DE4202387A1 - Ventil - Google Patents

Description

Stand der Technik

Die Erfindung geht aus von einem Ventil nach der Gattung des Anspru­ ches 1. Aus der US-PS 46 47 013 ist bereits ein Ventil zur Zumessung eines Fluids bekannt, das ein Betätigungsglied, ein eine Betäti­ gungsöffnung für das Betätigungsglied aufweisendes oberes Plättchen und ein mehrere Abspritzöffnungen aufweisendes unteres Plättchen hat. Zum Öffnen des Ventils führt das Betätigungsglied einen Hub aus, der das untere Plättchen mit seinen Abspritzöffnungen von dem oberen Plättchen wegbewegt und so einen Durchfluß für das Fluid durch das Ventil herstellt. Um den Öffnungsquerschnitt des Ventils freizugeben, ist ein vergleichsweise großer Hub des Betätigungsglie­ des erforderlich. Zudem ist keine Begrenzung der Verformung des un­ teren Plättchens, z. B. in Form eines Anschlages, vorgesehen, so daß kein definierter und gleichbleibender Öffnungsquerschnitt des Ven­ tils gewährleistet ist. Der Druck des durch das Ventil strömenden Fluids übt einen Einfluß auf die Größe des Öffnungsquerschnittes des Ventils aus, indem das Fluid das untere Plättchen verformt und damit das untere Plättchen im Bereich seiner Abspritzöffnungen weiter von dem oberen Plättchen wegbewegt. Durch seine starke Verformung be­ steht die Gefahr eines Bruches des unteren Plättchens.

Vorteile der Erfindung

Das erfindungsgemäße Ventil mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 hat demgegenüber den Vorteil, daß das Betätigungsglied und das Schließteil nur vergleichsweise kleine Hübe ausführen, um den Öffnungsquerschnitt des Ventils zu öffnen bzw. zu versperren. Auf das Schließteil wird durch das Betätigungsglied eine Schließ­ kraft ausgeübt, die das Schließteil gegen das untere Plättchen drückt und so den Durchlaß durch das Ventil versperrt. Der Öffnungs­ hub des Schließteiles wird durch ein Anliegen des Schließteiles an dem oberen Plättchen begrenzt und so bei allen Betriebszuständen die Einhaltung eines definierten Öffnungsquerschnittes des Ventils ge­ währleistet. Der geringe Hub des Betätigungsgliedes und des Schließ­ teiles ermöglicht es, die Anforderungen an die Antriebseinheit des Betätigungsgliedes zu reduzieren und die Gefahr eines Defektes des Ventils durch eine Beschädigung des Membranteils oder des Schließ­ teils zu verhindern.

Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vor­ teilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Anspruch 1 ange­ gebenen Ventils möglich.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn in axialer Richtung zwischen dem Membranbereich des mittleren Plättchens und dem unteren Plättchen ein Zuströmraum gebildet ist, in dem ein Öffnungsdruck herrscht, der bestrebt ist, das Schließteil in Richtung des oberen Plättchens zu bewegen. Auf diese Weise wird, wenn das Betätigungsglied keine Druckkraft auf das Schließteil ausübt, das Schließteil gegen das obere Plättchen gedrückt und so ein weitestgehend druckunabhängiger Öffnungsquerschnitt des Ventils gewährleistet. Das Absperren des Ventils erfolgt dann durch das Aufbringen einer Schließkraft durch das Betätigungsglied auf das Schließteil, so daß das Schließteil ge­ gen das untere Plättchen gedrückt wird und damit der Öffnungsquerschnitt des Ventils versperrt ist.

Für einen sehr einfachen Aufbau des Ventils ist es von Vorteil, wenn als Öffnungsdruck der Druck des dem Ventil zugeführten Fluids dient.

Vorteilhaft ist es, wenn das obere Plättchen, das mittlere Plättchen und das untere Plättchen aus Silizium und ihre Ausformungen durch anisotropes Ätzen ausgebildet sind. Auf diese Weise lassen sich die Plättchen des Ventils sehr einfach, kostengünstig und besonders exakt ausbilden.

Für eine besonders dichte und einfach herzustellende Verbindung zwi­ schen den Plättchen ist es vorteilhaft, wenn das obere Plättchen mit dem mittleren Plättchen und das mittlere Plättchen mit dem unteren Plättchen durch Bonden verbunden sind.

Zeichnung

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung verein­ facht dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläu­ tert. Fig. 1 zeigt als Ausführungsbeispiel ein teilweise darge­ stelltes, erfindungsgemäß ausgebildetes Ventil und Fig. 2 eine An­ sicht eines aus einem oberen Plättchen, einem mittleren Plättchen und einem unteren Plättchen bestehenden Lochkörpers des Ventils ge­ mäß des Ausführungsbeispiels.

Beschreibung des Ausführungsbeispiels

Die Fig. 1 zeigt ein teilweise dargestelltes, beispielsweise für Einspritzanlagen von gemischverdichtenden fremdgezündeten Brenn­ kraftmaschinen verwendbares Brennstoffeinspritzventil gemäß eines Ausführungsbeispiels der Erfindung. Konzentrisch zu einer Ventil­ längsachse 1 weist ein z. B. aus einem ferromagnetischen Material ausgebildeter Trägerkörper 3 des Ventils eine abgestufte Durchgangs­ bohrung 5 auf. In der Durchgangsbohrung 5 ist eine Betätigungsnadel 8 angeordnet. Die Durchgangsbohrung 5 des Trägerkörpers 3 hat einen zylindrischen Führungsabschnitt 9, der zur Führung der Betätigungs­ nadel 8 bei ihrer Axialbewegung dient. Hierzu weist die Betätigungs­ nadel 8 einen Führungsbund 13 auf, der gegenüber dem Führungsab­ schnitt 9 der Durchgangsbohrung 5 einen geringen radialen Abstand hat.

Die Axialbewegung der Betätigungsnadel 8 und damit das Öffnen und Schließen des Ventils erfolgt beispielsweise in bekannter Weise elektromagnetisch. Wie in der Fig. 1 angedeutet, ist die Betäti­ gungsnadel 8 an ihrem aus dem Trägerkörper 3 ragenden Ende mit einem Anker 15 verbunden, der mit einem Kern 14 und einer Magnetspule 17 zusammenwirkt. Zwischen ihrem Führungsbund 13 und dem Anker 15 weist die Betätigungsnadel 8 einen in radialer Richtung nach außen weisen­ den oberen Haltebund 11 auf, der zur Wandung des Führungsabschnit­ tes 9 der Durchgangsbohrung S einen geringen radialen Abstand hat und eventuell mit Längsnuten zur besseren Umströmung versehen ist.

In dem Trägerkörper 3 ist in axialer Richtung zwischen dem Haltebund 11 der Betätigungsnadel 8 und dem Anker 15 eine ringförmige Scheibe 16 angeordnet, die eine sich konzentrisch zu der Ventillängsachse 1 erstreckende Durchgangsbohrung 18 hat, durch die die Betätigungs­ nadel 8 hindurchragt. Zwischen der Scheibe 16 und dem Haltebund 11 ist eine Druckfeder 19 vorgesehen, die bestrebt ist, die Betäti­ gungsnadel 8 in der Magnetspule 17 abgewandter Richtung zu bewegen. In vorteilhafter Weise kann die Betätigung der Betätigungsnadel 8 auch piezoelektrisch erfolgen.

An ihrem dem Anker 15 abgewandten Ende weist die Betätigungsnadel 8 ein konzentrisch zu der Ventillängsachse 1 ausgebildetes stiftförmi­ ges Betätigungsglied 21 auf. Anschließend an den Führungsabschnitt 9 der Durchgangsbohrung 5 ist an dem der Magnetspule 17 abgewandten unteren Ende 22 des Trägerkörpers 3 eine Durchgangsöffnung 23 der Durchgangsbohrung 5 ausgebildet, die einen wesentlich kleineren Durchmesser als der Führungsabschnitt 9 aufweist und durch die die Betätigungsnadel 8 mit ihrem Betätigungsglied 21 ragt. An dem unte­ ren Ende 22 des Trägerkörpers 3 ist anschließend an die Durchgangs­ öffnung 23 ein Lochkörper 25 angeordnet. Der Lochkörper 25 besteht aus einem an dem Trägerkörper 3 anliegenden, z. B. quadratischen obe­ ren Plättchen 29, einem quadratischen mittleren Plättchen 31 und einem quadratischen unteren Plättchen 33.

Das obere Plättchen 29, das mittlere Plättchen 31 sowie das untere Plättchen 33 sind beispielsweise aus monokristallinem Silizium aus­ gebildet. Das obere Plättchen 29 ist mit dem mittleren Plättchen 31 und das mittlere Plättchen 31 mit dem unteren Plättchen 33 durch Bonden verbunden. Bei einem Bondvorgang werden zunächst die mitein­ ander zu verbindenden Stirnseiten poliert und die Oberflächen che­ misch behandelt. Anschließend werden die präparierten Oberflächen der miteinander zu verbindenden Plättchen bei Raumtemperatur zusam­ mengebracht. Der Bondprozeß wird beispielsweise durch eine Tempera­ turbehandlung der Plättchen in einer Stickstoffatmosphäre beendet. Neben der Verwendung monokristallinen Siliziums ist aber auch die Wahl eines anderen geeigneten Werkstoffes, z. B. eines anderen mono­ kristallinen Halbleiters wie Germanium oder eines Verbindungshalb­ leiters wie Galiumarsenid möglich. Die axiale Dicke des oberen Plättchens 29, des mittleren Plättchens 31 sowie des unteren Plätt­ chens 33 beträgt jeweils etwa 0,2 bis 0,5 mm, vorzugsweise etwa 0,3 mm.

Um eine gleichbleibende Position des Lochkörpers 25 gegenüber dem Trägerkörper 3 zu gewährleisten und ein horizontales Verschieben des Lochkörpers 25 gegenüber der Ventillängsachse 1 zu verhindern, ist in einer Stirnseite 35 des unteren Endes 22 des Trägerkörpers 3 eine Ausnehmung 37 in der Form ausgebildet, daß die Ausnehmung 37 den Lochkörper 25 teilweise umgreift und das obere Plättchen 29 mit sei­ ner dem mittleren Plättchen 31 abgewandten oberen Stirnseite 39 dicht an einem Boden 41 der Ausnehmung 37 anliegt. Der Trägerkörper 3 ist an seinem unteren Ende 22 beispielsweise von einer Zufuhr­ buchse 43 sowohl in radialer Richtung durch ein Bodenteil 45 als auch teilweise in axialer Richtung durch ein Zylinderteil 47 umge­ ben. Die Zufuhrbuchse 43 ist z. B. durch eine Klebeverbindung, eine Rastverbindung oder eine Bördelverbindung mit dem Trägerkörper 3 fest verbunden und so in axialer Richtung gegenüber dem Trägerkörper fixiert. In axialer Richtung im Bereich des Lochkörpers 25 weist die topfförmige Zufuhrbuchse 43 in ihrem Zylinderteil 47 beispielsweise drei durchgehende Queröffnungen 49 auf, die sich in radialer Rich­ tung von dem Umfang des Zylinderteils 47 durch dessen Wandung hin­ durch nach innen in einen ringförmigen Zufuhrraum 51 erstrecken, der in radialer Richtung zwischen dem Umfang des Trägerkörpers 3 bzw. des Lochkörpers 25 und einer durch das Zylinderteil 47 in radialer Richtung begrenzten abgestuften Längsbohrung 53 der Zufuhrbuchse 43 gebildet ist.

In dem Bodenteil 45 der Zufuhrbuchse 43 ist dem Trägerkörper 3 zuge­ wandt eine Ausnehmung 55 ausgebildet. Die Zufuhrbuchse 43 liegt mit einer ebenen Anlagefläche 57 der Ausnehmung 55 an einer dem mittle­ ren Plättchen 31 abgewandten unteren Stirnseite 59 des unteren Plättchens 33 des Lochkörpers 25 dicht an. Auf diese Weise wird die axiale Position des Lochkörpers 25 zuverlässig fixiert und ein Ver­ schieben des Lochkörpers in Richtung der Ventillängsachse 1 und senkrecht dazu verhindert. An die Ausnehmung 55 schließt sich in dem Bodenteil 45 der Zufuhrbuchse 43 dem Lochkörper 25 abgewandt eine Abströmöffnung 61 an, die dem Lochkörper 25 zugewandt einen zylin­ drischen ersten Abschnitt 63 und daran anschließend einen sich ke­ gelstumpfförmig erweiternden zweiten Abschnitt 65 hat.

In der Längsbohrung 53 der Zufuhrbuchse 43 ist an ihrem den bei­ spielsweise drei Queröffnungen 49 abgewandten Ende eine erste Ring­ nut 67 ausgebildet, die einen Dichtring 69 aufnimmt. Der Dichtring 69 liegt dicht an dem Umfang des Trägerkörpers 3 an und bildet eine Abdichtung zwischen dem Umfang des Trägerkörpers 3 und der Wandung der Längsbohrung 53 der Zufuhrbuchse 43.

Wird das Ventil mit seiner Zufuhrbuchse 43 in eine Ventilaufnahme beispielsweise einer Ansaugleitung der Brennkraftmaschine montiert, so ist es notwendig, die Zufuhrbuchse 43 oberhalb und unterhalb ih­ rer Queröffnungen 49 gegenüber der Wandung der Ventilaufnahme abzu­ dichten. Zu diesem Zweck sind an dem Umfang der Zufuhrbuchse 43 oberhalb der Queröffnungen 49 der Magnetspule 17 zugewandt eine zweite Ringnut 71 und unterhalb der Queröffnungen 49 z. B. an dem Bo­ denteil 45 eine dritte Ringnut 73 ausgeformt, in denen jeweils ein Dichtring angeordnet werden kann.

Die Fig. 2 zeigt den aus dem oberen Plättchen 29, dem mittleren Plättchen 31 und dem unteren Plättchen 33 bestehenden Lochkörper 25 gemäß dem in der Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel des Ven­ tils. Die Plättchen 29, 31, 33 sind quadratisch ausgebildet und wei­ sen, wie in den Fig. 1 und 2 dargestellt, bezüglich der Umfangs­ form identische Abmessungen auf. In dem oberen Plättchen 29 ist aus­ gehend von dessen oberer Stirnseite 39 konzentrisch zu der Ventil­ längsachse 1 eine durchgehende, sich in Richtung des mittleren Plättchens 31 pyramidenstumpfförmig verjüngende, z. B. quadratische Betätigungsöffnung 75 vorgesehen. Das in den Fig. 1 und 2 ge­ zeigte untere Plättchen 33 hat eine sich beispielsweise konzentrisch zu der Ventillängsachse 1 durch das untere Plättchen hindurch er­ streckende Abspritzöffnung 77. Die Abspritzöffnung 77 weist einen sich ausgehend von einer dem mittleren Plättchen 31 zugewandten oberen Stirnseite 78 des unteren Plättchens 33 der Abströmöffnung 61 zugewandt pyramidenstumpfförmig verjüngenden quadratischen ersten Abschnitt 79 und einen sich daran anschließenden, der Abströmöffnung 61 zugewandt sich pyramidenstumpfförmig erweiternden quadratischen zweiten Abschnitt 80 auf. Natürlich können auch zwei oder mehr um die Ventillängsachse 1 herum verteilte Abspritzöffnungen 77 vorge­ sehen sein. Konzentrisch zu der Ventillängsachse 1 weist das mitt­ lere Plättchen 31 ein plattenförmiges Schließteil 81 auf, das sich im drucklosen und durch die Betätigungsnadel 8 unbetätigten Zustand jeweils mit axialem Abstand etwa in der Mitte zwischen dem oberen Plättchen 29 und dem unteren Plättchen 33 befindet, also das Ventil geöffnet ist. Das Schließteil 81 wird an seinem Umfang von einem ringförmig ausgebildeten, eine in Richtung der Ventillängsachse 1 verringerte Wandstärke aufweisenden, elastisch verformbaren, in der Mitte zwischen dem oberen Plättchen 29 und dem unteren Plättchen 33 ausgebildeten Membranbereich 83 in radialer Richtung umgeben. In ra­ dialer Richtung nach außen an den Membranbereich 83 anschließend weist das mittlere Plättchen 31 einen sich bis zu dem Umfang des mittleren Plättchens erstreckenden Stützbereich 85 auf, mit dem das mittlere Plättchen 31 an dem oberen Plättchen 29 und dem unteren Plättchen 33 anliegt, der also in axialer Richtung dicker als das Schließteil 81 ist. Das Schließteil 81 des mittleren Plättchens 31 überragt radial den ersten Abschnitt 79 der Abspritzöffnung 77 und dient zum Absperren der Abspritzöffnung 77 des unteren Plättchens 33 an dessen oberer Stirnseite 78.

In dem Stützbereich 85 des mittleren Plättchens 31 ist ausgehend von seiner dem unteren Plättchen 33 zugewandten unteren Stirnseite 87 zumindest eine Ausnehmung 89, beispielsweise sind vier Ausnehmungen 89 ausgebildet, die sich in radialer Richtung zwischen dem Umfang des mittleren Plättchens 31 und dem Membranbereich 83 erstreckt bzw. erstrecken. Die Ausnehmungen 89 des mittleren Plättchens 31 bilden zusammen mit der oberen Stirnseite 78 des unteren Plättchens 33 Fluidzuströmkanäle 90 aus. In axialer Richtung zwischen dem unteren Plättchen 33 und dem Membranbereich 83 des mittleren Plättchens 31 ist ein ringförmiger Zuströmraum 91 gebildet. In der oberen Stirn­ seite 78 des unteren Plättchens 33 ist eine sich in Richtung der un­ teren Stirnseite 59 erstreckende Ringnut 93 ausgebildet. In radialer Richtung erstreckt sich die Ringnut 93 zwischen den Ausnehmungen 89 und dem Schließteil 81 und stellt einen Teil des Zuströmraums 91 dar. In radialer Richtung zwischen der Ringnut 93 und der Abspritz­ öffnung 77 weist das untere Plättchen 33 an seiner oberen Stirnseite 78 einen ringförmigen, die Abspritzöffnung 77 umgebenden Ventilsitz 95 auf, mit dem das Schließteil 81 zusammenwirkt.

Die Betätigungsöffnung 75 des oberen Plättchens 29, die Abspritzöff­ nung 77 und die Ringnut 93 des unteren Plättchens 33 sowie das Schließteil 81, der Membranbereich 83 und die Ausnehmungen 89 des mittleren Plättchens 31 sind beispielsweise durch anisotropes Ätzen trapez- bzw. pyramidenstumpfförmig ausgeformt. Die Zufuhr des Fluids, beispielsweise des Brennstoffs, zu dem ringförmigen Ventil­ sitz 95 erfolgt durch die Queröffnungen 49 der Zufuhrbuchse 43, den Zufuhrraum 51, die durch die Ausnehmungen 89 gebildeten Fluidzu­ strömkanäle 90 des Lochkörpers 25 in den zwischen dem mittleren Plättchen 31 und dem unteren Plättchen 33 gebildeten ringförmigen Zuströmraum 91. In dem Zuströmraum 91 herrscht dabei der Druck des zugeführten, zuzumessenden Brennstoffs. Dieser Druck wirkt als Öff­ nungsdruck auf den Membranbereich 83 und das Schließteil 81 des mittleren Plättchens 31 und ist bestrebt, das Schließteil 81 in Richtung einer dem mittleren Plättchen 31 zugewandten unteren Stirn­ seite 97 des oberen Plättchens 29 zu bewegen. Der Druck des bei­ spielsweise zuzumessenden Brennstoffs entspricht dabei z. B. dem Sy­ stemdruck einer in der Fig. 1 dargestellten Versorgungspumpe 99.

Auf den Membranbereich 83 und das Schließteil 81 des mittleren Plättchens 31 wirkt dem in dem Zuströmraum 91 herrschenden Öffnungs­ druck der zwischen dem mittleren Plättchen 31 und dem oberen Plätt­ chen 29 herrschende Druck entgegen. Dieser auch in der Durchgangs­ bohrung 5 des Trägerkörpers 3 herrschende Druck entspricht z. B. ent­ weder dem Rücklaufdruck des nicht abgespritzten Fluids zu einem Vor­ ratsbehälter oder aber dem Saugrohrdruck, der im Bereich des Saug­ rohres an der Abströmöffnung 61 herrscht. Da der Saugrohrdruck im allgemeinen niedriger als der atmosphärische Druck ist, muß in die­ sem Fall der Öffnungsdruck in dem Zuströmraum 91 nicht gegen einen in entgegengesetzter Richtung wirkenden Schließdruck wirken.

Die Federsteifigkeit des Membranbereiches 83 ist derart ausgelegt, daß das Schließteil 81 des mittleren Plättchens 31 bereits bei einem relativ geringen in dem Zuströmraum 91 herrschenden Druck des Fluids gegen die untere Stirnseite 97 des oberen Plättchens 29 gedrückt wird. Dadurch ergibt sich ein weitgehend druckunabhängiger, defi­ nierter Öffnungsquerschnitt des Ventils. Die Betätigungsnadel 8 mit ihrem Betätigungsglied 21 dient dazu, das Ventil im unerregten Zu­ stand der Magnetspule 17 zu schließen und den Durchlaß zu sperren, indem das Betätigungsglied 21 durch die Federkraft der Druckfeder 19 das Schließteil 81 des mittleren Plättchens 31 entgegen dem Öff­ nungsdruck des zuzumessenden Fluids gegen den Ventilsitz 95 drückt. Das Betätigungsglied 21 ragt dabei durch die Betätigungsöffnung 75 des oberen Plättchens 29. Um das Ventil zu öffnen und ein Strömen des Fluids an dem Ventilsitz 95 vorbei zu ermöglichen, wird die Magnetspule 17 beispielsweise erregt, so daß die Betätigungsnadel 8 mit ihrem Anker 15 eine Bewegung entgegen der Federkraft der Druck­ feder 19 in dem Schließteil 81 abgewandter Richtung ausführt. Die Fig. 1 zeigt die Öffnungsstellung des Ventils. Durch die symmetri­ sche Ausbildung des Membranbereiches 83 und des Schließteiles 81 des mittleren Plättchens 31 zwischen dem oberen Plättchen 29 und dem un­ teren Plättchen 31 wird zum Öffnen bzw. Schließen des Ventils in je­ der Richtung nur der halbe Hub benötigt, wodurch die Kantenlänge des Membranbereiches 83 und damit auch die Größe des Lochkörpers 25 klein gehalten werden kann.

Der Lochkörper 25 kann nicht nur bei Brennstoffeinspritzventilen An­ wendung finden, sondern auch zur Zerstäubung anderer Fluide dienen, nämlich immer dann, wenn feinste Flüssigkeitströpfchen gefordert werden, beispielsweise zum gleichmäßigen Versprühen von Farben und Lacken und in den Fertigungsprozessen oder ähnliches.

Das Ventil mit dem das obere Plättchen 29, das mittlere Plättchen 31 und das untere Plättchen 33 aufweisenden Lochkörper 25 hat den Vor­ teil, daß das Betätigungsglied 21 und damit das Schließteil 81 nur einen vergleichsweise kleinen Hub zum Schließen oder Öffnen des Ven­ tils ausführen. Zudem wird der Hub des Schließteiles 81 durch ein Anliegen an dem Ventilsitz 95 bzw. an der unteren Stirnseite 97 des oberen Plättchens 29 in axialer Richtung begrenzt, so daß eine sehr exakte Zumessung des Fluids, z. B. eines Brennstoffes, gewährleistet ist.

Claims (10)

1. Ventil, insbesondere Brennstoffeinspritzventil, zur Zumessung ei­ nes Fluids, mit einem konzentrisch zu einer Ventillängsachse ange­ ordneten Betätigungsglied, mit einem eine Betätigungsöffnung für das Betätigungsglied aufweisenden oberen Plättchen und mit einem wenig­ stens eine Abspritzöffnung aufweisenden unteren Plättchen, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem oberen Plättchen (29) und dem unte­ ren Plättchen (33) ein mittleres Plättchen (31) angeordnet ist, das einen in Richtung der Ventillängsachse (1) eine verringerte Wand­ stärke aufweisenden, elastisch verformbaren Membranbereich (83) so­ wie ein in radialer Richtung von dem Membranbereich (83) umgebenes, zum Schließen der wenigstens einen Abspritzöffnung (77) dienendes Schließteil (81) aufweist.

2. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in axialer Richtung zwischen dem Membranbereich (83) des mittleren Plättchens (31) und dem unteren Plättchen (33) ein Zuströmraum (91) gebildet ist, in dem ein Öffnungsdruck herrscht, der bestrebt ist, das Schließteil (81) in Richtung des oberen Plättchens (29) zu bewegen.

3. Ventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Öffnungs­ druck der Druck des dem Ventil zugeführten Fluids dient.

4. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das obere Plättchen (29), das mittlere Plättchen (31) und das untere Plättchen (33) aus Silizium ausgebildet sind.

5. Ventil nach Anspruch 1 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß das obere Plättchen (29), das mittlere Plättchen (31) und das untere Plättchen (33) durch anisotropes Ätzen ausgebildet sind.

6. Ventil nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß das obere Plättchen (29) mit dem mittleren Plättchen (31) und das mitt­ lere Plättchen (31) mit dem unteren Plättchen (33) durch Bonden ver­ bunden sind.

7. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an einer dem mittleren Plättchen (31) zugewandten oberen Stirnseite (78) des un­ teren Plättchens (33) ein die wenigstens eine Abspritzöffnung (77) umgebender Ventilsitz (95) ausgebildet ist, mit dem das Schließteil (81) zusammenwirkt.

8. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem mitt­ leren Plättchen (31) ausgehend von einer dem unteren Plättchen (33) zugewandten unteren Stirnseite (87) zumindest eine Ausnehmung (89) ausgebildet ist, die sich in radialer Richtung zwischen dem Umfang des mittleren Plättchens (31) und dem Membranbereich (83) erstreckt.

9. Ventil nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß durch eine Ausnehmung (89) des mittleren Plättchens (31) und die obere Stirn­ seite (78) des unteren Plättchens (33) ein Fluidzuströmkanal (90) gebildet ist.

10. Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schließ­ teil (81) durch den Membranbereich (83) im unbetätigten Zustand in einem axialen Abstand zum oberen Plättchen (29) und zum unteren Plättchen (33) gehalten wird.