DE4130197C2 - Strömungssensoreinrichtung mit einer mechanisch resonanzfähigen Struktur - Google Patents
Strömungssensoreinrichtung mit einer mechanisch resonanzfähigen StrukturInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Strömungssensoreinrich
tung mit mindestens einer mechanisch resonanzfähigen Struk
tur, die
- - ein in ein strömendes flüssiges Medium direkt einzubrin gendes Biegeblech enthält, das eine dünne magnetostriktive Schicht aus einem weichmagnetischen Material mit einer ausgeprägten Magnetostriktion und einer vorbestimmten Ani sotropiefeldstärke aufweist,
und
- - bei einer Auslenkung aus einer Ausgangslage aufgrund einer von der Strömung des Mediums hervorgerufenen Krafteinwir kung ein von der Auslenkung abhängiges elektrisches Signal erzeugt, wobei Mittel zur Erfassung von durch die Kraft einwirkung hervorgerufenen Permeabilitätsänderungen der magnetostriktiven Schicht vorgesehen sind.
Eine derartige Strömungssensoreinrichtung geht aus der
US 3,863,501 A hervor.
Zur Strömungsmessung in flüssigen Medien werden verschiedene
Sensorprinzipien eingesetzt. Verbreitet sind Einrichtungen
zur Strömungsmessung außerhalb eines das flüssige Medium füh
renden Rohres, bei denen Laufzeitunterschiede von induzierten
Schallwellen, insbesondere Ultraschallwellen, an verschiede
nen Orten ausgenutzt werden, an denen sich entsprechende De
tektoren befinden (vgl. z. B. K. W. Bonfig u. a.: "Durchfluß
messung von Flüssigkeiten und Gasen", Expert-Verlag 1990,
Seiten 67 bis 80). Bei dieser Meßmethode muß jedoch eine be
trächtliche Rohrlänge zum Aufbau eines Detektionssystems zur
Verfügung stehen, um eine hinreichend große Empfindlichkeit
des Detektionssystems zu erreichen. Ferner ist es bekannt,
direkt in ein strömendes Medium Strömungssensoren einzubringen.
Solche Sensoren können beispielsweise piezoelektrische
Elemente und Transducer auf Biegebalken sein (vgl. z. B.
"Proc. of the IEEE, Vol. 70, No. 5, Mai 1982, Seiten 420 bis
457). Dabei können diese Elemente insbesondere ein mechanisch
resonantes System bilden, auf dem Ultraschallkomponenten ver
teilt angeordnet sind. Aus der durch das strömende Medium
hervorgerufenen Verstimmung der Resonanzfrequenz lässt sich
dann auf die Strömung des Mediums schließen. Bei diesen in
das Medium direkt eingebrachten Detektionssystemen besteht
jedoch die Schwierigkeit, daß sowohl das System als auch des
sen elektrische Zuleitungen selbst dem flüssigen Medium aus
gesetzt wären und dementsprechend gekapselt sein müssen. Die
se Maßnahme setzt jedoch die Empfindlichkeit der Sensoren
herab. Außerdem reagieren solche Sensoren nicht hinreichend
auf Dichteschwankungen und Temperaturunterschiede in dem
strömenden Medium.
Aus der eingangs genannten US 3,863,501 A ist ein magneto
striktiver Sensor für Durchflussmesser zu entnehmen, der eine
resonanzfähige Struktur umfaßt, welche in die Strömung eines
fließenden Mediums einzubringen ist. Die Struktur ist mit ei
nem einseitig eingespannten Draht aufgebaut, der in der Strö
mung oszillierende Schwingungen vollführen kann und der mit
einem Überzug aus einem magnetostriktiven Film versehen ist.
Die Ausrichtung der leichten Achse der Magnetisierung des
Überzugsmaterials verläuft dabei in Umfangsrichtung des Drah
tes quer zur Strömungsrichtung. Dies erschwert aber eine ein
deutige Signalgewinnung.
Magnetoelastische Ringsensoren als Weggeber oder Schwellwert
schalter, als Drehmomentsensoren oder Torduktoren gehen aus
"Elektronik", Bd. 22, 30.10.1987, Seiten 99 bis 112 hervor.
Hierbei werden bevorzugt amorphe Werkstoffe als Sensormateri
alien verwendet. Entsprechende Sensoren sind jedoch im allge
meinen nicht hinreichend empfindlich für eine Strömungsmes
sung in einem flüssigen Medium.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, die Sen
soreinrichtung mit den eingangs genannten Merkmalen dahinge
hend auszugestalten, daß sie mit einem kompakten Aufbau eines
in das Medium direkt einzusetzenden Strömungssensors eine
einfache und eindeutige Signalgewinnung ermöglicht.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das
Biegeelement
- - ein brückenförmig gestalteter und in Strömungsrichtung des Mediums ausgedehnter Biegebalken ist,
- - beidseitig eingespannt ist,
- - mit der Schicht aus dem weichmagnetischen Material derart versehen ist, daß die Achse der leichten Magnetisierung quer zur Strömungsrichtung in Richtung der Breite des Bie gebalkens liegt,
und
- - in der Strömung des Mediums eine die Permeabilitätsände rung hervorrufende Scherung erfährt.
Durch das strömende Medium wird die mechanisch resonante
Struktur, die vorteilhaft nach den Methoden der Mikromechanik
hergestellt werden kann (vgl. die genannte Literaturstelle
aus "Proc. IEEE"), zu Vibrationen und damit zu mechanischen
Verspannungen angeregt. Dabei ist der Zusammenhang zwischen
der mechanischen Spannung σ mit der Viskosität η des Mediums
und dem Geschwindigkeitsgradienten
durch folgende Bezie
hung gegeben:
wobei n = 1 im Falle Newton'scher Fluide gilt. z ist die Weg
koordinate in Strömungsrichtung. Diese mechanischen Spannun
gen σ übertragen sich auf die dünne weichmagnetische Schicht
und verändern deren Permeabilität µ. Diese Permeabilitätsver
änderung Δµ wird dann in an sich bekannter Weise detektiert
(vgl. z. B. "IEEE Trans. Magn.", Vol. MAG-23, No. 5, Sept.
1987, Seiten 2194 bis 2196). Die Permeabilitätsänderung µ
ist mit der durch das strömende Medium erzeugten mechanischen
Spannung σ über die Änderung der effektiven Anisotropiekon
stanten ΔKe folgendermaßen gekoppelt:
Hierbei ist die effektive Anisotropiekonstante Ke mit der in
trinsischen Anisotropie Ko und dem Produkt aus Magnetostrik
tion λs und mechanischer Spannung σ durch folgende Beziehung
verknüpft:
Ke = Ko - 3.λs.σ.
Die mit der erfindungsgemäßen Ausgestaltung der Sensoreinrich
tung verbundenen Vorteile sind insbesondere darin zu sehen,
daß solche Einrichtungen in großer Stückzahl und mit hoher Re
produzierbarkeit angefertigt werden können. Dabei lassen sich
alle erforderlichen elektrischen Zuleitungen in einem die Ein
richtung aufnehmenden Substrat versenken oder Durchkontaktie
ren, so daß die erfindungsgemäße Einrichtung z. B. in eine Wan
dung eines das strömende Medium führenden Rohres integriert
werden kann. Das schwingungsfähige magnetostriktive Biegeele
ment als eigentliches Sensorelement bedarf dabei keiner zu
sätzlichen Stromquelle zur Anregung einer erzwungenen Schwin
gung, wie dies insbesondere bei piezoelektrischen Elementen
der Fall ist. Außerdem kann das Biegeelement bei geeigneter
Materialwahl auch aggressiven Medien ausgesetzt werden, ohne
daß die Empfindlichkeit durch besondere Kapselungsmaßnahmen
wie etwa im Falle kapazitiver Schaltungen darunter leidet.
Ferner ist vorteilhaft mit der Ausgestaltung als brückenför
miger Biegebalken und dessen Scherung unter Einfluss der
Strömung eine eindeutige Permeabilitätsänderung zu erreichen,
die eine entsprechend eindeutige Signalerzeugung ermöglicht.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Sensorein
richtung gehen aus den Unteransprüchen hervor.
Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird nachfolgend auf
die Zeichnung Bezug genommen, in deren Fig. 1 schematisch
eine Sensorstruktur einer erfindungsgemäßen Sensoreinrichtung
in Schrägansicht veranschaulicht ist. Fig. 2 zeigt schema
tisch eine Aufsicht auf eine weitere Sensoreinrichtung. In
den Figuren sind sich entsprechende Teile mit denselben Be
zugszeichen versehen.
Der in Fig. 1 skizzierte Teil einer erfindungsgemäßen Sen
soreinrichtung 2 weist eine schmale Sensorstruktur auf, die
mechanisch zu Schwingungen angeregt werden kann, deren
Schwingungsspekrum mindestens einen Resonanzbereich zeigt.
Diese somit mechanisch resonanzfähige Struktur soll insbeson
dere für einen Resonanzbetrieb ausgelegt, d. h. mechanisch re
sonant sein. Gemäß dem dargestellten Ausführungsbeispiel wird
die Sensorstruktur im wesentlichen von einem schwingungsfähi
gen, brückenförmig ausgestalteten Biegeelement 3 gebildet.
Die Brücke dieses beidseitig befestigten (eingespannten) Bie
geelementes wird unter Einwirkung einer externen Kraft k, die
von der Strömung eines flüssigen Mediums M in Strömungsrich
tung längs der Brücke hervorgerufen wird, gegenüber ihrer
dargestellten Ausgangslage in Strömungsrichtung geschert und
dabei zu Schwingungen angeregt. Ein solches brückenförmiges
Biegeelement 3 kann vorteilhaft nach bekannten Verfahren der
Silizium-Mikrostrukturtechnik hergestellt werden (vgl. die
genannte Literaturstelle aus "Proc. IEEE" oder "Sensors and
Actuators", Vol. 19, 1989, Seiten 289 bis 307). Hierzu wird
von einem Substrat 4, vorzugsweise von einem Si-Wafer mit
(100)-Orientierung ausgegangen. Auf das Substrat 4 wird zu
nächst ein Hilfskörper z. B. aus SiO2 mit trapezförmigem Querschnitt
aufgebracht, um den Hohlraum unter der auszubildenden
Brücke provisorisch auszufüllen. Danach wird der gesamte Auf
bau aus Substrat und Hilfskörper mit einer Haft- bzw. Träger
schicht 5 für eine Schicht 6 aus einem besonderen magneto
striktiven, weichmagnetischen Material versehen. Die Schicht 5
ist erforderlich, da mit den zu verwendenden magnetostriktiven
Materialien selbst keine hinreichend festen Biegeelemente her
zustellen sind. Die Trägerschicht 5 kann vorteilhaft aus Si3N4
bestehen und eine Dicke d1 besitzen, die z. B. zwischen 50 und
500 nm, insbesondere zwischen 100 und 200 nm liegt und bei
spielsweise 150 nm beträgt. Auf diese Schicht 5 ist die magne
tostriktive Schicht 6 aufgebracht, deren Dicke d2 z. B. zwi
schen 50 nm und 1 µm, vorzugsweise zwischen 100 und 500 nm
liegt und beispielsweise 250 nm beträgt. Mittels bekannter
photolithographischer Verfahren (vgl. z. B. die genannte Lite
raturstelle aus "Proc. IEEE", insbesondere Seite 425) wird nun
der Schichtaufbau aus den Schichten 5 und 6 so strukturiert,
daß sich eine verhältnismäßig schmale, brückenförmige Gestalt
des Biegeelementes ergibt, wobei seitlich von dem Biegeelement
und unter der Brücke das Si des Substrates freigelegt wird und
der provisorische Hilfskörper wieder verschwindet. Darüber
hinaus kann man das nun freiliegende Si-Substrat 4 in einem
Medium ätzen, das bekanntermaßen anisotrop wirkt. Hierdurch
läßt sich in dem Substrat unter der Brücke des Biegeelementes
eine Ausnehmung 8 erzeugen, die eine verhältnismäßig große
Schwingungsamplitude des Elementes senkrecht zur Strömungs
richtung des Mediums und senkrecht zum Substrat ermöglicht.
Die Breite b des brückenartigen Biegeelementes 3 quer zur
Strömungsrichtung liegt im allgemeinen zwischen 1 µm und
200 µm, beispielsweise bei 50 µm, während die freie Spannweite
w des Brückenbogens häufig zwischen 1 und 5 mm liegt und bei
spielsweise 2 mm betragen kann. Als größte Höhe h des Brückenbogens
über der Oberflächenebene des Si-Substrates 4 wird im
allgemeinen ein Bereich zwischen 0,1 mm und 1 mm, beispiels
weise 0,5 mm vorgesehen.
Die Geometrie des Biegeelementes, insbesondere die Brückenhö
he h und die Spannweite w, sowie die magnetischen Eigenschaf
ten der weichmagnetischen Schicht 6 bestimmen im wesentlichen
die Empfindlichkeit des Biegebalkens als Strömungssensor. Als
Material für die Schicht 6 sind solche geeignet, die eine aus
geprägte Magnetostriktion λs mit einem Betrag von mindestens
20.10-6, vorzugsweise mindestens 30.10-6 aufweisen. Außerdem
sollte insbesondere im Hinblick auf eine einfache und eindeu
tige Signalgewinnung das Material weichmagnetische Eigenschaf
ten (mit einer intrinsischen Koerzitivfeldstärke Hci von unter
10 A/cm) und eine ausgeprägte uniaxiale Anisotropie aufweisen,
um so eine zumindest weitgehend hysteresisfreie Magnetisie
rungskurve zu gewährleisten. Dabei kann vorteilhaft die in der
Figur durch eine gepfeilte Linie 10 veranschaulichte Achse
(Richtung) der leichten Magnetisierung in der Schichtebene und
quer zur Strömungsrichtung des Mediums M liegen. Diese magne
tischen Eigenschaften können insbesondere von amorphen Mate
rialien erfüllt werden (vgl. z. B. "Elektronik", Heft 22,
30.10.1987, Seiten 99 bis 112). Ein konkretes Beispiel eines
geeigneten Materials für die Schicht 6 ist das
(CoxFe1-x)80B20 (vgl. z. B. das von F. E. Luborsky herausgege
bene Buch "Amorphous Metallic Alloys", London: Butterworth,
1983, Seiten 271 bis 278). Je nach vorgesehenem flüssigem
Medium lassen sich dabei (auch andere) Materialien einsetzen,
die von dem jeweiligen Medium nicht angegriffen werden.
Zum Nachweis einer Permeabilitätsänderung infolge einer Ver
spannung (Scherung) des brückenartigen Biegeelementes 3 durch
das strömende Medium M läßt sich in an sich bekannter Weise
vornehmen. Besonders vorteilhaft und einfach ist es, wenn man
die folgende Meßmethode durchführt: An eine Seite des Biege
elementes wird ein externes magnetisches Wechselfeld mit einer
Frequenz zwischen 50 Hz und 10 kHz, insbesondere unter 1 kHz,
beispielsweise mit 50 oder 60 Hz mittels einer entsprechenden
Spule angelegt. Der damit erzeugte magnetische Fluß wird dann
über das weichmagnetische Material der magnetostriktiven
Schicht auf die andere Seite des Biegeelementes übertragen, wo
er in einer zweiten Spule eine entsprechende Spannung indu
ziert. Wird nun durch die Scherung des Biegeelementes die Per
meabilität des weichmagnetischen Materials geändert bzw. die
magnetische Polarisation in der magnetostriktiven Schicht ge
dreht, so ändert sich auch die mit der zweiten Spule detek
tierte Spannung. Diese Spannungsänderung ist also ein Maß für
die Scherung des brückenförmigen Biegeelementes und damit für
die von der Strömung des flüssigen Mediums an dem Biegeelement
verursachte Kraft k. Die benötigten Spulen können insbesondere
in Planartechnik durch photolithographische Methoden in be
kannter Weise hergestellt werden.
Vorteilhaft ist es auch, zwei derartige brückenartige Biege
elemente parallel zueinander anzuordnen, bei denen die anre
genden Magnetfelder entgegengesetzt gerichtet sind. Ein ent
sprechendes Ausführungsbeispiel ist aus der Aufsicht der Fig.
2 ersichtlich. Bei einer derartigen Ausführungsform werden die
Empfindlichkeit erhöht und etwaige Temperatur- und Alterungs
effekte minimiert. Ferner besteht die Möglichkeit, die Strö
mungsrichtung des Mediums M zusätzlich zu detektieren. Dies
ist jedoch mit einem erhöhten Aufwand hinsichtlich einer er
forderlichen Auswerte-Elektronik verbunden.
Die Fig. 2 zeigt zwei eine Ausnehmung 8 in einem Si-Substrat
überbrückende Biegeelementes 3 und 3' gemäß Fig. 1. Außerhalb
des Brückenbereiches sind die auf der Si-Oberfläche liegenden
einen Endstücke 11 und 11' der streifenförmigen, magnetostrik
tiven Schichten 6 und 6' jeweils von einer in Planartechnik
erstellten felderzeugenden Spule 12 bzw. 12' umgeben. Diese
Spulen sind dabei so zusammengeschaltet, daß die von ihnen er
zeugten magnetischen Wechselfelder H bzw. H' antiparallel ge
richtet sind. Die Richtung der leichten Magnetisierung (magne
tischen Polarisation) in jedem Biegeelement ist im strömungs
losen Fall durch mit gepfeilten Linien 10 bzw. 10' angedeutet.
An den Endstücken 11 und 11' gegenüberliegenden Endstücken 14
bzw. 14' der streifenförmigen magnetostriktiven Schichten 6
und 6' befinden sich ebenfalls in Planartechnik erstellte De
tektionsspulen 15 und 15'. An diesen Spulen werden bei einer
Verspannung der brückenartigen Biegeelemente 3 und 3' unter
Einwirkung einer Kraft des strömenden Mediums M aufgrund von
Permeabilitätsänderungen Spannungsänderungen ΔU bzw. ΔU'
hervorgerufen (induziert). Hierbei drehen sich die die Rich
tungen der leichten Magnetisierung andeutenden Pfeile 10 und
10' in die jeweils punktiert veranschaulichte Lage. Die an den
Spulen 15 und 15' detektierten Spannungsänderungen sind ein
Maß für die Scherung der Biegeelemente und damit für die von
dem strömenden Medium M auf die brückenförmigen Biegeelemente
3 und 3' ausgeübten Kräfte. Aus diesen Kräften läßt sich auf
die jeweiligen Strömungsverhältnisse rückschließen. Eine hier
für erforderliche, den Spulen 15 und 15' nachzuordnende Elek
tronik ist an sich bekannt und deshalb in der Figur nicht aus
geführt.
Verwendet man für die beiden Biegeelemente 3 und 3' nach Art
der Fig. 2 unterschiedliche Materialien für deren magneto
striktive Dünnschichten 6 und 6', deren Temperaturkoeffizien
ten sich unterscheiden, so läßt sich durch eine geeignete
elektronische Auswertung neben dem Strömungszustand auch der
Temperaturzustand des Mediums detektieren.
Abweichend von der Anordnung der beiden Biegeelemente 3 und 3'
nach Fig. 2 ist es auch möglich, diese beiden Elemente nicht
parallel, sondern unter einem vorbestimmten Winkel zueinander,
z. B. unter einem rechten Winkel anzuordnen. Auf diese Weise
lassen sich auch Strömungen oder Strömungskomponenten erfas
sen, die nicht genau in der Ausdehnungrichtung der einzelnen
Elemente gerichtet sind.
Gemäß den dargestellten Ausführungsbeispielen wurde davon aus
gegangen, daß die Biegeelemente von erfindungsgemäßen Sensor
einrichtungen sich brückenartig über Ausnehmungen eines Sub
strates erstrecken. Selbstverständlich ist es auch möglich,
solche Biegeelemente an entsprechenden Erhebungen eines Trä
gerkörpers auszubilden. Bei hinreichender Brückenhöhe h kann
gegebenenfalls auch auf eine Ausnehmung oder Erhebung verzich
tet werden. Auch andere geometrische Formen als die darge
stellte Brückenform sind für Biegeelemente denkbar, sofern das
strömende Medium eine Verspannung des Elementes bewirkt.
Claims (10)
1. Strömungssensoreinrichtung mit mindestens einer mecha
nisch resonanzfähigen Struktur, die
ein in ein strömendes flüssiges Medium direkt einzubrin gendes Biegeelement enthält, das eine dünne magnetostrik tive Schicht aus einem weichmagnetischen Material mit einer ausgeprägten Magnetostriktion und einer vorbe stimmten Anisotropiefeldstärke aufweist, und
bei einer Auslenkung aus einer Ausgangslage aufgrund einer von der Strömung des Mediums hervorgerufenen Krafteinwirkung ein von der Auslenkung abhängiges elektrisches Signal erzeugt, wobei Mittel zur Erfassung von durch die Krafteinwirkung hervorgerufenen Permeabi litätsänderungen der magnetostriktiven Schicht vorge sehen sind,
dadurch gekennzeichnet, daß das Biegeelement (3, 3')
ein brückenförmig gestalteter und in Strömungsrichtung des Mediums (M) ausgedehnter Biegebalken ist,
beidseitig eingespannt ist,
mit der Schicht (6, 6') aus dem weichmagnetischen Material derart versehen ist, daß die Achse (10, 10') der leichten Magnetisierung quer zur Strömungsrichtung in Richtung der Breite (b) des Biegebalkens liegt, und
in der Strömung des Mediums (M) eine die Permeabili tätsänderung hervorrufende Scherung erfährt.
ein in ein strömendes flüssiges Medium direkt einzubrin gendes Biegeelement enthält, das eine dünne magnetostrik tive Schicht aus einem weichmagnetischen Material mit einer ausgeprägten Magnetostriktion und einer vorbe stimmten Anisotropiefeldstärke aufweist, und
bei einer Auslenkung aus einer Ausgangslage aufgrund einer von der Strömung des Mediums hervorgerufenen Krafteinwirkung ein von der Auslenkung abhängiges elektrisches Signal erzeugt, wobei Mittel zur Erfassung von durch die Krafteinwirkung hervorgerufenen Permeabi litätsänderungen der magnetostriktiven Schicht vorge sehen sind,
dadurch gekennzeichnet, daß das Biegeelement (3, 3')
ein brückenförmig gestalteter und in Strömungsrichtung des Mediums (M) ausgedehnter Biegebalken ist,
beidseitig eingespannt ist,
mit der Schicht (6, 6') aus dem weichmagnetischen Material derart versehen ist, daß die Achse (10, 10') der leichten Magnetisierung quer zur Strömungsrichtung in Richtung der Breite (b) des Biegebalkens liegt, und
in der Strömung des Mediums (M) eine die Permeabili tätsänderung hervorrufende Scherung erfährt.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeich
net durch ein Material der magnetostriktiven Schicht
(6, 6') mit einer Magnetostriktion (λs), deren Betrag
mindestens 20.10-6, vorzugsweise mindestens 30.10-6 groß
ist.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß sich das Biegeelement
(3, 3') über eine Ausnehmung (8) eines Substrates (4)
erstreckt.
4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß das Substrat (4) zumindest
weitgehend aus Silizium besteht.
5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, da
durch gekennzeichnet, daß die
magnetostriktive Schicht (6, 6') des Biegeelementes (3,
3') auf einer Trägerschicht (5) angeordnet ist.
6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Trägerschicht (5) aus
Si3N4 besteht.
7. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die
magnetostriktive Schicht (6, 6') aus einem amorphen
Material besteht.
8. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß zur
Erfassung der Permeabilitätsänderungen an einem Endstück
(11, 11') des Biegeelementes (3, 3') eine magnetfelder
zeugende Spule (12, 12') und an dem gegenüberliegenden
Endstück (14, 14') des Biegeelementes eine magnetfeld
empfangende Spule (15, 15') vorgesehen sind.
9. Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch ge
kennzeichnet, daß mit der magnetfelderzeu
genden Spule (12, 12') ein magnetisches Wechselfeld (H,
H') mit einer Frequenz zwischen 50 Hz und 10 kHz hervor
zurufen ist.
10. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
gekennzeichnet durch mehrere Biegeelemente
(3, 3') mit vorbestimmter gegenseitiger Ausrichtung (vgl.
Fig. 2).
Priority Applications (1)
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DE19914130197 DE4130197C2 (de) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | Strömungssensoreinrichtung mit einer mechanisch resonanzfähigen Struktur |
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DE19914130197 DE4130197C2 (de) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | Strömungssensoreinrichtung mit einer mechanisch resonanzfähigen Struktur |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE4130197A1 DE4130197A1 (de) | 1993-03-18 |
DE4130197C2 true DE4130197C2 (de) | 2002-09-26 |
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ID=6440354
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DE19914130197 Expired - Fee Related DE4130197C2 (de) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | Strömungssensoreinrichtung mit einer mechanisch resonanzfähigen Struktur |
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DE (1) | DE4130197C2 (de) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10049903A1 (de) * | 2000-10-10 | 2002-05-08 | Bosch Gmbh Robert | Sensor |
DE102010040895A1 (de) * | 2010-09-16 | 2012-03-22 | Consens Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Fluidströmen |
DE102015000064B3 (de) * | 2015-01-12 | 2016-03-31 | Carl Von Ossietzky Universität Oldenburg | Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen mindestens eines Parameters einer Strömung eines Fluids und deren Verwendung |
DE102017006935A1 (de) | 2017-07-13 | 2019-01-17 | Technische Universität Ilmenau | Fluidstromsensor und Verfahren zur Bestimmung von stofflichen Parametern eines Fluids |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3863501A (en) * | 1973-12-19 | 1975-02-04 | Honeywell Inc | Magnetostrictive sensor for a flowmeter |
-
1991
- 1991-09-11 DE DE19914130197 patent/DE4130197C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3863501A (en) * | 1973-12-19 | 1975-02-04 | Honeywell Inc | Magnetostrictive sensor for a flowmeter |
Non-Patent Citations (6)
Title |
---|
DE-Z.: Elektronik 22 (30.10.87), S. 99-112 * |
Elektronik, Bd. 22, (1987), S. 99-112 * |
F. E. Luborsky (Hrsg.): Amorphous Metallic Alloys,Butterworth, 1983, S. 271-278 * |
K.W. Boufig u.a.: Durchflußmessungen von Flüssig- keiten und Gasen, Expert-Verlag 1990, S. 67-80 * |
Proc. of the IEEE, Vol. 70, No. 5, Mai 1982, S. 420-457 * |
US-Z.: IEEE Transactions on Magnetics, Vol. MAG-23, No. 5, (1987), S. 2194-2196 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE4130197A1 (de) | 1993-03-18 |
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