DE4035076A1 - Anordnung zum messen linearer abmessungen auf einer strukturierten oberflaeche eines messobjektes - Google Patents
Anordnung zum messen linearer abmessungen auf einer strukturierten oberflaeche eines messobjektesInfo
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Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4035076A DE4035076A1 (de) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | Anordnung zum messen linearer abmessungen auf einer strukturierten oberflaeche eines messobjektes |
PCT/EP1991/002088 WO1992008946A2 (fr) | 1990-11-05 | 1991-11-05 | Dispositif de mesure de dimensions lineaires sur une surface structuree d'un objet |
EP91919134A EP0509078A1 (fr) | 1990-11-05 | 1991-11-05 | Dispositif de mesure de dimensions lineaires sur une surface structuree d'un objet |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4035076A DE4035076A1 (de) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | Anordnung zum messen linearer abmessungen auf einer strukturierten oberflaeche eines messobjektes |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4035076A1 true DE4035076A1 (de) | 1992-05-07 |
Family
ID=6417637
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4035076A Withdrawn DE4035076A1 (de) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | Anordnung zum messen linearer abmessungen auf einer strukturierten oberflaeche eines messobjektes |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0509078A1 (fr) |
DE (1) | DE4035076A1 (fr) |
WO (1) | WO1992008946A2 (fr) |
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- 1991-11-05 EP EP91919134A patent/EP0509078A1/fr not_active Withdrawn
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Also Published As
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WO1992008946A3 (fr) | 1992-07-23 |
WO1992008946A2 (fr) | 1992-05-29 |
EP0509078A1 (fr) | 1992-10-21 |
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