DE4203225A1

DE4203225A1 - Wellenleiterlaser

Info

Publication number: DE4203225A1
Application number: DE4203225A
Authority: DE
Inventors: Rolf Dipl Phys Nowack; Hans Dr Rer Nat Opower
Original assignee: Deutsche Forschungs und Versuchsanstalt fuer Luft und Raumfahrt eV DFVLR
Current assignee: Deutsches Zentrum fuer Luft und Raumfahrt eV
Priority date: 1992-02-05
Filing date: 1992-02-05
Publication date: 1993-08-12
Anticipated expiration: 2012-02-06
Also published as: DE4203225C2; JPH07254737A; US5373525A; JP2758337B2

Description

Die Erfindung betrifft einen Wellenleiterlaser umfassend einen zwischen zwei Resonatorspiegeln angeordneten Wellen leiter mit einer äußeren zylindrischen Wellenleiterfläche und einer dieser zugewandten und innerhalb der äußeren im Abstand angeordneten inneren zylindrischen Wellenleiter fläche, die gemeinsam einen Wellenleiter mit sich im ge samten Wellenleiter kohärenter und im wesentlichen in Axialrichtung ausbreitender Strahlung bilden, und ein zwischen den Wellenleiterflächen angeordnetes, durch Hochfrequenzentladung angeregtes und diffusionsgekühltes Lasergas.

Derartige Wellenleiterlaser - insbesondere diffusionsge kühlte CO₂-Laser - sind beispielsweise aus der DE-PS 27 35 299 bekannt.

Um aus derartigen Wellenleiterlasern Laser für große Leistungen, insbesondere für Leistungen < 10 kw herstellen zu können, sind die Durchmesser der zylindrischen Wellen leiterflächen in der Größenordnung < 20 cm zu wählen, so daß daraus auch für die Resonatorspiegel ein großer Durch messer folgt. Daraus entstehen insbesondere hinsichtlich der Ausbildung der Auskoppelspiegel große Schwierigkeiten, da transmissive Werkstoffe für derart große Spiegel nicht mehr wirtschaftlich einsetzbar sind.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Wellenleiterlaser der gattungsgemäßen Art derart zu verbessern, daß der Hochleistungslaserstrahl durch ein konstruktiv einfach herstellbares und kostengünstiges Element auskoppelbar ist.

Diese Aufgabe wird bei einem Wellenleiterlaser der eingangs beschriebenen Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der eine Resonatorspiegel in Azimutalrichtung aus einer Vielzahl von aufeinanderfolgenden reflektierenden Segmenten zusammengesetzt ist, daß zwischen den reflek tierenden Segmenten jeweils Auskoppelöffnungen für die auszukoppelnde Laserstrahlung vorgesehen sind und daß die gesamte sich im Wellenleiter ausbreitende Strahlung in azimutaler Richtung beugungsgekoppelt ist.

Die erfindungsgemäße Lösung schafft zum einen die Möglich keit, in einfacher Weise die Laserstrahlung aus dem Wel lenleiter auszukoppeln und außerdem durch die Beugungs kopplung eine Aufrechterhaltung der Kohärenz über den gesamten Wellenleiter, insbesondere in Azimutalrichtung derselben.

Im Rahmen der erfindungsgemäßen Lösung könnte die Beu gungskopplung durch ein Beugungselement im Wellenleiter oder bei einem der Resonatorspiegel erreichbar sein. Besonders vorteilhaft ist es jedoch, wenn die reflek tierenden Segmente aufgrund ihrer Dimensionierung in Azimutalrichtung die Beugungskopplung bewirken.

Besonders zweckmäßig ist es hierbei, wenn die reflek tierenden Segmente ein die Beugungskopplung bewirkendes Beugungsgitter bilden.

Im einfachsten Fall ist dies dadurch realisierbar, daß die reflektierenden Segmente und die Auskoppelöffnungen ein ander periodisch abwechseln.

Insbesondere ist es dabei vorteilhaft, wenn alle reflek tierenden Segmente dieselbe Breite in Azimutalrichtung aufweisen.

Darüber hinaus ist es ebenfalls vorteilhaft, wenn alle Auskoppelöffnungen dieselbe Breite in Azimutalrichtung aufweisen.

Vorzugsweise sind die reflektierenden Segmente so ausge bildet, daß sie sich in radialer Richtung, bezogen auf die Zylinderachse, über einen Abstand zwischen den Wellenlei terflächen erstrecken.

In gleicher Weise ist vorzugsweise vorgesehen, daß sich die Auskoppelöffnungen in radialer Richtung über den Abstand zwischen den Wellenleiterflächen erstrecken.

Die reflektierenden Segmente können ihrerseits durch unterschiedlichste Seitenkanten begrenzt sein. Beispiels weise wäre es denkbar, die reflektierenden Segmente als kreisrunde Spiegel auszubilden oder die Auskoppelöffnungen als kreisrunde Löcher zwischen den reflektierenden Seg menten.

Besonders vorteilhaft ist es jedoch, wenn die reflek tierenden Segmente senkrecht auf den Wellenleiterflächen stehende Seitenkanten aufweisen. Vorzugsweise sind im Falle eines Kreiszylinders dabei die Seitenkanten in radialer Richtung zur Zylinderachse ausgerichtet.

Vorzugsweise sind die reflektierenden Segmente so ausge bildet, daß sie die Laserstrahlung im wesentlichen voll ständig reflektieren.

Die eingangs genannte Beugungskopplung in Azimutalrichtung ist bereits dann erreichbar, wenn mindestens die auf nebeneinanderliegenden reflektierenden Segmenten auf treffende Strahlung durch Beugung gekoppelt ist.

Vorzugsweise ergibt sich daraus eine mittlere Breite der reflektierenden Segmente aus folgender Relation

wobei L die Länge des Wellenleiters, λ die Wellenlänge des Laserlichts, br die mittlere Breite des reflektieren den Segments und ba die mittlere Breite der Auskoppelöff nung ist.

Darüber hinaus ergibt sich vorzugsweise für eine mittlere Breite der Auskoppelöffnungen in Azimutalrichtung folgende Relation

wobei ba die mittlere Breite der Auskoppelöffnung und A der Abstand zwischen den Wellenleiterflächen ist.

Schließlich hängt auch die mittlere Breite der reflek tierenden Segmente und die mittlere Breite der Auskoppel öffnungen miteinander zusammen, wobei sich vorzugsweise für CO₂-Laser folgende Relation ergibt

Eine besonders vorteilhafte konstruktive Lösung sieht dabei vor, daß ein aus dem einen Resonatorspiegel aus tretendes Laserstrahlenbündel durch eine in radialer Richtung strahlverengende Optik auf ein Laserstrahlen bündel mit geringerem Durchmesser abgebildet ist.

Vorzugsweise ist diese in radialer Richtung strahlver engende Optik als ein Axicon ausgebildet.

Eine besonders vorteilhafte Lösung eines Axicons sieht vor, daß dieses als reflektierende Flächen Torusflächen aufweist, da dadurch eine Aufweitung des auf den inneren Spiegelflächen auftretenden Laserstrahls und somit eine Verringerung der Belastung derselben zur Folge hat.

Weiterhin sieht eine vorteilhafte konstruktive Lösung vor, daß die äußeren zylindrischen Wellenleiterflächen und die inneren zylindrischen Wellenleiterflächen jeweils Ober flächen eines Zylinders sind, wobei diese Zylinder vor zugsweise Metallzylinder sind und die Elektroden für die Hochfrequenzentladung darstellen.

Um die Wellenleiterflächen in definiertem Abstand zuein ander zu halten, ist vorzugsweise vorgesehen, daß die die Wellenleiterflächen tragenden Wände mit sich im Bereich der reflektierenden Segmente zwischen den Auskoppelöff nungen in radialer Richtung erstreckenden Halter relativ zueinander fixiert sind, so daß eine Fixierung der Wände zueinander im Bereich des einen Resonatorspiegels in radialer Richtung möglich ist.

Vorzugsweise übergreifen die Halter dabei die reflek tierenden Segmente auf ihrer dem Wellenleiter abgewandten Seite.

Im Rahmen der Erläuterung unterschiedlicher Ausführungs beispiele wurde nicht auf die Ausbildung der reflek tierenden Spiegelflächen eingegangen.

So wäre es beispielsweise möglich, die reflektierenden Spiegelflächen in radialer Richtung geringfügig konkav zu krümmen.

Ein besonders vorteilhaftes Ausführungsbeispiel sieht jedoch vor, daß der andere Resonatorspiegel eine ebene reflektierende Spiegelfläche aufweist.

Darüber hinaus sieht ein einfaches und somit kostengünstig herzustellendes Ausführungsbeispiel vor, daß der eine Resonatorspiegel ebene reflektierende Flächen aufweist.

Bei einer etwas modifizierten Ausführungsform kann die Kopplung in Azimutalrichtung noch dadurch verbessert werden, daß der eine Resonatorspiegel in Azimutalrichtung leicht konvex gekrümmte reflektierende Flächen aufweist.

Vorzugsweise sind die reflektierenden Flächen dabei so ausgerichtet, daß sie parallel zur radialen Richtung verlaufen.

Noch vorteilhafter läßt sich diese Konstruktion dann weiterführen, wenn die Halter die von diesen übergriffenen reflektierenden Segmente tragen, so daß damit gleichzeitig eine Fixierung der reflektierenden Segmente relativ zu den die Wellenleiterflächen tragenden Zylindern möglich ist.

Weitere Merkmale und Vorteile der erfindungsgemäßen Lösung sind Gegenstand der nachfolgenden Beschreibung sowie der zeichnerischen Darstellung eines Ausführungsbeispiels. In der Zeichnung zeigt

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines erfin dungsgemäßen Lasers;

Fig. 2 einen Schnitt längs Linie 2-2 in Fig. 1 und

Fig. 3 einen Schnitt längs Linie 3-3 in Fig. 2.

Ein in Fig. 1 dargestelltes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Lasers umfaßt einen als Ganzes mit 10 bezeichneten Wellenleiter, gebildet durch eine äußere zylindrische Wellenleiterfläche 12 und eine innere zylindrische Wellenleiterfläche 14, die beide koaxial zu einer Zylinderachse 16 angeordnet sind.

Dieser zylinderförmige optische Wellenleiter dient zur Führung von Laserstrahlung durch Hin- und Herreflexion im wesentlichen in Richtung der Zylinderachse 16 zwischen einem ersten Resonatorspiegel 18 und einem zweiten Resonatorspiegel 20 eines Laserresonators, die jeweils stirnseitig des Wellenleiters 10 angeordnet sind.

Der erste Resonatorspiegel 18 ist voll reflektierend, während der zweite Resonatorspiegel 20 einen Auskoppel spiegel darstellt, aus welchem zylinderähnlich um die Zylinderachse 16 herum ein Laserstrahlenbündel 22 aus tritt, welches durch ein Axicon 24 auf ein zur Zylinder achse 16 koaxiales Laserstrahlenbündel 26 zusammengeführt wird, das einen geringeren Durchmesser als das Laserstrah lenbündel 22 aufweist.

Zur Anregung von in dem Wellenleiter 10 angeordnetem Lasergas, vorzugsweise CO₂ bei für CO₂ üblichem Druck, dient eine Hochfrequenzquelle 28, welche in dem Wellen leiter 10 durch geeignete Elektrodenanordnungen zu einer Gasentladung in radialer Richtung zur Zylinderachse 16 führt. Das Lasergas wird dabei nicht umgewälzt, sondern lediglich durch Stöße an den gekühlten Wellenleiterflächen 12 und 14 abgekühlt.

Wie in Fig. 2 im einzelnen dargestellt, ist die äußere Wellenleiterfläche 12 von einer äußeren Zylinderwand 30 getragen, welche vorzugsweise die Wand eines Metallzy linders darstellt, der direkt über eine Leitung 32 mit der Hochfrequenzquelle 28 verbunden ist und als äußere Elek trode dient.

Desgleichen ist die innere Wellenleiterfläche 14 von einer inneren Zylinderwand 34 getragen, welche ebenfalls die Wand eines Metallzylinders ist, der seinerseits über eine Leitung 36 mit der Hochfrequenzquelle 28 verbunden ist.

Wie ferner in Fig. 2 im Detail dargestellt, liegen erste Enden 38 und 40 der Zylinderwände 30 bzw. 34 in einer Ebene 42, und bilden eine erste Stirnseite 44 des Wellen leiters 10.

Dieser ersten Stirnseite 44 des Wellenleiters 10 ist der erste Resonatorspiegel 18 mit einem kreisringförmigen reflektierenden Bereich 46 zugewandt, so daß an der ersten Stirnseite 44 eine Totalreflexion der von dem Wellen leiter 10 zu dieser durch Hin- und Herreflexion an den zylindrischen Wellenleiterflächen 12 und 14 geführten Strahlung vorliegt.

Vorzugsweise ist dabei der erste Resonatorspiegel 18 ebenfalls durch einen Ring 48 aus einem Trägermaterial gebildet, der den kreisringförmigen reflektierenden Bereich trägt.

Jeweils ein zweites dem ersten gegenüberliegendes Ende 50 und 52 der äußeren Zylinderwand 30 bzw. der inneren Zy linderwand 34 ist ebenfalls in einer Ebene 54 angeordnet, in welcher eine zweite Stirnseite 56 des Wellenleiters 10 liegt.

Dieser zugewandt ist, wie bereits beschrieben, der zweite Resonatorspiegel 20 angeordnet, welcher, wie insbesondere in Fig. 3 dargestellt, eine Vielzahl von reflektierenden Segmenten 60 aufweist, zwischen denen jeweils Auskoppel öffnungen 62 angeordnet sind, die sich in radialer Rich tung R bezüglich der Zylinderachse 16 über den Abstand A zwischen den zylindrischen Wellenleiterflächen 12 und 14 erstrecken.

Die reflektierenden Segmente 60 sind dabei vorzugsweise bezüglich der Zylinderachse 16 Kreisringsegmente, wobei die Auskoppelöffnungen 62 ebenfalls Kreisringsegmente darstellen, so daß Kanten 64 der reflektierenden Segmente in radialer Richtung R bezüglich der Zylinderachse 16 verlaufen.

Die reflektierenden Segmente 60 haben dabei eine Breite br, während die Auskoppelöffnungen jeweils eine Breite ba aufweisen, wobei als Breite br oder ba jeweils die mitt lere Breite der Kreissegmente in Azimutalrichtung 66 be züglich der Zylinderachse 16 zu verstehen ist.

Die reflektierenden Segmente 60 weisen der zweiten Stirn seite 56 des Wellenleiters 10 zugewandte Reflektions flächen 68 auf, die sich zwischen den Kanten 64 derselben in Azimutalrichtung 66 und zwischen den äußeren und inneren zylindrischen Wellenleiterflächen 12 und 14 in radialer Richtung R erstrecken.

Die Reflektionsflächen 68 stehen dabei parallel zur Ebene 54, die erfindungsgemäß senkrecht auf der Zylinderachse 16 steht.

Darüber hinaus verläuft auch der kreisringförmige reflek tierende Bereich 46 des ersten Resonatorspiegels 18 parallel zur Ebene 42, die ebenfalls senkrecht auf der Zylinderachse 16 steht.

Der gesamte Wellenleiter 10 ist somit durch die beiden Spiegel 18 und 20 in Streifenbereiche 70 unterteilt, die endseitig durch vollreflektierende Spiegelflächen, nämlich den reflektierenden Bereich 46 und die reflektierenden Flächen 68 abgeschlossen sind, sowie in neben diesen liegende Streifenbereiche 72 unterteilt, die nur auf einer Seite voll reflektierend abgeschlossen sind, nämlich durch den reflektierenden Bereich 46 und auf ihrer anderen Seite aufgrund der Auskoppelöffnungen 62 offen sind.

Um alle Streifenbereiche 70 und 72 miteinander kohärent zu koppeln, ist die Breite der der reflektierenden Flächen 68 so gewählt, daß aufgrund der Beugungserscheinungen an den reflektierenden Flächen 68 nebeneinanderliegende Streifen bereiche 70 und somit auch der zwischen diesen liegende Streifenbereich 72 miteinander durch Beugung gekoppelt sind.

Daraus ergibt sich, daß die Breite der reflektierenden Flächen 68 beispielsweise im Falle eines CO₂-Lasers mit einer Länge L des Wellenleiters 10 von über einem Meter in der Größenordnung von beispielsweise einem oder mehreren Millimetern liegt.

Die reflektierenden Flächen 68 bilden somit ein ring förmiges Beugungsgitter, welches für eine vollständige Kopplung der Streifenbereiche 70 und 72 in Azimutal richtung 66 über den gesamten Wellenleiter 10 verant wortlich ist.

Die Breite ba der Auskoppelöffnungen 62 ist vorzugsweise so gewählt, daß sie bei großen Längen des Wellenleiters 10, beispielsweise Längen von ungefähr 1,5 Meter, ungefähr gleich der Breite br ist und bei geringeren Längen, unge fähr 1 Meter, beispielsweise bei 2/3 br liegt.

Im übrigen ist bei der Breite ba noch zu berücksichtigen, daß die die Auskoppelöffnungen 62 passierenden Laserstrah len im Laserstrahlenbündel 22 in Azimutalrichtung 66 nicht wesentlich stärker gebeugt werden als in radialer Richtung R, so daß die Breite ba ungefähr gleich oder größer als der Abstand A zwischen den zylindrischen Wellenleiter flächen 12 und 14 zu wählen ist.

Um bei der erfindungsgemäßen Lösung die äußere Zylinder wand 30 und die innere Zylinderwand 34 im Abstand A von einander definiert und stabil zu positionieren, ist an der ersten Stirnseite ein Haltering 80 vorgesehen, welcher mit einer inneren Schulter 82 als innere Auflage für die innere Zylinderwand 34 dient und mit einer äußeren Schulter 84 als äußere Auflage für die äußere Zylinderwand 30. Ferner trägt der Haltering 80 in einer hierfür vorge sehenen Ausnehmung 86 den ersten Resonatorspiegel 18.

An ihren zweiten Enden 50 und 52 sind die Zylinderwände 30 und 34 durch U-förmige Halter 88 relativ zueinander fixiert, wobei die Halter 88 mit ihren Seitenschenkeln 90 und 92 jeweils mit Außenseiten bzw. Innenseiten der Zylinderwände 30 bzw. 34 verbunden sind und mit einem Mittelschenkel 94 jeweils ein reflektierendes Segment 60 auf dessen seiner Reflexionsfläche 68 abgewandten Rück seite übergreifen.

Vorzugsweise sind die Halter 88 auch noch als Tragelemente für die Fixierung der reflektierenden Segmente 60 ausge bildet und halten diese somit mit ihren Reflexionsflächen 68 parallel zur Ebene 54 ausgerichtet.

Daß das Laserstrahlenbündel 22 in das Laserstrahlenbündel 26 überführende Axicon 24 weist vorzugsweise eine äußere konvexe Torusfläche 100 auf, die koaxial zur Zylinderachse 16 angeordnet ist und eine innere konkave Torusfläche 102, die ebenfalls koaxial zur Zylinderachse 16 angeordnet ist.

Claims

1. Wellenleiterlaser umfassend einen zwischen zwei Reso natorspiegeln angeordneten Wellenleiter mit einer äußeren zylindrischen Wellenleiterfläche und einer dieser zugewandten und innerhalb der äußeren im Ab stand angeordneten inneren zylindrischen Wellenlei terfläche, die gemeinsam einen Wellenleiter mit sich im gesamten Wellenleiter kohärenter und im wesent lichen in Axialrichtung ausbreitender Strahlung bilden, und ein zwischen den Wellenleiterflächen angeordnetes, durch Hochfrequenzanregung angeregtes und diffusionsgekühltes Lasergas, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Resonatorspiegel (20) in Azimutalrichtung (66) aus einer Vielzahl von aufeinanderfolgenden reflek tierenden Segmenten (60) zusammengesetzt ist, daß zwischen den reflektierenden Segmenten (60) jeweils Auskoppelöffnungen (62) für die auszukoppelnde Laserstrahlung vorgesehen sind und daß die gesamte, sich im Wellenleiter (10) ausbreitende Strahlung in azimutaler Richtung (66) beugungsgekoppelt ist.

2. Wellenleiterlaser nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die reflektierenden Segmente (60) aufgrund ihrer Dimensionierung in Azimutalrichtung (66) die Beugungskopplung bewirken.

3. Wellenleiterlaser nach Anspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, daß die reflektierenden Segmente (60) ein die Beugungskopplung bewirkendes Beugungsgitter bilden.

4. Wellenleiterlaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die reflek tierenden Segmente (60) und die Auskoppelöffnungen (62) einander periodisch abwechseln.

5. Wellenleiterlaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß alle reflek tierenden Segmente (60) dieselbe Breite (br) in Azimutalrichtung (66) aufweisen.

6. Wellenleiterlaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß alle Aus koppelöffnungen (62) dieselbe Breite (ba) in Azimutalrichtung (66) aufweisen.

7. Wellenleiterlaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die reflek tierenden Segmente (60) so ausgebildet sind, daß sie sich in radialer Richtung (R) bezogen auf die Zylinderachse (16) über einen Abstand (A) zwischen den Wellenleiterflächen (12, 14) erstrecken.

8. Wellenleiterlaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Auskoppel öffnungen (62) so ausgebildet sind, daß sie sich in radialer Richtung (R) über den Abstand (A) zwischen den Wellenleiterflächen (12, 14) erstrecken.

9. Wellenleiterlaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die reflek tierenden Segmente (60) senkrecht auf den Wellen leiterflächen (12, 14) stehende Seitenkanten auf weisen.

10. Wellenleiterlaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die reflek tierenden Segmente so ausgebildet sind, daß sie die Laserstrahlung im wesentlichen vollständig reflek tieren.

11. Wellenleiterlaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Beugungs kopplung in Azimutalrichtung (66) dadurch erreichbar ist, daß mindestens die auf nebeneinanderliegenden reflektierenden Segmente (60) auftreffende Strahlung durch Beugung gekoppelt ist.

12. Wellenleiterlaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sich eine mittlere Breite (br) der reflektierenden Segmente (60) aus der Relation ergibt, wobei L die Länge des Wellenleiters, λ die Wellenlänge des Laserlichts, br die mittlere Breite des reflektierenden Segmentes (60) und ba die mittlere Breite der Auskoppelöffnung (62) ist.

13. Wellenleiterlaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sich eine mittlere Breite (br) der Auskoppelöffnungen (62) in Azimutalrichtung (66) aus folgender Relation ergibt, wobei ba die mittlere Breite der Auskoppel öffnung (62) und A der Abstand zwischen den Wellen leiterflächen (12, 14) ist.

14. Wellenleiterlaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mittlere Breite (br) der reflektierenden Segmente (60) und die mittlere Breite (ba) der Auskoppelöffnungen (62) durch folgende Relation miteinander gekoppelt sind.

15. Wellenleiterlaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein aus dem einen Resonatorspiegel austretendes Laserstrahlen bündel (22) durch eine in radialer Richtung (R) strahlverengende Optik (24) auf ein Laserstrahlen bündel (26) mit geringerem Durchmesser abgebildet ist.

16. Wellenleiterlaser nach Anspruch 15, dadurch gekenn zeichnet, daß die in radialer Richtung strahlver engende Optik ein Axicon (24) ist.

17. Wellenleiterlaser nach Anspruch 16, dadurch gekenn zeichnet, daß das Axicon (24) als reflektierende Flächen Torusflächen (100, 102) aufweist.

18. Wellenleiterlaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die die Wellenleiterflächen (12, 14) tragenden Wände (30, 34) mit sich im Bereich der reflektierenden Segmente (60) zwischen den Auskoppelöffnungen (62) in radialer Richtung (R) erstreckenden Haltern (88) relativ zueinander fixiert sind.

19. Wellenleiterlaser nach Anspruch 18, dadurch gekenn zeichnet, daß die Halter (88) die reflektierenden Segmente (60) auf ihrer dem Wellenleiter (10) abge wandten Seite übergreifen.

20. Wellenleiterlaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der andere Resonatorspiegel (18) eine ebene reflektierende Spiegelfläche (46) aufweist.

21. Wellenleiterlaser nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Resonatorspiegel (18) ebene reflektierende Flächen (68) aufweist.

22. Wellenleiterlaser nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Resonatorspiegel (18) in Azimutalrichtung (66) leicht konvex gekrümmte reflektierende Flächen (68) aufweist.

23. Wellenleiterlaser nach Anspruch 21 oder 22, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierenden Flächen (68) parallel zur radialen Richtung (R) verlaufen.