DE3932028C2 - - Google Patents

Description

Verfahren und Vorrichtung zur Ebenheitsmessung bei Maschinen mit um eine zentrale Drehachse rotierender ebener Arbeits­ fläche.

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ebenheitsmessung bei Maschinen mit um eine zentrale Drehachse rotierender ebener Arbeitsfläche, bei dem radial der Abstand des zu vermessenden Bereiches der Arbeitsfläche zu einer Refe­ renzfläche gemessen wird, sowie eine zu seiner Durchführung geeignete Vorrichtung.

Bei der Fertigung von elektronischen Bauelementen werden wegen der steigenden Packungsdichte und der ständigen Ver­ feinerung der Herstellungsmethoden an die Ebenheit der als Ausgangsmaterial eingesetzten Halbleiterscheiben immer höhere Anforderungen gestellt. Daher kommt beim Herstel­ lungsprozeß der Scheiben denjenigen Bearbeitungsschritten steigende Bedeutung zu, die im wesentlichen für die Ebenheit des Endproduktes maßgeblich sind. Dies gilt in erster Linie für den Teilschritt des Läppens, bei dem von den gesägten Scheiben im wesentlichen die durch den Sägevorgang zerstörte Oberflächenschicht, typisch im Abtragsbereich von etwa 10 bis 100 µm abgetragen wird, und in geringerem Maße auch für den Teilschritt des Polierens, bei dem bei deutlich geringe­ rem Materialabtrag eine perfekte Scheibenoberfläche erzeugt wird.

Beiden Verfahrensschritten ist gemeinsam, daß auf eine oder beide Scheibenoberflächen ebene, rotierende Arbeitsflächen einwirken, die sich um eine zentrale Drehachse drehen. Im Falle des Läppens befinden sich dabei die in sogenannte "Käfige" oder Läuferscheiben eingelegten Scheiben zwischen den gegenläufig rotierenden, oberen und unteren Läppscheiben der Läppmaschine, und werden unter Zufuhr einer Läppmittel­ suspension nach und nach abgetragen. Bei der chemomechani­ schen Einseitenpolitur sind die Scheiben auf Trägerplatten aufgekittet, mit deren Hilfe sie über den rotierenden, mit einem Poliertuch bespannten und mit Poliermittel beauf­ schlagten Polierteller bewegt werden. Bei der Zweiseitenpo­ litur sind die Scheiben, ähnlich wie beim Läppvorgang, in Läuferscheiben eingelegt und befinden sich zwischen den gegenläufig rotierenden Poliertellern, die analog zur Ein­ seitenpolitur mit einem Poliertuch bespannt und mit Polier­ mittel beaufschlagt sind. Bei allen Verfahrensschritten werden Scheiben mit um so besserer Ebenheit erhalten, je weniger auch die Arbeitsflächen von einer ideal ebenen Oberfläche abweichen. Dies gilt vor allem für das Läppen, bei dem der im Prozeßverlauf eintretende Verschleiß der Läppschei­ benoberfläche bei dem erforderlichen hohen Materialabtrag starke Auswirkungen auf die Ebenheit des Produktes haben kann.

Besondere Bedeutung kommt daher Meßverfahren zu, mit deren Hilfe insbesondere bei den Läppscheiben das vorhandene oder entstandene Profil möglichst genau ermittelt werden kann. Häufig werden zu diesem Zweck Meßlineale in Verbindung mit mechanischen Tastern eingesetzt. Die damit erzielbare Pro­ filauflösung ist jedoch gering und insbesondere für die hohen Präzisionsanforderungen beim Läppen von Halbleiter­ scheiben nicht ausreichend. In dem Artikel von G. Spur u. a., "Rechnergestützte Werkzeugverschleißmessung beim Planläp­ pen", aus der Zeitschrift für wirtschaftliche Fertigung und Automatisierung 82 (1987), Heft 1, Seite 30-34, wird eine Meßanordnung vorgestellt, bei der in eine den Läppscheiben­ durchmesser überspannende Referenzbrücke ein Referenzlineal mit hochgenauer Ebenheit sowie eine darauf bezogene Abtast­ einheit integriert ist. Beim Meßvorgang wird diese Anordnung diametral über die Läppscheibe gestellt, ist also zentriert und liegt jeweils an deren Außenrand auf. Das Referenzlineal gibt dann eine ideal ebene Läppscheibenoberfläche vor, und mit Hilfe der radial über die Läppscheibe bewegten Abtast­ einrichtung kann die Abweichung der realen Läppscheibenober­ fläche von diesem ideal ebenen Verlauf ermittelt werden. Diese an sich leistungsfähige Anordnung ist jedoch unhand­ lich und unflexibel, da sie nur jeweils für einen bestimmten Läppscheibendurchmesser eingesetzt werden kann. Ihre Anwen­ dung im Produktionsmaßstab ist daher umständlich und aufwen­ dig.

Die Aufgabe der Erfindung lag darin, ein demgegenüber einfa­ cheres Meßverfahren und eine weniger aufwendige, handliche und vielseitig einsetzbare Vorrichtung zu seiner Durchfüh­ rung anzugeben.

Gelöst wird die Aufgabe durch ein Verfahren zur Ebenheitsmessung bei Maschinen mit um eine zentrale Drehachse rotierender ebener Arbeitsfläche, bei dem radial der Abstand des zu vermessenden Bereiches der Arbeitsfläche bezüglich einer ebenen, die Meßstrecke überspannenden, im wesentlichen waagerecht angeordneten Referenzfläche gemessen wird, und wobei vor dem in an sich bekannter Weise durchgeführten Meßvorgang die Referenzfläche zwischen der zentralen Drehachse und einer Auflagestelle fixiert und ausgerichtet wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Auflagestelle außerhalb der rotierenden Arbeitsfläche liegt und die Ausrichtung senkrecht zu einer fiktiven Achse erfolgt, welche senkrecht auf einer fiktiven Ebene steht, deren Neigung gegenüber einem externen Bezugssystem dem Mittelwert entspricht, der sich aus den Neigungswerten ergibt, die die Arbeitsfläche an mindestens zwei konzentrisch einander gegenüberliegenden Referenzpunkten gegenüber diesem externen Bezugssystem aufweist, und daß nach Ausrichtung der Referenzfläche die zu vermessenden Bereiche durch Drehung der Arbeitsfläche in die Meßstellung gebracht werden.

Das Verfahren sowie zu seiner Durchführung geeignete Vor­ richtungen werden nachstehend an Hand der Figur erläutert, die eine Draufsicht auf eine Läppmaschine mit über der unteren Läppscheibe in Arbeitsposition befindlicher Meßvor­ richtung schematisch zeigt. Die Läppmaschine dient hier als Beispiel für eine Maschine mit um eine zentrale Drehachse rotierender Arbeitsfläche; sinngemäß läßt sich das im fol­ genden ausgeführte jedoch auch auf andere derartige Maschi­ nen, beispielsweise Poliermaschinen, übertragen.

Die Läppscheibe 1 der Läppmaschine ist dabei drehbar inner­ halb eines mit einem äußeren Zahnkranz 2 bestückten äußeren Rahmens 3 angeordnet. Im Innenloch 4 der Läppscheibe befin­ det sich ein innerer Zahnkranz 5 sowie, im Zentrum des Systems, ein in Richtung der Drehachse weisender Bolzen 6.

Für den Meßvorgang wird die Meßbrücke 7 zunächst in die Ausgangsstellung gebracht, d.h. über ein Befestigungssystem 8, beispielsweise einen Zentrierring, an der Drehachse fixiert, sowie mit dem Auflagesystem 9 auf dem äußeren Rahmen 3 abgestellt. Zweckmäßig sind diese beiden Systeme so gestaltet, daß in dieser Ausgangsstellung die in die Meß­ brücke 7 integrierte Referenzfläche 10 im wesentlichen in waagerechter Position ist. Bewährt hat es sich in diesem Zusammenhang, jeweils auf den zu vermessenden Läppmaschinen eine bestimmte Arbeitsposition für die Meßbrücke vorzugeben, die beispielsweise durch Markierungen gekennzeichnet sein kann. Vorteilhaft werden auf dem Außenrahmen Fixierhilfen vorgesehen, die es ermöglichen, das mit den entsprechenden Gegenstücken wie etwa Zapfen/Zapfenloch versehene Auflage­ system in der Arbeitsposition zu befestigen. Dies kann beispielsweise durch Verschrauben, durch Einspannen an Zapfen, über Klemmverschlüsse, Steckverbindungen oder durch Kugelkopfbolzen geschehen.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird die Meßbrücke so gestaltet, daß der Abstand zwischen Befesti­ gungs- und Auflagesystem verändert werden kann, beispiels­ weise indem eines oder beide Systeme entlang der Meßbrücke verschiebbar sind. Dadurch lassen sich mit ein und derselben Meßbrücke Läppmaschinen mit unterschiedlichen Läppscheiben­ radien vermessen.

Um eine genaue Ausrichtung der Meßbrücke und letztendlich der in sie integrierten Referenzfläche zu ermöglichen, sind eine oder mehrere Verstellmöglichkeiten vorgesehen, mit deren Hilfe sich der Abstand zur Oberfläche der Läppscheibe gezielt verändern läßt. In einer besonders einfach handhab­ baren Ausführungsform kann beispielsweise die Auflagefläche des Befestigungssystems auf dem zentralen Bolzen höhenver­ stellbar sein, beispielsweise über eine in das System inte­ grierte Mikrometerschraube. Je nach Bedarf kann dann das Niveau der Meßbrücke an ihrem inneren Ende hinauf- oder heruntergefahren werden, bis die gewünschte Einstellung erreicht ist. Diese Variante hat sich als günstiger erwiesen als diejenige, bei der die Niveauregelung am äußeren Ende der Meßbrücke im Bereich des Auflagesystems vorgenommen wird. Grundsätzlich ist es auch möglich, entsprechende Verstellmöglichkeiten direkt an der Referenzfläche vorzuse­ hen, so daß deren Höheneinstellung in Längsrichtung bei unveränderter Stellung der Meßbrücke geändert werden kann.

In der Regel ist es nicht erforderlich, zusätzlich zu derar­ tigen Regulierungsmöglichkeiten für die Längsrichtung der Referenzfläche auch solche für die Querrichtung vorzusehen, da der aus einer geringfügigen Abweichung von einer genau waagerechten Lage der Referenzfläche in Querrichtung resul­ tierende Meßfehler in den meisten Fällen vernachlässigt werden kann. Wenn jedoch höchste Präzision der Messung gefordert wird, können, zweckmäßig am Auflagesystem, bei­ spielsweise eine oder mehrere Stellschrauben vorgesehen werden, mit deren Hilfe die Neigung der Referenzfläche in Querrichtung beeinflußt werden kann. Grundsätzlich ist auch der Einsatz von entsprechenden Einstellmöglichkeiten direkt an der Referenzfläche nicht ausgeschlossen.

Als Referenzfläche dient eine glatte, vorzugsweise polierte, ebene Oberfläche, wobei sich für den Einsatz bei der Vermes­ sung von Läppscheiben für Halbleitermaterial Abweichungen von einer idealen ebenen Fläche von ca. ±1 µm noch als tolerierbar erwiesen haben. Allgemein ist bei der Ebenheit der Referenzfläche die gewünschte Meßgenauigkeit zu berück­ sichtigen, so daß gegebenenfalls auch auf noch genauer oder aber mit größeren Toleranzen gearbeitete Referenzflächen zurückgegriffen werden kann. Günstig ist die Referenzfläche die zumeist rechteckige Rückenfläche eines von der Meßbrücke getragenen, in der Regel leisten- oder quaderförmigen Ein­ satzes aus formstabilem, abriebfestem Material. Bewährt haben sich, insbesondere wegen ihres guten Schwingungsver­ haltens, Einsätze aus entsprechend zugeschnittenem und zumindest an der Referenzfläche poliertem Naturstein, wie etwa Marmor, oder insbesondere Granit. Grundsätzlich können die Einsätze jedoch auch aus Metall, wie etwa Edelstahl oder Titan bzw. Titanlegierungen gefertigt sein, wobei insbeson­ dere auf ein günstiges thermisches Ausdehnungsverhalten zu achten ist.

Als Meßsystem kann beispielsweise ein linear über die Refe­ renzfläche beweglicher Meßschlitten 11 vorgesehen sein, der mit einem Abstandssensor 12 verbunden ist, mit dessen Hilfe der jeweilige Verlauf des Abstandes Referenzfläche/Läpp­ scheibenoberfläche entlang der durch die Doppelpfeile gekennzeichneten Meßstrecke erfaßt werden kann. Als Abstandssensoren lassen sich beispielsweise mechanische Abtaster einsetzen, insbesondere wenn die Messung schritt­ weise vorgenommen wird, während bei einer kontinuierlichen Messung vorteilhaft optische Abstandsmesser verwendet wer­ den. Die Meßsignale können an eine hier aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht gezeigte Auswerteeinheit weiterge­ leitet und nach entsprechender, vorteilhaft rechnergestütz­ ter Aufbereitung beispielsweise mittels Plotter oder Bildschirm graphisch dargestellt und/oder in Tabellenform ausgegeben werden.

Vorteilhaft ist in die Meßbrücke 7 ein Inklinometer 13 (Neigungsmesser) integriert, mit dessen Hilfe sich, mit dem Schwerefeld der Erde als externem Bezugssystem, die Neigung der Meßbrücke und damit auch der Referenzfläche, sowie deren Änderung beispielsweise beim Verändern der Höheneinstellung erfassen läßt. Derartige Inklinometer sind bekannt und im Handel erhältlich. Sie werden allgemein eingesetzt, um die Neigung von der Horizontalen oder Abweichungen von der Vertikalen festzustellen, beispielsweise bei Bohrloch­ untersuchungen, Erdbewegungsarbeiten oder der Schiffs- Stabilisation. Das Arbeitsprinzip beruht darauf, daß die Lageveränderung eines vorteilhaft ölgedämpften Pendels mit einem hochgenauen Näherungssensor erfaßt und in ein übli­ cherweise dem Sinus des Neigungswinkels proportionales Meßsignal umgewandelt wird. Dieses Meßsignal kann bei der vorliegenden Anordnung beispielsweise ebenfalls an die Auswerteeinheit weitergegeben werden.

Für die Ausrichtung der Meßbrücke vor dem eigentlichen Meßvorgang hat sich die folgende Vorgehensweise bewährt: Zunächst wird die Meßbrücke in der vorgesehenen Arbeitsstel­ lung auf dem Außenrahmen und an dem zentralen Bolzen der Drehachse fixiert. In dieser Position befindet sich die Referenzfläche in Längs- und Querrichtung im wesentlichen in waagerechter Lage und wird in dem folgenden Schritt zumin­ dest in der Längsrichtung auf die durch die Läppscheibe vorgegebene Orientierung ausgerichtet.

Zweckmäßig sind dafür Standarddrehwinkel der Läppscheibe vorgesehen, die bei Bedarf angesteuert werden können. Bei einer ersten Messung wird nun in einer Ausgangsdrehposition der Läppscheibe ("0°-Stellung"), vorteilhaft mit Hilfe einer eine bestimmte radiale Lage vorgebenden Schablone, die Neigung der Läppscheibenoberfläche relativ zu einem externen Bezugssystem festgestellt. Vorteilhaft wird auch zu diesem Zweck ein Inklinometer verwendet, wobei z.B. der Einsatz des in die Meßbrücke integrierten Inklinometers möglich ist, sofern es abnehmbar ist und ohne Verfälschung des Meßergeb­ nisses oder große Verzögerung der Messung wieder auf der Meßbrücke installiert werden kann. Vorteilhaft wird jedoch ein zweites, externes und mobiles Inklinometer eingesetzt, welches mit dem fest installierten abgeglichen ist. Dieser erste Neigungswert wird registriert, und dann im 180°-Winkel eine zweite Neigungsmessung der Läppscheibenoberfläche vorgenommen. Vorteilhaft wird dazu das Inklinometer in seiner Position belassen und die Läppscheibe um 180° gedreht. Aus beiden Meßwerten wird nun der Mittelwert gebil­ det, und die Höheneinstellung der Meßbrücke in Längsrichtung so lange korrigiert, bis der Mittelwert der Neigung erreicht ist, was mit Hilfe des in die Meßbrücke integrierten Inkli­ nometers verfolgt und gesteuert werden kann. Die erforderli­ chen Korrekturwerte können auch, beispielsweise wenn die Inklinometer-Meßsignale in einen entsprechend programmier­ ten Rechner eingegeben werden, rechnergestützt ermittelt und ausgegeben werden.

Wenn auch noch eine Ausrichtung der Meßbrücke bzw. der Referenzebene in Querrichtung bezüglich der Läppscheiben­ ebene vorgenommen werden soll, werden zusätzlich zwei weite­ re Neigungsmessungen in der 90°- bzw. 270°- Drehposition der Läppscheibe in der beschriebenen Weise durchgeführt. Analog kann dann der Mittelwert gebildet und die Einstellung der Meßbrücke entsprechend korrigiert werden. Wie bereits ausge­ führt, ist eine solche zusätzliche Korrektur jedoch nicht zwingend vorgeschrieben.

Nach Abschluß der Ausrichtungsphase ist die Referenzfläche damit senkrecht zu einer fiktiven Drehachse ausgerichtet, die ihrerseits senkrecht auf einer fiktiven Ebene steht, deren Neigung dem Mittelwert aus den Neigungen zumindest der bei der 0°- und 180°-Drehposition der Läppscheibe vermesse­ nen Referenzpunkte entspricht, wobei als Bezugssystem jeweils, über die Neigungsmessung mit Hilfe der Inklinome­ ter, das Schwerefeld der Erde herangezogen wird.

Nun kann der eigentliche Meßvorgang durchgeführt werden. Dabei wird durch Drehung der Läppscheibe der für die Messung vorgesehene Bereich in den Wirkungsbereich des Meßsensors gebracht. Anschließend wird der Meßschlitten radial von außen nach innen oder von innen nach außen in einer konti­ nuierlichen oder schrittweisen Bewegung über die Referenz­ fläche gefahren, wobei der Meßsensor je nach Meßsystem z.B. durch mechanisches oder optisches Abtasten den Abstand zur Läppscheibenoberfläche erfaßt. Daraus ergibt sich dann das Profil der Läppscheibe entlang der vermessenen Strecke. Dieser eigentliche Meßvorgang verläuft damit im Grunde in der von den herkömmlichen Meßverfahren her bekannten Weise. Der besondere Vorteil liegt aber darin, daß durch Weiterdre­ hen der Scheibe und erneute Vermessung in bestimmten Winkel­ abständen sich in einfacher Weise und ohne Umbauten das Profil bzw. die Abnutzung oder Verformung der Läppscheibe über den gesamten Umfang ermitteln läßt.

Die erhaltenen Meßwerte können auch rechnergestützt aufbe­ reitet werden und liefern dann nicht nur Aussagen über das Profil der Läppscheibe, sondern auch die daraus errechnete lineare Regression und die Ebenheit. Diese Kenndaten können auch über Bildschirme oder Plotter dargestellt und ausgege­ ben werden.

Das Verfahren sowie die zu seiner Durchführung geeigneten Vorrichtungen eignen sich insbesondere zum Einsatz bei der Vermessung von Läppscheiben, aber auch für die Polierteller von Poliermaschinen sowie allgemein für die Ebenheitsmessung an ebenen Arbeitsflächen, die um eine zentrale Drehachse rotieren. Der Vorteil liegt in dem flexiblen Einsatz, in dem geringen Raumbedarf, und darin, daß ohne große Umbauten der gesamte Umfang der zu vermessenden Arbeitsflächen durch einfaches Weiterdrehen der Messung zugänglich ist.

Nachstehend wird die Erfindung an Hand eines Ausführungsbei­ spiels näher erläutert:

Beispiel

Bei einer handelsüblichen Läppmaschine sollte die Ebenheit der Läppscheibe (Innendurchmesser ca. 375 mm, Außendurchmes­ ser ca. 905 mm) ermittelt werden, um gegebenenfalls Maßnah­ men zum Ausgleich von übermäßigen Schwankungen einleiten zu können.

Zu diesem Zweck wurde ein analog der Figur aufgebautes Meßgerät (Länge der Meßbrücke auf ca. 500 mm eingestellt) in die auf der Maschine vorgesehene Meßposition gebracht und mittels eines Kugelkopfbolzens am äußeren Rahmen, mittels eines Zentrierringes am zentralen Bolzen der Anordnung befestigt. Danach wurde, gesteuert über einen Winkelgeber, die Läppscheibe so weit gedreht, bis die vorher auf ihr festgelegte 0°-Position genau in der Meßstrecke des Abstandssensors unterhalb der Meßbrücke lag.

Nun wurde mit Hilfe einer Schablone in der Mitte der Meß­ strecke das externe Inklinometer auf die Läppscheibe aufge­ legt und in einer ersten Messung deren Neigung gegenüber der exakt Waagerechten gemessen. Um Verfälschungen der Messung durch Störungen wie etwa Schwingungen oder Erschütterungen zu vermeiden, wurden jeweils 10 Meßwerte aufgenommen und daraus der Mittelwert gebildet. Der erhaltene Wert für den Winkel wurde durch die entsprechende Länge der Gegenkathete eines rechtwinkligen Dreieckes mit 1 m Ankathetenlänge, welches zwischen dieser und der Hypotenuse diesen Winkel besitzt, ausgedrückt. Der gefundene Mittelwert betrug 520 µm.

Danach wurde, bei unveränderter Schablone, die Läppscheibe um 180° gedreht, und erneut 10 Neigungsmeßwerte des Inklino­ meters erfaßt und gemittelt. Für diese Läppscheibenposition ergab sich ein Wert von 320 µm. Aus den beiden gefundenen Meßwerten folgte, daß die Meßbrücke auf eine Neigung einzu­ stellen war, die dem Wert 100 µm entsprach. Diese Einstel­ lung wurde mit Hilfe der Mikrometerschraube am Zentrierring vorgenommen, wobei der Neigungswert mit dem vorher mit dem externen abgeglichenen internen Inklinometer kontrolliert wurde. Eine verbleibende minimale Differenz, die sich von Hand aufgrund der Gerätetoleranzen nicht ausgleichen ließ (ca. 20 µm), wurde bei den nachfolgenden Messungen rechne­ risch mit berücksichtigt.

Nun konnten ohne Veränderung der Position der Meßbrücke die eigentlichen Ebenheitsmessungen durchgeführt werden. Dazu wurde nacheinander in der 0°-, 90°-, 180°- und 270°-Position der Läppscheibe radial mittels eines mechanischen Tasters in Zentimeterschritten entlang der Meßstrecke (ca. 265 mm) der Abstand der Läppscheibenoberfläche zu der Referenzfläche aus poliertem Granit (Rauhigkeit ca. 0.5 µm) gemessen. Aus den erhaltenen Werten ließ sich mit Hilfe eines Rechners ein Profil der Läppscheibe erstellen und ihre Ebenheit ermit­ teln. Gegebenenfalls konnten dann die erforderlichen Eben­ heitskorrekturen vorgenommen werden.

Claims (7)

1. Verfahren zur Ebenheitsmessung bei Maschinen mit um eine zentrale Drehachse rotierender ebener Arbeitsfläche, bei dem radial der Abstand des zu vermessenden Bereiches der Arbeitsfläche bezüglich einer ebenen, die Meßstrecke überspannenden, im wesentlichen waagerecht angeordneten Referenzfläche gemessen wird, und wobei vor dem in an sich bekannter Weise durchgeführten Meßvorgang die Referenzfläche zwischen der zentralen Drehachse und einer Auflagestelle fixiert und ausgerichtet wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Auflagestelle außerhalb der rotierenden Arbeitsfläche liegt und die Ausrichtung senkrecht zu einer fiktiven Achse erfolgt, welche senkrecht auf einer fiktiven Ebene steht, deren Neigung gegenüber einem externen Bezugssystem dem Mittelwert entspricht, der sich aus den Neigungswerten ergibt, die die Arbeitsfläche an mindestens zwei konzentrisch einander gegenüberliegenden Referenzpunkten gegenüber diesem externen Bezugssystem aufweist, und daß nach Ausrichtung der Referenzfläche die zu vermessenden Bereiche durch Drehung der Arbeitsfläche in die Meßstellung gebracht werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als externes Bezugssystem das Schwerefeld der Erde verwendet wird.

3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Neigungswerte mit Hilfe von Inklinometern ermittelt werden.

4. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei Ebenheitsmessungen bei verschiedenen Drehpositionen der Arbeitsfläche vorgenommen werden.

5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, mit einer Meßbrücke, welche an einem Ende ein Befesti­ gungssystem zur lösbaren Befestigung an der Drehach­ se, am anderen Ende ein Auflagesystem besitzt, einer in die Meßbrücke integrierte Referenzfläche, und einem entlang der Referenzfläche beweglichen Abstandsmeßgerät, und einer die Erfassung und Aufbereitung der Meßwerte gestattenden Rechnereinheit, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine die Erfassung der Neigung der Refe­ renzfläche und einer Referenzstrecke auf dem Meßob­ jekt relativ zu einem externen Bezugssystem gestat­ tende Meßeinheit vorgesehen ist und daß die Meßbrücke an einem Ende ein mittels Mikrometerschraube höhenverstellbares, radial verschiebbares Befestigungssystem besitzt.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Meßeinheit ein in die Meßbrücke integriertes Inklinometer und ein bewegliches externes Inklinome­ ter vorgesehen sind.

7. Vorrichtung nach den Ansprüchen 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzfläche aus Granit besteht.