DE4139356A1 - Platten-messkondensator - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft einen Platten-Meßkondensator zur Messung elektrischer
und dielektrischer Kenngrößen.
Der Bedarf an sicheren und einfachen Bestimmungsmethoden des dielektrischen
Verhaltens elektrisch nicht leitender Werkstoffe bis in den Hochfrequenzbe
reich ist sehr groß. Solche Messungen werden sowohl für den Einsatz und für
die Verarbeitung gebraucht als auch für die Werkstoff- und Werkstückanalyse.
Dabei kommt es vielfach darauf an, unter genau definierten Umgebungsbedin
gungen zu messen. Insbesondere interessieren die Probentemperatur, die in
einem großen Bereich wichtig sein kann, und häufig auch der Druck, mit dem
das Material belastet wird. Beide Parameter müssen bei einer guten Meßappa
ratur gut definiert und schnell einstellbar sein, ohne daß die Elektrodenab
stände und deren Messung beeinflußt werden und ohne Verfälschung der
eigentlichen dielektrischen Messung. Weiterhin kann die Forderung auftreten,
daß sich Vakuum oder erhöhter Gasdruck oder definierte Gaszusammen
setzungen einstellen lassen.
Die Bedeutung solcher Messungen
soll durch ein paar Beispiele belegt werden:
In der Fügetechnik werden meist Wechselspannungen mit der Industriefrequenz
von 27,12 MHz dazu verwendet, um Folien zu schweißen oder Reaktionskleb
stoffe auszuhärten. Um dabei die Maschinen so steuern zu können, daß gleich
bleibend auf die genau passende Temperatur erwärmt wird, muß das dielektri
sche Verlustverhalten der Materialien gut definiert sein und überwacht wer
den. Für die Anlagenplanung selbst braucht man einschlägige Kenndaten.
Die dielektrische Erwärmung dickwandiger Halbzeuge und Formen aus Polymer
werkstoffen, von Präpolymerisaten oder Vergußmassen zur thermoplastischen
Formgebung, Aushärtung, Vulkanisation, Vernetzung oder zur Aufschäumung
bietet den großen Vorteil gleichmäßiger und meist schneller Durchwärmung, die
wegen der äußerst schlechten Wärmeleitung solcher Materialien sonst nicht
möglich wäre. Wiederum allerdings muß das dielektrische Verlustverhalten aus
reichend hoch sein oder durch Zusätze hoch genug eingestellt werden. Ohne
entsprechende Kenndaten sind dielektrische Erwärmungsverfahren nicht sicher
beherrschbar.
Daß andererseits elektrische Isolationen möglichst verlustfrei sein sollten, ist
selbstverständlich. Bei der Planung hochintegrierter Schaltungen müssen die
dielektrischen Verluste der Isoliermaterialien zur Vermeidung von Wärmestaus
mitberücksichtigt werden. Häufiger aber geht es darum, Signaldämpfungen mög
lichst gering zu halten. Besonders wichtig ist die relative Dielektrizitätszahl
für die Nachrichtenübertragung wegen des Einflusses auf Ausbreitungsge
schwindigkeit und Wellenwiderstand. Temperaturbedingte und frequenzabhängige
Änderungen würden stören und müssen kontrolliert werden können.
Die Werkstoffanalyse über das dielektrische Verhalten ist trotz der Vielzahl
von Möglichkeiten wenig entwickelt. Das liegt vermutlich auch an der Schwie
rigkeit, die Messung sicher zu beherrschen. Je nach Werkstoffsystem wirken
sich Lunker, Feuchtigkeits- und Füllstoffgehalt auf die dielektrischen Signale
aus, wobei über typische Frequenzabhängigkeiten eine Trennung der verschie
denen Einflüsse möglich sein könnte. Besonders aufschlußreich sind die Kenn
werte bei Frequenzen im MHz- bis GHz-Bereich, wo die Messungen schwierig
und nicht immer leicht beherrschbar sind.
Alle nach dem allgemein bekannten Stand der Technik vorhandenen Elektro
denanordnungen bei Meßkondensatoren sind nachteilig, wie nachstehend ausge
führt wird:
Die optimale Elektrodenanordnung, um Einstreustörungen, Streuverluste und
Zuleitungsinduktionen möglichst klein zu halten, sind koaxiale, zylinderförmige
Elektroden mit dem zu vermessenden Dielektrikum als Isolation dazwischen.
Allerdings ist die inhomogene Feldbelastung der Probe für die Messung ungün
stiger und was den Einfluß der mit steigenden Frequenzen immer kürzer wer
denden Wellenlängen und die Probleme der Wellenreflexion an den Rändern
betrifft, so werden sie bereits bei niedrigeren Frequenzen spürbar als bei
einer Plattenanordnung. Aufwendige und fehlerträchtige Korrekturen und
Zusatzmessungen werden nötig.
Zudem sind dafür nur Proben mit der Form gut passender Hohlzylinder ver
wendbar, und solche Hohlzylinder sind nur mit großem Aufwand oder bei man
chen Probenmaterialien gar nicht machbar. Eine Reihe weiterer Probleme
ergäbe sich, wenn die Meßtemperatur stark von der Raumtemperatur abweichen
soll und ein definierter Elektrodenandruck nötig wird, weil beispielsweise die
meist groben Unterschiede im thermischen Ausdehnungsverhalten von Elektro
den und Probe Hohlräume zwischen Elektroden- und Probenoberfläche unver
meidlich machen. Hohlräume aber beeinflussen das dielektrische Verhalten in
hohem Male. Besonders aber entfällt die Möglichkeit, mechanische Spannungen
zu überlagern oder im Falle geschäumten Materials bei unterschiedlich kompri
mierten Zuständen zu messen.
Die einfache Plattenform für Meßkondensatoren hat diese Nachteile nicht.
Plattenabstand und Plattenandruck lassen sich unabhängig von der Temperatur
einstellen. Probenherstellung und das Einlegen in die Meßanordnung sind ein
fach. Die Nachteile sind aber auch hier gravierend:
- - Um einen definierten Abstand zwischen den möglichst glatten und ebenen Elektrodenoberflächen zu gewährleisten, ist eine sehr steife kippfreie Spindelführung notwendig, die wegen der erforderlichen Genauigkeit nur aus Metallen gefertigt werden kann, die aber elektrisch leitend sind. Da zumindest eine Elektrode gegen die Aufhängung so vollkommen isoliert sein muß, daß auch keine verfälschenden Kapazitäten zur Halterung ent stehen, ergibt sich ein kaum zu lösendes Konstruktionsproblem.
- - Idealerweise sollte die Temperaturführung der meist wenig temperaturleit fähigen Proben über die Elektroden erfolgen, die dazu genau thermostati sierbar und deshalb elektrisch heizbar sein sollten. Da die Heizleiter in gutem thermischen Kontakt zu den Elektroden stehen müssen, ist wiederum eine kapazitive Ankopplung unvermeidbar.
- - Zwei gegenpolige Elektrodenplatten stellen nach außen einen elektrischen Dipol dar, dessen Fernfeld quadratisch mit dem Abstand und damit ver hältnismäßig langsam abklingt. Ist das Feld hochfrequent, entstehen Abstrahlungsverluste. Umgekehrt können fremde elektromagnetische Wellen, deren Frequenz der Meßfrequenz ähnlich ist, an den Meßkreis ankoppeln und die Messung verfälschen. Die bei Brücken- und Transientenstrommes sungen mögliche Abhilfe durch einen Schutzring ist bei der Resonanzkreis methode nicht möglich. Außerdem ist es äußerst aufwendig, den Schutzring elektrisch perfekt von der Meßelektrode zu trennen, gleichzeitig aber die Thermostatisierung für beide so auszulegen, daß sie immer gleiche Tempe ratur haben. Zusätzlich müssen ihre Oberflächen auch bei starkem und ungleichmäßigen Gegendruck der Probe perfekt in einer Ebene liegen. Ein Schutzring ist deshalb nicht brauchbar.
- - Da bei hochfrequenten Wechselfeldern die Wellenwiderstände innerhalb eines Meßkondensators bereits eine Rolle spielen und nur bei einigen besonderen Anordnungen bis zu einem gewissen Grade korrigiert werden können, sollen die Stromwege vom Abgriff bis zu allen Bereichen des Meß kondensators möglichst kurz sein. Bei einem runden Plattenkondensator möchte man deshalb den Abgriff jeweils in die Mitte der Elektrodenrück seite legen. Dann aber sind die Zuleitungen in einem Teilbereich Einzellei tungen, die sehr hohe Induktionen aufweisen. Dadurch kann die Obergrenze der noch meßbaren Frequenzen soweit abgesenkt werden, daß die Brauch barkeit der Apparatur fraglich werden könnte.
Grundsätzlich treten bei der Hochfrequenzmessung besondere Probleme auf:
- - Die induktiven Widerstände der Zuleitungen steigen mit der Frequenz stark an und können nicht unberücksichtigt bleiben. Die wegen des Skineffekts relativ hohen ohmschen Widerstände können als Eigenverlust der Meßan ordnung erheblich stören. Da Bewegungen und Deformationen der Leiter, beispielsweise bei der Elektrodenabstandsänderung, und Veränderungen der Leiteroberflächen, etwa durch Korrosion, die Stromwege ändern, kann sich auch die Zuleitungsinduktion so stark ändern, daß die Berücksichtigung für die Berechnung der Probenkennwerte unsicher oder unmöglich wird.
- - Die Gefahr der Meßwertverfälschung durch kapazitive Ankopplung zu den Abschirmungen steigt mit der Meßfrequenz. Da elektrische Abschirmungen mit den stromführenden Leitern eine kondensatorähnliche Anordnung bil den, verursachen hochfrequente Wechselfelder zwischen beiden parasitäre Ströme, die wegen zusätzlich wirksamer induktiver Widerstände kaum defi nierbare Frequenzabhängigkeiten zeigen.
- - Die Stromverbindungen zu den Meßelektroden stellen eine Antennenanord nung dar, die sowohl zu Abstrahlungsverlusten führt als auch Störungen durch Einstreuungen auslösen kann.
- - Mit steigender Frequenz werden die Wellenlängen kleiner, was zu schwierig beherrschbarem Übertragerverhalten der Zuleitungen führt. Vor allem aber werden kleine Abmessungen der Meßelektroden erforderlich. Die Kapazität der Meßanordnung mit der Probe kann gegen die tatsächlich gemessene verschwindend klein werden oder die Kapazitäten an den Meßabgriffen überschreiten den meßbaren oder beherrschbaren Bereich.
Aus dieser Gesamtproblematik heraus ist die Aufgabe der Erfindung erwachsen:
Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Apparatur für dielektrische Messungen an
Materialien unterschiedlicher Konsistenz mit leicht herstellbaren Proben bei
thermostatisierbaren Elektrodenflächen und einstellbarer Anpreßkraft zu
schaffen, die leicht bedienbar ist und auch im Hochfrequenzbereich bis
500 MHz störungsfrei und ohne Verfälschung arbeitet. Damit sollen auch
Messungen bei Frequenzen möglich werden, die bisher mit der Resonanzkreis
methode nicht mehr meßbar waren, die aber für die Resonatormethode noch zu
niedrig sind. Besonders wichtig ist, daß mit ein und derselben Probenanord
nung die je nach Frequenz für die dielektrische Messung günstigste Methode
angewandt werden kann, daß also möglichst über einen einfachen BNC-Stecker
eine Meßbrücke, eine Transientenstrommeßanordnung oder ein T-Stück für eine
Resonanzkreismessung angeschlossen werden kann.
Der Elektrodenabstand soll unabhängig von Druck und Temperatur definiert
und mit hoher Auflösung und Genauigkeit einstellbar sein. Je nach Bedarf
sollen die Elektroden von zwei Seiten zugänglich sein, um lange Proben
kontinuierlich hindurchführen zu können und eventuell die Anwendung
zusätzlicher mechanischer Spannungen zu ermöglichen, oder aber die Messung
soll in einem Gasraum möglich sein, der druck- wie vakuumfest ist und mit
Gasen definierter Zusammensetzung gespült werden kann.
Die Lösung dieser komplexen Aufgabe wird bei einem gattungsgemäßen
Platten-Meßkondensator dadurch erreicht, daß er aus drei Platten besteht,
wobei zwei ebene Außenelektroden auf gleichem Potential liegen und sich die
Gegenelektrode dazwischen befindet.
Vorteilhafter Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen ent
nehmbar.
Die Erfindung erlaubt, die jeweiligen Vorteile des Plattenkondensators und die
der Koaxialanordnung zu vereinen und die jeweiligen Nachteile zu vermeiden.
Es werden statt zwei Elektrodenplatten einfach drei verwendet, wobei die bei
den äußeren gleiches Potential haben müssen und die dazwischen liegende mit
dem Gegenpotential beaufschlagt wird. Statt einer Probenplatte werden die
zwei Hälften einer nur wenig größeren Platte gleichzeitig vermessen. Die bei
den Deckelektroden stellen dann bei korrekter Ausführung eine perfekte
Abschirmung der zur Messung angelegten Wechselfelder dar.
Nimmt man für die Elektroden keine ganzen Kreisflächen, sondern spart einen
kleineren Sektor aus, kann die Zuleitung zu allen drei Elektroden in gleicher
günstiger Weise vom Kreiszentrum ausgehen, ohne daß Einzelleitungen entste
hen. Die Zuleitungen können in ähnlich perfekter Weise wie Koaxialleitungen
gegen Abstrahlung und Störungen von außen geschützt werden. Besonders aber
hat die symmetrische Anordnung der Stromrückführung von den Deckelektroden
gegenüber der Zuführung zur Zentralelektrode eine sehr geringe Zuleitungs
induktion zur Folge, was die wichtigste Voraussetzung für die Messung zu
möglichst hohen Frequenzen ist.
Anhand der Zeichnung wird die Erfindung beispielhaft beschrieben.
Es zeigen
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer möglichen erfindungsgemäßen
Ausführung eines 3-Platten-Meßkondensators,
Fig. 2 eine schematische Darstellung einer kompletten Meßvorrichtung mit
einem 3-Platten-Meßkondensator gemäß der Erfindung,
Fig. 3 eine schematische Darstellung einer weiteren möglichen erfindungs
gemäßen Ausführung eines 3-Platten-Meßkondensators.
In Abbildung 1 ist eine Ausführung dieser 3-Elektrodenanordnung dargestellt,
die zwar nur Messungen bis etwa 150 MHz erlaubt, die aber den Vorteil hat,
daß die Probenform besonders einfach ist. Optimal ist eine quadratische
Probenplatte von mindestens 54 mm Kantenlänge oder eine entsprechend grobe
Kreisscheibe, die halbiert werden.
Die beiden Deckelektroden 1 müssen über exakt parallel und spielfrei geführte
Spindeltriebe gegeneinander bewegt werden, so daß der Abstand jeder Deck
elektrode zur nicht bewegten Mittelelektrode 2 gleich ist und sich in gleicher
Weise ändert. Die Zuleitungen 3 bestehen aus vergoldeten Federstahlbändern,
deren Dicke unter 1/10 mm sein sollte. Sie müssen sich bei den Abstandsän
derungen der Elektroden elastisch verformen, so daß sich die Zuleitungs
kennwerte durch sich nicht ändernde Funktionen des Elektrodenabstands fest
legen lassen. Die Leitung zu den Deckelektroden stellen die Rückleitung für
den Strom dar, der durch den Innenleiter zur Innenelektrode fließt. Dadurch
wird die Zuleitungsinduktion so klein wie möglich gehalten. Die mit den Elek
trodenabstandsänderungen verbundenen Deformationen der Zuleitungen dürfen
den elastischen Bereich nicht überschreiten. Die Zuleitungscharakteristika sind
dadurch als dauerhaft festgelegte Funktionen des Elektrodenabstandes be
stimmbar.
Beide Bänder sind fest mit der ringförmigen Halterung 4 verbunden und elekt
risch kurzgeschlossen. Die Verbindung muß einen dauerhaft widerstandsfreien
Kontakt gewährleisten. An Halterung 4 wird ein BNC-Stecker aufgeschraubt.
Die Mittelelektrode wird durch das Röhrchen 5 elektrisch angeschlossen. Es
stellt auch die Halterung dar. Statt der Bänder 3 könnte jedoch auch ein
geeignetes Geflecht aus vergoldeten elastisch deformierbaren Draht verwendet
werden, das den Innenleiter 5 ganz umschließen könnte und dessen Form der
Optimierung der Leitungscharakteristika angepaßt werden müßte.
Der grobe Vorteil besteht darin, daß die nötigen mechanischen Befestigungen
problemlos mit der erforderlichen Steifheit ausgeführt werden können, weil auf
elektrische Ankopplungen an Gehäuse und Halterungen keine Rücksicht genom
men werden muß. Die beiden Deckelektroden können für eine genaue und äußerst
schnell ansprechende Thermostatisierung direkt elektrisch beheizt wer
den, beispielsweise durch hart eingelötete ummantelte Heizleiter. Dies ist ein
weiterer besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen drei-Elektroden-Anordnung.
Abbildung 2 zeigt die Konstruktion einer konsequent ausgeführten Halterung
für die beiden Deckelektroden 1. Die Druckkraft auf die Elektroden wird durch
hinreichend steife Quarzrohre übertragen, deren temperaturbedingte Längenän
derung ohne Bedeutung bleibt. Die Quarzrohre 2 gewährleisten perfekte elekt
rische und sehr gute thermische Isolation. Sie werden spielfrei konzentrisch in
einem Stahlrohr 3 geführt. Die Spannanker 4 sorgen für eine dauernd unter
Druck stehende Verbindung zwischen Elektroden und Stahlrohrdeckel 5, die
gegenüber den Druckkräften für den Elektrodenandruck auf die Probe unnach
giebig ist. Zur Messung dieser Kräfte wird eine Druckmeßdose 6 zwischenge
schaltet, die praktisch meßwegfrei ist.
Im Unterschied zu den massiv auslegbaren Deckelektroden, sollte die Mittel
elektrode möglichst weniger als einen Millimeter dick sein. Wird sie etwas
kleiner in den Flächen bemessen als die Deckelektroden, so daß der Rand
etwas nach innen zurückgesetzt ist, führt dies zur weiteren Verringerung von
Streufeldern. Diese Reststreufelder werden dann bei Proben, die etwas über
den Elektrodenrand hinausragen, weitgehend die gleichen sein wie bei der
Messung ohne Dielektrikum bei gleichem Elektrodenabstand. Die Absolutbestim
mung des dielektrischen Faktors εr ist damit auch ohne Schutzringanordnung
möglich. Voraussetzung dafür ist, daß bei der Konstruktion auf eine symmet
rische, reproduzierbare Elektrodenverstellung geachtet wird und eine genaue
Abstandsmessung miteingebaut wird, die ja auch bei der Schutzringanordnung
sein muß. Die Zuführung, die gleichzeitig Halterung für die Mittelelektrode ist,
wird optimalerweise reversibel elastisch verformbar, aber mit hinreichend
starken Rückstellkräften in eine justierbare Mittellage ausgeführt. Elektroden
und Zuleitungen müssen wie üblich vergoldet werden.
Da wie bereits dargelegt bei sehr hohen Frequenzen die Wellenlängen nur noch
einige Vielfache länger sind als die größten Stromwege im Meßkondensator, ist
die Feldbelastung des Dielektrikums nicht mehr überall phasengleich. Dies
führt zu einer Abweichung der wirksamen Kapazität, die eine genaue Bestim
mung der dielektrischen Kennwerte ohne geeignete Korrektur unmöglich macht.
Die erfindungsgemäße drei-Elektroden-Anordnung lädt gegenüber einem einfa
chen Rundplattenkondensator bei gleicher Niederfrequenzkapazität eine weitere
Verkürzung des Stromweges zu, und zwar etwa um den Faktor 1,4. Dies bedeu
tet, daß die obere Grenze der noch problemlos meßbaren Frequenzen auf das
fast doppelte ansteigt. Damit lädt sich die Lücke zwischen den mit der Reso
nanzkreismethode nicht mehr meßbaren Frequenzen und den mit der Resona
tormethode noch nicht meßbaren Frequenzen, die bisher einer Messung kaum
zugänglich war, schließen.
Dies gilt insbesondere, wenn die in Abbildung 3 dargestellte Elektrodenform
gewählt wird. Die durch die sehr hohen Frequenzen hervorgerufene Erhöhung
gegenüber der Gleichspannungskapazität wurde für diese Form theoretisch
berechnet. Die Formel dafür soll in nächster Zeit veröffentlicht werden. Die
Erhöhung läßt sich anhand der Formel minimieren. Sie steigt quadratisch mit
der Frequenz. Bei der in Abbildung 3 skizzierten Anordnung erreicht diese
hochfrequenzbedingte Zunahme die 1%-Marke zwischen 150 und 200 MHz
abhängig vom Wert des dielektrischen Faktors εr.
Claims (7)
1. Platten-Meßkondensator zur Messung elektrischer und dielektrischer Kenn
größen, dadurch gekennzeichnet, daß er aus drei Platten besteht, wobei
zwei ebene Außenelektroden auf gleichem Potential liegen und die Gegen
elektrode dazwischen liegt.
2. Platten-Meßkondensator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
elektrische Zuleitung die vorteilhaften Leitungscharakteristika einer Koa
xialleitung aufweist.
3. Platten-Meßkondensator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß an
die Zuleitungen ein BNC-Stecker angebracht ist.
4. Platten-Meßkondensator nach Anspruch 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß
die Halterung und Führung optimal steif ausgeführt ist, so daß der Abstand
und der Druck auf die Probe definiert und unabhängig voneinander und
unabhängig von der Meßtemperatur eingestellt werden können, ohne daß die
elektrischen Messungen beeinflußt oder gestört werden.
5. Platten-Meßkondensator nach Anspruch 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß
die Thermostierung der Deckelektroden vorgesehen ist, so daß eine schnelle
und sichere Thermostierung auch schlecht temperaturleitender Proben in
optimaler Weise über die Deckelektroden ohne Störung der elektrischen
Messungen möglich ist.
6. Platten-Meßkondensator nach Anspruch 1-5, dadurch gekennzeichnet, daß
um die zu messende Probe herum ein abgeschlossener Gasraum angeordnet
ist, dessen Gasdruck erhöht oder auf Vakuumwerte abgesenkt werden kann,
ohne daß die elektrischen Messungen oder die Messung des Elektrodenab
stands und -andrucks gestört werden, und in dem eine definierte Gaszu
sammensetzung eingestellt werden kann.
7. Platten-Meßkondensator nach Anspruch 1-6, dadurch gekennzeichnet, daß
für die zusätzliche Meßbarkeit sehr hoher Frequenzen die Platten als seg
mentierte Kreisringe ausgebildet werden, so daß die frequenzbedingte Erhö
hung der Kapazität der Elektrodenanordnung erst bei Annäherung an den
GHz-Bereich auftritt und für eine Korrektur berechnet werden kann. Diese
Erhöhung ist in erster Näherung durch den Faktor
1+(Π2/2)(4/(α2-1)ln(α)+α2-3)(Rf/C0)2εr(1-itgδ)gegeben, wobei α das Verhältnis (r/R) aus Innenradius r und Außenradius R
der Kreisringe darstellt, f die Meßfrequenz und C0 die Lichtgeschwindigkeit
im Vakuum bedeuten.
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DE19914139356 Ceased DE4139356A1 (de) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | Platten-messkondensator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4139356A1 (de) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE19744784A1 (de) * | 1997-10-10 | 1999-05-06 | Gsf Forschungszentrum Umwelt | Sensor zur Wassergehaltsbestimmung |
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DE19937745C1 (de) * | 1999-08-10 | 2001-10-31 | Infineon Technologies Ag | Meßvorrichtung und Verfahren zur Messung der Dielektrizitätskonstanten einer Materialansammlung |
CN113406397A (zh) * | 2021-07-15 | 2021-09-17 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 低温固体介电常数测量方法 |
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1991
- 1991-11-29 DE DE19914139356 patent/DE4139356A1/de not_active Ceased
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