DE3937641A1 - Drucksensor - Google Patents
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- G01L9/08—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of piezoelectric devices, i.e. electric circuits therefor
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Description
Die Erfindung betrifft einen Drucksensor gemäß dem Ober
begriff des Patentanspruches 1.
Es ist bereits ein gattungsgemäßer Drucksensor bekannt
(DE 35 38 453 A1), wonach mittels einer Druckfühleinrich
tung der Druck durch Anwendung des piezoresistiven Ef
fektes gemessen wird. Dabei werden
Piezowiderstandselemente so angebracht, daß sie sich bei
einer Beaufschlagung mit Druck deformieren. Durch eine
Brückenschaltung werden mehrere Piezowiderstandselemente
verbunden und aus der sich in der Brückenschaltung erge
benden elektrischen Spannung kann der wirkende Druck be
stimmt werden. Eine Temperaturkompensation erfolgt dabei,
indem Temperaturkompensationselemente zwischen die
Eingangs- und/oder Ausgangsklemmen der Brückenschaltung
geschaltet werden, wobei die Temperaturkompensationsele
mente einen solchen Temperaturkoeffizienten aufweisen, daß
der Temperaturkoeffizient der Brückenschaltung gerade
kompensiert wird.
Des weiteren ist es bekannt (DE 36 16 308 A1) den Druck
durch Anwendung des piezoresistiven Effektes zu messen,
wobei vorgeschlagen wird, eine gesonderte Messung der
Temperatur durchzuführen; allerdings werden keine Angaben
zur Durchführung einer Temperaturkompensation gemacht.
Bei den bisher bekannten Drucksensoren ergeben sich Nach
teile dahin gehend, daß eine Temperaturkompensation nur
erfolgen kann, wenn die Kennlinien der Temperaturabhän
gigkeit des zu messenden Piezo-Effektes der Elemente des
Sensors bekannt sind und zur Temperaturkompensation aus
gewertet werden. Die Messung und die anschließende Aus
wertung dieser Kennlinien ist aufwendig und stellt eine
Fehlerquelle bei der Bestimmung des zu messenden Druckes
dar.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Temperaturkompensation
bei einem Drucksensor durchzuführen, bei dem der Druck
aufgrund des piezoelektrischen Effektes gemessen wird,
wobei die Temperaturkompensation durch einen Temperatur
kompensationselementarsensor durchgeführt werden soll,
ohne daß die Abhängigkeit der elektrischen Spannung eines
Piezoelementes als Arbeitselementarsensor von der Tempe
ratur explizit bekannt sein muß.
Diese Aufgabe wird bei einem gattungsgemäßen Drucksensor
erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des An
spruchs 1 gelöst, wobei die Merkmale der Unteransprüche
vorteilhafte Aus- und Weiterbildungen kennzeichnen.
Vorteile der Erfindung gegenüber dem bekannten Stand der
Technik bestehen insbesondere darin, daß bei einer starken
Änderung der Temperatur in dem Volumen, in dem der Druck
gemessen werden soll, durch die erfindungsgemäße Verwen
dung des Temperaturkompensationselementarsensors ein Si
gnal zur Verfügung steht, das unmittelbar den Druck in dem
Volumen darstellt. Der erfindungsgemäße Drucksensor ist
somit in besonders vorteilhafter Weise für die Messung des
Druckes in dem Brennraum eines Zylinders einer Brenn
kraftmaschine geeignet.
Weist ein Kristall piezoelektrische Eigenschaften auf, so
bedeutet dies, daß bei einer mechanischen Beanspruchung
(Zug bzw. Druck) zwischen seinen Endflächen eine elek
trische Spannung auftritt. Umgekehrt ändert ein solcher
Kristall seine Längenausdehnung, wenn an seine Endflächen
eine elektrische Spannung angelegt wird. An diesen Kri
stallen tritt außerdem eine als Pyroelektrizität bezeich
nete Eigenschaft auf. Als Pyroelektrizität wird dabei be
zeichnet, daß sich die zwischen den Endflächen auftretende
elektrische Spannung mit der Temperatur ändert. Diese
Änderung beruht einerseits darauf, daß sich mit der Tem
peratur die Längenausdehnung des Kristalls ändert, wobei
die Änderung der elektrischen Spannung auf der Piezoelek
trizität beruht und daß sich andererseits die permanent
vorhandene elektrische Polarisation mit der Temperatur
ändert und somit zu einer Änderung der elektrischen Span
nung zwischen den Endflächen des Kristalls führt.
Bei dem erfindungsgemäßen Drucksensor erfolgt eine Tempe
raturkompensation derart, daß ein Arbeitselementarsensor
sowohl dem zu messenden Druck als auch der Temperatur
ausgesetzt wird, die an dem Ort des zu messenden Druckes
vorliegt, und daß ein Temperaturkompensationselementar
sensor einem Druckreferenzwert und der Temperatur ausge
setzt wird, die an dem Ort des zu messenden Druckes vor
liegt. Der Temperaturkompensationselementarsensor besteht
dabei aus demselben Material, um zu gewährleisten, daß bei
dem Temperaturkompensationselementarsensor eine identische
Änderung der elektrischen Spannung mit der Temperatur ge
schieht wie bei dem Arbeitselementarsensor. Der Tempera
turkompensationselementarsensor weist in einer besonders
vorteilhaften Ausführungsform auch dieselbe Form wie der
Arbeitselementarsensor auf. In einem Subtraktionsglied
wird die elektrische Spannung des Temperaturkompensati
onselementarsensors von der elektrischen Spannung des Ar
beitselementarsensors abgezogen, so daß das resultierende
Ausgangssignal unmittelbar den zu messenden Druck reprä
sentiert.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung
schematisch dargestellt und wird im folgenden näher be
schrieben. Es zeigen:
Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel eines
erfindungsgemäßen Drucksensors als Klopfsensor für
eine Brennkraftmaschine,
Fig. 2 ein zweites Ausführungsbeispiel eines
erfindungsgemäßen Drucksensors als Klopfsensor für
eine Brennkraftmaschine und
Fig. 3 ein Ausführungsbeispiel einer elektrischen Schal
tung zur Auswertung der Ausgangssignale eines Ar
beitselementarsensors und eines Temperaturkompen
sationselementarsensors.
Wie aus Fig. 1 ersichtlich, werden zwei ringförmige
Piezoelemente 1.1 und 1.2 in Verbindung mit mehreren
Ringen 1.6, 1.7 und 1.8 aus elektrisch leitendem Material
sowie einer elektrisch isolierenden Schicht 1.10, die in
einer vorteilhaften Ausführungsform eine schlechte Wärme
leitfähigkeit aufweist, als Unterlegscheiben einer
Schraube 1.3 mit der Außenseite 1.4.1 einer ein Vo
lumen 1.5 begrenzenden Wand in Verbindung gebracht, wobei
der Druck in dem Volumen 1.5 bestimmt werden soll. Die
Piezoelemente 1.1 und 1.2 bestehen dabei aus demselben
Material und weisen in einer besonders vorteilhaften Aus
führungsform auch dieselbe geometrische Form und dieselbe
Größe auf, so daß kein weiterer Abgleich bei der Subtrak
tion der elektrischen Spannungen notwendig ist, um die den
Druck repräsentierende elektrische Spannung zu erhalten.
Haben die beiden Piezoelemente 1.1 und 1.2 unterschied
liche Größen, müssen zunächst die abgegriffenen Spannungen
auf die mittels der pyroelektrischen und piezoelektrischen
Konstanten auf die entsprechenden Größen der beiden
Piezoelemente 1.1 und 1.2 zurückbezogen werden. Die beiden
Piezoelemente 1.1 und 1.2 sind dabei so angebracht, daß
die sich gegenüber liegenden Endflächen 1.1.2 und 1.2.1
der Piezoelemente 1.1 und 1.2 bezogen auf die jeweils zu
gehörige andere Endfläche 1.1.1 und 1.2.2 bei einer Tem
peraturänderung dasselbe Potential aufweisen. Wenn die
Endfläche 1.1.2 des Piezoelementes 1.1 also bei einer
Temperaturänderung gegenüber der Endfläche 1.1.1 ein
niedrigeres Potential einnimmt, muß auch die Endflä
che 1.2.1 des Piezoelementes 1.2 bei derselben Tempera
turänderung ein niedrigeres Potential gegenüber der End
fläche 1.2.2 aufweisen. Das Piezoelement 1.1 stellt dabei
den Arbeitselementarsensor des Drucksensors dar, während
das Piezoelement 1.2 den Temperaturkompensationselemen
tarsensor des Drucksensors darstellt. Die beiden
Piezoelemente 1.1 und 1.2 sind durch mehrere
Ringe 1.6, 1.7 und 1.8 eingebunden, wobei diese
Ringe 1.6, 1.7 und 1.8 elektrisch leitend sind und wobei
zwischen den Ringen 1.6 und 1.7 eine elektrisch isolie
rende Schicht 1.9 eingebracht ist. Dadurch wird verhin
dert, daß ein elektrischer Kurzschluß zwischen den beiden
Endflächen 1.1.1 und 1.1.2 des Piezoelementes 1.1
auftritt. Ein elektrischer Kurzschluß zwischen den beiden
Endflächen 1.2.1 und 1.2.2 des Piezoelementes 1.2 wird
dadurch verhindert, daß die Endfläche 1.2.2 des
Piezoelementes 1.2 keine elektrisch leitende Verbindung zu
dem Ring 1.8 aufweist. In dem in Fig. 1 dargestellten
Ausführungsbeispiel können die Ringe 1.7 und 1.8 zu einem
Ring zusammengefaßt werden, allerdings ist der
erfindungsgemäße Drucksensor leichter zu fertigen bei ge
trennten Ringen 1.7 und 1.8. Die Piezoelemente 1.1 und 1.2
sowie die Ringe 1.6, 1.7 und 1.8 sind dabei von einer
elektrisch isolierenden Schicht 1.10 umgeben, die in einer
vorteilhaften Ausführungsform eine schlechte Wärmeleitfä
higkeit aufweist. Durch diese schlechte Wärmeleitfähigkeit
der elektrisch isolierenden Schicht 1.10 erfährt das als
Arbeitselementarsensor verwendete Piezoelement 1.2 eine
geringere Temperaturschwankung als bei einer guten Wärme
leitfähigkeit der elektrisch isolierenden Schicht 1.10, so
daß auch nur diese geringeren Temperaturschwankungen kom
pensiert werden müssen. Der Kopf 1.3.1 der Schraube 1.3
und die Außenseite 1.4.1 der das Volumen 1.5 begrenzenden
Wand bewirken, daß die elektrisch isolierende Schicht 1.10
sowie die Ringe 1.6, 1.7 und 1.8 kraftschlüssig verbunden
sind. Das Piezoelement 1.1 ist in direktem Kraftschluß
zwischen die beiden Ringe 1.6 und 1.7 eingebracht, während
das Piezoelement 1.2 keinen Kraftschluß mit dem Ring 1.8
aufweist. Dadurch ist gewährleistet, daß sich bei Druck
schwankungen in dem Volumen 1.5 ergebende Formänderungen
der Ringe 1.6, 1.7 und 1.8 direkt eine Längenänderung des
Piezoelementes 1.1 bewirken, während das Piezoelement 1.2
bei einer Formänderung des Ringes 1.7 in das freie Vo
lumen 1.11 ausweichen kann und somit keine Längenänderung
erfährt bei einer Druckschwankung in dem Volumen 1.5. Das
freie Volumen 1.11 kann mit einer Substanz ausgefüllt
werden, die elektrisch isolierend wirkt und eine geringe
Festigkeit aufweist. Die Ringe 1.6, 1.7 und 1.8 sowie die
elektrisch isolierende Schicht 1.10 weisen eine solche
Festigkeit auf, daß Druckschwankungen in dem Volumen 1.5
zu Formänderungen der elektrisch isolierenden Schicht 1.10
sowie der Ringe 1.6, 1.7 und 1.8 führen, die sich dann auf
das Piezoelement 1.1 übertragen. Gleichzeitig weisen die
Ringe 1.6, 1.8 und insbesondere der Ring 1.7 eine gute
Wärmeleitfähigkeit auf, so daß die Änderung der elek
trischen Spannung zwischen den Endflächen 1.1.1 und 1.1.2
des Piezoelementes 1.1 bei einer Änderung der Temperatur
in dem Volumen 1.5 gleich der Änderung der elektrischen
Spannung zwischen den Endflächen 1.2.1 und 1.2.2 des
Piezoelementes 1.2 bei derselben Änderung der Temperatur
in dem Volumen 1.5 ist. Die elektrischen Spannungen zwi
schen den Endflächen 1.1.1 und 1.1.2 sowie 1.2.1 und 1.2.2
der Piezoelemente 1.1 und 1.2 werden in dem Ausführungs
beispiel der Fig. 1 durch ein zweiadriges, isoliertes und
abgeschirmtes Kabel 1.12 abgegriffen. Dabei wird die Ab
schirmung 1.12.1 des Kabels 1.12 mit dem Ring 1.7 elek
trisch leitend in Verbindung gebracht, die Ader 1.12.2 des
Kabels 1.12 wird mit dem Ring 1.6 elektrisch leitend in
Verbindung gebracht und die Ader 1.12.3 des Kabels 1.12
wird mit der Endfläche 1.2.2 des Piezoelementes 1.2 elek
trisch leitend in Verbindung gebracht. Durch die
elektrisch leitende Verbindung der Abschirmung 1.12.1 des
Kabels 1.12 mit dem Ring 1.7 ist somit ein gemeinsames
Bezugspotential der Piezoelemente 1.1 und 1.2 gegeben.
Gegenüber dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel
sind gemäß der Darstellung der Fig. 2 auch Variationen
dahin gehend möglich, daß die Ader 2.12.2 des Kabels 2.12
nicht mit dem Ring 2.6 elektrisch leitend verbunden wird,
sondern daß die Ader 2.12.2 des Kabels 2.12 elektrisch
leitend direkt mit der Endfläche 2.1.1 des
Piezoelementes 2.1 verbunden wird. In diesem Fall muß der
Ring 2.6 nicht elektrisch leitend sein. Ebenso können an
stelle der Abschirmung 1.12.1 des Kabels 1.12 zwei weitere
Adern 2.12.4 und 2.12.5 des Kabels 2.12 verwendet werden,
die direkt mit den Endflächen 2.1.2 bzw. 2.2.1 der
Piezoelemente 2.1 und 2.2 elektrisch leitend verbunden
werden. Die elektrische Spannung des als Arbeitselemen
tarsensor verwendeten Piezoelementes 2.1 wird somit durch
die Adern 2.12.2 und 2.12.4 des Kabels 2.12 abgegriffen,
während die elektrische Spannung des als Temperaturkom
pensationselementarsensors verwendeten Piezoelementes 2.2
durch die Adern 2.12.3 und 2.12.5 des Kabels 2.12 abge
griffen wird. In diesem Ausführungsbeispiel müssen die
Ringe 2.6, 2.7 und 2.8 nicht elektrisch leitend sein, wo
bei dann auch die in Fig. 1 dargestellte isolierende
Schicht 1.9 entfallen kann und wobei die isolierende
Schicht 2.10 dann auf die dem Gewinde der Schraube 2.3
zugewandte Innenfläche der Unterlegscheibe begrenzt werden
kann. Die in dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1
getroffenen Aussagen über die mechanische Festigkeit und
Wärmeleitfähigkeit der einzelnen Bauteile dieses
erfindungsgemäßen Drucksensors gelten analog auch für die
Bauteile des erfindungsgemäßen Drucksensors nach dem Aus
führungsbeispiel der Fig. 2.
Gemäß der Darstellung der Fig. 3 wird die elektrische
Spannung zwischen den Endflächen 1.1.1 und 1.1.2
bzw. 2.1.1 und 2.1.2 des als Arbeitselementarsensors ver
wendeten Piezoelementes 1.1 bzw. 2.1 über die Signallei
tung 3.1 einem Subtraktionsglied 3.3 zugeführt. Die elek
trische Spannung zwischen den Endflächen 1.2.1 und 1.2.2
bzw. 2.2.1 und 2.2.2 des als Temperaturkompensationsele
mentarsensors verwendeten Piezoelementes 1.2 bzw. 2.2 wird
dem Subtraktionsglied 3.3 über die Signalleitung 3.2 zu
geführt. Haben die Piezoelemente 1.1 bzw. 1.2 und 2.1
bzw. 2.2 dieselbe geometrische Form und dieselbe Größe,
wird in dem Subtraktionsglied 3.3 die über die Signallei
tung 3.2 zugeführte elektrische Spannung des Temperatur
kompensationselementarsensors von der über die Signallei
tung 3.1 zugeführten elektrischen Spannung des Arbeits
elementarsensors abgezogen und daraus das Ausgangssi
gnal 3.4 generiert, das mittels der bekannten Beziehungen
zwischen der mechanischen und der elektrischen Spannung
eines Piezoelementes den zu messenden Druck repräsentiert.
Haben die beiden Piezoelemente 1.1 bzw. 1.2 und 2.1
bzw. 2.2 eine unterschiedliche Form und/oder Größe, muß
zunächst die an dem Temperaturkompensationselementarsensor
abgegriffene Spannung auf ein Piezoelement als
Temperaturkompensationselementarsensor bezogen werden, das
dieselbe Größe aufweist wie der Arbeitselementarsensor.
Die in den Fig. 1 und 2 dargestellten erfindungsgemäßen
Drucksensoren stellen lediglich Ausführungsbeispiele dar.
Ein erfindungsgemäßer Drucksensor kann aus jedem
Drucksensor erhalten werden, der den piezoelektrischen
Effekt benutzt, indem aus dem Material des Arbeitselemen
tarsensors ein Temperaturkompensationselementarsensor in
den Drucksensor eingebracht wird, wobei der Temperatur
kompensationselementarsensor derselben Temperatur ausge
setzt wird wie der Arbeitselementarsensor und wobei der
Temperaturkompensationselementarsensor einem Druck ausge
setzt wird, der einem Referenzwert - zweckmäßigerweise dem
Atmosphärendruck - entspricht. Die Auswertung der gemes
senen elektrischen Spannungen geschieht wie in Fig. 3
dargestellt.
Der erfindungsgemäße Drucksensor kann in besonders vor
teilhafter Weise als Unterlegscheibe einer Zylinderkopf
schraube oder Zündkerze einer Brennkraftmaschine verwendet
werden.
Claims (9)
1. Drucksensor,
- - wobei die Drucksensierung erfolgt, indem ein Arbeits elementarsensor dem zu messenden Druck ausgesetzt und indem der Druck mittels eines Piezo-Effektes sensiert wird und
- - wobei die Temperaturabhängigkeit dieses Piezo-Effektes durch einen Temperaturkompensationselementarsensor kom pensiert wird,
dadurch gekennzeichnet,
- - daß zur Drucksensierung der piezoelektrische Effekt verwendet wird,
- - daß das als Temperaturkompensationselementarsensor ver wendete Piezoelement (1.2; 2.2) aus dem gleichen Material besteht wie das als Arbeitselementarsensor verwendete Piezoelement (1.1; 2.1),
- - daß das als Arbeitselementarsensor verwendete Piezoelement (1.1; 2.1) dem in einem Volumen (1.5) zu messenden Druck ausgesetzt wird,
- - daß das als Temperaturkompensationselementarsensor ver wendete Piezoelement (1.2; 2.2) derselben Temperatur ausgesetzt wird wie das als Arbeitselementarsensor ver wendete Piezoelement (1.1; 2.1), wobei das als Tempe raturkompensationselementarsensor verwendete Piezoelement (1.2; 2.2) ständig dem Umgebungsdruck des Volumens (1.5) ausgesetzt wird,
- - daß die zwischen den Endflächen (1.2.1-1.2.2; 2.2.1-2.2.2) des als Temperaturkompensationselementar sensor verwendeten Piezoelementes (1.2; 2.2) entstehende elektrische Spannung und die zwischen den Endflä chen (1.1.1-1.1.2; 2.1.1-2.1.2) des als Arbeitselemen tarsensor verwendeten Piezoelementes (1.1; 2.1) entste hende elektrische Spannung mittels eines Ka bels (1.12; 2.12) abgegriffen werden können und über Signalleitungen (3.1, 3.2) einem Subtraktionsglied (3.3) zuführbar sind, in dem diese elektrischen Spannungen so subtrahiert werden, daß ein Ausgangssignal (3.4) ent steht, das entsprechend der Beziehung des piezoelek trischen Effektes zwischen der mechanischen und der elektrischen Spannung die mechanische Spannung des Ar beitselementarsensors und damit den auf diesen Arbeits elementarsensor wirkenden Druck repräsentiert.
2. Drucksensor nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das als Temperaturkompensationselementarsensor ver
wendete Piezoelement (1.2; 2.2) dieselbe geometrische Form
und Größe aufweist wie das als Arbeitselementarsensor
verwendete Piezoelement (1.1; 2.1).
3. Drucksensor nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Piezoelemente (1.1, 1.2; 2.1, 2.2) als Ring aus
gebildet sind und Teile einer Unterlegscheibe einer
Schraube (1.3) darstellen,
- - wobei die Piezoelemente (1.1, 1.2; 2.1, 2.2) durch einen eine gute Wärmeleitfähigkeit aufweisenden Ring (1.7; 2.7) verbunden sind,
- - wobei mehrere Ringe (1.6, 1.7, 1.8; 2.6, 2.7, 2.8) und eine isolierende Schicht (1.9, 1.10; 2.10) eine solche Festigkeit aufweisen, daß sich infolge eines wirkenden Druckes ergebende Formänderung der Ringe (1.6, 1.7; 2.6, 2.7) eine Längenänderung des als Arbeitselementar sensors verwendeten Piezoelementes (1.1; 2.1) bewirken und
- - wobei ein freies Volumen 1.11 vorhanden ist, in das das als Temperaturkompensationselementarsensor verwendete Piezoelement (1.2; 2.2) bei einer Formänderung der Ringe (1.6, 1.7; 2.6, 2.7) ausweichen kann.
4. Drucksensor nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
- - daß der Ring (1.7) elektrisch leitend ist,
- - daß die sich gegenüber liegenden Endflä chen (1.1.2-1.2.1) der Piezoelemente (1.1, 1.2) jeweils gegenüber den zugehörigen Endflächen (1.1.1, 1.2.2) der Piezoelemente (1.1, 1.2) dasselbe Potential annehmen,
- - daß die elektrischen Spannungen des Arbeitselementar sensors und des Temperaturkompensationselementarsensors abgegriffen werden, indem von einem zweiadrigen, abge schirmten Kabel (1.12) die Abschirmung (1.12.1) mit dem Ring (1.7) verbunden wird,
- - daß eine Ader (1.12.3) des Kabels (1.12) unmittelbar mit der Endfläche (1.2.2) des Piezoelementes (1.2) verbunden wird und
- - daß die andere Ader (1.12.2) des Kabels (1.12) elek trisch leitend mit der Endfläche (1.1.1) des Piezoelementes (1.1) verbunden wird.
5. Drucksensor nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
- - daß der Ring (1.6) elektrisch leitend ist,
- - daß eine isolierende Schicht (1.9) zwischen dem Ring (1.6) und dem Ring (1.7) vorhanden ist und
- - daß die elektrisch leitende Verbindung der Ader (1.12.2) des Kabels (1.12) mit der Endfläche (1.1.1) des Piezoelementes (1.1) realisiert wird, indem die Ader (1.12.2) des Kabels (1.12) mit dem Ring (1.6) ver bunden wird.
6. Drucksensor nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Ader (1.12.2) des Kabels (1.12) unmittelbar mit
der Endfläche (1.1.1) des Piezoelementes (1.1) verbunden
ist.
7. Drucksensor nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die elektrischen Spannungen der
Piezoelemente (2.1, 2.2) abgegriffen werden,
- - indem eine Ader (2.12.2) des Kabels (2.12) mit der End fläche (2.1.1) des Piezoelementes (2.1) verbunden wird,
- - indem eine Ader (2.12.4) des Kabels (2.12) mit der End fläche (2.1.2) des Piezoelementes (2.1) verbunden wird,
- - indem eine Ader (2.12.3) des Kabels (2.12) mit der End fläche (2.2.2) des Piezoelementes (2.2) verbunden wird und
- - indem eine Ader (2.12.5) des Kabels (2.12) mit der End fläche (2.2.1) des Piezoelementes (2.2) verbunden wird.
8. Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß die elektrisch isolierende Schicht (1.10; 2.10) eine
schlechte Wärmeleitfähigkeit aufweist.
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE19893937641 Withdrawn DE3937641A1 (de) | 1989-11-11 | 1989-11-11 | Drucksensor |
Country Status (1)
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DE (1) | DE3937641A1 (de) |
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1989
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