DE4117367C2 - Verfahren zur Erzeugung eines homogenen Abtragprofils auf einem rotierenden Target einer Sputtervorrichtung - Google Patents
Verfahren zur Erzeugung eines homogenen Abtragprofils auf einem rotierenden Target einer SputtervorrichtungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung eines
homogenen Abtragprofils auf einem rotierenden Target,
das insbesondere die Form eines Rohrs hat, einer Sputter
vorrichtung, die vorzugsweise mit einer Magnetronkatode
ausgerüstet ist, wobei das Plasma und der durch das Plasma
erzeugte Erosionsgraben die Form einer Rennbahn mit zwei
langen Geraden und mit zwei Bögen bzw. Querschenkeln,
die die beiden langen Graben miteinander verbinden, haben.
Bei Zerstäubungsprozessen (Sputterprozessen) werden in
der Praxis u. a. solche Hochleistungszerstäubungsvorrich
tungen (Sputtervorrichtung) eingesetzt, bei denen durch
ein Magnetfeld vor der Katode die Kollisions- und damit
Ionisationswahrscheinlichkeit der Teilchen erhöht wird.
Kernstück dieser Hochleistungszerstäubungsvorrichtungen
ist die sogenannte Magnetronkatode.
Eine derartige Magnetronkatode wird beispielsweise in
der deutschen Patentschrift 24 17 288 beschrieben.
Dort wird eine Katodenzerstäubungsvorrichtung mit hoher
Zerstäubungsrate mit einer Katode, die auf einer ihrer
Oberflächen das zu zerstäubende und auf einem Substrat
abzulagernde Material aufweist, mit einer derart angeord
neten Magneteinrichtung,
daß von der Zerstäubungsfläche ausgehende und zu ihr
zurückkehrende Magnetfeldlinien einen Entladungsbereich
bilden, der die Form einer in sich geschlossenen Schleife
hat, und mit einer außerhalb der Bahnen des zerstäubten
und sich von der Zerstäubungsfläche zum Substrat bewegen
den Materials angeordneten Anode gezeigt.
In der genannten Patentschrift wird vorgeschlagen, daß
die zu zerstäubende und dem zu besprühenden Substrat
zugewandte Katodenoberfläche eben ist, daß sich das
Substrat nahe dem Entladungsbereich parallel zu der ebenen
Zerstäubungsfläche über diese hinwegbewegen läßt, und
daß die das Magnetfeld erzeugende Magneteinrichtung auf
der der ebenen Zerstäubungsfläche abgewandten Seite der
Katode angeordnet ist.
Zum Stand der Technik gehören weiterhin Sputteranlagen
mit einer rotierenden Magnetronkatode. Der Prospekt der
Firma Airco Coating Technology, A Division of the BOC
Group, Inc. mit der Kennzeichnung ACT10110K988, weiterhin
"Airco-Prospekt" genannt, beschreibt den Aufbau und die
Arbeitsweise einer solchen an sich bekannten Sputteranlage
mit einer rotierenden Magnetronkatode. Wie aus den Abbil
dungen und den Text des Airco-Prospekts ersichtlich,
rotiert genau genommen nur das zylindrisch oder rohrförmig
geformte Target. Im Innern des Targets befindet sich
das stationäre Magnetaggregat der Magnetronkatode.
Wesentliche Bestandteile einer solchen an sich bekannten
Magnetronkatode sind unter anderem, siehe hierzu den
Airco-Prospekt, neben dem rotierenden zylindrischen Target
und dem stationären Magnetaggregat
das Targetantriebssystem, ein Wasserkühlsystem, eine
Vakuumkammer, in der sich unter anderem das rotierende
Target und das Substrat befinden, und eine Energiever
sorgungseinheit für die Katode. In der Praxis wird das
Target als eine Schicht auf einem zum Beispiel aus Kupfer
bestehendem Rohr aufgebracht. Das System, bestehend aus
einer Targetschicht und Kupferrohr, rotieren vor dem
brennenden Plasma.
Zum Stand der Technik gehört weiterhin die europäische
Patentschrift 0070899. In dieser Schrift wird eine
Vorrichtung zur Aufstäubung von dünnen Filmen eines
ausgewählten Überzugsmaterials auf wesentlich planare
Substrate, bestehend aus einer evakuierbaren Beschich
tungskammer, einer in dieser Beschichtungskammer horizon
tal angebrachten Katode mit einem länglichen, zylindri
schen Rohrelement, auf dessen äußerer Fläche eine Schicht
des zu zerstäubenden Überzugsmaterials aufgetragen worden
ist, und Magnetmitteln, die in diesem Rohrelement angeord
net werden, um eine sich in Längsrichtung davon
erstreckende Zerstäubungszone vorzusehen, beschrieben.
Der Gegenstand der europäischen Patentschrift ist gekenn
zeichnet durch Mittel zum Drehen dieses Rohrelements
um seine Längsachse, um verschiedene Teile des Überzugs
materials in eine Zerstäubungsstellung gegenüber den
vorerwähnten Magnetmitteln und innerhalb der vorerwähnten
Zerstäubungszone zu bringen, und durch in der Beschich
tungskammer befindliche Mittel zum horizontalen Abstützen
der Substrate und zum Transportieren dieser an den Magnet
mitteln vorbei, damit diese Substrate das zerstäubte
Material empfangen.
Rotierende Targets des Standes der Technik sind normaler
weise als dünne rohrförmige Schichten auf einem Trägerrohr
aufgebracht. Es besteht die Gefahr, daß derartige dünne
Targetschichten in relativ kurzer Zeit durchgesputtert
werden und zwar, weil die erodierende Wirkung des Plasmas
lokal in bestimmten Bereichen stärker ist als in anderen
Bereichen.
Das Durchsputtern kann unter Umständen dazu führen, daß
selbst das Trägerrohr beschädigt wird, daß es zu einer
Perforation des Trägerrohrs und damit zu Wassereinbrüchen
kommt. Die Sputteranlage kann dadurch beschädigt oder
zerstört werden. Weiterhin wird eine so auf dem Substrat
gesputterte Schicht inhomogen.
Zum Stand der Technik gehört, daß die Konfiguration des
Sputterplasmas und damit der Sputtergraben rennbahnähnlich
ausgestaltet ist. Zwei lange Geraden sind über zwei Bögen
oder zwei kurze Geraden miteinander verbunden. Diese
kurzen Geraden werden auch als Querschenkel bezeichnet.
Wenn ein rotierendes Rohrtarget von einem derart ausge
stalteten Plasma erodiert wird, dann sind während der
Rotation diejenigen Zonen des rotierenden Targets zeitlich
länger der Erosionswirkung ausgesetzt, die den Bögen
oder kurzen Geraden des Plasmas gegenüberliegen. Dies
erklärt sich aus der Geometrie der Rennbahn. Die Zonen
des rotierenden Targets, die den Bögen oder kurzen Geraden
des Plasmas gegenüberliegen, haben eine größere Verweils
zeit in Bezug auf das Plasma als die Zonen des rotierenden
Targets, die den langen Geraden des Plasmas ausgesetzt
sind.
In der Praxis führt dies zu Abtragprofilen mit unerwünsch
ten, ringnutförmigen Vertiefungen im rotierenden Target,
die bis oder in das Trägerrohr reichen. Ein vorzeitiger
Targetaustausch ist notwendig. Die Targetausnutzung ist
mangelhaft.
Der Erfindung liegen folgende Aufgaben zugrunde:
Die oben geschilderten Nachteile des Standes der Technik
sollen vermieden werden. Es soll ein Arcing-armer Betrieb
des rotierenden Targets bei hoher Targetausnutzung erzielt
werden. Insbesondere soll an den Enden des rotierenden
Targets kein Arcing auftreten. Auch bei reaktivem Betrieb
soll das Verfahren stabil durchgeführt werden können.
Trotz hoher Targetausnutzung soll ein Durchsputtern des
Rohrtargets verhindert werden.
Die gestellten Aufgaben werden erfindungsgemäß dadurch
gelöst, daß das für die Stärke und Formgebung des Plasmas
maßgebende Magnetfeld, insbesondere die Geometrie des
Magnetfelds, so variiert wird, daß eine Konfiguration
des Erosionsgrabens entsteht, die auf dem rotierenden
Target ein rechteckiges oder nahezu rechteckiges Abtrag
profil mit steilen Erosionsflanken erzeugt.
Dabei kann vorgesehen werden, daß die Erosionswirkung
des Plasmas im Bereich der Geraden und der Bögen bzw.
Querschenkel der Rennbahn durch Veränderung des Magnet
felds so variiert werden, daß ein rechteckiges oder nahezu
rechteckiges Abtragprofil mit steilen Erosionsflanken
auf dem rotierenden Target erzeugt wird.
Insbesondere wird vorgeschlagen, daß die Längen der Bögen
bzw. Querschenkel der Rennbahn so variiert werden, daß
ein rechteckiges oder nahezu rechteckiges Abtragprofil
mit steilen Erosionsflanken auf dem rotierenden Target
erzeugt wird.
Im Rahmen der Erfindung wird nachfolgend eine Reihe von
Maßnahmen zur Variation des Magnetfelds vorgeschlagen:
Die Position mindestens eines Magneten wird geändert.
Die Stärke mindestens eines Magneten wird geändert.
Weiterhin kann die Anzahl der Magnete geändert werden.
Außerdem wird vorgeschlagen, daß mindestens ein Perma
nentmagnet durch einen Elektromagnet (stromdurchflossene
Spule mit einem Eisenkern) in seiner Wirkung beeinflusst,
gedrosselt oder unterstützt wird. Außerdem kann vorgesehen
werden, daß mindestens ein Abstand zwischen Magnetpolen,
daß der Abstand mindestens zweier Magnete zueinander
oder daß der Abstand zwischen mindestens einem Magne
ten und der Oberfläche des rotierenden Targets geändert
wird.
Außerdem wird vorgeschlagen, daß die Variation des
Magnetfelds dadurch erfolgt, daß die Winkelstellung
mindestens eines Magneten zum rotierenden Target geändert
wird, daß die Form mindestens eines Magnetpols geändert
wird, daß die Variation des Magnetfelds dadurch erfolgt,
daß an mindestens einem Magnetpol ein Shunt (magnetische
Überbrückung zwischen Magnetpol und Magnetjoch) angeordnet
wird oder daß die Variation des Magnetfelds dadurch
erfolgt, daß mindestens ein spezieller Polschuh am Magnet
befestigt wird.
Durch die Erfindung werden folgende Vorteile erzielt:
Mit der Beseitigung der oben geschilderten Nachteile
des Standes der Technik wird ein Arcing-armer Betrieb
des rotierenden Targets bei hoher Targetausnutzung
erzielt. Auch bei reaktivem Betrieb kann das Verfahren
stabil durchgeführt werden. Trotz hoher Targetausnutzung
wird ein Durchsputtern des Rohrtargets verhindert.
Weitere Einzelheiten der Erfindung, der Aufgabenstellung
und der erzielten Vorteile sind der folgenden Beschreibung
von Ausführungsbeispielen der Erfindung zu entnehmen.
Diese Ausführungsbeispiele werden anhand von acht Figuren
erläutert.
Fig. 1 zeigt schematisch in einer Schnittdarstellung
und in Seitenansicht einen Teil einer Sputteranlage mit
rotierendem Target nach dem Stand der Technik.
Fig. 2 zeigt eine Schnittdarstellung entsprechend der
Schnittlinie II-II der Fig. 1.
Fig. 3 und 4 zeigen die rennbahnähnliche Form des
Plasmas bzw. des Erosionsgrabens.
Fig. 5 bis 7 zeigen verschiedene Abtragprofile.
Fig. 8 zeigt in schematischer Darstellung ein rotierendes
Target und ein Magnetaggregat, bestehend aus zwei
Magneten.
Bei der nachfolgenden Beschreibung der Ausführungsbei
spiele der Erfindung wird von einem Stand der Technik
ausgegangen, wie er sich in Form der oben zitierten
Schriften darstellt.
Die Beschreibungen und die Figuren dieser Schriften können
zur Erläuterung der Ausgangsbasis für die nachfolgend
beschriebenen Ausführungsbeispiele der Erfindung herange
zogen werden.
In Fig. 1 ist ein Teil einer Sputteranlage, wie sie
zum Stand der Technik gehört, dargestellt. Es handelt
sich um einen Typ, wie er mit seinen Einzelheiten in
der Airco-Prospekt-Zeichnung gezeigt wird.
Zu einer derartigen an sich bekannten Sputteranlage gehört
ein rotierendes Target, ein Targetantriebssystem, das
Magnetaggregat eines Magnetrons, eine Kühlwasserversorgung
für das rotierende Target, eine Energieversorgung für
die Katode und eine Vakuumkammer. Innerhalb der
Vakuumkammer befinden sich unter anderem das rotieren
de Target und ein Substrat, auf dem während des Sputter
prozesses eine Schicht aus Sputtermaterial aufwächst.
Im rohrförmigen rotierenden Target herrscht atmosphäri
scher Druck. Außerhalb des rotierenden Targets herrscht
Vakuum.
Weitere Einzelheiten zu den bekannten Sputteranlagen
mit rotierendem Target sind dem Airco-Prospekt, und der
oben genannten europäischen Patentschrift 0070899 zu
entnehmen.
Die Sputteranlage nach dem Stand der Technik, wie sie
in Fig. 1 im Bereich des rotierenden Targets gezeigt
wird, weist neben einem rotierenden Target 1 ein rotieren
des Targetträgerrohr 2 für das rotierende Target auf.
Mit 3 und 4 sind Teile der Wände der Vakuumkammer bezeich
net. Mit Hilfe der Rohrstücke 5 und 6, die gegenüber
den Wänden der Vakuumkammer durch die Dichtungen 13,
14 abgedichtet sind, wird das rotierende Target gelagert.
Außerdem dienen diese Rohrstücke zur Leitung des Kühlme
diums. Das anströmende Kühlmedium, beispielsweise Wasser,
wird durch den Pfeil 7 und das abströmende Kühlmedium
durch den Pfeil 8 dargestellt. Im Innenraum des rohrförmi
gen, rotierenden Targetträgerrohrs, der in seiner Gesamt
heit mit 9 bezeichnet ist, befindet sich das Magnetaggre
gat 10 des Magnetrons. Zur Kühlung wird das Magnetaggregat
mit Wasser 11 umspült.
Die Position des Plasmas ist in Fig. 1 mit 12 bezeichnet.
Fig. 2 zeigt das Schnittbild des Gegenstands der Fig.
1 gemäß der Schnittlinie II-II. Aus Fig. 2 sind das
rotierende Target und das Targetträgerrohr zu erkennen.
Vom Magnetaggregat sind die Magnete 15, 16, 17, 18 zu
erkennen, sowie die dazugehörenden Magnetjoche 19 und
20. 21 ist ein Halteelement.
Wie in den Schriften zum Stande der Technik beschrieben,
rotieren das Target 1 und das Targetträgerrohr 2, während
das Magnetaggregat mit seinen Magneten 15, 16, 17, 18
und seinem Halteelement 21 stationär angeordnet ist.
In Fig. 3 ist die rennbahnähnliche Form des Erosions
grabens auf dem rotierenden Target 47 bzw. des Plasmas
dargestellt. Die beiden langen Geraden tragen die Bezugs
ziffern 22 und 23. Die, die beiden langen Geraden verbin
denden Geraden, auch Bögen oder Querschenkel genannt,
tragen die Bezugsziffern 24, 25.
Ein Punkt 26 auf dem rotierenden Target 47, der in
Richtung des Pfeils 27 durch die Einwirkungszone des
Plasmas bewegt wird, hat eine längere Verweilszeit im
Sputterprozess als ein Punkt 28, der in Richtung des
Pfeils 29 durch die Einwirkungszonen 23 und 22 des Plasmas
geführt wird. Demzufolge entsteht ein Abtragprofil 35
(schraffierte Fläche), wie es in Fig. 5 gezeigt wird.
Die oben erwähnten Punkte 26 und 28 auf der Targetober
fläche 47 sind symbolisch in Fig. 5 ebenfalls mit 26
und 28 bezeichnet. Fig. 5 zeigt eine Hälfte eines
rotierenden Targets 44.
Die ringnutförmigen Vertiefungen 30, 31 in der erodierten
Oberfläche des rotierenden Targets 44 sind unerwünscht.
Sie können, wie oben dargestellt, das Trägerrohr errei
chen. Unter ungünstigen Umständen wird selbst das Träger
rohr durchgesputtert und es kommt zu einem Wassereinbruch,
denn das Trägerrohr ist, wie im Zusammenhang mit den
Fig. 1 und 2 beschrieben, gleichzeitig Aufnahmebehälter
für das Kühlwasser.
Ein weiteres unerwünschtes Abtragprofil eines rotierenden
Targets 45 wird in Fig. 6 dargestellt.
Die Flanken des Abtragprofils 32 (schraffierte Fläche),
die mit 33 und 34 bezeichnet sind, sind flach ausgestal
tet. Die Targetausnutzung ist daher mangelhaft.
Fig. 7 zeigt ein Abtragprofil eines rotierenden Targets
46, wie es durch die Erfindung angestrebt wird. Dieses
Abtragprofil 36 (schraffierte Fläche) ist im wesentlichen
rechteckig. Es werden steile Abtragflanken 37, 38
angestrebt.
Zur Erreichung dieses rechteckigen oder nahezu rechtecki
gen Abtragprofils 36 werden durch die Erfindung mehrere
Maßnahmen vorgeschlagen, die im wesentlichen in einer
Optimierung des für das Plasma maßgebenden Magnetfelds
bestehen. Diese Optimierung erfolgt experimentell.
In Fig. 4 wird dargestellt, daß durch die Veränderung
der Länge der Querschenkel 39, 40 des rennbahnähnlichen
Plasmas die erodierende Wirkung der Querschenkel des
Plasmas auf das rotierende Target so variiert wird, daß
sie gleich der erodierenden Wirkung der beiden Geraden
41, 42 des rennbahnähnlichen Plasmas ist. Die Länge der
Querschenkel 39, 40 ist mit dem Maß 43 bezeichnet. Durch
Experimente wird herausgefunden, bei welchem Maß 43 ein
Abtragprofil erzeugt wird, das dem Abtragprofil 36 der
Fig. 7 entspricht.
Weiter oben wurde beschrieben, welche Maßnahmen in
weiteren Ausführungsbeispielen der Erfindung getroffen
werden können, um ein Abtragprofil zu erzeilen, wie es
in Fig. 7 gezeigt und mit Bezugsziffer 36 bezeichnet
ist.
In Fig. 8 wird gezeigt, wie durch Veränderung des
Abstands 49 zwischen zwei Magneten 50, 51 das Abtragprofil
optimiert werden kann.
Eine alternative oder zusätzliche Maßnahme kann darin
bestehen, daß die Abstände 54, 60 zwischen dem Magnetpol
52 und dem Magnetpol 53 bzw. zwischen dem Magnetpol 61
und dem Magnetpol 62 verändert werden.
Weiterhin wird im Rahmen der Erfindung vorgeschlagen,
daß der Abstand 55 zwischen den Magnetpolen und der
Targetoberfläche 56 variiert wird. Das Target selbst
ist in Fig. 8 mit 57 bezeichnet, das Targetträgerrohr
trägt die Bezugsziffer 58.
Eine weitere Maßnahme zur Variation des Magnetfelds
besteht in der Anordnung eines Shunts zwischen einem
Magnetpol und dem zugeordneten Magnetjoch. So ist
beispielsweise in Fig. 8 ein Shunt 59 dargestellt, der
den Magnetpol 52 und das Magnetjoch 50 überbrückt.
1
rotierendes Target
2
Trägerrohr
3
Wand
4
Wand
5
Rohrstück
6
Rohrstück
7
Pfeil
8
Pfeil
9
Innenraum
10
Magnetaggregat
11
Wasser
12
Plasmaposition, Plasma
13
Dichtung
14
Dichtung
15
Magnet
16
Magnet
17
Magnet
18
Magnet
19
Magnetjoch
20
Magnetjoch
21
Halteelement
22
lange Gerade
23
lange Gerade
24
Bogen, kurze Gerade, Querschenkel
25
Bogen, kurze Gerade, Querschenkel
26
Punkt
27
Pfeil
28
Punkt
29
Pfeil
30
Vertiefung
31
Vertiefung
32
Abtragprofil
33
Flanke
34
Flanke
35
Abtragprofil
36
Abtragprofil
37
Flanke
38
Flanke
39
Querschenkel
40
Querschenkel
41
Gerade
42
Gerade
43
Maß
44
rotierendes Target
45
rotierendes Target
46
rotierendes Target
47
rotierendes Target
48
rotierendes Target
49
Abstand
50
Magnetjoch bzw. Magnet
51
Magnetjoch bzw. Magnet
52
Magnetpol
53
Magnetpol
54
Abstand
55
Abstand
56
Targetoberfläche
57
Target
58
Targetträgerrohr
59
Shunt
60
Abstand
61
Magnetpol
62
Magnetpol
Claims (14)
1. Verfahren zur Erzeugung eines homogenen Abtragprofils
auf einem rotierenden Target, das insbesondere die Form
eines Rohrs hat, einer Sputtervorrichtung, die vorzugs
weise mit einer Magnetronkatode ausgerüstet ist, wobei
das Plasma und der durch das Plasma erzeugte Erosions
graben die Form einer Rennbahn mit zwei langen Geraden
und mit zwei Bögen bzw. Querschenkeln, die die beiden
langen Graben miteinander verbinden, haben, dadurch
gekennzeichnet, daß das für die Stärke und Formgebung
des Plasmas maßgebende Magnetfeld, insbesondere die
Geometrie des Magnetfelds, so variiert wird, daß eine
Konfiguration des Erosionsgrabens entsteht, die auf dem
rotierenden Target ein rechteckiges oder nahezu recht
eckiges Abtragprofil (36) mit steilen Erosionsflanken
(37, 38) erzeugt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Erosionswirkung des Plasmas im Bereich der Geraden
(22, 23) und der Bögen bzw. Querschenkel (24, 25) der
Rennbahn durch Veränderung des Magnetfelds so variiert
werden, daß ein rechteckiges oder nahezu rechteckiges
Abtragprofil (36) mit steilen Erosionsflanken (37, 38)
auf dem rotierenden Target (47) erzeugt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Längen (43) der Bögen bzw. Querschenkel (39,
40) der Rennbahn durch Veränderung des Magnetfelds so
variiert werden, daß ein rechteckiges oder nahezu recht
eckiges Abtragprofil (36) mit steilen Erosionsflanken
(37, 38) auf dem rotierenden Target (48) erzeugt wird.
4. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Variation
des Magnetfelds dadurch erfolgt, daß die Position
mindestens eines Magnets geändert wird.
5. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Variation
des Magnetfelds dadurch erfolgt, daß die Stärke mindestens
eines Magnets geändert wird.
6. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Variation
des Magnetfelds dadurch erfolgt, daß die Anzahl der
Magnete geändert wird.
7. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Variation
des Magnetfelds dadurch erfolgt, daß mindestens ein
Permanentmagnet durch einen Elektromagnet (stromdurch
flossene Spule mit einem Eisenkern) in seiner Wirkung
beeinflusst, unterstützt oder gedrosselt wird.
8. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Variation
des Magnetfelds dadurch erfolgt, daß mindestens ein
Abstand (54) zwischen Magnetpolen (52, 53) geändert wird.
9. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Variation
des Magnetfelds dadurch erfolgt, daß der Abstand (49)
mindestens zweier Magnete (50, 51) zueinander geändert
wird.
10. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Variation
des Magnetfelds dadurch erfolgt, daß der Abstand (55)
zwischen mindestens einem Magneten (50) und der Oberfläche
(56) des rotierenden Targets geändert wird.
11. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Variation
des Magnetfelds dadurch erfolgt, daß die Winkelstellung
mindestens eines Magneten zum rotierenden Target geändert
wird.
12. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Variation
des Magnetfelds dadurch erfolgt, daß die Form mindestens
eines Magnetpols geändert wird.
13. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Variation
des Magnetfelds dadurch erfolgt, daß an mindestens einem
Magnetpol (52) ein Shunt (59) (magnetische Überbrückung
zwischen Magnetpol und Magnetjoch) angeordnet wird.
14. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangegangenen
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Variation
des Magnetfelds dadurch erfolgt, daß mindestens ein
spezieller Polschuh am Magnet befestigt wird.
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ID=6432579
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