DE4110757A1 - Echtzeit-partikelsensor fuer plattenlaufwerke - Google Patents

Description

Diese Erfindung betrifft einen kompakten Echtzeit- Partikelsensor, der an einem Stell- oder Betätigungsarm eines Rechnerplattenlaufwerks befestigt werden kann.

Partikelverunreinigung in Rechnerplattenlaufwerksystemen stellen ernste Zuverlässigkeitsprobleme dar und müssen minimiert werden. Partikeln, beispielsweise Metallplätt­ chen oder -schuppen, die während der Herstellung oder durch mechanischen Verschleiß während des Betriebes erzeugt werden können, können die schnell sich drehenden Platten und die wenige hundert Nanometer über der Oberfläche der Platten fliegenden Lese- und/oder Schreibköpfe beschädigen. Eine von Partikeln verursachte Beschädigung kann zu einem Datenverlust führen.

Folglich ist es erstrebenswert, das Auftreten von Partikeln an der Oberfläche der Platte oder zwischen Platten in einem Mehrfachplattenlaufwerk, welche die kritischsten Bereiche des Plattenlaufwerkes sind, zu überwachen.

Eine bekannte Technik zum Überwachen des Auftretens von Partikeln in Plattenlaufwerken oder -antrieben umfassen das Abtasten des intern umlaufenden Luftstroms des Kopf- Plattenaufbaus mit einem durch die Luft getragenem Sensor. Ein solcher Zähler zieht oder saugt etwas von dieser internen Luft durch einen Laserstrahl derart, daß ein in dem Luftstrom mitgeführtes und durch den Laser­ strahl gehendes Partikel Licht auf Fotodetektoren streut. Wenn die Luftstromrate und die Partikelzählung bekannt sind, kann diese Technik die mittlere Partikel­ dichte im Luftstrom messen.

Diese bekannte Technik zum Überwachen des Auftretens von Partikeln in abgedichteten Kopf-Plattenkonstruktionen weist jedoch ernsthafte Nachteile auf. Der durch die Luft getragene Sensor liefert eine von der Oberfläche der Platte und des Kopfes entfernte Messung, so daß die tatsächliche Partikelzählung an der Plattenoberfläche nicht bekannt ist und abgeleitet werden muß. Der durch die Luft getragene Sensor tastet typischerweise nur einen Kubikfuß oder (0,3048)³m³ Luft pro Minute ab, was in vielen Fällen eine zu niedrige Abtastrate für die Zählung einer statistisch signifikanten Anzahl Partikeln ist. Darüberhinaus ist diese bekannte Technik sehr unempfind­ lich für Partikeln mit einem Durchmesser größer als etwa 5 µm. Größere Partikeln bleiben nicht in dem Luftstrom lange genug mitgeführt, um den entfernten Laserab­ tastbereich des durch die Luft getragenen Zählers zu erreichen.

Gemäß dieser Erfindung ist ein Echtzeit-Partikelsensor geschaffen, der zum Überwachen von Partikeln in der Nähe der Oberfläche einer Platte und im Bereich zwischen zwei Platten konstruiert ist.

Ein Echtzeit-Partikelsensor gemäß einer Ausführungsform dieser Erfindung umfaßt einen kompakten Laser, welcher einen Laserstrahl erzeugt, durch welchen zu detektierende Partikeln passieren müssen, eine Linse zum Kollimieren des Laserstrahls und einen Strahlunterbrecher zum Absorbieren des Laserstrahls. Der Sensor ist auf einem Stell- bzw. Betätigungsarm ähnlich zu dem typischerweise aus Aluminium bestehenden steifen oder starren Arm befestigt, der zum Halten der Lese- und/oder Schreibköpfe benutzt wird und diese in die richtige Position zum Lesen oder Schreiben von Daten bewegt. Das schmale Maß des Sensors ermöglicht es ihm, in den Bereich zwischen benachbarten Platten in einem Plattenstapel oder nahe bei der Oberfläche einer einzelnen Platte eingepaßt zu werden. Partikeln werden durch den durch die Rotation der Platten verursachten Luftstrom durch den Laserstrahl getragen, so daß sie Licht auf Fotozellen streuen, welche die zum Detektieren und Zählen der Partikeln benutzten elektrischen Signale erzeugen.

Da der Sensor auf einem Stellarm befestigt ist, ist der Laserstrahl voll dem Luftstrom zwischen zwei Platten oder in der Nähe der Oberfläche einer einzelnen Platte ausgesetzt, wodurch der Sensor den größtmöglichen Luftstrom abtasten kann. In der Tat kann ein Sensor gemäß dieser Erfindung eine Luftabtastrate erreichen, die typischerweise 15mal höher ist als die mit bekannten durch die Luft getragene Sensoren erreichbare, wodurch eine genauere Partikelzählung geliefert wird. Außerdem bewirkt diese Konfiguration eine minimale Beeinflussung oder Zerstörung des Luftstroms innerhalb des Plattenlauf­ werks.

Der Echtzeit-Partikelsensor nach dieser Erfindung hat auch die vorteilhafte Eigenschaft, daß der Laserstrahl sehr nahe an einer Plattenoberfläche plaziert ist. Im Gegensatz zu bekannten durch die Luft getragenen Sensoren, die eine entfernte, abgeleitete Partikelzäh­ lung an der Plattenoberfläche liefern, liefert dieser Sensor eine lokale, genauere Partikelzählung an der Plattenoberfläche. Überdies kann ein Laserstrahl an der Plattenoberfläche das dortige Auftreten von Partikel in Echtzeit überwachen, wogegen ein entfernter Partikelzäh­ ler Partikeln nur detektieren kann, nachdem sie von der empfindlichen Plattenoberfläche fortgezogen oder -gesaugt worden sind.

Der Sensor nach dieser Erfindung hat die zum Überwachen kleiner Partikeln von weniger als 3 µm Durchmesser notwendige Empfindlichkeit. Außerdem ermöglicht die Plazierung des Laserstrahls nahe bei der Platte die Detektierung größerer Partikeln, die sonst in dem Luftstrom nicht lange genug mitgeführt bleiben, um den entfernten Laserabtastbereich des Standes der Technik zu erreichen.

Die Erfindung wird in der nachfolgenden Beschreibung anhand der Figuren beispielhaft näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 eine Draufsicht auf einen auf einem Stellarm befestigten Echtzeit-Partikelsensor gemäß einem Ausführungsbeispiel dieser Erfindung,

Fig. 2 eine Endansicht eines Echtzeit-Partikelsensors gemäß einem Ausführungsbeispiel dieser Erfindung,

Fig. 3 eine Seitenansicht eines Echtzeit-Partikelsensors gemäß einem Ausführungsbeispiel dieser Erfindung,

Fig. 4 ein rechnermodellerzeugtes Diagramm, welches eine Sensorantwort gegen die Partikelposition des Sensors dieser Erfindung darstellt und

Fig. 5 ein rechnermodellerzeugtes Diagramm, welches die Beziehung von Bandbreite und Partikelgeschwindig­ keit darstellt.

Die Fig. 1 (nicht im Maßstab) zeigt eine Draufsicht auf einen Echtzeit-Partikelsensor 1 gemäß einem Ausführungs­ beispiel dieser Erfindung, der über einer Platte 20 mit einem typischen Durchmesser von 12 Inch (12×2,54 cm) Durchmesser angeordnet ist und sich teilweise über dieser Platte 20 erstreckt. Bei einem anderen Ausführungsbei­ spiel des Sensors 1 kann über der Platte 20 und dem Sensor 1 eine nichtdargestellte zweite Platte angeordnet sein. An dem außerhalb des Bereiches direkt über der Platte 20 sich erstreckenden Abschnitt eines Stellarmes 12 ist eine Kassette 18 befestigt. Der Stellarm 12, der ähnlich dem zum Halten der Lese- und/oder Schreibköpfe benutzten Arm ist, besteht typischerweise aus steifem Aluminium von etwa 10 cm Länge und 2 cm Breite. In der etwa 2 cm langen, 1 cm hohen und 1 cm breiten Kassette sind ein Laser und eine Linse aufgenommen, die nicht dargestellt sind. Der Laser ist vorzugsweise eine 50-Milliwatt- AlGaAs-Laserdiode, die bei einer Wellenlänge von 780 Nanometern arbeitet und in einer kleinen Transistor­ größenbaueinheit im Handel erhältlich ist, beispielsweise von Sony.

Der Laserstrahl 14 ist mit einer einzelnen Gradientenin­ dexlinse kollimiert, beispielsweise einer SELFOC CD- Aufnehmerlinse, wie sie von Nippon Sheet Glass verkauft wird. Die Linse bildet einen elliptischen Strahl mit Abmessungen von 2,0 mm zu 0,5 mm. Die Draufsicht nach Fig. 1 zeigt die 0,5 mm Abmessung des Strahls. Die Kassette 18 ist auf dem Stellarm 12 so befestigt, daß der kollimierte Laserstrahl 14 etwa 1 cm vor und parallel zu dem Arm 12 projeziert ist. Der Laserstrahl 14 trifft einen Strahl­ unterbrecher 16, der am fernen Ende des Arms 12 gehalten ist und wo der Strahl 14 absorbiert wird. Der Strahl­ unterbrecher 16 kann ein kleines Stück aus einem mit einer Antireflexschicht bedeckten, gefärbten Filterglas sein, das bei der Wellenlänge von 780 Nanometern stark absorbiert, beispielsweise aus BG-13-Glas, das von der Schott Glass Corp. 400 York Avenue, Duryea, Pennsylvania verkauft wird. Elektrische Leitungen für den Laser und die Fotodetektoren (in den Fig. 2 und 3 gezeigt) sind aus dem Plattenlaufwerk mit einem flexiblen Kapton- Schaltkreis 24 herausgebracht.

Die Endansicht des Sensors 1 längs der Linie 2-2 in Fig. 1, die in Fig. 2 gezeigt ist, stellt dar, wie der Sensor 1 zwischen zwei steife Platten 20 und 22 eingepaßt bzw. eingesetzt ist, und wie der Laserstrahl 14 in den Raum zwischen diesen Platten projeziert ist. Der Strahl 14 sitzt typischerweise 1 cm vor dem Stellarm. Eine Platten­ rotation in einer durch den Pfeil A gezeigten Richtung bewegt die Luft in dem Raum zwischen den Platten mit einer Geschwindigkeit, die nahezu gleich der Rotationsge­ schwindigkeit der Platten ist, wobei die Luft durch den Laserstrahl 14 gezwungen wird, wie es durch den Pfeil B gezeigt ist. Partikeln in dem Luftstrom, die den Laserstrahl 14 passieren, streuen Licht zu den Fotozellen 26, die kleine Siliziumchip-Fotodioden sein können. Typischerweise sind 8 Fotozellen 26 in einer Nut 28 auf der Vorderfläche des Stellarms 12 befestigt. Die Ausgangssignale aus den Fotozellen 26 werden zum Detektieren und zur Zählung von Partikeln benutzt.

Die elliptische Form des Laserstrahls 14, wie sie in der Fig. 2 dargestellt ist, ist in der Fig. 2a gezeigt, in welcher die lange Achse von 2,0 mm durch die Abmessung h bezeichnet und die kurze Achse von 0,5 mm durch die Abmessung w bezeichnet ist. Die lange Achse h des Strahls ist vorzugsweise senkrecht zur Plattenoberfläche und deshalb senkrecht zu dem durch die Plattenrotation verursachten Luftstrom in der Richtung des Pfeiles B. Die elliptische Form des auf diese Weise positionierten Laserstrahls 14 maximiert die Größe der Luftströmung durch ihn. Der Laserstrahl 14 kann im Raum zwischen den Platten zentriert sein oder er kann näher bei jeder Plattenoberfläche positioniert werden, indem die Betätigungsarmkonstruktion auf- oder abwärts bewegt wird. Diese Wahl der Strahlplazierung ermöglicht es dem Laserstrahl 14, ein großes Luftvolumen in dem Bereich abzutasten, in welchem eine Partikelverunreinigung von größtem Interesse ist.

Die Fig. 3 zeigt eine Seitenansicht des Sensors 1 längs der Linie 3-3 von Fig. 1. Eine Reihe von 8 Fotozellen 26 sind auf einem flexiblen Kaptonschaltkreis 24 befestigt, der an die Vorderfläche des Betätigungsarms 12 gebondet ist. Eine wichtige Eigenschaft eines Sensors gemäß dieser Erfindung liegt darin, daß er schmal genug ist, um in den Raum zwischen zwei Platten eines typischen Mehrfachplat­ tenlaufwerks zu passen. Die größte vertikale Abmessung des Sensors, die Abmessung senkrecht zur Ebene der Plattenoberfläche, ist die Höhe des Stellarms 12 von 0,6 cm. Da der Mitte zu Mitte Abstand eines typischen Mehrfachplattenstapels üblicherweise größer als 1 cm, annähernd 2 cm ist, kann in jedem Raum zwischen Platten eines Mehrfachplattenstapels ein Sensor plaziert werden, wobei eine Stapelung von Sensoren ermöglicht ist. Beispielsweise hat ein Stapel von 9 Platten 8 Zwischen­ räume, von denen jeder einen Sensor aufnehmen kann, so daß 8 Sensoren benutzt werden können. Die Verwendung mehrfacher Sensoren erhöht das Luftvolumen, das überwacht werden kann, sehr stark, wodurch die Genauigkeit der Partikelzählung verbessert wird.

Wenn ein von dem durch die Plattenrotation verursachten Luftstrom getragenes Partikel den Laserstrahl 14 passiert, streut das Partikel das Licht, von dem etwas die Fotodetektoren 26 erreicht. Die Fotodetektoren 26 erzeugen folglich ein elektrisches Signal, welches durch eine elektronische Schaltung, beispielsweise eine Schaltung, wie sie in dem U.S.-Patent 47 39 177 von Peter Borden beschrieben ist, verarbeitet wird. Auf diese Weise wird das Auftreten von Partikeln im interessierenden Bereich überwacht.

Da eine steife Platte nur innerhalb eines Umfangsberei­ ches, der sich von ihrem Rand 2,5 bis 3 Inches (2,5×2,54 cm bis 3×2,54 cm) radial einwärts erstreckt, mit aktivem Material bedeckt ist, müssen sich der Laserstrahl 14 und der Stellarm 12 nicht bis zum Zentrum der Scheibe erstrecken, um Partikeln über dem empfindlichsten Bereich der Platte zu überwachen. Der Sensor 1 einschließlich des Laserstrahls 14 und der Fotodetektoren 26 braucht sich nur soweit radial einwärts zu erstrecken, als der aktive Bereich effektiv ist.

Der Abschnitt des Stellarms 12, der sich über eine einzelne Platte oder zwischen zwei Platten erstreckt, bewirkt eine minimale Beeinträchtigung oder Zerrüttung des Luftstroms in einem Plattenlaufwerk. Die vertikale Abmessung des Stellarms 12 ist klein im Vergleich zu dem typischen Zwischenraum zwischen Platten, annähernd 1/3 oder 1/4 dieses Zwischenraums. Luft kann leicht um den Stellarm 12 fließen, der nur eine geringe Behinderung darstellt. Da überdies der Laserstrahl 14 relativ zur Richtung des Luftstroms vor dem Stellarm 12 positioniert ist, können die Luft und die Partikeln, die sie mögli­ cherweise trägt, durch den Laserstrahl 14 hindurchgehen, bevor sie um den Stellarm 12 herumgelenkt werden.

Das Verhalten oder die Leistung des Sensors ist unter Verwendung eines Rechnermodells beurteilt worden. Die Ergebnisse dieser Berechnung sind in der Fig. 4 gezeigt. Die logarithmische y-Achse dieses Diagramms zeigt die Stärke des elektrischen Signals in Nanowatt, das von der Anordnung der auf dem flexiblen Kapton-Schaltkreis 24 befestigten Fotozellen 26 erhalten würde, wenn ein weißes sphärisches Partikel mit einem Durchmesser von 10 µm durch einen Punkt des Laserstrahls 14 hindurchgehen würde. Die Nullposition auf der X-Achse korrespondiert zu der Stelle längs des Laserstrahls 14 am Ende der Reihe der Fotozel­ len 26 nächst dem Laser, wobei die Position längs der X-Achse entlang der Länge des Strahls vom Laser fort zunimmt. Positionen kleiner als Null auf der X-Achse korrespondieren zu Stellen längs des Strahls 14 zwischen dem Ende der Reihe Fotozellen 26 und dem Laser.

Die Fig. 4 zeigt auch die Stärke, die das Signal haben muß, um einen Faktor von 2 oder 3 Dezibel (dB) über einem empirisch bestimmten Rauschpegel von einem Nanowatt zu liegen und damit meßbar zu sein. Ein elektronischer Rauschpegel von 1 Nanowatt ist für den elektronischen Rauschpegel typisch, der mit der elektronischen Standard­ schaltung verbunden ist, die beim Partikelsensor 1 verwendet wird. Wie aus der Fig. 4 entnehmbar ist, ist die Antwort 10 Nanowatt, 5mal über der 3-Dezibel- Schwelle und 10mal über dem Rauschpegel von 1 Nanowatt, wenn das Partikel durch den Laserstrahl an der Position oder Stelle von 7 cm hindurchgeht.

Die Stärke des Signals ist annähernd proportional zum Quadrat des Durchmessers des Partikels. Auf der Basis der Fig. 4 würde dann das kleinste Partikel, das mit einer meßbaren Antwort detektiert werden könnte, einen Durchmesser von weniger als 3 µm haben. Wenn beispiels­ weise ein durch den Laserstrahl an einer zu 3,5 cm in Fig. 4 korrespondierenden Position oder Stelle hindurchgehen­ des 10 µm-Partikel ein elektrisches Signal von annähernd 100 Nanowatt erzeugt, erzeugt ein durch den Laserstrahl an derselben Stelle hindurchgehendes 3 µm-Partikel ein elektrisches Signal von annähernd 9 Nanowatt. Da ein Sensor gemäß dieser Erfindung eine Antwort kleiner als 9 Nanowatt messen kann, kann der Sensor ein Partikel mit einem Durchmesser von weniger als 3 µm detektieren. Um die größte Empfindlichkeit in Richtung kleiner Partikel über dem aktiven Bereich einer Platte zu erzielen, ist es möglich, den Sensor so zu positionieren, daß der Bereich des Laserstrahls 14, der das stärkste Signal erzeugt, wenn ihn ein Partikel durchquert, d. h. der Bereich von 2 bis 5 cm in Fig. 4, direkt über dem aktiven Bereich der Platte ist.

Es ist möglich, das Luftvolumen pro Minute abzuschätzen, das durch einen Sensor gemäß dieser Erfindung abgetastet werden kann. Die Luftgeschwindigkeit im Bereich zwischen zwei Platten ist annähernd gleich der Rotationsgeschwin­ digkeit der Platten. Wenn die Platten einen Radius von 6 Inch (6×2,54 cm) haben und sich mit 3600 Umdrehungen pro Minute drehen, tastet ein Laserstrahl mit einer Länge von 5 cm und einer vertikalen Abmessung h von 2 mm annähernd 15 Kubikfuß Luft pro Minute ab. In einem Plattenlaufwerk mit 9 Platten können bei Verwendung von 8 Sensoren 120 Kubikfuß Luft pro Minute abgetastet werden. Im Vergleich dazu tasten bekannte durch die Luft getragene Sensoren nur ein Kubikfuß Luft pro Minute an einem Punkt ab, der von dem Raum zwischen den Platten gut entfernt ist.

Eine andere wichtige Eigenschaft eines Sensors gemäß dieser Erfindung ist seine Empfindlichkeit in Richtung Partikeln mit einer hohen Geschwindigkeit, wie sie zum Abtasten eines großen Luftvolumens pro Minute, wie es oben beschrieben ist, notwendig ist. Je kürzer die Zeit ist, die ein Partikel zum Durchqueren eines Laserstrahls braucht, desto kürzer ist der Impuls des gestreuten Lichts, das erzeugt wird, und desto größer ist deshalb die Frequenz oder Bandbreite des erzeugten elektrischen Signals. Da der Rauschpegel dieses Signals proportional zur Quadratwurzel der Bandbreite ist, gilt, desto kürzer die Zeit ist, die ein Partikel beim Durchqueren eines Laserstrahls braucht, desto größer ist der Rauschpegel des erzeugten Signals. Folglich ist jeder beliebige Partikelsensor inhärent weniger empfindlich für Partikeln mit einer hohen Geschwindigkeit.

Die Fig. 5 ist ein durch ein Rechnermodell erzeugtes Diagramm der Bandbreite in Kilohertz gegen die Partikel­ geschwindigkeit in Metern pro Sekunde für Strahlbreiten w, die Strahlachse parallel zur Luftstromrichtung, im Bereich von 0,1 mm bis 3 mm. Das Diagramm illustriert, daß ein schneller sich bewegendes Partikel ein elektrisches Signal mit einer größeren Bandbreite erzeugt und deshalb mehr Rauschen, weil der Rauschpegel proportional zur Quadratwurzel der Bandbreite ist. Das Diagramm illu­ striert auch, daß eine größere Strahlbreite jedoch diesen Effekt kompensieren und die Bandbreite und dadurch den Rauschpegel herabsetzen kann.

Um den inhärenten Nachteil der erniedrigten Empfindlich­ keit für Partikeln mit hoher Geschwindigkeit zu bekämp­ fen, stellt der Partikelsensor nach dieser Erfindung einen relativ großen Strahl bereit, so daß die detektier­ ten Partikel mehr Zeit zum Durchqueren des Strahls haben. Eine Strahlbreite w von 0,5 mm liefert einen befriedigen­ den Rauschpegel für den Sensor dieser Erfindung. Ein elliptischer Strahl liefert einen Tradeoff oder Kompromiß bei der Bestimmung der vorteilhaftesten Strahlabmessun­ gen. Eine lange Achse h senkrecht zu den Platten tastet ein größeres Luftvolumen ab, während eine lange Achse parallel zu den Platten einen breiteren Strahl für die durchquerenden Partikeln liefert.

Aufgrund seiner kompakten Größe und Abmessungen und billigen Herstellungskosten ist ein Echtzeit-Partikelsen­ sor gemäß dieser Erfindung für die Massenfertigung und die Verwendung im hohen Volumen praktisch oder anwendbar. Beispielsweise kann der Sensor dazu benutzt werden, eine Zunahme in der Verunreinigung innerhalb einer abgedich­ teten Plattenlaufwerkeinheit zu detektieren. Dies kann eine Warnung oder einen Alarm für Leistungs- oder Betriebsprobleme sein, bevor sie in einem Datenverlust resultieren.

Durch die Erfindung ist ein Echtzeit-Partikelsensor geschaffen, der Partikeln nahe der Oberfläche einer Platte in einem Rechnerplattenlaufwerksystem im Bereich zwischen Platten in einem Mehrfachplattenstapel über­ wachen kann. Ein Laser und eine Linse sind in einer kompakten Kassette aufgenommen, die auf einem Stellarm einer Platte befestigt ist. Ebenfalls auf dem Stellarm befestigte Fotozellen detektieren von dem Laserstrahl passierenden Partikeln gestreutes Licht und erzeugen so ein zur Zählung der detektierten Partikeln benutztes elektrisches Signal. Die schmale Größe des Sensors ermöglicht es, daß in jeden der Bereiche zwischen benachbarten Platten eines Plattenstapels oder in der Nähe der Oberfläche einer einzelnen Platte ein separater Sensor eingefügt werden kann.

Claims (12)

1. Partikelsensor (1) für ein Rechnerplattenlaufwerk, gekennzeichnet durch,

• - einen Arm (12),
• - eine an oder auf dem Arm (12) vorgesehene Einrichtung zum Erzeugen eines Lichtstrahls (14) hoher Inten­ sität, und
• - eine auf dem Arm (12) befestigte Fotosensoreinrich­ tung zum Abtasten gestreuten Lichts, wenn Partikel durch den Lichtstrahl (14) gehen.

2. Partikelsensor nach Anspruch 1, wobei die vertikalen Abmessungen des Sensors (1) derart sind, daß ein Abschnitt des Sensors (1) zwischen zwei Platten (20, 22) des Plattenlaufwerkes einfügbar ist, wenn die Platten (20, 22) für einen Betrieb richtig gestapelt sind.

3. Partikelsensor nach Anspruch 1 oder 2, wobei die größte vertikale Abmessung des Sensors (1) kleiner als 2 cm ist.

4. Partikelsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die auf dem Arm (12) befestigte Einrichtung zum Erzeugen des Lichtstrahls (14) hoher Intensität ein eine Quelle des Lichtstrahls (14) und eine Linse zum Kolli­ mieren des Lichtstrahls (14) umfassendes Gehäuse (18) aufweist.

5. Partikelsensor nach Anspruch 4, wobei die Linse einen elliptisch geformten Lichtstrahl (14) mit einer Höhe h und einer Breite w erzeugt.

6. Partikelsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, insbesondere nach Anspruch 4, wobei die größte vertikale Abmessung des Sensors (1) kleiner als 1 cm ist.

7. Partikelsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Fotosensoreinrichtung mehrere Fotodioden (26) aufweist.

8. Partikelsensor nach Anspruch 7, wobei

• - der Arm (12) eine Längsachse aufweist,
• - die auf dem Arm (12) befestigte Einrichtung zum Erzeugen eines Lichtstrahls (14) hoher Intensität derart angeordnet ist, daß sich der Strahl (14) parallel zur Längsachse des Arms (12) ausbreitet, und
• - die Fotodioden (26) in einer Reihe längs des parallel zum Strahl (14) sich erstreckenden Arms (12) angeordnet sind.

9. Partikelsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Arm (12) ein Stellarm einer Art ist, die zum Halten von Schreib- und/oder Leseköpfen benutzt ist.

10. Partikelsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Einrichtung zum Erzeugen des Lichtstrahls (14) hoher Intensität eine Laserdiode ist.

11. Partikelsensor nach Anspruch 8, wobei der Strahl (14) durch den Arm (12) unverschlossen ist, wobei der Arm (12) die Partikel daran hindert, den Strahl (14) in nur einer Richtung zu queren.

12. Partikelsensor nach Anspruch 11, wobei auf dem Arm (12) ein Strahlunterbrecher (16) befestigt ist.