DE4133457A1 - Verfahren und vorrichtung zum messen und justieren von laserfokussierkoepfen - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zum messen und justieren von laserfokussierkoepfenInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine
Vorrichtung zum Messen und Justieren von
Laserfokussierköpfen mit transmittierenden Optiken für
Laserstrahlen, die im unsichtbaren Bereich emittieren.
Um einen Schneidkopf- oder Laserfokussierkopfwechsel in
einer industriell genutzten Laserschweißanlage in
möglichst kurzer Zeit durchführen zu können, muß ein
zweiter Laserfokussierkopf quasi einsatzbereit zur
Verfügung stehen.
Bisher mußten die Laserfokussierköpfe unter viel
Zeitaufwand in der Anlage selbst einjustiert werden. Dazu
mußte in vielen, erhebliche Kosten verursachenden
Versuchen die Brennpunktlage der ZnSe-Linse für den
unsichtbaren (infrarotes Licht) CO2-Laserstrahl
ermittelt werden.
Bei bekannten Justierverfahren wird der Laserfokussierkopf
in der Anlage selbst montiert, und es werden dann bei
eingeschalteter Laserquelle folgende Justierarbeiten
durchgeführt:
- 1. Ausrichten der Linse im Laserfokussierkopf derart, daß die Achse der Linse und die des Laserstrahls exakt übereinstimmen.
- 2. Ermitteln der Brennweite der eingebauten Linse. Diese Ermittlung ist erforderlich, weil die Linsen nur mit Brennweiten innerhalb einer Toleranz von ±3% herstellbar sind, d. h. bei einer angegebenen Brennweite von 5′′ kann der Brennpunkt bei 127 ±3.81 mm liegen, der Abstand Brennpunkt-Düse muß jedoch auf 1/10 mm genau eingestellt werden, um optimale Parameter zu gewährleisten.
- 3. Ausrichten der Düse derart, daß die Achse der Düse und des Laserstrahls eine Linie bilden.
- 4. Einstellen des Düsenabstandes zum Brennpunkt (Erfahrungswert: Abstand Brennpunkt zu Düsenvorderkante ist etwa 0,6 mm).
Zum Ermitteln der Brennweite der eingebauten Linse
entsprechend 2. sind zwei Methoden bekannt:
- a) Die erste Methode beruht auf der Messung der Laserintensität, die im Brennpunkt am größten ist. Diese Methode ist sehr zeitaufwendig.
- b) Die zweite Methode ist die sogenannte Holzscheit-Methode. Ein schräg abgeschnittenes Holzstück wird so durch den Laserstrahl geschoben, daß zuerst die Unterkante des Holzstückes und zuletzt die Oberkante des Holzstückes den Laserstrahl passiert. Auf dem Holz werden durch Verbrennung zwei Kegel sichtbar, die sich mit ihren Spitzen berühren. Der Berührungspunkt der Spitzen entspricht dem Brennpunkt der Linse und kann gemessen werden. Die Genauigkeit liegt bei ca. 0,2 mm.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren
und eine Vorrichtung der eingangs beschriebenen Art zu
schaffen, welche es ermöglichen, die erforderlichen
Einstellarbeiten an den Laserfokussierköpfen außerhalb der
eigentlichen Anlage mit sichtbarem Licht vorzunehmen.
Diese Aufgebe wird mit einem Verfahren der eingangs
beschriebenen Art erfindungsgemäß dadurch gelöst,
- - daß die Justierung außerhalb einer industriell genutzten Laserfokussieranlage erfolgt,
- - daß die Justierung im Bereich sichtbarer Wellenlängen durchgeführt wird,
- - daß der Fokuspunkt der Linse im Laserfokussierkopf durch Messen im sichtbaren Bereich ermittelt und über Umrechnungsfaktoren nach den Brechungsgesetzen für den Bereich unsichtbarer Wellenlängen festgelegt wird, und
- - daß die Linse und die Düse im Laserfokussierkopf auf die Strahlachse und den Fokuspunkt für den Betrieb in der industriell genutzten Laserfokussieranlage vorjustiert werden.
Nach diesem Verfahren erfolgt die gesamte Vermessung und
Justierung eines neuen oder aufgearbeiteten
Laserfokussierkopfes außerhalb der industriell genutzten
Laserfokussieranlage, und ein derart vorjustierter
Laserfokussierkopf läßt sich innerhalb kürzester Zeit in
die Laserfokussieranlage einsetzen. Der Ausfall an
Produktionszeit ist minimiert.
Vorteilhaft wird das erfindungsgemäße Verfahren in den
folgenden aufeinanderfolgenden Schritten durchgeführt:
- a) Einrichten der Achse einer Laserlichtquelle sichtbarer Wellenlänge auf eine konstruktiv definierte Achse einer Meß- und Justiereinrichtung;
- b) Einrichten der Achse der Linse eines Laserfokussierkopfes auf die konstruktiv definierte Achse;
- c) Bestimmen des Fokuspunktes der Linse;
- d) Justieren der Düse auf den Fokuspunkt auf der konstruktiv definierten Achse.
Der Fokuspunkt wird zweckmäßig durch Parallelverschieben
der Laserlichtquelle oder der Linse des
Laserfokussierkopfes senkrecht zur konstruktiv definierten
Achse und Verschieben eines Meßwagens entlang der
konstruktiv definierten Achse ermittelt.
Vorteilhaft erfolgt die Ermittlung des Fokuspunktes
mittels eines digitalen Meßsystems auf dem Meßwagen.
Eine Vorrichtung der eingangs beschriebenen Art ist
erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet,
- - daß eine Lagerung für eine Laserlichtquelle, eine Aufnahme für einen Laserfokussierkopf, ein Meßwagen und ein Blendenhalter axial hintereinander auf einer konstruktiv definierten Achse angeordnet und auf einer gemeinsamen Grundplatte angebracht sind,
- - daß die Lagerung für die Laserlichtquelle oder die Aufnahme für den Laserfokussierkopf senkrecht zur konstruktiv definierten Achse parallelverschiebbar angeordnet sind, und
- - daß der Meßwagen entlang der konstruktiv definierten Achse verschiebbar angeordnet ist.
Die Laserlichtquelle ist vorteilhaft ein He-Ne-Laser mit
sichtbarem Licht.
Zweckmäßig ist die Strahlachse der Laserlichtquelle
mittels Justierschrauben am axial vorderen und hinteren
Ende der Lagerung für die Laserlichtquelle in die
konstruktiv definierte Achse einjustierbar. Durch den
hiermit erzielten großen Abstand zwischen den
Justierschrauben läßt sich die Justierung der
Laserlichtquelle einfach und feinfühlig durchführen.
Die Vorrichtung ist vorteilhaft derart aufgebaut, daß die
Lagerung der Laserlichtquelle auf Führungsschienen an der
Grundplatte quer zur konstruktiv definierten Achse
verschiebbar ist, und daß ein einstellbarer Anschlag für
ihre Stellung mit der Strahlachse in der konstruktiv
definierten Achse vorgesehen ist. Damit läßt sich
einerseits der Fokuspunkt der Linse sehr einfach und genau
sichtbar machen und zum anderen läßt sich die
Laserlichtquelle einfach in ihre Ausgangsposition bzw. in
die konstruktiv definierte Achse zurückbringen.
Die Aufnahme für den Laserfokussierkopf weist zweckmäßig
ein um die konstruktiv definierte Achse drehbares
Innenteil auf, auf das der Laserfokussierkopf mit einer in
einer zur konstruktiv definierten Achse senkrechten Ebene
justierbaren Linse und einer in einer zur konstruktiv
definierten Achse senkrechten Ebene justierbaren und
entlang der konstruktiv definierten Achse justierbar
verschiebbaren Düse aufgeschraubt ist.
Weiter sind auf dem drehbaren Innenteil der Aufnahme eine
Lochblende mit kleinerer Bohrung und auf dem Blendenhalter
eine Lochblende mit größerer Bohrung jeweils in der
konstruktiv definierten Achse angeordnet. Die optische
Achse stimmt mit der konstruktiv definierten Achse dann
überein, wenn der Lichtstrahl beide Blendenbohrungen frei
durchstrahlt. Die kleinere Bohrung hat beispielsweise
einen Durchmesser von 1 mm und die größere Bohrung einen
Durchmesser von 2 mm, da der Lichtstrahl der Quelle
divergiert.
Die Justierung der Linse im Laserfokussierkopf erfolgt
nach der exakten Abstimmung der konstruktiv definierten
und der optischen Achse aufeinander und ist dann
abgeschlossen, wenn bei einer Drehung des
Laserfokussierkopfes um 360° um die konstruktiv definierte
Achse der Lichtstrahl nicht mehr aus der Bohrung in der
Lochblende auf dem Blendenhalter wandert, da dann die
mechanische und die optische Achse identisch sind.
Andererseits läßt sich mit diesem Aufbau auch eine
verkippt eingebaute Linse durch Drehen des Schneidkopfes
in der Aufnahme ermitteln. Die Abbildung des Laserstrahles
wandert dann kreisförmig auf der Oberfläche der Lochblende
auf dem Blendenhalter.
Weiter kann in dem drehbaren Innenteil der Aufnahme ein
ZnSe-Fenster vorgesehen sein.
Vorteilhaft ist auf dem Meßwagen in der konstruktiv
definierten Achse eine Meßeinrichtung zur exakten
Ermittlung der Brennpunktlage der Linse vorgesehen, die
zweckmäßig eine Glasblende mit dünnen Meßlinien zur
Markierung des Mittelpunkts der Glasblende enthält.
Der Brennpunkt der Linse läßt sich nun durch Anwendung
eines optischen Gesetzes ermitteln, welches besagt, daß
ein senkrecht auf eine Linse auftreffender Lichtstrahl
immer derart abgelenkt wird, daß er durch den Brennpunkt
der Linse führt. Wird nun die Lichtquelle nach dem
Justieren der Linse parallel aus der Mittelstellung
verschoben, so wird durch Verschieben des Meßwagens
entlang der konstruktiv definierten Achse (Z-Richtung) die
Abbildung des Lichtstrahls auf der Glasblende im Meßwagen
sichtbar. Die Abbildung des Lichtstrahls trifft dann exakt
ins Zentrum der Glasblende, wenn sich die Blendenebene im
Fokuspunkt befindet. Das Zentrum der Blende ist sehr exakt
definiert durch die dünnen, metallisch glänzenden
Meßlinien auf der Oberfläche der Glasblende,
beispielsweise ein Fadenkreuz oder Meßringe.
Die Meßeinrichtung ist vorteilhaft Teil eines digitalen
Meßsystems, welches es erlaubt, Messungen auf 0,01 mm
genau durchzuführen.
Die Erfindung ist im folgenden an einem
Ausführungsbeispiel und anhand der Zeichnungen näher
beschrieben. In den Zeichnungen zeigt
Fig. 1 eine Draufsicht auf eine Vorrichtung zum
Messen und Justieren von Laserfokussierköpfen,
Fig. 2 eine Seitenansicht der Vorrichtung in Fig. 1,
und
Fig. 3 eine schematische Schnittansicht eines
Laserfokussierkopfes in Form eines
Hochdruckschneidkopfes in der Aufnahme einer
Justiervorrichtung nach Fig. 1 und 2.
Bei der in Fig. 1 und 2 dargestellten Vorrichtung liegen
eine Lagerung 1 für eine Laserlichtquelle 2, eine Aufnahme
3 für einen Laserfokussierkopf 4, ein Meßwagen 5 und ein
Blendenhalter 6 auf einer konstruktiv definierten Achse
und sind auf einer gemeinsamen Grundplatte 7 befestigt.
Die konstruktiv definierte Achse ist die Mittelachse 8 der
gesamten Vorrichtung. Die Laserlichtquelle 2 ist ein
He-Ne-Laser mit sichtbarem Licht.
Am axial vorderen und hinteren Ende der Lagerung 1 für die
Laserlichtquelle 2 sind Justierschrauben 9, 10 vorgesehen,
mit deren Hilfe sich die Strahlachse der Laserlichtquelle
2 in die konstruktiv definierte Achse einjustieren läßt.
lnfolge des großen axialen Abstandes zwischen den
Justierschrauben 9 am vorderen Ende und den
Justierschrauben 10 am hinteren Ende läßt sich eine sehr
einfache und sehr feinfühlige Justierung in X-Richtung und
Y-Richtung durchführen. An der Grundplatte 7 sind
Führungsschienen 11 quer zur konstruktiv definierten Achse
angebracht. Auf diesen Führungsschienen 11 läßt sich die
Lagerung 1 der Laserlichtquelle 2 quer zur konstruktiv
definierten Achse, also in X-Richtung verschieben. Weiter
ist an den Führungsschienen 11 wenigstens ein
einstellbarer Anschlag 12 angebracht, um die Lagerung 1
der Laserlichtquelle 2 leicht in ihre Stellung mit der
Strahlachse der Laserlichtquelle 2 in der konstruktiv
definierten Achse bzw. Mittelachse 8 zurückbringen zu
können.
Die Aufnahme 3 für den Laserfokussierkopf 4 weist ein um
die konstruktiv definierte Achse drehbares Innenteil 13
auf, auf das der zu justierende Laserfokussierkopf 4
aufgeschraubt ist. Das drehbare Innenteil 13 kann in jeder
Stellung durch eine Rändelschraube 14 fixiert werden.
Durch Verwendung entsprechender Adapter lassen sich
beliebige Laserfokussierköpfe unterschiedlicher Hersteller
montieren und einrichten.
Das drehbare Innenteil 13 der Aufnahme 3 dient weiter auf
der der Laserlichtquelle 2 zugewandten Seite zur Aufnahme
einer Lochblende 15, die eine Bohrung mit 1 mm
Durchmesser, angeordnet in der konstruktiv definierten
Achse, aufweist. Weiter kann in dem drehbaren Innenteil 13
ein ZnSe-Fenster 16 vorgesehen sein.
Der Laserfokussierkopf 4, der in Fig. 3 in vergrößertem
Maßstab als Hochdruckschneidkopf dargestellt ist, weist
eine als Hochdruck-Meniskuslinse ausgebildete Linse 17 und
eine Düse 18 auf. Die Linse 17 ist mittels
Justierschrauben 19 in einer zur konstruktiv definierten
Achse senkrechten Ebene, also in X-Richtung und Y-Richtung
justierbar. Die Düse 18 ist mittels Justierschrauben 20
ebenfalls in einer zur konstruktiv definierten Achse
senkrechten Ebene, also in X-Richtung und Y-Richtung
justierbar. Weiter ist die Düse 18 mittels einer weiteren
Justierung 21 auch entlang der konstruktiv definierten
Achse, also in Z-Richtung justierbar verschiebbar.
Auf dem Meßwagen 5 ist in der konstruktiv definierten
Achse eine Meßeinrichtung zur exakten Ermittlung der Lage
des Brennpunkts 22 der Linse 17 vorgesehen. Die
Meßeinrichtung weist eine Glasblende 23 mit dünnen
Meßlinien zur Markierung des Mittelpunkts der Glasblende
23 auf. Die Meßlinien können ein Fadenkreuz oder Meßringe
sein und sind vorzugsweise aufgedampfte Linien mit einer
Breite von 0,02 mm. Die Glasblende 23 ist mit einem
Meßwertaufnehmer in Richtung der Z-Achse beweglich. Die
Meßeinrichtung ist Teil eines digitalen Meßsystems und
weist einen Meßkopf 24 sowie eine
Digitalisierungseinrichtung 25 auf.
Auf dem Blendenhalter 6 ist eine weitere Lochblende 26 mit
einer Bohrung von 2 mm Durchmesser in der konstruktiv
definierten Achse angeordnet. Der größere Durchmesser von
2 mm gegenüber dem Durchmesser von 1 mm der Bohrung der
Lochblende 15 ist deshalb vorgesehen, da der Lichtstrahl
der Quelle divergiert.
Die optische Achse der Vorrichtung stimmt mit der
konstruktiv definierten Achse überein, wenn der
Lichtstrahl beide Blendenbohrungen der Lochplatten 15 und
26 frei durchstrahlt.
Beim Justieren eines Laserfokussierkopfes 4 wird zunächst
die Achse der Laserlichtquelle 2 genau auf die konstruktiv
definierte Achse, d. h. die Mittelachse 8 einjustiert.
Hierauf erfolgt die Justierung der Linse 17 im
Laserfokussierkopf 4. Diese Justierung ist dann
abgeschlossen, wenn bei einer Drehung des
Laserfokussierkopfes 4 um 360° um die optisch/konstruktive
Achse der Lichtstrahl nicht mehr aus der Bohrung mit 2 mm
Durchmesser der Lochblende 26 wandert; die mechanische und
die optische Achse sind identisch.
Eine verkippt eingebaute Linse 17 läßt sich durch Drehen
des Laserfokussierkopfes 4 in der Aufnahme 3 ermitteln.
Die Abbildung des Laserstrahls wandert dann kreisförmig
auf der Oberfläche der Lochblende 26.
Wird nach dem Justieren der Linse 17 die Laserlichtquelle
2 parallel aus der Mittelstellung verschoben, so wird
durch Verschieben des Meßwagens 5 in Z-Richtung die
Abbildung des Lichtstrahls auf der Glasblende 23 im
Meßwagen 5 sichtbar. Die Abbildung des Lichtstrahls trifft
dann exakt ins Zentrum der Glasblende 23, wenn sich die
Blendenebene im Fokuspunkt befindet. Dieser Punkt wird
dadurch sehr exakt definiert, so daß eine sehr dünne,
metallisch glänzende Linie auf die Oberfläche der
Glasblende 23 aufgebracht ist. Nur exakt im Brennpunkt
trifft der Lichtstrahl diese Linie, was durch ein
Aufleuchten optisch gut sichtbar ist. Der so ermittelte
Brennpunkt kann nunmehr auf jede andere Lichtquelle
umgerechnet werden, zum Beispiel auch für eine
CO2-Laserstrahlquelle, die im infraroten Bereich
(unsichtbar) emittiert. Aufgrund des digitalen Meßsystems
sind Messungen mit einer Genauigkeit von 0,01 mm
durchführbar.
Claims (15)
1. Verfahren zum Messen und Justieren von
Laserfokussierköpfen mit transmittierenden Optiken für
Laserstrahlen, die im unsichtbaren Bereich emittieren,
dadurch gekennzeichnet,
- - daß die Justierung außerhalb einer industriell genutzten Laserfokussieranlage erfolgt,
- - daß die Justierung im Bereich sichtbarer Wellenlängen durchgeführt wird,
- - daß der Fokuspunkt der Linse im Laserfokussierkopf durch Messen im sichtbaren Bereich ermittelt und über Umrechnungsfaktoren nach den Brechungsgesetzen für den Bereich unsichtbarer Wellenlängen festgelegt wird, und
- - daß die Linse und die Düse im Laserfokussierkopf auf die Strahlachse und den Fokuspunkt für den Betrieb in der industriell genutzten Laserfokussieranlage vorjustiert werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
gekennzeichnet durch folgende
aufeinanderfolgende Schritte:
- a) Einrichten der Achse einer Laserlichtquelle sichtbarer Wellenlänge auf eine konstruktiv definierte Achse einer Meß- und Justiereinrichtung;
- b) Einrichten der Achse der Linse eines Laserfokussierkopfes auf die konstruktiv definierte Achse;
- c) Bestimmen des Fokuspunktes der Linse;
- d) Justieren der Düse auf den Fokuspunkt auf der konstruktiv definierten Achse.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Fokuspunkt durch Parallelverschieben der
Laserlichtquelle senkrecht zur konstruktiv definierten
Achse und Verschieben eines Meßwagens entlang der
konstruktiv definierten Achse ermittelt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Fokuspunkt durch Parallelverschieben der Linse
des Laserfokussierkopfes senkrecht zur konstruktiv
definierten Achse und Verschieben eines Meßwagens
entlang der konstruktiv definierten Achse ermittelt
wird.
5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Ermittlung des Fokuspunktes mittels eines
digitalen Meßsystems auf dem Meßwagen erfolgt.
6. Vorrichtung zum Messen und Justieren von
Laserfokussierköpfen mit transmittierenden Optiken für
Laserstrahlen, die im unsichtbaren Bereich emittieren,
insbesondere zur Durchführung eines Verfahrens nach
einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
- - daß eine Lagerung (1) für eine Laserlichtquelle (2), eine Aufnahme (3) für einen Laserfokussierkopf (4), ein Meßwagen (5) und ein Blendenhalter (6) axial hintereinander auf einer konstruktiv definierten Achse angeordnet und auf einer gemeinsamen Grundplatte (7) angebracht sind,
- - daß die Lagerung (1) für die Laserlichtquelle (2) oder die Aufnahme (3) für den Laserfokussierkopf (4) senkrecht zur konstruktiv definierten Achse parallelverschiebbar angeordnet sind, und
- - daß der Meßwagen (5) entlang der konstruktiv definierten Achse verschiebbar angeordnet ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Laserlichtquelle (2) ein He-Ne-Laser mit
sichtbarem Licht ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Strahlachse der Laserlichtquelle (2) mittels
Justierschrauben (9, 10) am axial vorderen und
hinteren Ende der Lagerung (1) für die
Laserlichtquelle (2) in die konstruktiv definierte
Achse einjustierbar ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Lagerung der Laserlichtquelle (2) auf
Führungsschienen (11) an der Grundplatte (7) quer zur
konstruktiv definierten Achse verschiebbar ist, und
daß ein einstellbarer Anschlag (12) für ihre Stellung
mit der Strahlachse in der konstruktiv definierten
Achse vorgesehen ist.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Aufnahme (3) für den Laserfokussierkopf (4)
ein um die konstruktiv definierte Achse drehbares
Innenteil (13) aufweist, auf das der
Laserfokussierkopf (4) mit einer in einer zur
konstruktiv definierten Achse senkrechten Ebene
justierbaren Linse (17) und einer in einer zur
konstruktiv definierten Achse senkrechten Ebene
justierbaren und entlang der konstruktiv definierten
Achse justierbar verschiebbaren Düse (18)
aufgeschraubt ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß auf dem drehbaren Innenteil (13) der Aufnahme (3)
eine Lochblende (15) mit kleinerer Bohrung und auf dem
Blendenhalter (6) eine Lochblende (26) mit größerer
Bohrung jeweils in der konstruktiv definierten Achse
angeordnet sind.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß in dem drehbaren Innenteil (13) der Aufnahme (3)
ein ZnSe-Fenster (16) vorgesehen ist.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 12,
dadurch gekennzeichnet, daß auf dem
Meßwagen (5) in der konstruktiv definierten Achse eine
Meßeinrichtung zur exakten Ermittlung der
Brennpunktlage der Linse (17) vorgesehen ist.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Meßeinrichtung eine Glasblende (23) mit dünnen
Meßlinien zur Markierung des Mittelpunkts der
Glasblende (23) enthält.
15. Vorrichtung nach Anspruch 13 oder 14,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Meßeinrichtung Teil eines digitalen Meßsystems ist.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4133457A DE4133457C2 (de) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | Verfahren und Vorrichtung zum Messen und Justieren von Laserfokussierköpfen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4133457A DE4133457C2 (de) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | Verfahren und Vorrichtung zum Messen und Justieren von Laserfokussierköpfen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE4133457A1 true DE4133457A1 (de) | 1993-04-15 |
| DE4133457C2 DE4133457C2 (de) | 1999-11-04 |
Family
ID=6442357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE4133457A Expired - Fee Related DE4133457C2 (de) | 1991-10-09 | 1991-10-09 | Verfahren und Vorrichtung zum Messen und Justieren von Laserfokussierköpfen |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE4133457C2 (de) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4216249A1 (de) * | 1992-05-16 | 1993-11-18 | Abb Patent Gmbh | Motorschutzschalter mit Unterspannungsauslöser |
| DE102015107245B4 (de) | 2014-05-13 | 2023-08-24 | Leica Microsystems Ltd. Shanghai | 1einstellvorrichtung für eine beleuchtungskomponente eines mikroskops, eine mikroskop-beleuchtungsvorrichtung und ein mikroskop |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2528467A1 (de) * | 1975-06-26 | 1976-12-30 | Messer Griesheim Gmbh | Gaslaser, insbesondere fuer die bearbeitung von werkstoffen |
| SU1563927A1 (ru) * | 1988-07-05 | 1990-05-15 | Куйбышевский Филиал Физического Института Им.П.Н.Лебедева Ан Ссср | Способ контрол площади п тна фокусировки импульсно-периодического излучени |
-
1991
- 1991-10-09 DE DE4133457A patent/DE4133457C2/de not_active Expired - Fee Related
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Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 1-228688 A. M-904, Dez. 11, 1989 Vol. 13/No.555 * |
| Patents Abstracts of Japan: 63-180391 A. M-768, Nov. 24, 1988 Vol. 12/No.448 * |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4133457C2 (de) | 1999-11-04 |
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