DE4111686A1 - Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen dichtigkeitspruefung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur berührungslosen Dichtigkeitsprüfung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Des weiteren betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur berührungslosen Dichtigkeitsprüfung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 10.

Zur Dichtigkeitsprüfung von Werkstücken sind eine Reihe unterschiedlicher Verfahren bekannt, z. B. die Ultraschall­ analyse oder die Prüfung des Werkstücks durch eine Röntgen­ strukturuntersuchung oder mittels einer schaumbildenden Flüssigkeit. Mit diesen Verfahren ist jedoch ein aufwendi­ ger Aufbau der Prüfeinrichtung sowie ein erheblicher Zeit­ aufwand für die Auswertung verbunden.

Ein anderes bekanntes Verfahren besteht darin, auf thermo­ grafischem Wege das zu prüfende Werkstück zu untersuchen. Es wird ein infrarotempfindlicher Detektor eingesetzt, der entlang eines langgestreckten Werkstücks unter Abtastung der Wärmestrahlung desselben bewegt wird. Nachteilig an diesem Verfahren ist jedoch, daß zur genauen Lokalisierung einer Leckage eine zusätzliche Positionsmessung erforder­ lich ist. Damit ist nicht nur ein zusätzlicher apparativer Mehraufwand verbunden; es fehlt auch an einer visuellen Beobachtungsmöglichkeit.

Ausgehend vom geschilderten Stand der Technik ist es Auf­ gabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Vor­ richtung zu schaffen, womit die optoelektronische Bestim­ mung von Undichtigkeitsstellen (Leckagen) eines Werkstücks einfach und praxisgerecht möglich ist.

Zur Lösung dieser Aufgabe weist das erfindungsgemäße Ver­ fahren die Merkmale des Anspruchs 1 auf. Erfindungsgemäß liegen Bilddaten eines Prüflings zum einen durch Abtastung im infraroten Spektralbereich zur Ermittlung von möglichen Undichtigkeitsstellen (Leckagen) und zum anderen durch Ab­ tastung im sichtbaren Bereich zur Bestimmung der Lage der Undichtigkeitsstelle am Prüfling vor. Es ist so eine ein­ fache, vollständige Auswertung möglich. Die ermittelten Bilddaten können entweder in einem Bildspeicher abge­ speichert werden oder direkt einem Bildschirm zugeführt werden. Im letzten Fall ist eine "on-line-Prüfung" mög­ lich, mit der eine besonders schnelle Überprüfung auf Dichtigkeit gewährleistet ist.

Die Prüfung bzw. Abtastung des zu prüfenden Werkstücks (Prüflings) einerseits im sichtbaren und andererseits im infraroten Spektralbereich kann entweder zeitgleich oder innerhalb einer angemessenen Zeitdifferenz nacheinander erfolgen. Damit wird entsprechend den Erfordernissen der Prüfung eine schnellere oder einfachere Verarbeitung der Bilddaten ermöglicht.

Nach einem weiteren Vorschlag der Erfindung werden die ermittelten Bilddaten parallel einer Auswerteinheit über­ tragen, so daß eine schnelle Verarbeitung der Bilddaten gewährleistet wird.

Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung können die Bilddaten in einen Digital-Speicher gespeichert werden, um dann z. B. einem Bildschirm zur Darstellung des Prüf­ feldes zugeführt zu werden. Damit ist eine genaue Analyse der Undichtigkeitsstelle möglich. Neben der Bestimmung der genauen Lage der Undichtigkeitsstelle ist es darüber hinaus möglich, Art, Umfang und Größe der Undichtigkeitsstelle festzustellen. Ferner wird eine Quantifizierung der Undich­ tigkeit möglich, so daß z. B. auch der Volumenaustritt pro Zeiteinheit ermittelt werden kann.

Eine weitere vorteilhafte Wirkung geht von einem dem Prüf­ fluid hinzugesetzten flüchtigen Fluid, insbesondere flüssi­ gen Lösungsmittel, aus, das an der Undichtigkeitsstelle in einen gasförmigen Zustand übergeht. Die durch die mit der dabei erforderlichen Verdampfungsenergie verbundene Än­ derung der Temperatur ist so groß, daß ein guter Kontrast bei der infraroten Abtastung entsteht.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist die Merkmale des Anspruchs 10 auf.

Erfindungsgemäß besteht die Prüfeinrichtung aus zwei opto­ elektronischen Sensorsystemen, von denen das eine zur Ab­ tastung der geometrischen Anordnung eines Prüflings und das andere zur Detektierung der von dem Prüfling ausgehenden infraroten Strahlung dient. Diese beiden Sensorsysteme sind apparativ zu einer Sensoreinheit zusammengefaßt. Bezüglich des Prüflings sind die Sensorsysteme derart angeordnet, daß derselbe Ausschnitt des Prüflings als Prüffeld abgetastet wird. Nach Umwandlung in elektrische Signale durch strahlungsempfindliche Detektoren und Digitalisierung können die Bilddaten in paralleler Form schnell einer Aus­ werteinheit zugeführt werden.

Eine vorteilhafte Wirkung geht davon aus, daß die Prüfein­ richtung, nämlich die optoelektronische Sensoreinheit, von der Einrichtung zur Weiterverarbeitung der Bilddaten, die durch die Auswerteinheit repräsentiert wird, getrennt ist. Damit wird ein variabler Einsatz der Prüfeinrichtung ermög­ licht.

Durch entsprechend vorgeschaltete Optiken und verwendete Halbleiterelemente als Detektoren kann ein Prüfpunkt bis zu etwa 0,2% der Größe des Prüffeldes aufgelöst werden. Damit kann nicht nur die Lage, sondern auch die Größe und der Umfang der Undichtigkeitsstelle geprüft werden.

Zweckmäßigerweise können die eingesetzten Sensorsysteme zur Abtastung räumlich komplexer Prüflinge auch verfahrbar gelagert sein. Damit wird ein vielseitiger Einsatz der Prüf­ einrichtung ermöglicht, so daß auch unterschiedlich ausge­ bildete Werkstücke abgetastet werden können. Alternativ dazu sind die vorgeschalteten Optiken in der Weise einstell­ bar, daß eine unterschiedliche Größe des Prüffeldes detek­ tiert wird. Damit lassen sich schnell komplexe Prüflinge auf Dichtigkeit überprüfen.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nach­ folgend anhand der Zeichnung näher erläutert. Diese zeigt eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zur berührungslosen Dichtigkeitsprüfung.

Die hier gezeigte Vorrichtung dient zur berührungslosen Dichtigkeitsprüfung eines hier nur andeutungsweise gezeig­ ten Prüflings 10, bei dem es sich beispielsweise um einen Motor oder ein Getriebe handeln kann.

Dem Prüfling 10 ist eine Sensoreinheit 11 zugeordnet. Diese Sensoreinheit 11 kann gegenüber dem fest eingespannten Prüf­ ling 10 in vorzugsweise zwei, aber auch drei orthogonalen Richtungen verfahrbar sein zur vollständigen Abtastung des Prüflings. In diesem Fall ist die Sensoreinheit 11 durch eine in der Zeichnung symbolisch dargestellte Verfahrein­ richtung 12 gegenüber dem Prüfling 10 verfahrbar. Alter­ nativ ist es denkbar, die Sensoreinheit 11 ortsfest dem Prüfling 10 zuzuordnen. In diesem Falle ist der Prüfling 10 durch eine entsprechende Verfahreinrichtung gegenüber der Sensoreinheit 11 verfahrbar.

Die Sensoreinheit 11 verfügt über zwei Sensordatenaufnehmer 13 und 14. Erfindungsgemäß arbeitet der (erste) Sensordaten­ aufnehmer 13 im unsichtbaren, infraroten Bereich, wohin­ gegen der (zweite) Sensordatenaufnehmer 14 im sichtbaren Bereich arbeitet. Beide Sensordatenaufnehmer 13 und 14 sind hier zur Bildung der Sensoreinheit 11 miteinander mechanisch gekoppelt. Es ist aber auch denkbar, die Sensor­ datenaufnehmer 13 und 14 voneinander zu trennen.

Jeder Sensordatenaufnehmer 13 und 14 enthält eine Optik 15 und 16, denen strahlungsempfindliche Detektoren 17 und 18 nachgeordnet sind. Die Optiken 15 und 16 sind derart auf den Prüfling 10 ausgerichtet, daß sie ein bestimmtes Prüf­ feld desselben auf den strahlungsempfindlichen Detektoren 17 und 18 abbilden. Dabei sind die Optiken 15 und 16 als Vario-Optiken ausgeführt, das heißt, die Brennweite der Optiken 15, 16 sind veränderbar. Damit läßt sich eine unter­ schiedliche Größe des Prüffeldes durch die Optiken 15, 16 erfassen. Die Detektoren 17 und 18 unterscheiden sich in ihrer Empfindlichkeit. Der dem Sensordatenaufnehmer 13 zugeordnete Detektor 17 arbeitet im infraroten, also unsichtbaren Spektralbereich, während der dem Sensordaten­ aufnehmer 14 zugeordnete Detektor 18 im sichtbaren Spektral­ bereich den Prüfling 10 abtastet. Die Detektoren 17 und 18 bestehen vorzugsweise aus ladungsgekoppelten Halbleiterbau­ elementen (CCD).

Der im Infrarot-Bereich arbeitende Sensordatenaufnehmer 13 ist so ausgebildet, daß seine Temperatur infolge der Prüfung nicht von der Umgebungstemperartur abweicht. Er ist also mit einer Temperaturkompensation versehen, die vorzugs­ weise aus einer Kühleinrichtung 19 gebildet ist. Diese ist im gezeigten Ausführungsbeispiel dem Detektor 17 zugeord­ net, kann sich aber auch über den Bereich der Optik, also in den gesamten Sensordatenaufnehmer 13 erstrecken.

In der Zeichnung sind die zur Sensoreinheit 11 zusammen­ gefaßten Sensordatenaufnehmer 13 und 14 nebeneinander­ liegend dargestellt. Hiervon abweichend ist es auch mög­ lich, die Sensordatenaufnehmer 13 und 14 räumlich zusammen­ zufassen, wobei gegebenenfalls beiden Detektoren 17 und 18 nur eine Optik vorgeordnet ist.

Die Detektoren 17 und 18 wandeln die vom Prüfling 10 aufge­ nommene Temperaturstrahlung bzw. das Bild des Prüflings 10 in elektrische Signale um, die digitalisiert werden, was bereits innerhalb der Sensoreinheit 11 geschehen kann. Die digitalisierten Bilddaten aus beiden Sensordatenaufnehmern 13 und 14 werden dann parallel über Übertragungsleitungen 20 und 21 einer Auswerteinheit 22 zur Auswertung über­ tragen. Die Auswerteinheit 22 enthält eine Bildvorverarbei­ tungseinheit 23, in der die Bilddaten von den Sensordaten­ aufnehmern 13 und 14 parallel zwischenspeicherbar sind. Diese parallelen Bilddaten werden anschließend überlagert, indem korrespondierende Punkte des Prüffeldes des Prüflings 10 aus dem sichtbaren und unsichtbaren (infraroten) Abtast­ bereich miteinander zur Deckung gebracht werden. Die über­ lagerten Bilddaten sind dann in einem Bildspeicher 24 ab­ speicherbar. Vom Bildspeicher 24 können die überlagerten Bilddaten bedarfsweise abgerufen werden. Beispielsweise können die überlagerten Bilddaten zu einem Bildschirm 25 geleitet und auf diesem dargestellt werden.

Alternativ ist es möglich, in vereinfachter Weise die digi­ talisierten und überlagerten Bilddaten aus der sichtbaren und unsichtbaren Abtastung des Prüffeldes des Prüflings 10 direkt zu einem Bildschirm 25 zu leiten, also nach Art einer "on-line-Prüfung" das Prüfergebnis sofort sichtbar zu machen.

Der Innenraum 26 des Prüflings 10 ist mit einem unter Druck stehenden Prüffluid 27 auffüllbar. Beim Prüffluid 27 handelt es sich um ein Gas. Es kann aber auch eine Flüssig­ keit als Prüffluid 27 verwendet werden. Zur Darstellung von Leckagen am Prüfling 10 im infraroten Bereich dient das Prüffluid 27 als thermisches Kontrastmittel. Dazu ist das Prüffluid 27 gegenüber der Umgebungstemperatur entweder erwärmt oder abgekühlt. Nach einem weiteren wesentlichen Vorschlag der Erfindung handelt es sich beim Prüffluid 27 um ein Gas mit Umgebungstemperatur, das mit einem leicht flüchtigen Kontrastmittel, das gasförmig oder flüssig sein kann, angereichert ist. Beim Austritt dieses Prüffluids 27 aus dem Prüfling 10 verflüchtigt sich das gasförmige Kon­ trastmittel, wobei die Verdampfungsenergie das Prüffluid 27 im Bereich des Lecks 40 erniedrigt und der sich dabei am Leck 40 einstellende Temperaturunterschied ein Signal am im Infrarot-Bereich arbeitenden Sensordatenaufnehmer 13 herbei­ führt.

In der Zeichnung ist eine Prüffluidversorgungseinrichtung 28 schematisch dargestellt. Diese verfügt über ein Reservoir 29, von dem aus über eine Pumpe 30 und eine Ver­ sorgungsleitung 31 Prüffluid 27 zu einem hier nur schema­ tisch dargestellten Mehrwegeventil 32 gepumpt werden kann. In der Versorgungsleitung 31 ist hier ein in Richtung zur Pumpe 30 sperrendes Rückschlagventil 33 angeordnet. Vom Mehrwegeventil 32 führt eine Verbindungsleitung 34 zum Innenraum 26 des Prüflings 10.

Ein Druckbehälter 35 für unter Druck stehendes Prüffluid 27 ist über eine Eingangsleitung 36 und eine Ausgangsleitung 37 an das Mehrwegeventil 32 angeschlossen. In der Ausgangs­ leitung 37 befindet sich beim gezeigten Ausführungsbeispiel ein Druckbegrenzungsventil 38, über das der Maximaldruck des den Prüfling 10 zuzuführenden Prüffluids 27 einstellbar ist. Der Druckbehälter 35 ist durch eine hier andeutungs­ weise dargestellte Heizung 39 aufheizbar zur Erwärmung des darin enthaltenen Prüffluids 27.

Mit der gezeigten Vorrichtung läuft das erfindungsgemäße Verfahren zur berührungslosen Dichtigkeitsprüfung des Prüf­ lings 10 wie folgt ab:
Zu Beginn der Dichtigkeitsprüfung wird der Innenraum 26 des Prüflings 10 über die Verbindungsleitung 34 mit unter Druck stehendem Prüffluid 27 aufgefüllt. Dadurch befindet sich im Innenraum 26 ein unter Druck stehendes Prüffluid 27.

Bei einer entsprechenden Stellung des Mehrwegeventils 32 gelangt über die Ausgangsleitung 37 erwärmtes Prüffluid 27 aus dem Druckbehälter 35 in den Innenraum 26 des Prüflings 10. Bei einer anderen Stellung des Mehrwegeventils 32 fördert die Pumpe 30 Prüffluid 27 direkt aus dem Reservoir 29 über die Verbindungsleitung 34 in den Innenraum 26. Der Überdruck des Prüffluids 27 im Innenraum 26 wird durch einen entsprechenden Förderdruck der Pumpe 30 hergestellt. Ein Temperaturunterschied zwischen dem Prüffluid 27 und der Umgebungstemperatur kommt bei direkt aus dem Reservoir 29 stammendem Prüffluid 27 entweder dadurch zustande, daß sich das Prüffluid 27 beim Verdichten durch die Pumpe 30 erwärmt, oder beim Austritt aus dem in der Zeichnung an­ deutungsweise dargestellten Leck 40 infolge der Entspannung gegenüber der Umgebungstemperatur abgekühlt. Um ein größeres Temperaturgefälle zwischen dem Prüffluid 27 einer­ seits und der Umgebungsluft andererseits zur Vergrößerung des Kontrasts bei der Prüfung zu erreichen, ist es nach einem wesentlichen Vorschlag der Erfindung vorteilhaft, dem Prüffluid 27 ein leicht flüchtiges Fluid, vorzugsweise ein flüssiges Lösungsmittel, zuzusetzen. Dieses verflüchtigt sich beim Austritt aus dem Leck 40, wobei infolge der dazu erforderlichen Aggregatzustandsänderungsenergie sich das Prüffluid 27 im Bereich des Lecks 40 gegenüber der Um­ gebungstemperatur erheblich abkühlt und dadurch eine gute Auflösung der Meßsignale des im unsichtbaren (infraroten) Bereich arbeitenden Sensordatenaufnehmers 13 herbeigeführt wird.

Nachdem der Innenraum 26 des Prüflings 10 mit unter Druck stehendem Prüffluid 27 vollständig gefüllt ist, erfolgt die eigentliche berührungslose Leckageprüfung, und zwar vorzugs­ weise nach Ablauf einer gewissen Reaktionszeit zur Einstel­ lung eines Druckgleichgewichts im Prüfling 10. Diese Reak­ tionszeit ist besonders wichtig bei weitverzweigten Prüf­ lingen 10 mit unterschiedlichen Teilquerschnitten.

Der in vorbeschriebener Weise vorbereitete Prüfling 10 wird anschließend von der Sensoreinheit 11 berührungslos abge­ tastet. Zu diesem Zweck wird die Sensoreinheit 11 mit der Verfahreinrichtung 12 am ganzen Prüfling 10 oder nur an der zu prüfenden Stelle desselben entlanggefahren, so daß die Prüffläche vollständig abgetastet wird. Bei kleineren Prüf­ lingen 10 kann es auch ausreichen, daß während der Dichtig­ keitsprüfung die Position der Sensoreinheit 11 zum Prüfling 10 entweder gar nicht verändert wird oder die Optiken 15, 16 verschwenkt werden.

Durch eine entsprechende Ausrichtung beider Sensordatenauf­ nehmer 13 und 14 wird von jedem Sensordatenaufnehmer 13 und 14 etwa die gleiche Prüffläche des Prüflings 10 gleich­ zeitig abgetastet, das heißt, das Prüffeld des Sensordaten­ aufnehmers 13 ist etwa deckungsgleich mit dem Prüffeld des Sensordatenaufnehmers 14. Dieses ist in der Zeichnung durch die eingezeichneten Tastkegel 41 und 42 schematisch ange­ deutet. Durch den Sensordatenaufnehmer 13 wird im unsicht­ baren, infraroten Bereich das Leck 40 erfaßt. Die unter­ schiedliche Temperatur zwischen dem Prüffluid 27 und der Umgebung führt zu einem thermischen Kontrast, der ent­ sprechende Signale an den im infraroten Bereich arbeitenden Detektor 17 weitergibt. Das gleiche Prüffeld wird zur selben Zeit vom im sichtbaren Bereich arbeitenden (zusätz­ lichen) Sensordatenaufnehmer 14 aufgenommen. Damit ist es möglich, daß die Sensordatenaufnehmer 13, 14 gleichzeitig den das unter Druck stehende Prüffluid 27 enthaltenden Prüfling 10 abtasten.

Nach in der Sensoreinheit 11 erfolgter Digitalisierung der Prüfwerte können diese gleichzeitig unter Zuhilfenahme der Übertragungsleitungen 20 parallel zur Auswerteinheit 22 übertragen werden. Hier erfolgt innerhalb der Bildvorver­ arbeitungseinheit 23 eine Überlagerung der Prüfwerte. Nach einer Weiterverarbeitung werden die Prüfwerte einem Bild­ speicher 24 zur Abspeicherung zugeführt, von dem aus die Prüfwerte einem Bildschirm 25 weitergeleitet werden können.

Andererseits können die überlagerten Prüfwerte auch direkt ohne Abspeicherung zu dem Bildschirm 25 übertragen werden. Auf diesen Bildschirm 25 werden überlagerte Bilder aus beiden Sensordatenaufnehmern 13 und 14 ausgegeben. Der Betrachter des Bildschirms 25 hat hier den im Prüffeld liegenden Bereich des Prüflings 10 vor Augen, wobei das Leck 40 durch eine Farbänderung deutlich sichtbar hervor­ gerufen ist. Der Betrachter kann also auf dem Bildschirm 25 nicht nur feststellen, daß das Leck 40 im Prüfling 10 vor­ handen ist; vielmehr sieht er auch, wo sich das Leck 40 am Prüfling 10 befindet. Zusätzlich zu dieser Lokalisierung des Lecks 40 wird die Größe des Lecks 40 sichtbar durch eine entsprechende Verfärbung des vom im infraroten Bereich arbeitenden Sensordatenaufnehmer 13 abgegebenen Lecksig­ nals. Diese kommt dadurch zustande, daß im Falle eines größeren Lecks 40 die Strahlungsintensität auf den infra­ roten Sensordatenaufnehmer 13 proportional ansteigt und dieser ein anderes Signal erzeugt, das durch entsprechende Farben deutlich gemacht wird. Bei einem Bildschirm 25 mit Schwarz/Weiß-Technik kann die Intensität des Lecks 40 durch eine entsprechende Grauabstufung erfolgen, indem beispiels­ weise ein größeres Leck 40 dunkler ist als ein kleineres Leck 40.

Alternativ ist es auch denkbar, die von den Sensordatenauf­ nehmern 13 und 14 stammenden Signale unmittelbar nach der Digitalisierung und Überlagerung dem Bildschirm 25 zuzu­ führen. Dann erfolgt gewissermaßen eine on-line-Prüfung. Parallel hierzu können die Daten auch noch abgespeichert werden.

Alternativ ist es aber auch möglich, daß der Prüfling 10 zuerst durch den Sensordatenaufnehmer 14 abgetastet, dann mit dem unter Druck stehenden Prüffluid 27 gefüllt wird, um danach durch den Sensordatenaufnehmer 13 im infraroten Bereich abgetastet zu werden.

Nach einer weiteren alternativen Ausgestaltung des Ver­ fahrens ist es auch möglich, daß der Prüfling 10 zuerst durch den Sensordatenaufnehmer 14 allein abgetastet wird. Danach wird der Innenraum 26 des Prüflings 10 mit unter Druck stehendem Prüffluid 27 gefüllt. Erst im Anschluß hieran erfolgt eine zweite Abtastung des Prüflings 10 im unsichtbaren, infraroten Bereich durch den Sensordatenauf­ nehmer 13. Es erfolgen also zwei aufeinanderfolgende berührungslose Abtastungen des Prüflings 10.

Bezugszeichenliste

10 Prüfling
11 Sensoreinheit
12 Verfahreinrichtung
13 Sensordatenaufnehmer
14 Sensordatenaufnehmer
15 Optik
16 Optik
17 Detektor
18 Detektor
19 Kühleinrichtung
20 Übertragungsleitung
21 Übertragungsleitung
22 Auswerteinheit
23 Bildvorverarbeitungseinheit
24 Bildspeicher
25 Bildschirm
26 Innenraum
27 Prüffluid
28 Prüffluidversorgungseinrichtung
29 Reservoir
30 Pumpe
31 Versorgungsleitung
32 Mehrwegeventil
33 Rückschlagventil
34 Verbindungsleitung
35 Druckbehälter
36 Eingangsleitung
37 Ausgangsleitung
38 Druckbegrenzungsventil
39 Heizung
40 Leck
41 Tastkegel
42 Tastkegel

Claims (20)

1. Verfahren zur Prüfung von Werkstücken, insbesondere zur berührungslosen Dichtigkeitsprüfung von Werkstücken (Prüflingen), wobei der Prüfling mit einem gasförmigen und/oder flüssigen Prüfmedium (Prüffluid) druckbeaufschlagt wird, das als (temperaturbezogenes) Kontrastmittel zur Umgebung an einer Undichtigkeitsstelle (Leck) dient, und der Prüfling im infraroten Spektralbereich abgetastet wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Prüf­ ling (10) zusätzlich im sichtbaren Spektralbereich abge­ tastet wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nach Abtastung des Prüflings (10) im sichtbaren und infraroten Spektralbereich die ermittelten Signale über­ lagert werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die überlagerten Signale vorzugsweise als Bilddaten von einer Auswerteinheit (22) einem Bildschirm (25) zur Bilddarstellung übertragen werden.

4. Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der weiteren Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die überlagerten Bilddaten zur Bildauswertung gespeichert werden.

5. Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der weiteren Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bilddaten als digitalisierte elektrische Signale einer Auswerteinheit (22) übertragen werden.

6. Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der weiteren An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Bilddaten jeweils von einem Sensordatenaufnehmer (13, 14) parallel zu einer Auswerteinheit (22) übertragen werden.

7. Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der weiteren An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß dem Prüffluid (27) ein flüchtiges Fluid, insbesondere flüssiges Lösungsmittel, hinzugesetzt wird, das an dem Leck (40) des Prüflings (10) in einen gasförmigen Zustand übergeht zur Schaffung einer Temperaturdifferenz an dem Leck (40).

8. Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der weiteren An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß am infrarotempfind­ lichen Detektor (17) eine Temperaturkompensation vorzugs­ weise gegenüber der Umgebungstemperatur vorgenommen wird.

9. Verfahren nach Anspruch 1 oder einem der weiteren An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß den Detektoren (17, 18) vorgeschaltete Optiken (15, 16) zur Abbildung des Prüf­ feldes derart verstellt werden, daß Prüffelder unterschied­ licher Größe und Lage auf dem Prüfling (10) abgetastet werden können.

10. Vorrichtung zur Prüfung von Werkstücken, insbeson­ dere zur berührungslosen Dichtigkeitsprüfung von Werk­ stücken (Prüflingen), mit einer optoelektronischen Sensor­ einheit, die mindestens einen Sensordatenaufnehmer zur Ab­ tastung des mit einem als Kontrastmittel dienenden gas­ förmigen und/oder flüssigen Prüfmedium (Prüffluid) druck­ beaufschlagten Prüflings (10) im infraroten Spektralbereich enthält, dadurch gekennzeichnet, daß die optoelektronische Sensoreinheit (11) mindestens einen zweiten Sensordatenauf­ nehmer (14) zur Abtastung des Prüflings (10) im sichtbaren Spektralbereich aufweist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich­ net, daß die Sensordatenaufnehmer (13, 14) ein Prüffeld des Prüflings (10) abbildende Optiken (15, 16) und strahlungs­ empfindliche Detektoren (17, 18) zur leistungsabhängigen Umwandlung der Strahlung in elektrische Signale aufweisen.

12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder einem der weiteren Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensoreinheit (11) Mittel zur Digitalisierung der als Bilddaten vorliegen­ den elektrischen Signale aufweist.

13. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekenn­ zeichnet, daß sich die Sensordatenaufnehmer (13, 14) zur Ausrichtung auf den Prüfling (10) in räumlicher Kopplung zueinander befinden, vorzugsweise derart, daß jeder Sensor­ datenaufnehmer (13, 14) etwa das momentan gleiche Prüffeld abtastet.

14. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich­ net, daß der optoelektronischen Sensoreinheit (11) eine Auswerteinheit (22) zur Auswertung der Bilddaten nachge­ schaltet ist, die eine Bildvorverarbeitungseinheit (23) zur Zwischenspeicherung und Überlagerung der abgetasteten Bild­ daten und einen Bildspeicher (24) zur Abspeicherung dersel­ ben enthält.

15. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder einem der weiteren Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensordatenauf­ nehmer (13, 14) durch verwendete Optiken (15, 16) und/oder strahlungsempfindliche Detektoren (17, 18) derart ausgebil­ det sind, daß eine Auflösung eines Prüfpunktes von etwa 0,2 % der Fläche eines Prüffeldes entsteht.

16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeich­ net, daß die Auflösung des Sensordatenaufnehmers (13) im infraroten Spektralbereich mit der Auflösung des Sensor­ datenaufnehmers (14) im sichtbaren Spektralbereich korre­ spondiert.

17. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeich­ net, daß die strahlungsempfindlichen Detektoren (17, 18) aus CCD-Halbleiterbauelementen bestehen.

18. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder einem der weiteren Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Prüffluid (27) im Absorptionsbereich des infrarotempfindlichen Sensordaten­ aufnehmers (13) liegt.

19. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder einem der weiteren Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Prüffluid (27) eine zur Temperatur des Prüflings (10) bzw. zur Umgebungs­ temperatur desselben unterschiedliche Temperatur aufweist.

20. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder einem der weiteren Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die optoelektro­ nische Sensoreinheit (11) zur Abtastung räumlich komplexer Prüflinge (10) in senkrechter und waagerechter Richtung ver­ fahrbar ist.