DE4031573A1 - Verfahren und vorrichtung zur messung der flaechenverteilung einer von einer messflaeche emittierten energiestrahlung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrich­ tung zur Messung der Flächenverteilung einer von einer Meßfläche emittierten oder durchgelassenen, vorzugswei­ se radioaktiven Energiestrahlung.

Ein Verfahren dieser Art kann vor allem in der Genanaly­ se eingesetzt werden, bei der DNA-Fragmente in einem Gel unter der Einwirkung eines elektrischen Feldes (Elektrophorese) ihrer Größe nach räumlich voneinander getrennt und sortiert und ihrem Aufbau entsprechend radioaktiv markiert werden. Die räumlich voneinander getrennten Fragmente werden zunächst auf eine Matrix übertragen und chemisch behandelt, so daß die Doppel­ moleküle auseinanderweichen. Wird nun die Matrix mit genetischen Sonden, bestehend aus kurzen einzelsträngi­ gen, radioaktiv markierten DNA-Stückchen beaufschlagt, so lagern sich die Sonden an Fragmenten mit überein­ stimmender DNA-Sequenz an. Als radioaktive Isotope kommen vor allem Beta- und Gamma-Strahler wie ³²P, ³⁵S, ¹⁴C, ⁹⁹Tc in Betracht. Dadurch entsteht ein ein- oder zweidimensionales Feld von radioaktiv strahlenden Bereichen, das zum Zwecke der Auswertung in seiner geometrischen Intensitätsverteilung auszumessen ist. Ein weiteres Anwendungsgebiet ist die Radiodünnschicht­ chromatographie.

Bei einem bekannten Verfahren der eingangs angegebenen Art wird zunächst ein auf die Meßfläche aufgelegter Film über die radioaktive Energiestrahlung belichtet, entwickelt und sodann mit Hilfe eines Filmdensitometers hinsichtlich seiner Schwärzungsverteilung ausgewertet. Die Intenstität der von der Meßfläche emittierten Strah­ lung ist meist so gering, daß lange Belichtungszeiten von häufig mehreren Tagen notwendig sind, um eine aus­ wertbare Filmschwärzung zu erhalten. Da die genaue Strahlungsintensität nicht bekannt ist, kommt es häufig zu Unter- oder Überbelichtungen, die eine Auswertung erschweren oder unmöglich machen. Aufgrund der langen Belichtungszeiten kann es zusätzlich zu Störungen des Bildes durch die Umgebungsstrahlung kommen. Diese Feh­ ler wirken sich umso mehr aus, als die optische Dynamik des Filmmaterials relativ klein ist: Es können allen­ falls etwa 16 Graustufen ausgewertet werden.

Ausgehend hiervon liegt der Erfindung die Aufgabe zu­ grunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zu entwickeln, womit die Flächenverteilung einer schwachen, vorzugswei­ se radioaktiven Energiestrahlung in relativ kurzer Zeit mit hohem Auflösungsvermögen gemessen und ausgewertet werden kann.

Zur Lösung dieser Aufgabe werden die in den Ansprüchen 1 bzw. 11 angegebenen Merkmalskombinationen vorgeschla­ gen. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiter­ bildungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.

Die Erfindung geht von dem Gedanken aus, daß auch schwa­ che Flächensignale mit hoher Genauigkeit und geringer Meßzeit erfaßt werden können, wenn eine Mehrzahl Detek­ toren zur unmittelbaren Messung der von der Meßfläche emittierten Energiestrahlung verwendet werden. Um dies zu erreichen, wird gemäß der Erfindung vorgeschlagen, daß eine aus mehreren im Abstand voneinander angeordne­ ten, durch Blenden mit gleicher Blendenweite begrenzten und auf die Energiestrahlung ansprechenden Detektoren bestehende Detektorgruppe und die Meßfläche zwischen einzelnen Meßpositionen schrittweise um je eine der Blendenweite oder einem Vielfachen der Blendenweite entsprechende Strecke relativ zueinander bewegt und in den Meßpositionen während festgelegter Meßzeiten ange­ halten werden.

Um die von der Meßfläche emittierte Energiestrahlung möglichst quantitativ zu erfassen und dennoch eine berührungsfreie Bewegung zwischen Detektorgruppe und Meßfläche zu ermöglichen, wird gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung vorgeschlagen, daß die Detektorgruppe und die Meßfläche in den Meßpositionen zur gegenseitigen Anlage gebracht und jeweils vor dem Auslösen der Bewegungsschritte voneinander abgehoben werden.

Eine flächendeckende Abtastung der Meßfläche wird da­ durch erreicht, daß die Detektorgruppe und die Meßflä­ che abwechselnd z-1 Schritte über eine Strecke w sowie einen Schritt über eine Strecke (nz-z+1)w relativ zueinander in die einzelnen Meßpositionen bewegt wer­ den, wobei n die Anzahl der Detektoren der Detektor­ gruppe und w die Blendenweite in Bewegungsrichtung sowie z eine den Abstand d zwischen zwei benachbarten Detektoren definierende ganze Zahl bezogen auf die Blendenweite w bedeuten.

Für die flächendeckende Erfassung der Meßwerte wird gemäß der Erfindung weiter vorgeschlagen, daß die De­ tektorgruppe und die Meßfläche in zwei vorzugsweise zueinander senkrechte Bewegungsrichtungen relativ zu­ einander schrittweise in die Meßpositionen bewegt wer­ den. Wenn die Detektorgruppe darüber hinaus aus mehre­ ren im Abstand voneinander angeordneten Detektorreihen besteht, ist es vorteilhäft, wenn die Detektorgruppe und die Meßfläche beim Reihenwechsel abwechselnd z′-1 Schritte über die Strecke b sowie einen Schritt über die Strecke (mz′-; z′+1)b gegeneinander bewegt werden, wobei m die Anzahl der Detektorreihen der Detektorgrup­ pe und b die Blendenbreite sowie z′ eine den Abstand d′ zwischen zwei Detektorreihen definierende ganze Zahl bezogen auf die Blendenbreite b bedeuten.

Zur Erleichterung der Auswertung der Meßergebnisse mit Hilfe einer Datenverarbeitungsanlage werden die von den Detektoren erfaßten Strahlungsmeßwerte in den einzelnen Meßpositionen zugeordnete Datenspeicher abgespeichert.

Da nicht auszuschließen ist, daß die einzelnen Detekto­ ren der Detektorgruppe gegenüber der ankommenden Ener­ giestrahlung eine unterschiedliche Empfindlichkeit aufweisen, wird gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung vorgeschlagen, daß die einzelnen (zur Auswertung gelangenden) Meßpositionen auf der Meßfläche von allen Detektoren der Detektorgruppe über gleiche Meßzeiten abgetastet werden und daß die von den verschie­ denen Detektoren in gleichen Meßpositionen erfaßten Meßergebnisse in den zugeordneten Datenspeichern auf­ summiert werden. Die unterschiedliche Empfindlichkeit der Detektoren wird dadurch kompensiert. Da die Aufent­ haltsdauer jedes einzelnen Detektors an den Meßpositio­ nen nur einen der Anzahl dar vorhandenen Detektoren entsprechenden Bruchteil der notwendigen Meßzeit beträgt, wird die gesamte Auswertedauer hierdurch nicht oder nur unwesentlich erhöht.

Im Falle der radioaktiven Energiestrahlung löst jedes vom Detektor erfaßte Zerfallsereignis ein Signal aus, das verstärkt, umgeformt und gezählt werden kann, so daß die in einer vorgegebenen Meßzeit auflaufenden Zählwerte als Meßwerte abgespeichert werden können. Die so erfaßten Meßwerte können innerhalb einer vorgegebe­ nen Farb- oder Grauskala nach Maßgabe des höchsten vorkommenden Meßwerts skaliert, in Farb- oder Grauwerte umgesetzt und auf einem Farb- oder Monochrombildschirm in zweidimensionaler Anordnung dargestellt werden. Grundsätzlich ist auch eine eindimensionale Darstellung nach Zeilen und Spalten oder eine pseudo-dreidimensiona­ le Darstellung der Meßwerte auf dem Bildschirm möglich.

Die Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens weist eine Detektorgruppe auf, die aus mehreren im Abstand voneinander angeordneten, durch Blenden begrenzten Detektoren besteht und in mindestens einer Bewegungsrichtung relativ zur Meßfläche zwischen einzelnen Meßpositionen schrittweise um je eine der Blendenweite oder einem Vielfachen der Blendenweite entsprechende Strecke bewegbar und in den Meßpositionen während festgelegter Meßzeiten anhaltbar ist. Zweckmäßig weisen die einander benachbarten Detektoren der Detek­ torgruppe in mindestens einer Bewegungsrichtung jeweils den gleichen Abstand voneinander auf.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsge­ mäßen Vorrichtung sind die Detektorgruppe und die Meß­ fläche in ihrer gegenseitigen Bewegungslage unter Frei­ lassung eines Zwischenraums voneinander abhebbar und in den Meßpositionen bis zur gegenseitigen Anlage senkrecht zueinander verschiebbar.

Die Detektorgruppe ist vorteilhafterweise in einem gegenüber der feststehenden Meßfläche bewegbaren Meß­ kopf angeordnet. Um eine Anpassung an unterschiedliche Genauigkeitsansprüche und/oder Flächenaktivitäten der Energiestrahlung zu ermöglichen, wird gemäß einer vor­ teilhaften Ausgestaltung der Erfindung vorgeschlagen, daß die Blendenweite und/oder Blendenbreite aller Detektoren gemeinsam verstellbar sind. Die Blende kann dabei aus einem feststehenden Blendenteil und einem gegenüber diesem verschiebbaren Blendenteil bestehen, wobei der verschiebbare Blendenteil unter gleichzeiti­ ger Verstellung der Blendenweite und Blendenbreite schräg zum feststehenden Blendenteil verschiebbar ist.

Die Blendenverstellung kann entweder motorisch oder mittels eines Piezo-Aktuators ferngesteuert erfolgen.

Die Probe mit der auszumessenden Meßfläche ist vorzugs­ weise lösbar auf einem Meßtisch befestigbar. Wenn der Meßtisch eine vorzugsweise aus Glas bestehende, licht­ durchlässige Arbeitsplatte aufweist, kann der Meßkopf zusätzlich mit einem Fotodetektor bestückt werden, während auf der dem Meßkopf gegenüberliegenden Seite des Meßtisches eine mit dem Meßkopf mitbewegte, vorzugs­ weise als Laserdiode ausgebildete Punktlichtquelle angeordnet werden kann. Damit ist es möglich, die Meß­ vorrichtung wahlweise als Fotodensitometer zu betreiben.

Jedem Detektor der Detektorgruppe ist gemäß einer ersten Alternative der Erfindung eine eigene Auswerte­ elektronik zugeordnet. Da die Frequenz der Zerfallser­ eignisse bei vielen Anwendungsfällen relativ niedrig ist, ist es grundsätzlich jedoch auch möglich, die Detektoren der Detektorgruppe über einen Multiplexer mit einer gemeinsamen Auswerteelektronik zu verbinden. Die Detektoren der Detektorgruppe können auf einem gemeinsamen Träger, vorzugsweise einem Halbleitersub­ strat integriert werden. Mit dieser Maßnahme läßt sich besser als bei unabhängig voneinander hergestellten Detektoren eine annähernd gleiche Ansprechempfindlich­ keit erzielen. Eine weitere Verbesserung in dieser Hinsicht kann dadurch erreicht werden, daß die den Detektoren zugeordnete Auswerteelektronik auf einem gemeinsamen Träger, vorzugsweise einem Halbleitersub­ strat integriert ist. Die Blende kann in Form einer Maske, die in der Meßposition zugleich als Abstandshal­ ter zwischen Meßfläche und Detektoroberfläche dient, vor den Detektoren angeordnet werden.

Die zweckmäßig beta- und/oder gammastrahlungsempfind­ lichen Detektoren weisen vorteilhafterweise Cadmiumte­ lurid als Detektormaterial auf. Grundsätzlich können die Detektoren auch als Silizium-Pin-Dioden gegebenen­ falls in Kombination mit einen Szintillator, der die ankommende radioaktive Energiestrahlung in Lichtpulse umsetzt, ausgebildet werden.

Zur Beschleunigung des Abtastvorganges kann es von Vorteil sein, wenn die Abtastfläche im Zuge eines Such­ laufs auf die aktiven Bereiche des Meßtischs begrenzt wird. Hierzu ist es vorteilhaft, wenn die Detektorgrup­ pe mindestens einen Suchlaufdetektor mit gegenüber den übrigen Detektoren vergrößerter Blendenfläche aufweist.

Im folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen

Fig. 1 ein Schema einer Meßanordnung mit ebenem Meß­ tisch und zweidimensional verfahrbarem Meßkopf mit einreihiger Detektorgruppe;

Fig. 1a eine Draufsicht auf einen Meßkopf mit zweireihi­ ger Detektorgruppe;

Fig. 2 einen Schnitt durch den Meßkopf;

Fig. 3 eine verstellbare Blende für den Meßkopf;

Fig. 4 ein Blockschaltbild der Auswerte- und Steue­ rungsschaltung des Meßkopfes.

Die in der Zeichnung schematisch dargestellte Meßanord­ nung ist zur Messung der Flächenverteilung einer von einer Meßfläche emittierten radioaktiven Energiestrah­ lung bestimmt. Der Meßkopf 10 ist in zwei zueinander senkrechten Richtungen x und y über einen parallel zur Zeichenebene verlaufenden, die Meßfläche 11 tragenden Meßtisch 12 schrittweise verfahrbar. Im Falle des in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiels weist der Meßkopf eine Detektorgruppe 14 mit einer Reihe Detektoren 16 auf, die durch in y-Richtung in gleichem Abstand d voneinander angeordnete Rechteckblenden 1B der Weite w und der Breite b begrenzt sind. Die auf Beta- oder Gamma-Strahlung ansprechenden Detektoren bestehen vorzugsweise aus Cadmiumtelurid oder aus Silizium-Pin- Dioden, die an ihrem Ausgang mit einer Auswerteelektro­ nik 20 verbunden sind. Die Auswerteelektronik 20 befin­ det sich jeweils auf einer Platine 22, an deren Stirn­ seite der Detektor 16 angeordnet ist.

Wie aus Fig. 4 zu ersehen ist, besteht die Auswerte­ elektronik 20 im wesentlichen aus einem an den Ausgang des Detektors 16 angeschlossenen rauscharmen Vorverstär­ ker, einem mit dem Ausgangssignal des Vorverstärkers 24 beaufschlagten Hauptverstärker und Impulsformer 26, einem Amplituden- oder Fensterdiskriminator 28 und einem Digitalzähler 30, in welchem die vom Detektor in einer Meßposition erfaßten Zerfallsereignisse aufaddiert werden.

Die Zählergebnisse einer jeden Meßposition werden nach Abschluß einer vorgegebenen Meßzeit von einem beispiels­ weise als PC ausgebildeten Rechner abgerufen und in je einem den Meßpositionen zugeordneten Digitalspeicher 33 abgelegt. Eine Auswertesoftware ermöglicht eine Spuren­ auswertung, Flächenauswertung oder 3D-Auswertung der den Meßpositionen zugeordneten Meßwerte und eine ent­ sprechende Darstellung auf einem Bildschirm 34 oder in einem Ausdruck. Zu diesem Zweck können die Meßwerte beispielsweise innerhalb einer vorgegebenen Farb- oder Grauskala nach Maßgabe eines höchsten vorhandenen Meßwerts skaliert und auf einem Farb- oder Monochrom­ bildschirm 34 dargestellt werden.

Der Bewegungsablauf des Meßkopfes in x- und y-Richtung wird ebenfalls rechnergesteuert durchgeführt. Zu diesem Zweck werden die Motoren 38′,38′′ für die x- und y- Positionierung des Meßkopfes 10 über je eine mit dem Rechner verbundene Positionierelektronik 40 und eine Motorleistungsstufe 42 angesteuert. Ein Positionsgeber 44 ermöglicht eine exakte Positionierung des Meßkopfes in den einzelnen Meßpositionen nach Maßgabe eines vom Rechner vorgegebenen Positionssollwerts. In den Meßposi­ tionen wird der Meßkopf rechnergesteuert über eine Leistungselektronik 46 und einen Hubmagneten 48 auf die Meßfläche 11 abgesenkt und während des Bewegungsvorgangs von dieser abgehoben.

Bei dem in Fig. 1a gezeigten Ausführungsbeispiel weist die Detektorgruppe 2 im Abstand voneinander angeordnete Detektorreihen auf, deren im Querschnitt rechteckige Blenden 18 in x-Richtung einen Abstand d′ und in y- Richtung einen Abstand d voneinander aufweisen. Je kleiner die Blendenöffnung b w ist, umso größer ist die Auflösung und die für die Messung notwendige Abtastzeit.

Mit der in Fig. 3 gezeigten verstellbaren Blende ist eine programmgesteuerte Anpassung der Blendenfläche 18 an die Aktivität der auszuwertenden Meßfläche 11 mög­ lich. Sie besteht zweckmäßig aus einer mit dem Gehäuse des Meßkopfes starr verbundenen Festblende 50 und einer gegenüber dieser in x- und y-Richtung beliebig verschieb­ baren Verschiebeblende 52, die je nach Verschiebelage einander teilweise unter Freilassung der Blendenöffnung 18 überlappende Rechtecköffnungen 54, 56 aufweisen. Der Antrieb der Verschiebeblende 52 kann entweder motorisch oder mit Hilfe eines Piezo-Aktuators rechnergesteuert erfolgen.

Bei der Ausführung einer Messung wird zunächst über den Rechner die abzutastende Meßfläche 11 nach x- und y- Koordinaten vorgegeben und der Meßkopf 10 in einer Nullage bezüglich der Meßfläche justiert. Sodann wird die Detektorgruppe 14 rechnergesteuert schrittweise an die einzelnen Meßpositionen verfahren und zwar zunächst schrittweise im Abstand der Blendenweite w in y-Richtung zur Überbrückung der zwischen benachbarten Blenden 18 der Detektorgruppe 14 befindlichen Lücke. Zur Vermeidung von Doppelmessungen beträgt der Abstand d zwischen zwei Blenden in y-Richtung

d = z · w (1)

wobei z eine ganze Zahl bedeutet. Dementsprechend wird die Detektorgruppe zunächst z-1 Schritte im Abstand der Blendenweite w verschoben. Sodann wird die gesamte Detektorgruppe um einen Schritt

l = (nz - z + 1)w (2)

in y-Richtung vorgesetzt, um eine neue Gruppe von Meß­ positionen in Schritten von w zu erfassen.

Am Ende einer y-Reihe wird der gesamte Meßkopf 10 um die Blendenbreite b in x-Richtung versetzt und eine neue Reihe in entgegengesetzter y-Richtung in der vorbeschriebenen Weise schrittweise durchlaufen. Die mäanderartige Abtastung wird mehrfach wiederholt, bis die gesamte Meßfläche 11 erfaßt ist.

Bei Vorliegen einer mehrreihigen Detektorgruppe entspre­ chend Fig. 1a wird auch in x-Richtung ein Abtastschema eingehalten, bei dem der Reihenwechsel in z-1 Schrit­ ten im Maß der Blendenbreite b erfolgt und im Anschluß daran jeweils ein größerer x-Schritt

l′ = (mz′ - z′ + 1)b (3)

ausgeführt wird und zwar abwechselnd so lange, bis die gesamte Meßfläche 11 abgetastet ist.

Alternativ hierzu kann eine Abtaststrategie vorgesehen werden, bei der die einzelnen Meßpostionen auf der Meßfläche 11 von allen Detektoren 16 der Detektorgruppe 14 über gleiche Meßzeiten abgetastet werden, wobei die von verschiedenen Detektoren in gleichen Meßpositionen erfaßten Meßergebnisse in den zugeordneten Datenspei­ chern 33 aufsummiert werden. Die Meßzeit in den einzel­ nen Meßpositionen beträgt dann nur einen der Anzahl n m der Detektoren innerhalb der Detektorgruppe entsprechen­ den Bruchteil der Gesamtmeßzeit in jeder Meßposition. Mit dieser Abtaststrategie wird eine eventuell vorhan­ dene unterschiedliche Meßempfindlichkeit der einzelnen Detektoren der Detektorgruppe kompensiert.

Claims (40)

1. Verfahren zur Messung der Flächenverteilung einer von einer Meßfläche emittierten oder durchgelasse­ nen, vorzugsweise radioaktiven Energiestrahlung, dadurch gekennzeichnet, daß eine aus mehreren im Abstand (d) voneinander angeordneten, durch Blen­ den mit gleicher Blendenweite begrenzten und auf die Energiestrahlung ansprechenden Detektoren bestehende Detektorgruppe und die Meßfläche zwi­ schen einzelnen Meßpositionen schrittweise um je eine der Blendenweite (w) oder einem Vielfachen der Blendenweite entsprechende Strecke relativ zueinander bewegt und in den Meßpositionen wäh­ rend festgelegter Meßzeiten angehalten werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Detektorgruppe und die Meßfläche in den Meßpositionen zur gegenseitigen Anlage gebracht und jeweils vor dem Auslösen der Bewegungsschrit­ te voneinander abgehoben werden.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Detektorgruppe und die Meßflä­ che abwechselnd z-1 Schritte über eine Strecke w sowie einen Schritt über eine Strecke (nz-z+1)w relativ zueinander in die einzelnen Meßpositionen bewegt werden, wobei n die Anzahl der Detektoren der Detektorgruppe und w die Blendenweite in Bewegungsrichtung sowie z eine den Abstand d zwischen zwei benachbarten Detektoren definieren­ de ganze Zahl bezogen auf die Blendenweite w bedeuten.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da­ durch gekennzeichnet, daß die Detektorgruppe und die Meßfläche in zwei vorzugsweise zueinander senkrechten Bewegungsrichtungen relativ zueinan­ der schrittweise in die Meßpositionen bewegt werden.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, da­ durch gekennzeichnet, daß die aus mehreren im Abstand voneinander angeordneten Detektorreihen zusammengesetzte Detektorgruppe und die Meßflä­ che beim Reihenwechsel abwechselnd z′-1 Schritte über die Strecke b sowie einen Schritt über die Strecke (mz-z′+1)b gegeneinander bewegt werden, wobei m die Anzahl der Detektorreihen der Detek­ torgruppe und b die Blendenbreite sowie z, eine den Abstand d′ zwischen zwei Detektorreihen de­ finierende ganze Zahl bezogen auf die Blendenbrei­ te b bedeuten.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­ durch gekennzeichnet, daß die von den Detektoren erfaßten Strahlungsmeßwerte in den einzelnen Meßpositionen zugeordneten Datenspeichern abgespei­ chert werden.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeich­ net, daß die einzelnen Meßpositionen auf der Meßfläche von allen Detektoren der Detektorgruppe über gleiche Meßzeiten abgetastet werden und daß die von verschiedenen Detektoren in gleichen Meßpositionen erfaßten Meßergebnisse in den zuge­ ordneten Datenspeichern aufsummiert werden.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, da­ durch gekennzeichnet, daß die an den Detektoren abgreifbaren Signale verstärkt, umgeformt und gezählt werden und daß die in der festgelegten Meßzeit auflaufenden Zählwerte als Meßwerte abge­ speichert werden.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, da­ durch gekennzeichnet, daß die Meßwerte innerhalb einer vorgegebenen Farb- oder Grauskala nach Maßgabe des höchsten vorkommenden Meßwerts ska­ liert, in Farb- oder Grauwerte umgesetzt und auf einem Farb- oder Monochrombildschirm in zweidimen­ sionaler Anordnung dargestellt werden.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da­ durch gekennzeichnet, daß die zuvor festgelegte Meßzeit auf die bei vorzeitigem Erreichen eines vorgegebenen Zählhöchstwerts abgelaufene niedri­ gere Meßzeit neu festgelegt wird und die zuvor bereits erfaßten Zählwerte im Verhältnis der Meßzeiten korrigiert werden.

11. Vorrichtung zur Messung der Flächenverteilung einer von einer Meßfläche emittierten oder durch­ gelassenen, vorzugsweise radioaktiven Energie­ strahlung, gekennzeichnet durch eine Detektor­ gruppe (14), die aus mehreren im Abstand vonein­ ander angeordneten, auf die Energiestrahlung ansprechenden Detektoren (16) besteht und in mindestens einer Bewegungsrichtung (x, y) relativ zur Meßfläche (11) zwischen einzelnen Meßpositio­ nen schrittweise um je eine der Blendenweite bzw. -breite (w, b) oder einem Vielfachen der Blenden­ weite bzw. -breite entsprechende Strecke bewegbar und in den Meßpositionen während festgelegter Meßzeiten anhaltbar ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich­ net, daß die einander benachbarten Detektoren (16) der Detektorengruppe (14) in mindestens einer Bewegungsrichtung jeweils den gleichen Abstand (d, d′) voneinander aufweisen.

13. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektorgruppe (14) und die Meßfläche (11) in ihrer gegenseitigen Bewe­ gungslage unter Freilassung eines Zwischenraums voneinander abhebbar und in den Meßpositionen bis zur gegenseitigen Anlage senkrecht zueinander verschiebbar sind.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß der gegenseitige Abstand d der Detektoren in Bewegungsrichtung (y) ein ganzzahliges Vielfaches z der Blendenweite w beträgt.

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich­ net, daß die Detektorgruppe (14) in Bewegungsrich­ tung (y) n Detektoren (16) aufweist, und daß die Detektorgruppe (14) und die Meßfläche (11) abwech­ selnd z-1 Schritte über die Strecke w und einen Schritt über die Strecke (nz-z+1)w gegeneinander bewegbar sind.

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Meßposition ein Datenspeicher (33) zur Abspeicherung des vom zugehörigen Detektor (16) erfaßten Meßwerts zuge­ ordnet ist.

17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeich­ net, daß die Meßpositionen auf der Meßfläche von allen Detektoren (16) der Detektorgruppe (14) über festgelegte Meßzeiten abtastbar sind, und daß die von verschiedenen Detektoren (16) in gleichen Meßpositionen erfaßten Meßergebnisse in den zugehörigen Datenspeichern (33) aufaddierbar sind.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfläche (11) und die Detektorgruppe (14) in zwei vorzugsweise zueinander senkrechten Bewegungsrichtungen (x, y) relativ zueinander bewegbar sind.

19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeich­ net, daß die Detektorgruppe (14) eine Reihe Detek­ toren (16) mit einer Blendenbreite b aufweist und daß die Meßfläche (11) im Abstand der Blendenbrei­ te b der Detektoren (16) reihenweise abtastbar ist.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektorgruppe (14) m Reihen mit jeweils n Detektoren (16) in matrixartiger Anordnung aufweist.

21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeich­ net, daß der gegenseitige Abstand d′ der Detek­ torreihen ein ganzzahliges Vielfaches z′ der Blendenbreite b beträgt.

22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeich­ net, daß die Detektorgruppe (14) und die Meßflä­ che (11) beim Reihenwechsel abwechselnd z-1 Schritte über die Strecke b und einen Schritt über die Strecke (nz′-z′+1) b gegeneinander beweg­ bar sind.

23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektorgruppe (14) in einem gegenüber der feststehenden Meßflä­ che (11) bewegbaren Meßkopf (10) angeordnet ist.

24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Blendenweite w und/oder die Blendenbreite b aller Detektoren (16) gemeinsam verstellbar sind.

25. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeich­ net, daß die Blende aus einem feststehenden Blen­ denteil (50) und einem gegenüber diesem verschieb­ baren Blendenteil (52) besteht.

26. Vorrichtung nach Anspruch 25, dadurch gekennzeich­ net, daß der verschiebbare Blendenteil (52) unter gleichzeitiger Verstellung der Blendenweite (w) und Blendenbreite (b) schräg zum feststehenden Blendenteil (50) verschiebbar ist.

27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 24 bis 26, gekennzeichnet durch einen fernsteuerbaren, vor­ zugsweise piezoelektrischen Aktuator zur Blenden­ verstellung.

28. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 27, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßfläche (11) lösbar auf einem Meßtisch (12) befestigbar ist.

29. Vorrichtung nach Anspruch 28, dadurch gekennzeich­ net, daß der Meßtisch (12) eine vorzugsweise aus Glas bestehende Arbeitsplatte aufweist.

30. Vorrichtung nach Anspruch 29, dadurch gekennzeich­ net, daß der Meßkopf (10) zusätzlich einen vorzugs­ weise als Fotodiode ausgebildeten Fotodetektor trägt, und daß auf der dem Meßkopf gegenüberlie­ genden Seite des lichtdurchlässigen Meßtisches (12) eine mit dem Meßkopf mitbewegte, vorzugswei­ se als Laserdiode ausgebildete Punktlichtquelle angeordnet ist.

31. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 30, dadurch gekennzeichnet, daß jedem Detektor (16) der Detektorgruppe (14) eine Auswerteelektronik (20) zugeordnet ist.

32. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 30, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoren (16) der Detektorgruppe (14) über einen Multiplexer mit einer gemeinsamen Auswerteelektronik verbun­ den sind.

33. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 32, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoren (16) der Detektorgruppe auf einem gemeinsamen Träger, vorzugsweise einem Halbleitersubstrat integriert sind.

34. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 31 bis 33, dadurch gekennzeichnet, daß die den Detektoren (16) zugeordneten Auswertelektroniken auf einem gemeinsamen Träger, vorzugsweise einem Halbleiter­ substrat integriert ist.

35. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 34, dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden (18) in Form einer Maske vor den Detektoren (16) angeord­ net sind.

36. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 35, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoren (16) Cadmiumtelurid als Detektormaterial aufweisen.

37. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 36, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoren (16) als Silizium-Pin-Dioden mit dünner Schutzschicht ausgebildet sind.

38. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 37, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßwerte der einzelnen Meßpositionen in Farbwerte oder Grau­ werte umsetzbar und in zweidimensionaler Anord­ nung auf einem Farb- oder Monochrombildschirm (34) darstellbar sind.

39. Vorrichtung nach Anspruch 38, dadurch gekennzeich­ net, daß die Meßwerte innerhalb einer vorgegebe­ nen Farb- oder Grauskala nach Maßgabe eines höch­ sten vorhandenen Meßwerts skalierbar sind.

40. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 39, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektorgruppe (14) mindestens einen Suchlaufdetektor mit gegen­ über den übrigen Detektoren (16) vergrößerter Blendenfläche aufweist.