DE3930044C2 - Verfahren zur Herstellung eines elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines elektrofotografischen AufzeichnungsmaterialsInfo
- Publication number
- DE3930044C2 DE3930044C2 DE3930044A DE3930044A DE3930044C2 DE 3930044 C2 DE3930044 C2 DE 3930044C2 DE 3930044 A DE3930044 A DE 3930044A DE 3930044 A DE3930044 A DE 3930044A DE 3930044 C2 DE3930044 C2 DE 3930044C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- recording material
- output voltage
- etching treatment
- aluminum
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/10—Bases for charge-receiving or other layers
- G03G5/102—Bases for charge-receiving or other layers consisting of or comprising metals
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines
lichtempfindlichen Körpers für elektrofotografische Verwen
dungen, allgemein als elektrofotografisches Aufzeichnungs
material bezeichnet. Insbesondere betrifft die Erfindung
ein Verfahren zur Bearbeitung der Oberfläche des Aluminium
als Hauptbestandteil enthaltenden leitenden Schichtträgers des
Aufzeichnungsmaterials.
Elektrofotografische Aufzeichnungsmaterialien besitzen auf
dem leitenden Schichtträger eine lichtempfindliche Schicht aus
einer fotoleitenden Substanz. Die Oberfläche des Schichtträgers
muß flach und glatt sein, andererseits aber ausreichend
rauh gemacht werden, so daß eine gute Haftung der licht
empfindlichen Schicht erzielt wird. Als leitender Schichtträger
wird allgemein, wie schon erwähnt, ein Träger mit Aluminium
als Hauptbestandteil verwendet, weshalb nachfolgend verein
facht von dem Aluminiumträger die Rede sein wird. Folgende
Verfahren zur Behandlung seiner Oberfläche sind bekannt:
- (a) Spiegelartige Oberflächenendbehandlung durch Schaben mit Hilfe eines Diamantwerkzeugs,
- (b) Schleifendbehandlung mit einem Schleifstein und
- (c) Endbehandlung durch Bandpolieren mit Hilfe eines Schleifbandes.
Es ist auch schon bekannt, daß die so mechanisch endbehan
delten Oberflächen einer weiteren Behandlung mit einer Sal
petersäurelösung zur Bildung eines Oxidfilms auf dem Alumi
niumträger unterzogen werden.
In den vergangenen Jahren hat man bei elektrofotografischen
Geräten, wie Kopiergeräten und Druckern zur Erzie
lung einer guten Qualität der erhaltenen Kopien oder Drucke
mit einer immer konstanten Bildkonzentration ohne Auftreten
eines Grundschleiers einen Tonerkonzen
trationsregelmechanismus auf der Basis eines optischen Re
flexionssensors eingesetzt.
Fig. 5 zeigt dafür ein Beispiel. In Fig. 5(a) ist die elek
trische Schaltung eines solchen Sensors dargestellt, wäh
rend Fig. 5(b) das Prinzip der Messung der Tonerkonzentra
tion veranschaulicht. Der in Fig. 5(a) gestrichelt umran
dete Bereich zeigt einen Lichtfühler mit einer Leuchtdiode
2 und einem Fototransistor 3.4 bezeichnet einen Ein
gangseinstellwiderstand. A bezeichnet in Fig. 5(a) die Ein
gangsspannung für den Lichtfühler und B die Ausgangsspan
nung. Das bei angelegter Eingangsspannung A von der Leucht
diode 2 des Lichtfühlers 1 emittierte Licht wird auf die
Oberfläche des elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials
5 gestrahlt, und das auftreffende Licht 8 durchsetzt dessen
lichtempfindliche Schicht 6 und wird an der Oberfläche des
Aluminiumträgers 7 reflektiert. Das reflektierte Licht 9
wird von dem Fototransistor 3 des Lichtfühlers 1 empfangen.
Das vom Fototransistor 3 aufgrund des empfangenen reflek
tierten Lichts abgegebene Ausgangssignal wird als Ausgangs
spannung B des Lichtfühlers abgegeben. Wenn Toner 10 an der
Oberfläche des elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials
5 anhaftet, wie es durch gestrichelte Kreise in Fig. 5(b)
angedeutet ist, dann hängen die Stärke des reflektierten
Lichts 9 und damit die Höhe der Ausgangsspannung B von der
Konzentration des anhaftenden Toners ab. Auf diese Weise
läßt sich aus der Änderung der Ausgangsspannung gegenüber
einem Bezugswert die Änderung der Tonerkonzentration zur
Steuerung der Tonerzufuhr von einer Tonerversorgungsein
richtung feststellen und auf diese Weise die Tonerkonzen
tration konstant halten. Dadurch wird eine Änderung der
Bildkonzentration verhindert. Die Ausgangsspannung kann auf
eine Bezugsspannung normiert sein, das heißt eine Ausgangs
spannung, die sich einstellt, wenn die Konzentration des an
der Oberfläche des elektrofotografischen Aufzeichnungsmate
rials anhaftenden Toners einer Standardkonzentration ent
spricht.
Wie oben erläutert, verwendet der Tonerkonzentrationsregel
mechanismus einen optischen Tonerkonzentrationsfühler, der
von an der Oberfläche des Aluminiumträgers des Aufzeich
nungsmaterials reflektierten Licht Gebrauch macht, und die
Regelung wird unter der Voraussetzung ausgeführt, daß diese
Reflexion an der Oberfläche des Aluminiumträgers konstant
ist.
Bei den herkömmlichen Verfahren zur Bearbeitung der Ober
fläche des Aluminiumträgers kann jedoch das Lichtreflexi
onsvermögen dieser Oberfläche nicht gesteuert werden und
unterliegt einer großen Streuung. Fig. 6 zeigt als Beispiel
die erhebliche Streuung der Ausgangsspannung eines opti
schen Tonerkonzentrationsfühlers für ein elektrofotografi
sches Aufzeichnungsmaterial mit einem Aluminiumträger, bei
dem auf einer mittels eines Diamantwerkzeugs spiegelartig
endbehandelten Oberfläche ein Oxidfilm mit Hilfe einer Sal
petersäurelösung aufgebracht wurde. Fig. 6 zeigt die Ver
teilung der Ausgangsspannungen jeweiliger Aufzeichnungsma
terialien, die für den Fall gemessen wurden, daß die Aus
gangsspannung des Fühlers auf einen Wert von 6 V als Stan
dard eingestellt war. Die Ausgangsspannungen erstrecken
sich über den sehr weiten Bereich von 1,6 V, d. h. von 5,1 V
bis 6,7 V. Obwohl diese Streuung auf der Streuung des Lichtreflexionsvermögens
der Oberfläche des Aluminiumträgers
beruht, kann, wenn ein Aufzeichnungsmaterial mit einer derartigen
Streuung verwendet wird, die Variation der Tonerkonzentration
mit Hilfe eines optischen Tonerkonzentrationsfühlers
nicht festgestellt werden, so daß auch keine
richtige Tonerzufuhr ausgeführt werden kann und die erhal
tenen Bilder einer erheblichen Streuung unterliegen.
Verfahren nach dem Obergegriff der beiden nebengeordneten
Patentansprüche sind aus der DE 34 35 757 A1 bekannt, wobei
dort allerdings von einer nicht näher definierten Oberflächenrauhigkeit
(0,2 bis 4 µm) die Rede ist. Die Ätzbehandlung
kann bei diesem Stand der Technik als Naß- oder Trockenätzung
ausgeführt werden. Als Ätzmittel für die Naßätzung werden
Phosphorsäure/Schwefelsäure, Phosphorsäure/Salpetersäure,
Phosphorsäure/Schwefelsäure/Salpetersäure sowie Salpetersäure/Fluorsäure
vorgeschlagen. Bei einem Ausführungsbeispiel
wird eine Ätzlösung aus Phosphorsäure, Salpetersäure, Essigsäure
und Wasser im Verhältnis 13 : 1 : 2 : 1 verwendet.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung
eines elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials zu schaffen,
das eine richtige Feststellung der Variation der Tonerkonzentration
mit Hilfe eines optischen Tonerkonzentrationsfühlers
ermöglicht und auf diese Weise den Erhalt von
Bildern oder Drucken hoher Qualität und immer konstanter Konzentration
gewährleistet.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren gemäß
den Patentansprüchen 1 und 2 gelöst.
Die Oberfläche eines Aluminiumträgers, die mechanisch be
handelt wird, bis sie flach und glatt wird, wird im äußersten
Bereich aufgrund der Beanspruchung bei der Bearbeitung denaturiert,
und dieser denaturierte Zustand ändert sich aufgrund
leichter Abweichungen der Behandlungsbedingungen. Es wird angenommen,
daß die Streuung des Lichtreflexionsvermögens an
dieser Oberfläche des Aluminiumträgers darauf zurückzuführen
ist. Wenn die Oberfläche eines solchen Aluminiumträgers einer
Ätzbehandlung mit Hilfe einer alkalischen wäßrigen Lösung
oder einer sauren wäßrigen Lösung unterzogen wird, dann wird
davon ausgegangen, daß der denaturierte Teil im äußersten
Bereich entfernt wird und damit die Oberfläche des Trägers
gleichförmig wird, so daß die Streuung des Lichtreflexionsvermögens
vermindert wird.
Wenn die maximale Rauhtiefe Rmax der Oberfläche des Alumi
niumträgers nach der Ätzbehandlung weniger als 2,0 µm be
trägt, dann ist das Ausmaß des Ätzens zu gering, und die
Streuung des Lichtreflexionsvermögens nimmt nicht ab. Wenn
dagegen die maximale Rauhtiefe Rmax größer als 4,0 µm wird,
dann wird die Obrflächenrauhheit zu groß, und die auf dem
Aluminiumträger ausgebildete lichtempfindliche Schicht wird
nicht gleichförmig, so daß Fehler in den erhaltenen Bildern
auftreten. Unter der "maximalen Rauhtiefe" wird hier die
maximale Rauhtiefe nach DIN 4768 verstanden, heute auch als
maximale Profilhöhe Ry bezeichnet.
Erfindungsgemäß wird der Aluminiumträger zunächst mechanisch
endbehandelt, bis seine Oberfläche flach und glatt geworden
ist und eine erforderliche Form aufweist. Die Oberfläche wird
dann einer Ätzbehandlung unterzogen, damit die maximale Rauhtiefe
Rmax mehr als 2,0 µm und weniger als 4,0 µm wird.
Danach wird auf der Oberfläche dieses Trägers eine lichtempfindliche
Schicht ausgebildet und damit das elektrofotografische
Aufzeichnungsmaterial fertiggestellt. Das Lichtreflexionsvermögen
der Oberfläche dieses Aluminiumträgers weist
eine sehr geringe Streuung auf. Dadurch wird es möglich, die
Variation der Konzentration von Toner, der an der Oberfläche
des in erfindungsgemäßer Weise hergestellten Aufzeichnungsmaterials
anhaftet, mit Hilfe eines optischen Tonerkonzentrationsfühlers
exakt festzustellen. So wird es möglich, eine
geeignete Tonerzufuhr zu bewirken, so daß die Tonerkonzentration
immer konstant gehalten wird. Wenn deshalb das elektrofotografische
Aufzeichnungsmaterial gemäß der Erfindung in
einem elektrofotografischen Gerät verwendet wird, das mit einem Tonerkonzentrationsregelmechanismus unter Verwendung
eines optischen Tonerkonzentrationsfühlers ausgestattet ist,
erhält man Kopien oder gedruckte Briefe guter Qualität mit
immer konstanter Konzentration.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend an
hand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 die Verteilung der Ausgangsspannung eines optischen
Tonerkonzentrationsfühlers für Aufzeichnungsmate
rialien mit einem Aluminiumträger, der in erfin
dungsgemäßer Weise einer Ätzbehandlung mittels
einer wäßrigen KOH-Lösung unterzogen wurde,
Fig. 2 ein Strichdiagramm, das den Zusammenhang zwischen
der Dauer der Ätzbehandlung mittels einer wäßrigen
KOH-Lösung und der Ausgangsspannung des optischen
Tonerkonzentrationsfühlers wiedergibt,
Fig. 3 die Verteilung der Ausgangsspannung eines optischen
Tonerkonzentrationsfühlers für Aufzeichnungsmate
rialien mit einem Aluminiumträger, der in erfin
dungsgemäßer Weise einer Ätzbehandlung mittels
einer wäßrigen H2SO4-Lösung unterzogen wurde,
Fig. 4 ein Strichdiagramm, das den Zusammenhang zwischen
der Dauer der Ätzbehandlung mittels eines wäßrigen
H2SO4-Lösung und der Ausgangsspannung des optischen
Tonerkonzentrationsfühlers wiedergibt,
Fig. 5(a) ist ein Schaltbild eines Beispiels des Fühlers,
Fig. 5(b) ist ein Diagramm zur Erläuterung des Prinzips des
Meßverfahrens, und
Fig. 6 ist ein Diagramm der Verteilung der Ausgangsspan
nung des optischen Tonerkonzentrationsfühlers an
einem herkömmlichen Aufzeichnungsmaterial.
Die Oberfläche eines trommelförmigen Aluminiumträgers wurde
durch Schaben mittels eines Diamantwerkzeugs endbehandelt,
derart, daß sie gleichförmig flach und glatt war und die
maximale Rauhtiefe Rmax etwa 1,0 µm betrug. Die Oberfläche
wurde dann bei einer Flüssigkeitstemperatur von 40°C wäh
rend 3 Minuten mittels einer 3gew.-%igen wäßrigen KOH-
Lösung geätzt. Nach der Ätzbehandlung lag die maximale
Rauhtiefe Rmax der Oberfläche des Aluminiumträgers im Be
reich von 2,5 µm bis 3,5 µm. Durch Vakuumabscheidung wurde
dann auf der Oberfläche dieses Aluminiumträgers eine Se-As-
Legierung zur Bildung der lichtempfindlichen Schicht aufge
bracht und damit ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt. Un
ter Verwendung dieses Aufzeichnungsmaterials wurde dann die
Ausgangsspannung eines optischen Tonerkonzentrationsfüh
lers, wie er in Fig. 5 gezeigt ist, bei einer Eingangsspan
nung von +10 V ermittelt. Das Ergebnis ist in Fig. 1 darge
stellt. Die Ausgangsspannung lag im Mittel bei 5,4 V, und
der Streubereich betrug 0,6 V, was im Vergleich zu dem her
kömmlichen Streubereich von 1,6 V eine deutliche Verringe
rung darstellt. Fig. 2 zeigt die Meßergebnisse der Aus
gangsspannung des erwähnten Fühlers an dem Aufzeichnungsma
terial mit der Dauer der Ätzbehandlung mittels der erwähn
ten Ätzlösung als Parameter. Mit zunehmender Dauer der Ätz
behandlung nimmt die Ausgangsspannung ab, aber die Streu
ungsbreite weicht nicht wesentlich von 0,6 V ab.
Die Oberfläche des Aluminiumträgers wurde in ähnlicher
Weise wie beim Beispiel 1 mechanisch bearbeitet. Sie wurde
dann mit einer 40gew.-%igen wäßrigen H2SO4-Lösung bei
einer Flüssigkeitstemperatur von 60°C während 3 Minuten
geätzt. Die Rauhtiefe Rmax der Oberfläche des erhaltenen
Aluminiumträgers lag im Bereich von 2,5 µm bis 3,5 µm. Auf
diesen Aluminiumträger wurde zur Bildung der lichtempfind
lichen Schicht eine Se-As-Legierung aus der Dampfphase ab
geschieden. Auf diese Weise wurde das Aufzeichnungsmaterial
des Beispiels 2 hergestellt.
Die Ergebnisse der Messungen der Ausgangsspannung des Füh
lers an diesem Aufzeichnungsmaterial, die in ähnlicher
Weise wie beim Beispiel 1 ausgeführt wurden, sind in Fig. 3
gezeigt. Die Ausgangsspannung betrug im Mittel 5,5 V und
die Streubreite lag bei 0,7 V, was, ähnlich wie beim Bei
spiel 1 im Vergleich zum Stand der Technik eine deutliche
Verringerung darstellt. Auch mit diesem Aufzeichnungsmate
rial wurde die Ausgangsspannung des Tonerkonzentrationsfüh
lers mit der Dauer der Ätzzeit mittels der Ätzflüssigkeit
als Parameter gemessen. Die Ergebnisse sind in Fig. 4 wie
dergegeben. Obwohl die Ausgangsspannung mit zunehmender
Dauer der Ätzbehandlung abnimmt, unterliegt die Streubreite
keiner wesentlichen Abweichung von 0,7 V.
Die wäßrige KOH-Lösung eignet sich zur Erzielung einer
Rauhtiefe Rmax der Oberfläche des Aluminiumträgers von mehr
als 2 µm und weniger als 4 µm, wenn die Konzentration 2 bis
10 Gew.-% beträgt, die Flüssigkeitstemperatur bei 20°C bis
60°C liegt und die Behandlungsdauer bei 1 bis 5 Minuten.
Man erhält dann ein Aufzeichnungsmaterial, bei dem die
Streubreite der Ausgangsspannung des oben beschriebenen
Fühlers bei etwa 0,6 V liegt.
Die wäßrige H2SO4-Lösung eignet sich zur Erzielung einer
Rauhtiefe Rmax der Oberfläche eines Aluminiumträgers von
mehr als 2 µm und weniger als 4 µm bei einer Konzentration
von 20 bis 50 Gew.-%, einer Flüssigkeitstemperatur von 50°C
bis 80°C und einer Behandlungsdauer von 1 bis 5 Minuten.
Man erhält dann ein Aufzeichnungsmaterial, bei dem die
Streubreite der Ausgangsspannung des erwähnten Fühlers etwa
bei 0,7 V liegt. Der Wert der Ausgangsspannung kann durch
Änderung der Bedingungen, etwa der Behandlungsdauer oder
von ähnlichem, in gewissem Ausmaß beeinflußt werden.
Wenn die Streubreite der Ausgangsspannung auf weniger als
0,7 V eingestellt wird, erübrigt sich nahezu die Einstel
lung der Eingangsspannung des Fühlers.
Die Flüssigkeit für die Ätzbehandlung ist nicht auf die
wäßrige KOH-Lösung und die wäßrige H2SO4-Lösung beschränkt.
Auch die mechanische Behandlung des Aluminiumträgers vor
der Ätzbehandlung ist nicht auf das Schaben unter Verwen
dung eines Diamantwerkzeugs beschränkt, aber es besteht die
Notwendigkeit der Änderung des Endbehandlungszustands der
Oberfläche des Aluminiumträgers abhängig von dem Bearbei
tungsverfahren. Auch das Material der lichtempfindlichen
Schicht, die auf dem Aluminiumträger ausgebildet wird, ist
nicht auf eine Legierung des Se-As-Systems beschränkt.
Claims (2)
1. Verfahren zur Herstellung eines elektrofotografischen
Aufzeichnungsmaterials mit einem Aluminium als
Hauptbestandteil enthaltenden Schichtträger, bei dem die
Oberfläche des Schichtträgers mittels einer mechanischen
Behandlung geglättet wird, und auf der Oberfläche eine lichtempfindliche
Schicht ausgebildet wird, wobei vor Ausbildung
der lichtempfindlichen Schicht die Oberfläche des Schichtträgers
einer Ätzbehandlung unter Verwendung einer alkalischen
wäßrigen Lösung unterzogen wird, derart, daß die maximale
Rauhtiefe Rmax mehr als 2,0 µm und weniger als 4,0 µm
beträgt,
dadurch gekennzeichnet, daß die Ätzbehandlung
mit einer wäßrigen KOH-Lösung einer Konzentration
von 2-10 Gew.-% bei einer Temperatur von 20 bis 60°C in einer
Zeit von 1-5 Minuten erfolgt.
2. Verfahren zur Herstellung eines elektrofotografischen
Aufzeichnungsmaterials mit einem Aluminium als
Hauptbestandteil enthaltenden Schichtträger, bei dem die
Oberfläche des Schichtträgers mittels einer mechanischen
Behandlung geglättet wird, und auf der Oberfläche eine lichtempfindliche
Schicht ausgebildet wird, wobei vor Ausbildung
der lichtempfindlichen Schicht die Oberfläche des Schichtträgers
einer Ätzbehandlung unter Verwendung einer sauren wäßrigen
Lösung unterzogen wird, derart, daß die maximale Rauhtiefe
Rmax mehr als 2,0 µm und weniger als 4,0 µm beträgt,
dadurch gekennzeichnet, daß die Ätzbehandlung
mit einer wäßrigen H₂SO₄-Lösung einer Konzentration
von 20-50 Gew.-% bei einer Temperatur von 50-80°C in einer
Zeit von 1-5 Minuten erfolgt.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63230658A JPH079539B2 (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 電子写真用感光体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3930044A1 DE3930044A1 (de) | 1990-03-15 |
DE3930044C2 true DE3930044C2 (de) | 1995-02-23 |
Family
ID=16911259
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3930044A Expired - Fee Related DE3930044C2 (de) | 1988-09-14 | 1989-09-08 | Verfahren zur Herstellung eines elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4936948A (de) |
JP (1) | JPH079539B2 (de) |
DE (1) | DE3930044C2 (de) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0588614A3 (de) * | 1992-09-16 | 1994-11-02 | Mitsubishi Chem Ind | Elektrophotographischer Photorezeptor. |
US5429715A (en) * | 1993-11-01 | 1995-07-04 | Xerox Corporation | Method for rendering imaging member substrates non-reflective |
JP3365213B2 (ja) * | 1996-08-07 | 2003-01-08 | 富士電機株式会社 | 電子写真用感光体及びその製造方法 |
US6432603B1 (en) | 1998-11-27 | 2002-08-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing electrophotographic photosensitive member |
JP2000162806A (ja) | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Canon Inc | 電子写真感光体、該感光体の製造方法、プロセスカートリッジ及び電子写真装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5850342B2 (ja) * | 1975-05-12 | 1983-11-10 | 富士写真フイルム株式会社 | キンゾクガゾウケイセイザイリヨウ |
JPS6079360A (ja) * | 1983-09-29 | 1985-05-07 | Kyocera Corp | 電子写真感光体及びその製造方法 |
JPS60230601A (ja) * | 1984-05-01 | 1985-11-16 | Masayasu Negishi | 膜処理方法 |
JPS6146966A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-07 | Toshiba Corp | 電子写真装置 |
JPS63157166A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-06-30 | Fuji Electric Co Ltd | 電子写真用感光体の製造方法 |
-
1988
- 1988-09-14 JP JP63230658A patent/JPH079539B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-09-08 DE DE3930044A patent/DE3930044C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-09-13 US US07/406,459 patent/US4936948A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0279048A (ja) | 1990-03-19 |
JPH079539B2 (ja) | 1995-02-01 |
DE3930044A1 (de) | 1990-03-15 |
US4936948A (en) | 1990-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3789881T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Photomasken und Photomaske. | |
DE69032005T2 (de) | Verfahren zum Kontrollieren der Dicke einer Dünnschicht während ihrer Herstellung | |
DE3787320T2 (de) | Schichtdickenmessgerät mit linearpolarisiertem Licht. | |
DE69103783T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Dicke einer Schicht. | |
EP0105961A1 (de) | Verfahren zum Messen der abgetragenen Schichtdicke bei subtraktiven Werkstückbearbeitungsprozessen | |
DE3930044C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines elektrofotografischen Aufzeichnungsmaterials | |
DE2923806A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der tonerkonzentration in elektrofotografischen kopiergeraeten | |
DE3889396T2 (de) | Staubgeschützter Film. | |
DE3435757C2 (de) | ||
DE1113136B (de) | Verfahren zur Herstellung xerografischer Reflex- oder Kontaktkopien | |
DE3601827A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines duennen films hoher lichtdurchlaessigkeit | |
DE3930045A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines elektrofotografischen aufzeichnungsmaterials | |
DE2728361A1 (de) | Verfahren zur steuerung von entwicklungs- oder aetzvorgaengen | |
DE3628015A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum entwickeln eines musters | |
DE69029603T2 (de) | Verfahren zur Kontrastoptimierung für Fotolacke | |
DE2353534C3 (de) | Verfahren zur Beeinflußung der farbsensitometrischen Eigenschaften von farbphotographischem Sofortbildaufzeichnungsmaterial für das Diffusions-Übertragungsverfahren | |
DE2024863C3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials | |
DE3521834A1 (de) | Interferometrisches gasspuergeraet | |
DE60026358T2 (de) | Auftragen von photolack bei gleichzeitiger kompensation der substratreflektivität | |
DE1497230B2 (de) | Elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial | |
DE1003036B (de) | Photographisches Aufnahme- und Kopierverfahren | |
DE2702920C2 (de) | ||
DE2909354C2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer flexiblen Flachdruckform auf elektrophotographischem Wege | |
DE19945144C2 (de) | Wartezeitabhängige Korrektur für lithographische Lackmaskenbelichtung | |
DE1522605B2 (de) | Elektrophotographisches Aufzeichnungs material |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
Free format text: HOFFMANN, E., DIPL.-ING., PAT.-ANW., 82166 GRAEFELFING |
|
8363 | Opposition against the patent | ||
8365 | Fully valid after opposition proceedings | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |