【0010】
【作用】本発明の光学スイッチにあっては、光学遮蔽物
体に対して、基体と反体の側から光を照射する。光学ス
イッチのOFF状態においては、光学遮蔽物体で光線を
遮断する。光学スイッチのON状態においては、圧電ア
クチュエータに電圧を印加するための手段より圧電アク
チュエータに電圧を印加して、圧電アクチュエータの先
端を変位させることにより、光学遮蔽物体を、光路から
はずれた位置に移動させる。これにより、光を検知して
、光シャッタとしての機能が奏される。この場合、鏡体
の鏡面の向きを変えることにより、光の進行方向を任意
に変えることができる。
体に対して、基体と反体の側から光を照射する。光学ス
イッチのOFF状態においては、光学遮蔽物体で光線を
遮断する。光学スイッチのON状態においては、圧電ア
クチュエータに電圧を印加するための手段より圧電アク
チュエータに電圧を印加して、圧電アクチュエータの先
端を変位させることにより、光学遮蔽物体を、光路から
はずれた位置に移動させる。これにより、光を検知して
、光シャッタとしての機能が奏される。この場合、鏡体
の鏡面の向きを変えることにより、光の進行方向を任意
に変えることができる。
【0011】
【実施例】以下に図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。第1図は本発明の光学スイッチの一
実施例を示す模式的断面図、第2図及び第3図は第1図
に示す光学スイッチの作動原理を示す部分拡大図である
。
て詳細に説明する。第1図は本発明の光学スイッチの一
実施例を示す模式的断面図、第2図及び第3図は第1図
に示す光学スイッチの作動原理を示す部分拡大図である
。
【0012】図示の例は、圧電アクチュエータとして、
シム板3と、その両面に貼り付けられた圧電素子4(4
A,4B)とからなるバイモルフ型圧電アクチュエータ
2を用いた例である。
シム板3と、その両面に貼り付けられた圧電素子4(4
A,4B)とからなるバイモルフ型圧電アクチュエータ
2を用いた例である。
【0013】即ち、真ちゅう製の基板1にバイモルフ型
圧電アクチュエータ2が立てられ、バイモルフ型圧電ア
クチュエータ2の先端部には光学遮蔽物体5が取り付け
られている。バイモルフ型圧電アクチュエータ2は、シ
ム板3を基板1に半田付けすることにより、バイモルフ
型圧電アクチュエータ2自体が基板1に対して垂直とな
るように固定されている。このバイモルフ型圧電アクチ
ュエータ2には、それぞれ、シム板3がグランド値に、
圧電素子4の表面側がプラス側となるように、電源8か
ら導線7A,7Bが接続されている。なお、圧電素子4
A,4Bは、第1図において、下側の圧電素子4Aは、
印加電圧により図における横方向に縮み、一方、上側の
圧電素子4Bは図における横方向に伸びるように、自発
分極の向きが図の下方向に揃うようにシム板3に接着し
てある。
圧電アクチュエータ2が立てられ、バイモルフ型圧電ア
クチュエータ2の先端部には光学遮蔽物体5が取り付け
られている。バイモルフ型圧電アクチュエータ2は、シ
ム板3を基板1に半田付けすることにより、バイモルフ
型圧電アクチュエータ2自体が基板1に対して垂直とな
るように固定されている。このバイモルフ型圧電アクチ
ュエータ2には、それぞれ、シム板3がグランド値に、
圧電素子4の表面側がプラス側となるように、電源8か
ら導線7A,7Bが接続されている。なお、圧電素子4
A,4Bは、第1図において、下側の圧電素子4Aは、
印加電圧により図における横方向に縮み、一方、上側の
圧電素子4Bは図における横方向に伸びるように、自発
分極の向きが図の下方向に揃うようにシム板3に接着し
てある。
【0014】このようなバイモルフ型圧電アクチュエー
タ2の先端に取り付けた光学遮蔽物体5としては、特に
制限はなく、光を遮蔽でき、なおかつ、バイモルフ型圧
電アクチュエータの変位に影響しない軽量なものであれ
ば良い。本実施例では、アルミニウムの角板を用い、こ
の角板の中心位置をエポキシ樹脂系接着剤6でバイモル
フ型圧電アクチュエータ2の先端に貼り付けた。
タ2の先端に取り付けた光学遮蔽物体5としては、特に
制限はなく、光を遮蔽でき、なおかつ、バイモルフ型圧
電アクチュエータの変位に影響しない軽量なものであれ
ば良い。本実施例では、アルミニウムの角板を用い、こ
の角板の中心位置をエポキシ樹脂系接着剤6でバイモル
フ型圧電アクチュエータ2の先端に貼り付けた。
【0015】一方、バイモルフ型圧電アクチュエータ2
の基端側の基板1との取り付け部の基板1面には、鏡体
9が取り付けられている。この鏡体9は、その鏡面9A
が、基体1に対してθ=45°の傾斜角となるように設
けられている。
の基端側の基板1との取り付け部の基板1面には、鏡体
9が取り付けられている。この鏡体9は、その鏡面9A
が、基体1に対してθ=45°の傾斜角となるように設
けられている。
【0016】10はHe−Neレーザー光源であり、こ
の光源10から出射される光線11は、そのままの状態
では光学遮蔽物体5の辺縁部で阻止されるが、前述の如
く、バイモルフ型圧電アクチュエータ2に電圧が印加さ
れて圧電素子4A,4Bが伸縮することにより、バイモ
ルフ型圧電アクチュエータ2の先端が下方に変位するこ
とに伴って、光学遮蔽物体5が下方に移動すれば、その
まま直進し、鏡体9の鏡面9Aで反射され、光検出器1
2で受光できるように各々の位置設定及び光学遮蔽物体
5の面積設定がなされている。
の光源10から出射される光線11は、そのままの状態
では光学遮蔽物体5の辺縁部で阻止されるが、前述の如
く、バイモルフ型圧電アクチュエータ2に電圧が印加さ
れて圧電素子4A,4Bが伸縮することにより、バイモ
ルフ型圧電アクチュエータ2の先端が下方に変位するこ
とに伴って、光学遮蔽物体5が下方に移動すれば、その
まま直進し、鏡体9の鏡面9Aで反射され、光検出器1
2で受光できるように各々の位置設定及び光学遮蔽物体
5の面積設定がなされている。
【0017】このような光学スイッチの作動状態につい
て次に説明する。即ち、まず、電源8がOFFの状態で
は、光線11は光学遮蔽物体5で遮断され、光検知器1
2で光を検知することはできない(第2図。光スイッチ
OFFの状態。)。
て次に説明する。即ち、まず、電源8がOFFの状態で
は、光線11は光学遮蔽物体5で遮断され、光検知器1
2で光を検知することはできない(第2図。光スイッチ
OFFの状態。)。
【0018】これに対して、電源8から直流電圧を印加
することにより、バイモルフ型圧電アクチュエータ2は
第1図の下方、即ち矢印Aの方向に変位し、光学遮蔽物
体5も光路を遮断しない位置まで下方に動かされる。こ
れにより、光線11は鏡体9の鏡面9Aに達し、ここで
反射されて光検知器12に入射する(第3図。光スイッ
チONの状態。)。
することにより、バイモルフ型圧電アクチュエータ2は
第1図の下方、即ち矢印Aの方向に変位し、光学遮蔽物
体5も光路を遮断しない位置まで下方に動かされる。こ
れにより、光線11は鏡体9の鏡面9Aに達し、ここで
反射されて光検知器12に入射する(第3図。光スイッ
チONの状態。)。
【0019】なお、図示の光学スイッチは本発明の一実
施例であって、本発明はその要旨を超えない限り、何ら
図示のものに限定されるものではない。例えば、図示の
例では、鏡体9の鏡面9Aと基板1とがなす角度θを4
5°としたが、このθを小さくしてゆくことにより、反
射光を基板表面に平行なものから垂直なものに変えてゆ
くことができる。
施例であって、本発明はその要旨を超えない限り、何ら
図示のものに限定されるものではない。例えば、図示の
例では、鏡体9の鏡面9Aと基板1とがなす角度θを4
5°としたが、このθを小さくしてゆくことにより、反
射光を基板表面に平行なものから垂直なものに変えてゆ
くことができる。
【0020】この鏡体は、バイモルフ型圧電アクチュエ
ータに設置することも考えられるが、この場合には、バ
イモルフ型圧電アクチュエータの変位により鏡面の角度
が変化することを十分に考慮する必要がある。
ータに設置することも考えられるが、この場合には、バ
イモルフ型圧電アクチュエータの変位により鏡面の角度
が変化することを十分に考慮する必要がある。
【0021】本実施例の光学スイッチにおいて、バイモ
ルフ型圧電アクチュエータ2をより長尺とすることによ
り、より大きな先端部の変位を得ることができる。この
場合には、より大きなビーム径の光線のコントロールが
可能となり、また、より低い印加電圧による操作が可能
となる。逆に、ビーム径を絞った細い光線であれば、短
いバイモルフ型圧電アクチュエータで操作することがで
きる。
ルフ型圧電アクチュエータ2をより長尺とすることによ
り、より大きな先端部の変位を得ることができる。この
場合には、より大きなビーム径の光線のコントロールが
可能となり、また、より低い印加電圧による操作が可能
となる。逆に、ビーム径を絞った細い光線であれば、短
いバイモルフ型圧電アクチュエータで操作することがで
きる。
【0022】上記実施例では、圧電アクチュエータとし
てバイモルフ型圧電アクチュエータを用いたが、本発明
においては、その他、ユニモルフ型圧電アクチュエータ
又はマルチモルフ型圧電アクチュエータを用いることも
できる。
てバイモルフ型圧電アクチュエータを用いたが、本発明
においては、その他、ユニモルフ型圧電アクチュエータ
又はマルチモルフ型圧電アクチュエータを用いることも
できる。
【0023】以下に第1図に示す光学スイッチを用いて
行なった実験例について説明する。 実験例1 バイモルフ型圧電アクチュエータ2として、圧電素子4
の部分の長さLが約30mmであり、電源8より200
Vの直流電圧を印加することにより、前述した圧電素子
4A,4Bの伸縮で、バイモルフ型圧電アクチュエータ
2の先端が矢印A方向へ600〜700μm下方に変位
するものを用いた。また、光学遮蔽物体5のアルミニウ
ム角板としては、2.2mm×2.2mmの大きさで、
シム板3を中心として、上下に1.1mmずつ光を遮蔽
するものを用いた。光源10からはビーム径400〜5
00μmの光線11が出射される。そして、電圧を印加
することにより、バイモルフ型圧電アクチュエータ2の
先端及び光学遮蔽物体5が600〜700μm下方に移
行することにより、ビーム径400〜500μmの光線
が通過できるように各部材位置を設定した。
行なった実験例について説明する。 実験例1 バイモルフ型圧電アクチュエータ2として、圧電素子4
の部分の長さLが約30mmであり、電源8より200
Vの直流電圧を印加することにより、前述した圧電素子
4A,4Bの伸縮で、バイモルフ型圧電アクチュエータ
2の先端が矢印A方向へ600〜700μm下方に変位
するものを用いた。また、光学遮蔽物体5のアルミニウ
ム角板としては、2.2mm×2.2mmの大きさで、
シム板3を中心として、上下に1.1mmずつ光を遮蔽
するものを用いた。光源10からはビーム径400〜5
00μmの光線11が出射される。そして、電圧を印加
することにより、バイモルフ型圧電アクチュエータ2の
先端及び光学遮蔽物体5が600〜700μm下方に移
行することにより、ビーム径400〜500μmの光線
が通過できるように各部材位置を設定した。
【0024】まず、電源8がOFF状態では、光源11
は光学遮蔽物体5に遮蔽されて、光検知器12で光を検
知することはできなかった。その後、電源8から200
〜250Vの直流電圧を印加したところ、バイモルフ型
圧電アクチュエータ2の先端及び光学遮蔽物体5がA方
向に600〜700μm移行し、ビーム径400〜50
0μmの光線11は、鏡体9に達し、鏡面9Aで反射さ
れて光検知器12で検知された。これにより、本実施例
の光学スイッチによる光シャッタとしての動作が確認さ
れた。
は光学遮蔽物体5に遮蔽されて、光検知器12で光を検
知することはできなかった。その後、電源8から200
〜250Vの直流電圧を印加したところ、バイモルフ型
圧電アクチュエータ2の先端及び光学遮蔽物体5がA方
向に600〜700μm移行し、ビーム径400〜50
0μmの光線11は、鏡体9に達し、鏡面9Aで反射さ
れて光検知器12で検知された。これにより、本実施例
の光学スイッチによる光シャッタとしての動作が確認さ
れた。
【0025】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の光学スイッ
チによれば、■ ポリゴンミラーなどに比べ構造が簡
単で、軽量小型の光スイッチである。■ モーターな
どの駆動源が不要で、消費電力が小さい。■ 光遮蔽
物体でON−OFFするため、他のPLZTなどの電子
的なスイッチに比べてS/N比が高い。■ 液晶など
のように、光のエネルギーによる劣化もない。■ 鏡
体により、出力光を任意の方向へ出力させることが可能
である。等の優れた効果を奏する光学スイッチが提供さ
れる。
チによれば、■ ポリゴンミラーなどに比べ構造が簡
単で、軽量小型の光スイッチである。■ モーターな
どの駆動源が不要で、消費電力が小さい。■ 光遮蔽
物体でON−OFFするため、他のPLZTなどの電子
的なスイッチに比べてS/N比が高い。■ 液晶など
のように、光のエネルギーによる劣化もない。■ 鏡
体により、出力光を任意の方向へ出力させることが可能
である。等の優れた効果を奏する光学スイッチが提供さ
れる。
【図1】第1図は本発明の光学スイッチの一実施例を示
す模式的断面図である。
す模式的断面図である。
【図2】第2図は第1図の光学スイッチのOFF状態を
示す拡大図である。
示す拡大図である。
【図3】第3図は第1図の光学スイッチのON状態を示
す拡大図である。
す拡大図である。
1 基板
2 バイモルフ型圧電アクチュエータ3 シム板
4 圧電素子
5 光学遮蔽物体
7A 導線
7B 導線
8 電源
9 鏡体
10 光源
11 光線
Claims (4)
- 【請求項1】 基体に取り付けられた圧電アクチュエ
ータと、該圧電アクチュエータの先端に取り付けられた
光学遮蔽物体と、該圧電アクチュエータと基体との取り
付け部近傍に設けられた鏡体と、前記圧電アクチュエー
タに電圧を印加するための手段とを備えてなる光学スイ
ッチ。 - 【請求項2】 圧電アクチュエータが、バイモルフ型
圧電アクチュエータであることを特徴とする請求項1に
記載の光学スイッチ。 - 【請求項3】 圧電アクチュエータが、ユニモルフ型
圧電アクチュエータであることを特徴とする請求項1に
記載の光学スイッチ。 - 【請求項4】 圧電アクチュエータが、マルチモルフ
型圧電アクチュエータであることを特徴とする請求項1
に記載の光学スイッチ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3041895A JP2836269B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 光学スイッチ |
FR929202874A FR2673731B1 (fr) | 1991-03-07 | 1992-03-05 | Interrupteur optique. |
DE4207194A DE4207194A1 (de) | 1991-03-07 | 1992-03-06 | Optischer schalter |
GB9204923A GB2253923B (en) | 1991-03-07 | 1992-03-06 | An optical switch |
US07/848,111 US5268974A (en) | 1991-03-07 | 1992-03-09 | Optical switch with piezoelectric bimorph |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3041895A JP2836269B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 光学スイッチ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04278908A true JPH04278908A (ja) | 1992-10-05 |
JP2836269B2 JP2836269B2 (ja) | 1998-12-14 |
Family
ID=12621024
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3041895A Expired - Lifetime JP2836269B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 光学スイッチ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5268974A (ja) |
JP (1) | JP2836269B2 (ja) |
DE (1) | DE4207194A1 (ja) |
FR (1) | FR2673731B1 (ja) |
GB (1) | GB2253923B (ja) |
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-
1992
- 1992-03-05 FR FR929202874A patent/FR2673731B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1992-03-06 GB GB9204923A patent/GB2253923B/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-03-06 DE DE4207194A patent/DE4207194A1/de not_active Ceased
- 1992-03-09 US US07/848,111 patent/US5268974A/en not_active Expired - Fee Related
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FR2673731B1 (fr) | 1994-09-02 |
JP2836269B2 (ja) | 1998-12-14 |
US5268974A (en) | 1993-12-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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