DE4035789C1 - - Google Patents

Info

Publication number
DE4035789C1
DE4035789C1 DE4035789A DE4035789A DE4035789C1 DE 4035789 C1 DE4035789 C1 DE 4035789C1 DE 4035789 A DE4035789 A DE 4035789A DE 4035789 A DE4035789 A DE 4035789A DE 4035789 C1 DE4035789 C1 DE 4035789C1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
donor metal
gas
donor
workpiece
metal body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE4035789A
Other languages
English (en)
Inventor
Lothar Dr. 8060 Dachau De Peichl
Heinrich 8904 Friedberg De Walter
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Peichl Lothar Dr 85221 Dachau De Walter Hein
Original Assignee
MTU Motoren und Turbinen Union Muenchen GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MTU Motoren und Turbinen Union Muenchen GmbH filed Critical MTU Motoren und Turbinen Union Muenchen GmbH
Priority to DE4035789A priority Critical patent/DE4035789C1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4035789C1 publication Critical patent/DE4035789C1/de
Priority to US08/050,271 priority patent/US5439525A/en
Priority to PCT/EP1991/002039 priority patent/WO1992008821A1/de
Priority to EP91918473A priority patent/EP0556208B1/de
Priority to JP3517661A priority patent/JPH06504321A/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C10/00Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces
    • C23C10/06Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces using gases

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Gasdiffusionsbeschichten von hohlen Werkstücken aus warmfesten Legierungen wie Ni-, Co- oder Fe-Basislegierungen, deren Außen- und Innenflächen durch Bohrungen miteinander verbunden sind mit einem Behälter, der mindestens eine Gaszuleitung und eine Gasableitung aufweist, wobei die Gasableitung den zu beschichtenden Innenflächen des Werkstücks nachgeschaltet ist.
Aus EP 03 49 420 ist eine Vorrichtung zum gleichzeitigen Gasdiffu­ sionsbeschichten von äußeren und inneren Oberflächen bekannt. In dieser Vorrichtung sind die zu beschichtenden Bauteile im oberen Bereich eines Kastens angeordnet. Im unteren Bereich weist der Kasten eine Trägergaszuleitung und ein Tragegitter zur Aufnahme eines Akti­ vatorpulvers und eines Spendermetallgranulats auf. Diese Vorrichtung hat den Nachteil, daß sich bildende schwere Spendermetallgase vom Spendermetallgranulat zu den zu beschichtenden Bauteilen aufsteigen müssen, wobei entsprechend der barometrischen Höhenformel eine Ver­ dünnung der Spendermetallgase in vertikaler Richtung auftritt, die nachteilig zu Schichtdickenunterschieden auf den Bauteilen in Abhängigkeit von ihrer geodätischen Höhe bezüglich des Spendermetalls führen. Die Vorrichtung bewirkt darüber hinaus, daß die inneren Oberflächen des Bauteils mit zunehmendem Abstand von Verbindungs­ bohrungen zwischen Außen- und Innenflächen geringere Beschichtungs­ dicken bis hin zu fehlender Beschichtung im Bauteilinneren aufweisen.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zum Gasdiffusions­ beschichten anzugeben, mit der eine gleichmäßige Beschichtung eines hohlen Bauteils an den äußeren und inneren Oberflächen besonders bei langen und engen Hohlräumen gewährleistet ist.
Gelöst wird diese Aufgabe mit einer Vorrichtung, bei der im Behälter Werkstückhalterungen angeordnet sind, die die Werkstücke in geodätisch geringer Höhe bezüglich eines Spendermetalls halten, wobei das Spendermetall in Form eines Spendermetallkörpers vorliegt, der unter Einhaltung eines Spaltes die zu beschichtenden Außenflächen des Werkstückes vollständig umhüllt.
Diese Vorrichtung hat den Vorteil, daß sowohl im Inneren des Bauteils als auch außen Beschichtungsdicken erreicht werden, die geringe Dickenschwankungen aufweisen. Durch die vollständige Umhüllung des Verbrauchers mit Spendermetall unter Einhaltung eines Spaltes zum Spender wird die Oberfläche des Bauteils mit einer gleichbleibend hohen Konzentration an Spendermetallgas versorgt, ohne Verdünnungs­ effekt des Spendermtallgases durch einen hohen Trägergasanteil und ohne daß Spendermetallpartikel die Oberfläche berühren, so daß die Gefahr eines Verstopfens der Bohrung zwischen Außen- und Innenflächen vermieden wird.
Durch Werkstückhalterungen, die die Werkstücke in geodätisch geringer Höhe bezüglich des Spendermetalls halten, werden die Bauteile vor­ teilhaft in einer hochkonzentrierten unerschöpflichen Spendermetall­ gasquelle gehalten, die sich aufgrund des geringen Spaltes zum Spen­ dermetallkörper und der Umhüllung der Bauteile durch den Spender­ metallkörper in der erfindungsgemäßen Vorrichtung ausbildet.
Über Öffnungen wie vorzugsweise Bohrungen an der Außenfläche des Bauteils kann das Spendermetallgas in das Innere diffundieren und die Hohlräume auffüllen. Das Auffüllen und Versorgen der Hohlräume mit Spendermetallgas kann durch Einleiten von Gasen über die Gaszuleitung und Ableiten über die den Innenflächen nachgeschaltete Gasableitung beschleunigt werden. Dies ist besonders vorteilhaft bei Bauteilen mit stark untergliederten Hohlräumen, relativ geringen Querschnittsflä­ chen der Öffnungen in der Außenfläche im Vergleich zu den be­ schichtenden Innenflächen oder bei langen, kleinen Verbindungs­ bohrungen zwischen Außen- und Innenflächen, so daß diese Vorrichtung vorzugsweise zur Gasdiffusionsbeschichtung von Triebwerksschaufeln mit Kühlkanälen und Kühlluftbohrungen geeignet ist.
In einer bevorzugten Ausbildung der Vorrichtung ist die Gasableitung als Überlauf oder vorgeschalteter Syphon geformt, dessen Über­ laufniveau mindestens in Höhe der obersten zu beschichtenden Ober­ fläche des Werkstücks positioniert ist, so daß sich ein Spender­ metallgassumpf im Bereich der Bauteile ausbildet. Diese Ausbildung hat den Vorteil, daß die Höhe des Spendermetallgassumpfes der Bau­ teilhöhe angepaßt werden kann. Da das schwere Spendermetallgas nur über den Überlauf als Schwelle entweichen kann, sichert ein Überlauf oder Syphon eine gleichbleibend hohe Spendermetallkonzentration.
Die Werkstückhalterung umfaßt vorzugsweise einen konischen Sitz, der einen zentral angeordneten Gasableitungskanal aufweist und mit Ver­ bindungsbohrungen zu Hohlräumen der Werkstücke korrespondiert. Dieser konische Sitz hat den Vorteil, daß nicht nur das Werkstück in Posi­ tion gehalten wird, sondern daß Übergangsstücke zur Aufnahme der Bau­ teile einsetzbar sind, die eine schnelle Montage der zu be­ schichtenden Bauteile ermöglichen. Zum Schutz der Oberflächen von Übergangsstücken und von nicht zu beschichtenden Bauteilbereichen, können diese Oberflächen mit einer Schicht beispielsweise aus Kera­ mikschlicker bestrichen und getrocknet werden, wobei diese Schicht gegen Abplatzen oder Abbröckeln durch ein Einbetten in Spendermetallpulvern gesichert werden kann.
Eine Einbettung der Werkstückhalterung mit Spendermetallpulver im Bodenbereich der Vorrichtung hat den Vorteil, daß ein fast uner­ schöpfliches Reservoir mit großer Spendermetalloberfläche zur Spendermetallgasversorgung des Spendermetallgassumpfes zur Verfügung steht. Deshalb ist vorzugsweise unterhalb des Spendermetallkörpers eine feinkörnige Pulverschüttung aus Spendermetall angeordnet.
Der Spendermetallkörper besteht vorzugsweise aus einem oder mehreren grobmaschigen Granulatkörben, die mit gröbkörnigem Spendermetall­ granulat gefüllt sind. Ein grobkörniges Spendermetallgranulat hat zwar eine verminderte Oberfläche, an der sich Spendermetallgas bilden kann, läßt sich aber vorteilhaft seitlich und oberhalb des Bauteils in den vorgesehenen Körben schichten ohne durch die Korbmaschen zu fallen und damit die Bauteiloberfläche zu verunreinigen oder die Bohrungen in der Außenfläche zuzusetzen.
Besteht der Spendermetallkörper aus einem oder mehreren porösen Sin­ terkörpern, so kann vorteilhaft die Oberfläche mit entsprechend hoher Porosität vergrößert werden und auf Körbe zur Einhaltung des Spaltes aufgrund der Formstabilität eines solchen Spendermetallkörpers ver­ zichtet werden. Spendermetallkörper aus einem oder mehreren porösen Sinterkörpern werden dann vorteilhaft eingesetzt, wenn große Stück­ zahlen zu beschichten sind.
Eine weitere bevorzugte Ausbildung ist ein Spendermetallkörper, der aus kompakten Metall besteht, in welches Labyrinthstrukturen zur Gas­ führung eingearbeitet sind. Die Labyrinthstrukturen vergrößern vor­ teilhaft die Spendermetallkörperoberfläche, so daß sich ein langsam fließendes Trägergas mit Spendermetallgas anreichern kann, bevor es die zu beschichtenden Oberflächen erreicht. Dieser auch mehrteilige Spendermetallkörper wird unter Einhaltung eines Spalts von 0,5 bis 50 mm Breite über das zu beschichtende Bauteil gestülpt.
Sowohl ein Spendermetallkörper aus kompakten Metall als auch einer aus offenporigem und porösem Material können Bohrungen, Vertiefungen oder andere Einformungen zur Aufnahme von Pulvern, die an einer Reak­ tion zur Spendermetallgasbildung beteiligt sind aufweisen.
Die folgenden Figuren zeigen bevorzugte Ausbildungen der Erfindung:
Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung zum Gasdiffusionsbeschichten mittels eines kompakten Spendermetallkörpers,
Fig. 2 zeigt eine Vorrichtung zum Gasdiffusionsbeschichten mittels eines Spendermetallkörpers aus Granulatkörben und
Fig. 3 zeigt eine Vorrichtung zum Gasdiffusionsbeschichten mittels eines Spendermetallkörpers aus Sintermetall.
Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung zum Gasdiffusionsbeschichten mittels eines kompakten Spendermetallkörpers 1 von hohlen Werkstücken 11 aus warmfesten Legierungen wie Ni-, Co- oder Fe-Basislegierungen, deren Außen- 12 und Innenflächen 16 durch eine Vielzahl von Bohrungen 13, 14, 15 miteinander verbunden sind. Die Vorrichtung weist einen Be­ hälter 22 auf, der mindestens eine Gaszuleitung 23 und eine Gasab­ leitung 21 besitzt. Die Gasableitung 21 ist den zu beschichtenden Innenflächen 16 nachgeschaltet. Der Behälter 22 ist in einem an sich bekannten Prozeßraum angeordnet.
In geodätisch geringer Höhe bezüglich des Spendermetallkörpers 1 werden die Werkstücke 11 von Werkstückhalterungen 24 gehalten. Der Spendermetallkörper 1 umhüllt unter Einhaltung eines Spaltes 8 die zu beschichtenden Außenflächen 12 vollständig. Der Spendermetallkörper ist selbsttragend und setzt sich aus mehreren kompakten Einzelteilen 2 bis 7 wie beispielsweise Deckeln 3, 5, 7 und Hülsen 2, 4, 6 zu­ sammen. Die Deckel 3, 5, 7 und Hülsen 2, 4, 6 sind voneinander beab­ standet und bilden ein Labyrinth zur Gasführung. Die äußere Hülse 2 weist im unteren Bereich Öffnungen 9 auf, die das Gas in das Laby­ rinth in Pfeilrichtung 37 einströmen lassen und die innere Hülse 6 zeigt Öffnungen 10 im unteren Bereich, die das Gas in Pfeilrichtung 38 in den Spalt zwischen Spendermetallkörper 1 und zu beschichtende Außenflächen 12 führen. Durch die Bohrungen 13, 14 und 15 wird das spendermetallreiche Gas den Hohlräumen 17 zur Beschichtung der In­ nenflächen 16 in Pfeilrichtung 39 zugeführt. Eine Abgasleitung 18 endet beispielsweise offen in einem gasgespülten Raum 19, der bei­ spielsweise neben der Gaszuleitung 23 noch einen Zulauf 20 aufweist.
Zur Gasdiffusionsbeschichtung wird der Behälter 22 aufgeheizt, so daß ein pulverförmiger Aktivator 25 am Boden des Labyrinths 26 su­ blimiert und das Labyrinth 26 mit Aktivatorgas füllt. An den Ober­ flächen des Spendermetallkörpers 1 bildet sich durch eine Reaktion mit dem Aktivatorgas ein schweres Spendermetallgas, das auf der Werkstücksaußenfläche 12, den Wandungen der Bohrungen und der Innen­ fläche 16 des Werkstücks Metall wie Aluminium oder Aluminiumlegie­ rungen abscheidet. Um ein Abfließen des Spendermetallgases zu verhin­ dern, wird die Gasableitung in Fig. 1 als Überlauf ausgebildet, dessen Überlaufniveau in der Höhe der höchsten Werkstückkante angeordnet ist. Über die Gaszuleitung 23 kann auch pulverförmiger Aktivator oder ein Aktivatorgas eingespeist werden. Bei Einspeisung eines Akti­ vatorgases wird die Gaszuleitung 23 über die Sublimationstemperatur des Aktivators aufgeheizt um eine Kondensation in der Gaszuleitung zu vermeiden.
Fig. 2 zeigt eine Vorrichtung zum Gasdiffusionsbeschichten mittels eines Spendermetallkörpers 1 aus Granulatkörben 27. Die Granulatkörbe 27 sind so gestaltet, daß sie das Werkstück 11 an den zu be­ schichtenden Außenflächen 12 unter Einhaltung eines Spaltes 8 von 2 bis 5 mm vollständig umhüllen. Die Partikelgröße des Granulats 31 in den Granulatkörben 27 ist größer als die Maschenweite der Körbe. Das Granulat 31 besteht aus Spendermetall wie Aluminium oder Aluminiumle­ gierungen. Die Granulatkörbe 27 sind mit dem Werkstück 11 und einer Werkstückhalterung 24 in einer Retorte 28 angeordnet, die mittels einer Dichtung 45 gasdicht verschlossen ist. Am Boden der Retorte ist Aktivatorpulver 25 gemischt mit Spendermetallpulver 32 angeordnet und versorgt zusätzlich den Retortenraum mit Spendermetallgas.
Eine Abdeckschicht 29 aus einer Schlickermasse aus Keramik - und Metallpulver wie beispielsweise Aluminiumoxid - und Nickelpulver schützt die Oberfläche der Werkstückhalterung 24 und nicht zu be­ schichtende Außenflächen des Werkstücks 11 vor Beschichtungen. Das Gemisch aus Aktivatorpulver 25 und Spendermetallpulver 32 stützt gleichzeitig die Kerasmikschicht 29, so daß sie während des Gasdiffu­ sionsprozesses nicht abplatzt oder abbröckelt.
Die Retorte 28 weist im Bodenbereich einen konischen Sitz 33 zur Aufnahme der Werkstückhalterung 24 auf. Ein zentral abgeordneter Gasableitungskanal 30 leitet die Prozeßgase in Pfeilrichtung 43 aus dem Werkstückinneren in den gasgespülten Raum 19 über einen Überlauf 34. Dieser Überlauf bewirkt, daß das schwere Spendermetallgas nicht unkontrolliert aus dem Werkstückinneren abfließt, da das Überlauf­ niveau höher als die oberste Werkstückkante 44 angeordnet ist. Gleichzeitig wird damit erreicht, daß unabhängig vom Niveau der Gas­ ableitung 21 des Behälters 22 ein Spendermetallgassumpf in der Retorte 28 gebildet wird.
Die Gasversorgung und -spülung des Raumes 19 mit Inert- oder reduzie­ rendem Gas erfolgt in Pfeilrichtung 40 über den Zulauf 20 und die Gasableitung 21.
Fig. 3 zeigt eine Vorrichtung zum Gasdiffusionsbeschichten mittels eines Spendermetallkörpers 1 aus Sintermetall 35 beispielsweise einer Aluminiumlegierung, der die zu beschichtenden Außenflächen 12 des Werkstücks 11 unter Einhaltung eines Spaltes 8 vollständig um­ hüllt. Das Sintermetall 35 weist eine hohe Konzentration offener Poren auf, so daß eine große Gasdurchlässigkeit erreicht wird. Aus dem Gemisch aus Aktivatorpulver 25 und Spendermetallpulver 32 im Bodenbereich der Retorte diffundiert Aktivatorgas und Spendermetall­ gas in Pfeilrichtung 41 durch den Spendermetallkörper 1 zum Werkstück 11, wobei das Aktivatorgas den gesamten Spendermetallkörper 1 durch­ dringt und Spendermetallgas bildet und allseitig die zu be­ schichtenden Oberflächen des Werkstücks 11 mit Spendermetall ver­ sorgt. Durch die Bohrungen 36 zwischen Außen- 12 und Innenflächen des Werkstücks 11 gelangt das Spendermetallgas in Pfeilrichtung 42 unter Beschichtung der Außen- 12 und Innenflächen in die Hohlräume des Werkstücks 11.
Das schwere Spendermetallgas reichert sich im Gasableitungskanal 30 an und füllt das als Siphon ausgebildete Steigrohr 37 bis zum Über­ laufniveau 34 des Steigrohres 37. Das sich oberhalb des Über­ laufniveau 34 und damit oberhalb der höchsten Werkstückkante 50 im Spendermetallkörper 1 bildende schwere Spendermetallgas drückt ständig einen Spendermetallgasstrom durch das als Siphon ausgebildete Steigrohr 37, so daß eine gleichmäßige und dicke Beschichtung der 1nnen- und Außenflächen 12 des Werkstücks 11 erfolgt.

Claims (7)

1. Vorrichtung zum Gasdiffusionsbeschichten von hohlen Werkstücken aus warmfesten Legierungen wie Ni-, Co- oder Fe-Basislegierungen, deren Außen- und Innenflächen durch Bohrungen miteinander ver­ bunden sind mit einem Behälter, der mindestens eine Gaszuleitung und eine Gasableitung aufweist, wobei die Gasableitung den zu beschichtenden Innenflächen des Werkstücks nachgeschaltet ist, dadurch gekennzeichnet, daß im Behälter (22) Werkstückhalterungen (24) angeordnet sind, die die Werkstücke (11) in geodätisch ge­ ringer Höhe bezüglich eines Spendermetalls halten, wobei das Spen­ dermetall in Form eines Spendermetallkörpers (1) vorliegt, der unter Einhaltung eines Spaltes (8) die zu beschichtenden Außen­ flächen (12) des Werkstückes (11) vollständig umhüllt.
2. Vorrichtungen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasableitung (21) als Überlauf (34) oder als vorgeschalteter Si­ phon geformt ist, dessen Überlaufniveau in Höhe der obersten zu beschichtenden Oberfläche des Werkstücks (11) positioniert ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstückhalterung (24) einen konischen Sitz (33) umfaßt, der einen zentral angeordneten Gasableitungskanal aufweist und mit Verbindungsbohrungen zu Hohlräumen der Werkstücke (11) korres­ pondiert.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß unterhalb des Spendermetallkörpers (1) eine feinkörnige Pulverschüttung aus Spendermetall (32) angeordnet ist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Spendermetallkörper (1) aus einem oder meh­ reren grobmaschigen Granulatkörben (27) besteht, der bzw. die mit grobkörnigem Spendermetallgranulat (31) gefüllt ist bzw. sind.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Spendermetallkörper (1) aus einem oder meh­ reren porösen Sinterkörpern besteht.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Spendermetallkörper (1) aus kompaktem Metall besteht, in welches Labyrinthstrukturen zur Gasführung eingearbei­ tet sind.
DE4035789A 1990-11-10 1990-11-10 Expired - Lifetime DE4035789C1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4035789A DE4035789C1 (de) 1990-11-10 1990-11-10
US08/050,271 US5439525A (en) 1990-11-10 1991-10-29 Device for coating hollow workpieces by gas diffusion
PCT/EP1991/002039 WO1992008821A1 (de) 1990-11-10 1991-10-29 Vorrichtung zum gasdiffusionsbeschichten von hohlen werkstücken
EP91918473A EP0556208B1 (de) 1990-11-10 1991-10-29 Vorrichtung zum gasdiffusionsbeschichten von hohlen werkstücken
JP3517661A JPH06504321A (ja) 1990-11-10 1991-10-29 中空の工作物をガス拡散作用を利用してコーティングするための装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4035789A DE4035789C1 (de) 1990-11-10 1990-11-10

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE4035789C1 true DE4035789C1 (de) 1991-06-13

Family

ID=6417997

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4035789A Expired - Lifetime DE4035789C1 (de) 1990-11-10 1990-11-10

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5439525A (de)
EP (1) EP0556208B1 (de)
JP (1) JPH06504321A (de)
DE (1) DE4035789C1 (de)
WO (1) WO1992008821A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19607625C1 (de) * 1996-02-29 1996-12-12 Mtu Muenchen Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Präparation und/oder Beschichtung der Oberflächen von Hohlbauteilen

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5424097A (en) * 1993-09-30 1995-06-13 Specialty Coating Systems, Inc. Continuous vapor deposition apparatus
US5536319A (en) * 1995-10-27 1996-07-16 Specialty Coating Systems, Inc. Parylene deposition apparatus including an atmospheric shroud and inert gas source
US5879808A (en) * 1995-10-27 1999-03-09 Alpha Metals, Inc. Parylene polymer layers
US5806319A (en) * 1997-03-13 1998-09-15 Wary; John Method and apparatus for cryogenically cooling a deposition chamber
US5841005A (en) * 1997-03-14 1998-11-24 Dolbier, Jr.; William R. Parylene AF4 synthesis
US6051276A (en) * 1997-03-14 2000-04-18 Alpha Metals, Inc. Internally heated pyrolysis zone
US5910219A (en) * 1997-06-06 1999-06-08 United Technologies Corporation Can coating system
DE19803740C2 (de) * 1998-01-30 2001-05-31 Mtu Aero Engines Gmbh Gasphasenbeschichtungsverfahren und Vorrichtung zur Gasphasenbeschichtung von Werkstücken
US7390535B2 (en) * 2003-07-03 2008-06-24 Aeromet Technologies, Inc. Simple chemical vapor deposition system and methods for depositing multiple-metal aluminide coatings
US7444955B2 (en) * 2004-05-19 2008-11-04 Sub-One Technology, Inc. Apparatus for directing plasma flow to coat internal passageways
DE112008000803T5 (de) * 2007-03-30 2010-04-08 Tokyo Electron Limited Abscheidungsquelleneinheit, Abscheidungsvorrichtung und Temperatursteuereinrichtung einer Abscheidungsquelleneinheit
KR200445846Y1 (ko) * 2009-06-10 2009-09-03 (주) 엠에스피 중앙유통관을 갖는 청크 에칭 바스켓
EP2516048B1 (de) * 2009-12-24 2019-10-02 LG Innotek Co., Ltd. Wärmebehandlungsbehälter für vakuum-wärmebehandlungsvorrichtung
EP2476776B1 (de) * 2011-01-18 2015-08-12 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Einstellung des Kühlmittelverbrauchs innerhalb aktiv gekühlter Bauteile
US9068260B2 (en) 2012-03-14 2015-06-30 Andritz Iggesund Tools Inc. Knife for wood processing and methods for plating and surface treating a knife for wood processing
US11267012B2 (en) 2014-06-25 2022-03-08 Universal Display Corporation Spatial control of vapor condensation using convection
US11220737B2 (en) 2014-06-25 2022-01-11 Universal Display Corporation Systems and methods of modulating flow during vapor jet deposition of organic materials
EP2960059B1 (de) 2014-06-25 2018-10-24 Universal Display Corporation Systeme und verfahren zur modulation des durchflusses während der dampfstrahlabscheidung von organischen materialien
US10566534B2 (en) * 2015-10-12 2020-02-18 Universal Display Corporation Apparatus and method to deliver organic material via organic vapor-jet printing (OVJP)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0349420A1 (de) * 1988-06-30 1990-01-03 Societe Nationale D'etude Et De Construction De Moteurs D'aviation "Snecma" Verfahren und Vorrichtung zum gleichzeitigen Schutz der inneren und äusseren Oberflächen, insbesondere bei der Aluminisierung von Teilen aus hitzebeständigen Legierungen auf der Basis von Ni, Co oder Fe

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1134753A (fr) * 1955-01-31 1957-04-17 Procédé de traitement d'objets métalliques dont la surface doit être modifiée par la formation d'alliages superficiels
GB825847A (en) * 1955-02-16 1959-12-23 Onera (Off Nat Aerospatiale) Improvements in methods of forming superficial diffusion alloys containing chromium
US2910382A (en) * 1955-06-30 1959-10-27 Vulliez Paul Method of forming surface alloys on metallic articles
FR1130118A (fr) * 1955-07-07 1957-01-31 Perfectionnements aux fours utilisés pour la mise en oeuvre des procédés de formation d'alliages superficiels par diffusion en phase gazeuse d'un métal d'apport
GB975202A (en) * 1961-06-23 1964-11-11 Alloy Surfaces Co Inc Improvements in process for chromizing and product
FR2508063A1 (fr) * 1981-06-18 1982-12-24 Snecma Procede, en phase vapeur, pour le depot d'un revetement protecteur sur une piece metallique, dispositif pour sa mise en oeuvre et pieces obtenues selon ledit procede

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0349420A1 (de) * 1988-06-30 1990-01-03 Societe Nationale D'etude Et De Construction De Moteurs D'aviation "Snecma" Verfahren und Vorrichtung zum gleichzeitigen Schutz der inneren und äusseren Oberflächen, insbesondere bei der Aluminisierung von Teilen aus hitzebeständigen Legierungen auf der Basis von Ni, Co oder Fe

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19607625C1 (de) * 1996-02-29 1996-12-12 Mtu Muenchen Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Präparation und/oder Beschichtung der Oberflächen von Hohlbauteilen
WO1997032054A1 (de) * 1996-02-29 1997-09-04 MTU MOTOREN- UND TURBINEN-UNION MüNCHEN GMBH Vorrichtung und verfahren zur präparation und/oder beschichtung der oberflächen von hohlbauteilen

Also Published As

Publication number Publication date
US5439525A (en) 1995-08-08
JPH06504321A (ja) 1994-05-19
WO1992008821A1 (de) 1992-05-29
EP0556208B1 (de) 1995-04-05
EP0556208A1 (de) 1993-08-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4035789C1 (de)
EP0325319B1 (de) Verfahren zum Erzeugen eines mit dem Dampf eines wenig flüchtigen Stoffes angereicherten Gasstroms
DE2614613C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Überziehen von Gegenständen sowie Anwendung des Verfahrens
EP0451552A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Formung eines Giesstrahls
DE2144220A1 (de) Verfahren zum herstellen von sauerstoffarmen metallpulvern
EP3144083B1 (de) Poröser aluminiumsinterkörper und verfahren zur herstellung eines porösen aluminiumsinterkörpers
EP3144082A1 (de) Poröser aluminiumsinterkörper und verfahren zur herstellung eines porösen aluminiumsinterkörpers
EP2792332B1 (de) Anordnung mit zumindest einem zu sinternden Werkstück
DE1696621C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Überzügen aus stöchiometrischen Siliciumkarbid auf Drähten
DE102009009579B4 (de) Verfahren zum Beschichten der Kanäle eines Wabenkörpers, Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens und Verwendung des beschichteten Wabenkörpers
CH641839A5 (de) Vorrichtung zur einleitung von gasen in metallschmelzen.
DE102016100544A1 (de) Metallgiessverfahren für den Formgussprozess
DE2453631A1 (de) Einrichtung zum stranggiessen
DE2914347C2 (de)
DE102018113643A1 (de) Vorrichtung zur Beschichtung einer Oberfläche
DE2032418A1 (de) Verbessertes Verfahren zur teil weisen Diffusionsuberziehung von Metall stucken und entsprechenden Stucken
DE4019563A1 (de) Verfahren zur herstellung von metallpulver
AU686185B2 (en) A method of galvanising
EP1889943A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten eines Grundkörpers
DE2833840A1 (de) Verfahren zum beschichten und loeten von werkstuecken mit hartmetall-legierungen
DE3802055A1 (de) Verfahren und einrichtung zum frischen von metallschmelze
DE102014220817B4 (de) Lichtbogenreaktor und Verfahren zur Herstellung von Nanopartikeln
EP2021532B1 (de) Quellenbehälter eines vpe-reaktors
DE102006023046B4 (de) Verfahren und Ausgangsmaterial zum Bereitstellen eines gasförmigen Precursors
AT214957B (de) Eintauchrohr für die Vakuumentgasung geschmolzener Metalle, insbesondere Stahl

Legal Events

Date Code Title Description
8100 Publication of the examined application without publication of unexamined application
D1 Grant (no unexamined application published) patent law 81
8364 No opposition during term of opposition
8320 Willingness to grant licences declared (paragraph 23)
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: MTU AERO ENGINES GMBH, 80995 MUENCHEN, DE

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: PEICHL, LOTHAR, DR., 85221 DACHAU, DE WALTER, HEIN