DE3902274C2 - Einrichtung zum Erkennen der Auftreffstelle eines Ladungsträgerstrahls auf einem Target - Google Patents
Einrichtung zum Erkennen der Auftreffstelle eines Ladungsträgerstrahls auf einem TargetInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Erkennen der Auftreffstelle
eines Ladungsträgerstrahls nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Einrichtungen dieser Art werden insbesondere bei Elektronenstrahl-Ver
dampferquellen, -Schmelzanlagen und -Schweißkanonen verwendet. Bei allen
diesen Anlagen ist es wichtig, den Elektronenstrahl exakt zu führen. So
wird zum Beispiel bei den Elektronenstrahl-Verdampferquellen der Elek
tronenstrahl derart über die Oberfläche des zu verdampfenden Materials
bewegt, daß auf einer bestimmten Fläche eine möglichst gleichmäßige
Oberflächentemperatur und damit eine über diese Fläche konstante Ab
dampfrate erzielt wird. Um eine exakte Führung des Elektronenstrahls,
der über elektrische und/oder magnetische Felder abgelenkt werden kann,
zu ermöglichen, ist es erforderlich, zunächst die Ist-Position genau zu
kennen.
Für die Ermittlung der Ist-Position werden verschiedene Eigenschaften des Materials
ausgenutzt, welche an der Auftreffstelle des Elektronenstrahls vorliegen.
Eine dieser Eigenschaften besteht darin, daß das Targetmaterial an
der Auftreffstelle schmilzt, während es an anderen Stellen noch fest
bleibt. Eine andere Eigenschaft ist die erhöhte Aussendung von UV-Licht
an der Auftreffstelle und wieder eine andere Aussendung von Rönt
genstrahlen, die beim Abbremsen von elektrisch geladenen Teilchen ent
stehen.
Für die Überwachung des Strahlauftreffbereichs in Korpuskularstrahl-
Bearbeitungsgeräten ist bereits eine Vorrichtung bekannt, die einen Kon
troll-Strahlengang für ein Bündel der von dem Strahlauftreffbereich
ausgehenden Teilchen- und/oder Röntgenstrahlen besitzt, wobei der Kon
trollstrahlengang ein Abbildungssystem zur Abbildung des Strahlauftreff
bereichs sowie einen im Bildbereich des Abbildungssystems angeordneten
Strahlungsempfänger aufweist (DE-AS 12 99 498). Mit dieser bekannten
Vorrichtung ist es indessen nicht möglich, eine präzise Koordinatenangabe
der Auftreffstelle des Elektronenstrahls auf einem Target zu erhalten, weil
die wirksame Fläche des Strahlungsempfängers kleiner ist als die Fläche
des bei optimaler Fokussierung des bearbeitenden Korpuskularstrahls vom
Abbildungssystem erzeugten Bildes des Strahlauftreffbereichs, d. h. der
gesamte Strahlungsempfänger wird von dem abgebildeten Strahlauftreff
bereich überdeckt.
Eine Einrichtung zum Erkennen der Auftreffstelle eines Ladungsträger
strahls auf einem Target, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, ist aus der EP- 0 184 680 A1 bekannt. Hierbei ist der von einem Abbildungssystem
auf einen Sensor abgebildete Auftreffbereich des Elektronenstrahls kleiner
als der Sensor. Es ist
ein Abbildungssystem vorgesehen, das alle Positionen, welche die Auftreff
stelle einnehmen kann, erfaßt und auf die Sensorfläche eines positions
empfindlichen Detektors abbildet. Nachteilig ist bei dieser bekannten
Einrichtung, daß das Positions-Istsignal durch eventuell auftretende Niveau
änderungen des Schmelguts verfälscht wird, d. h. die ermittelten x,y-
Koordinaten der Auftreffstelle werden durch Verändern der z-Koordinate
beeinflußt. In großen Aufdampfanlagen, welche das bevorzugte Einsatz
gebiet dieses bekannten Positionsgebers darstellen, ist der kürzeste Ab
stand des Detektors und der Blende von der Targetoberfläche im allge
meinen groß in Relation zur maximalen Höhenänderung der Schmelzgut
oberfläche, so daß die durch diese Höhenänderung hervorgerufene Ab
weichung der angezeigten von den tatsächlichen x,y-Koordinaten vernach
lässigbar klein ist.
In kleineren Aufdampfanlagen werden im allgemeinen Elektronenstrahlen
niedriger Leistung verwendet. Daraus resultiert eine wesentlich geringere
Intensität der Röntgenstrahlung, welche für die Positionsdetektion aus
genützt werden kann. In derartigen Anlagen müssen die Positionsdetektoren
daher in wesentlich geringerem Abstand zur Targetoberfläche angeordnet
werden. Oft ist auch aus konstruktiven Gründen gar nicht anders möglich,
als den Abstand zwischen Targetoberfläche und Positionsdetektor klein zu
halten. Damit bewirkt aber aufgrund des anderen Abbildungsmaßstabes
eine Veränderung der z-Koordinate des Strahlauftreffpunkts - auch bei
gleichbleibenden x,y-Koordinaten - eine Verschiebung des Bildpunktes auf
der Detektorfläche, die nicht mehr vernachlässigbar ist. Der Positions
dektektor gemäß EP 01 84 680 A1 ist daher für Kleinanlagen, bei denen
das Schmelz-Niveau variabel ist, weniger geeignet.
Niveauänderungen als solche könnten mit Hilfe von Entfernungsmeßein
richtungen erfaßt werden, wie sie beispielsweise in modernen Autofocus-
Kameras verwendet werden. Derartige Entfernungsmeßeinrichtungen er
möglichen jedoch keine Erfassung der x- und y-Koordinaten.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Positions-Istsignal
des Auftreffpunkts eines Elektronenstrahls auf einem Target zu erhalten,
das vom Schmelzgutniveau unabhängig ist.
Diese Aufgabe wird gemäß den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.
Der mit der Erfindung erzielte Vorteil besteht insbesondere darin, daß
die exakte Position der Auftreffstelle eines Elektronenstrahls auf der
Oberfläche eines Targets auch dann ermittelt werden kann, wenn sich das
Niveau des Schmelzguts verändert, was bei allen Verdampferanlagen von
Bedeutung ist, bei denen kein kontinuierlicher Materialnachschub während
des Verdampfungsvorgangs erfolgt. Darüberhinaus kann zugleich mit der
Auftreffposition des Elektronenstrahls auf der Targetoberfläche auch der
Füllstand des Schmelztiegels überwacht und somit ein Einbrennen des
Elektronenstrahls in den Boden des Tiegels verhindert werden. Weiterhin
ist mit der Erfindung die Bestimmung aller drei Raumkoordinaten der
Auftreffstelle des Elektronenstrahls in verschiedenen Koordinatensystemen
(z. B. kartesische Koordinaten, Polarkoordinaten, Kugelkoordinaten) möglich.
Unter der Auftreffstelle des Ladungsträgerstrahls wird der Ort des Schwer
punkts der Leistungsdichte-Verteilung der auf die Targetoberfläche treffen
den Ladungsträger verstanden.
Mit der Erfindung ist es auch möglich, die Koordinaten der Auftreffstelle
- also einschließlich der z-Koordinate - auch dann exakt zu ermitteln,
wenn die Detektoren nahe an der Targetoberfläche angeordnet sind. Eine
Veränderung irgendeiner Koordinate der Auftreffstelle hat keinen Einfluß
mehr auf die jeweils anderen, d. h. nicht korrelierten, ermittelten Ko
ordinaten. Bei einer Reihe von Anwendungsfällen ist es nicht erforderlich,
die exakte Ermittlung der Strahlposition an allen Punkten der Target
oberfläche zu ermitteln, sondern es wird lediglich die Festhaltung des
Auftreffbereichs in der Mitte der Targetoberfläche gewünscht. Für diese
Fälle kann in vorteilhafter Weise eine vereinfachte Version der Erfindung
in Form eines Mittenpositionsgebers zur Anwendung gelangen. Im Gegen
satz zu bekannten Positionsgebern ermöglicht auch diese vereinfachte
Version die exakte Bestimmung - wenngleich nur einer einzigen - aus
gezeichneten Position, z. B. der Mittenposition, auch dann noch, wenn
sich das Schmelzniveau und damit die z-Koordinate des Auftreffpunkts
verändert.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt
und wird im folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1a einen Tiegel und eine Elektronenstrahlkanone, wobei das Schmelz
gut im Tiegel einen hohen Pegel hat;
Fig. 1b dieselbe Anordnung wie in Fig. 1a, jedoch mit niedrigem
Schmelzgutpegel;
Fig. 2 das Prinzip einer erfindungsgemäßen Anordnung zur Bestimmung
der drei Ortskoordinaten x, y und z des Auftreffpunkts eines
Ladungsträgerstrahls auf einem Target;
Fig. 3 eine Auswerteschaltung für einen erfindungsgemäßen Positionsdetektor;
Fig. 4 eine Anordnung mit einem erfindungsgemäßen Elektronenstrahl-
Mittenpositionsdetektor für Kleinanlagen;
Fig. 5 einen geschnitten dargestellten Mittenpositionsdetektor;
Fig. 6 eine Auswerteschaltung für einen erfindungsgemäßen Mittenpositionsdetektor.
In der Fig. 1a ist ein Tiegel 1 mit Schmelzgut 2 dargestellt, über dem
sich eine Elektronenstrahlkanone 3 befindet. Diese Elektronenstrahlkanone
3 sendet einen Elektronenstrahl 4 auf die Oberfläche des Schmelzguts 2,
wodurch im Punkt P₁ Röntgenstrahlen 5, 6, 7 entstehen, die von Sensoren
8, 9, 10 erfaßt werden. Durch nicht dargestellte Ablenkeinrichtungen
kann der Elektronenstrahl 4 in verschiedene Richtungen abgelenkt werden,
so daß er beispielsweise in den Punkten P₂ bis P₈ auf die Oberfläche des
Schmelzguts auftrifft. Die Röntgenstrahlen werden dann entsprechend
von diesen Punkten P₂ bis P₈ emittiert. Die Höhe des Schmelzguts 2,
bezogen auf die Bodenfläche des Tiegels 1, ist in der Fig. 1a mit h₁
bezeichnet. Mit der in der EP-01 84 680 beschriebenen Einrichtung,
welche als Sensoren 8, 9, 10 z. B. Lateraldioden vorsieht, können die
jeweiligen Positionen P₁ bis P₈ exakt nach x- und y-Koordinaten angegeben
werden, und zwar unabhängig von der jeweiligen Intensität des
Elektronenstrahls 4. Verändert sich jedoch der Pegel, indem er beispielsweise
- wie in der Fig. 1b gezeigt - auf die Höhe h₂ absinkt, so
befinden sich die Auftreffpunkte P₁ . . .P₈ nun an anderen x-/y-Koordinaten.
Der Elektronenstrahl 4, der in Fig. 1a im Punkt P₁ auf die Oberfläche
des Schmelzguts traf, trifft bei abgesunkener Oberfläche in Fig. 1b
nun überhaupt nicht mehr auf das Schmelzgut 2. Der Auftreffpunkt
P₁′, der bezüglich seiner Oberflächen-x-/y-Koordinaten dem Auftreffpunkt
P₁ entspricht, sendet jetzt Röntgenstrahlen 5′, 6′, 7′ in Richtungen aus,
die zu den früheren Richtungen und bezogen auf die Sensoren 8, 9, 10
einen Winkel α, β, γ bilden. Mit der in den Fig. 1a und 1b dargestellten
Anordnung und einer elektrischen Auswerteschaltung für positionsempfindliche
Strahlungsdetektoren, wie sie beispielsweise in EP-01 84 680 beschrieben
ist, lassen sich daher die x- und y-Koordinaten des Auftreffpunkts
eines Ladungsträgerstrahls auf einem Target nur dann exakt bestimmen,
wenn der Abstand der Sensoren von der Oberfläche des Schmelzgutes
konstant bleibt. Will man den Einfluß einer Niveauänderung des
Schmelzgutes auf die x-y-Koordinaten bei der Anordnung gemäß EP-01 84
680 vermeiden, so müßte man die Sensoren entsprechend der Niveauänderung
des Schmelzgutes mitbewegen. Dies würde jedoch neben dem
zusätzlichen Aufwand für die Bewegung der Sensoren vor allem die von den
x- und y-Koordinaten unabhängige Bestimmung der z-Koordinate des Auftreffpunkts
des Ladungsträgerstrahls erfordern. Diese unabhängige Bestimmung
der z-Koordinate ist mit der beschriebenen Anordnung aber
nicht möglich, da jeder beliebig über dem Target angeordnete positionsempfindliche
Detektor Signale liefert, die von wenigstens zwei Koordinaten
des Auftreffpunkts des Ladungsträgerstrahls abhängen.
In der Fig. 2 ist das Prinzip der erfindungsgemäßen Einrichtung für die
Bestimmung der Ortskoordinaten des Auftreffpunkts eines Ladungsträgerstrahls
auf einem Target dargestellt. Die Darstellung erfolgt hierbei mit
Hilfe kartesischer Koordinaten gemäß der x,y,z-Zuordnung 20. Die x- und
z-Achsen liegen hierbei in der Zeichenebene, während die y-Achse aus der
Zeichenebene herausragt. Mit 21 ist ein Tiegel bezeichnet, der im Querschnitt
dargestellt ist. Oberhalb des Tiegels 21 befinden sich zwei positionsempfindliche
Sensoren 22, 23 sowie zwei Lochblenden 24, 25. Die
Lochblenden 24, 25 sind hierbei zwischen dem Tiegel 21 und den Sensoren
22, 23 angeordnet. Die strahlungsempfindlichen Oberflächen der Sensoren
22, 23, die auf ein Target 26 gerichtet sind, liegen parallel zur X-, Y-
Ebene. Die Sensoren 22, 23 weisen Positionsempfindlichkeiten entlang den
Achsen X und Y auf. Eine Gerade 27 bezeichnet die Schnittlinie der Oberfläche
des Targets 26, bei dem es sich z. B. um Schmelzgut handelt, zu
einem bestimmten Zeitpunkt t₁ mit der X-Z-Ebene.
Eine andere Gerade 28 bezeichnet die Schnittlinie der Oberfläche des Targets
26 zur X-Z-Ebene zu einem anderen Zeitpunkt t₂. Mit 29 ist ein beliebig
gewählter fester Bezugspunkt auf der Targetoberfläche 27 zum Zeitpunkt
t₁ bezeichnet. Von diesem Bezugspunkt 29 verlaufen unter den Winkeln ε₁
bzw. ε₂ zu einer gedachten Flächennormalen 30 zwei Geraden 31, 32 durch
Öffnungen 33, 34 der Blenden 24, 25. Diese Geraden 31, 32 treffen in
den Punkten 35, 36 auf die röntgenstrahlenempfindlichen Flächen der
Sensoren 22, 23. Mit 37 ist der Auftreffort eines nicht dargestellten
Ladungsträgerstrahls auf dem Target 26 zum Zeitpunkt t₂ bezeichnet. Von
diesem Punkt 37, der die Koordinaten x′ und z′ relativ zum Punkt 29 aufweist,
gehen zwei Geraden 38, 39 aus, die den Verlauf der entstehenden
Röntgenstrahlen angeben und in den Punkten 40, 41 auf die Sensoren 22,
23 treffen. Der in Richtung der Z-Achse gemessene Abstand der Blendenöffnungen
33, 34 zu den Sensoren ist mit a, jener von den Blendenöffnungen
33, 34 zur Schmelzgutoberfläche 27 zum Zeitpunkt t₁ ist mit
b bezeichnet.
Verschiebt sich nun der Auftreffort des Ladungsträgerstrahls auf dem
Schmelzgut vom Punkt 29 zum Punkt 37, so registriert der Sensor 22 auf
seiner Oberfläche eine Verschiebung der Röntgenstrahlen entlang der X-
Achse um die Strecke x₁, während der Sensor 23 eine Verschiebung um
die Strecke x₂ feststellt. Aus geometrischen Überlegungen folgt mit Hilfe
des Strahlensatzes die Beziehung
bzw.
Analog gilt im Hinblick auf die Strecke x₂ die Gleichung
bzw.
Durch Subtraktion der Gleichung (II) von der Gleichung (IV) erhält man
und daraus durch Umformung
mit k₁ = tan ε₁ + tan ε₂ = const.
Durch die Addition der Gleichungen (II) und (IV) ergibt sich
Wählt man den Bezugspunkt 29 derart, daß ε₁ = ε₂, so folgt aus Gleichung
(VII)
Durch Umformung von Gleichung (VIII) erhält man
bei ε₁ = ε₂.
In Analogie zur Gleichung (IX) erhält man für die y-Koordinate
für δ₁ = δ₂,
wenn mit y′ die y-Koordinate des Punktes 37 relativ zum Punkt 29, mit y₁ und y₂ die y-Koordinaten der Punkte 40 bzw. 41 relativ zu den Punkten 35 bzw. 36 und mit δ₁ und δ₂ die zu den Winkeln ε₁ bzw. ε₂ entsprechenden Winkel in der yz-Ebene bezeichnet werden.
wenn mit y′ die y-Koordinate des Punktes 37 relativ zum Punkt 29, mit y₁ und y₂ die y-Koordinaten der Punkte 40 bzw. 41 relativ zu den Punkten 35 bzw. 36 und mit δ₁ und δ₂ die zu den Winkeln ε₁ bzw. ε₂ entsprechenden Winkel in der yz-Ebene bezeichnet werden.
Aus den positionsproportionalen Signalen der Sensoren 22 und 23 läßt sich
demnach mit der Gleichung (VI) die z-Koordinate des Auftreffpunkts des
Ladungsträgerstrahls auf dem Target ermitteln, und bei Kenntnis dieser
z-Koordinate können aus den Gleichungen (IX) und (X) die x- und y-
Koordinaten bestimmt werden. Die erforderlichen Berechnungen können
beispielsweise mit Hilfe eines Mikrocomputers durchgeführt werden.
In vielen Fällen ist der Abstand (a + b) der Detektoren 22, 23 von der
Oberfläche 27 des Targets wesentlich größer als die maximale Niveauverschiebung
z′max des Schmelzguts. Die Gleichungen (II) und (IV) können
dann wie folgt geschrieben werden
Durch Subtraktion der Gleichung (XI) von der Gleichung (XII) folgt nunmehr:
Durch Addition der Gleichungen (XI) und (XII) ergibt sich
Analog ergibt sich wiederum für die y-Koordinate
Mit Hilfe der Gleichungen (XIII) bis (XV) lassen sich die Koordinaten des
Auftreffpunkts eines Ladungsträgerstrahls auf einem Target aus den Signalen
der positionsempfindlichen Sensoren 22, 23 in erster Näherung auf einfache
Weise, z. B. mit Hilfe einer Analogschaltung, bestimmen.
Ein Ausführungsbeispiel einer Auswerteschaltung für einen erfindungsgemäßen
Positionsdetektor ist in der Fig. 3 gezeigt und wird im folgenden
näher beschrieben.
Die von den bidirektional positionsempfindlichen Photosensoren 22 und 23
erzeugten positions- und intensitätsabhängigen Ströme I₁ bis I₈ werden
zunächst in Auswerteschaltungen 45 bzw. 46 in von der Strahlungsintensität
unabhängige positionsproportionale elektrische Spannungen Ux1, Uy1
bzw. Ux2, Uy2 umgewandelt. Dabei ist Ux1 proportional zur Auslenkung der
auf den Sensor 22 treffenden Strahlung in Richtung der X-Achse, Uy1 ist
proportional zur Auslenkung der Strahlung auf dem Sensor 22 in Richtung
der Y-Achse. Analoges gilt für die Spannungen Ux2 und Uy2 in bezug auf
den Sensor 23. Eine Auswerteschaltung 45, 46, wie sie her zur Anwendung
kommen kann, ist beispielsweise in den Fig. 5 und 6 der EP-01 84 680
dargestellt. Dort wird die Differenz jeweils zweier Sensorströme durch
deren Summe dividiert. Gemäß der vorliegenden Erfindung werden aus den
positionsproportionalen Spannungen Ux1, Uy1, Ux2, Uy2 über elektronische
Additionsschaltungen 47, 48 bzw. eine Subtraktionsschaltung 49 Spannungen
Ux, Uy, Uz gewonnen, welche jeweils ausschließlich von den Koordinaten
x bzw. y bzw. z des Auftreffpunkts des Ladungsträgerstrahls auf dem
Target abhängen. Die Verknüpfung erfolgt dabei gemäß den Gleichungen
(XIII) bis (XV). Es gilt:
Uxα(Ux1+Ux2) (XVI)
Uyα(Uy1+Uy2) (XVII)
Uzα(Ux1+Ux2) (XVIII)
Die so erzeugten positionsproportionalen Spannungen Ux und Uy können als
Regelgröße für die Regelung der Auftreffposition eines Elektronenstrahls
auf einem Target in Elektronenstrahl-Verdampferanlagen herangezogen
werden, wobei die Istposition des Strahls auch dann richtig erfaßt wird,
wenn sich das Niveau des Schmelzguts verschiebt. Die Spannung Uz kann
zur Überwachung der Höhe des Schmelzguts verwendet werden und insbesondere
als Kriterium dafür dienen, wann das zu verdampfende Material
verbraucht bzw. der Tiegel nachzufüllen ist.
In einer Reihe von Anwendungen, insbesondere bei kleinen Elektronenstrahl-
Verdampferanlagen, ist lediglich die Festhaltung der Auftreffstelle des
Elektronenstrahls im Mittenbereich der Targetoberfläche von Interesse.
Dies ist vor allem dann der Fall, wenn die Oberfläche des Targets und
die Querschnittsfläche des auftreffenden Elektronenstrahls in vergleichbarer
Größe liegen. Darüberhinaus ist bei solchen Anlagen oftmals die
Überwachung und Regelung der Strahlposition nur entlang einer bestimmten
Achsenrichtung notwendig, da aus konstruktiven Gründen maßgebliche
Schwankungen der Elektronenstrahlposition aufgrund thermischer oder
anderer Effekte nur entlang einer bestimmten Achsenrichtung auftreten.
Wenn, wie im oben zitierten Fall, nur die exakte Erkennung und Regelung
einer ausgezeichneten Position - z. B. der Mittenposition - des Auftreffpunkts
eines Ladungsträgerstrahls auf einem Target gefordert ist, so
genügt es, ein Signal zu erzeugen, das eine stetige, monotone Funktion der
Auftreffposition ist und das bei der ausgezeichneten Position einen bestimmten
Wert - z. B. Null - annimmt. Ein eindeutiger und linearer Zusammenhang
zwischen einem solchen Signal und den Ortskoordinaten jeder
möglichen Strahlposition ist in diesem Fall nicht erforderlich. Um den
Einfluß einer Niveauänderung des Schmelzgutes auf das Ortssignal eines
solchen Detektors - der im folgenden als "Mittenpositionsdetektor" bezeichnet
wird - zu eliminieren, kann gemäß der vorliegenden Erfindung ein
positionsempfindlicher Detektor, der Positionsempfindlichkeit entlang der
zu überwachenden Koordinatenachse aufweist, in der Weise über dem
Target angeordnet werden, daß die Projektion der Symmetrieachse des
Detektors auf die Targetoberfläche genau durch jenen Punkt auf der Oberfläche
verläuft, dessen Position exakt erkannt werden soll.
Der mit dieser Anordnung erzielte Vorteil besteht insbesondere darin, daß
stets dann, wenn der Elektronenstrahl seine Mittenposition erreicht, ein
vom Schmelzgutniveau unabhängiges Nulldurchgangssignal erzeugt wird. Ein
Ausführungsbeispiel für einen erfindungsgemäßen Mittenpositionsdetektor
ist im folgenden näher beschrieben.
Die Fig. 4 zeigt in einer Projektion in die xz-Ebene einen erfindungsgemäßen
Elektronenstrahl-Mittenpositionsdetektor 50, der an einer Verdampferquelle
51 montiert ist. Der Abbildungsmaßstab beträgt etwa 1 : 1.
In der Verdampferquelle 51 befindet sich ein Tiegel 52, der gestrichelt
dargestellt ist. Mit 53 ist die vertikale Achse des Tiegels 52 bezeichnet,
die zugleich die Richtung eines senkrecht auf die nicht dargestellte
Schmelzgutoberfläche auftreffenden Elektronenstrahls anzeigt. Die Symmetrieachse
des Positionsdetektors 50 ist mit 54 bezeichnet; sie schneidet im
Punkt 55 die vertikale Achse 53.
Mit Hilfe eines Montageprofils 56 und über eine Montageplatte 57 ist
der Positionsdetektor 50 mit der Verdampferquelle 51 verbunden. Das
Montageprofil 56 ist hierbei mit der Montageplatte 57 hart verlötet. Ein
weiteres Montageprofil 58, das mit dem erstgenannten Montageprofil 56
durch zwei Zylinderschrauben 59, 60 verbunden ist, ist mit dem Positionsdetektor
50 hart verlötet.
Der Positionsdetektor 50 arbeitet nach dem Prinzip der "Röntgen-Lochkamera".
Dabei wird die von der Auftreffstelle des Elektronenstrahls 4
auf dem Target 2 ausgehende Röntgenstrahlung über eine Lochblende auf
einen positionsempfindlichen Fotodetektor abgebildet. Die vom Detektor
gelieferten Signale werden elektronisch verstärkt und weiterverarbeitet.
Mit der in Fig. 4 dargestellten Anordnung soll insbesondere erreicht
werden, daß der Elektronenstrahl 53 mit Hilfe einer Regeleinrichtung auf
die Mitte des Tiegels 52 eingeregelt werden kann, wobei nur die bezüglich
der Drift kritische y-Ablenkung überwacht wird. Der Positionsgeber
50 liefert also ein Spannungssignal, das proportional zur Abweichung des
Elektronenstrahl-Auftreffpunkts von der Tiegelmitte ist, wobei über
etwaige rasche Strahlbewegungen bzw. Strahloszillationen gemittelt wird.
Die Detektorgeometrie ist so gewählt, daß die Mittenposition des
Elektronenstrahls 53 unabhängig vom Füllstand des Schmelztiegels 52 richtig
erkannt wird.
Im Betrieb wird das Gehäuse des Positionsgebers 50 gemeinsam mit
anderen Bereichen der Anlage evakuiert. Das Vakuum ist jedoch keine
Betriebsbedingung für den Positionsdetektor, sondern lediglich für den
Elektronenstrahlverdampfer selbst.
Mit der Anordnung gemäß Fig. 4 wird die z-Koordinate nicht explizit
bestimmt, es wird jedoch deren Einfluß auf die angezeigten x-y-Koordinaten
einer ausgezeichneten Position eliminiert. Im Vergleich zu dem aus
der EP-01 84 680 A1 bekannten Positionsdetektor läßt sich der Mittenpositionsdetektor
kostengünstiger aufbauen, weil das Positionssignal nicht
über den ganzen möglichen Auftreffbereich des Strahls eine lineare Funktion
der Ortskoordinate sein muß. Auch der Umstand, daß die beschriebene
Verhältnisbildung und Logarithmierung der Detektorsignale
mittels eines einzigen integrierten Bausteins durchgeführt werden kann,
reduziert die Kosten der Positionserkennung, zumal die Vermeidung eines
Analog-Dividierers oder anderer relativ aufwendiger Bauelemente nicht
erforderlich ist. Darüber hinaus ergibt sich durch das Logarithmieren
der Vorteil einer sehr hohen Dynamik.
In der Fig. 5 ist der Positionsdetektor 50 in vergrößertem Maßstab und
geschnitten dargestellt. Man erkennt hierbei eine Schutzkappe 62, die in
eine Nut 63 auf dem äußeren Umfang eines Gehäuses 64 eingreift, welches
innen hohl ist. Mittels einer Blattfeder 65, die an einer Nase 66 der
Schutzkappe 62 befestigt ist, wird hierbei eine Blende 67 gegen das Gehäuse
64 gedrückt. Zwischen der Schutzkappe 62 und dem vorderen Bereich
des Gehäuses 64 übernimmt die Blende 67 die Funktion einer Röntgenstrahl-
Lochblende. Eine Schutzfolie 69 ist zwischen die
Blende 67 und die Schutzkappe 62 eingeklemmt. Bei dieser Schutzfolie
69 kann es sich um eine dünne Aluminiumfolie handeln,
welche den eigentlichen Detektor vor Bedampfung schützt. Sie
kann auf einfache Weise jeweils beim Wechseln der Substrate
erneuert werden, um eine zu große Intensitätsabschwächung der zu detektierenden
Röntgenstrahlen durch die auf der Folie 69 entstehende
zusätzliche Schicht zu vermeiden. Der innere Hohlraum 70 des Gehäuses
64 ist nach vorne, also in Richtung auf die eintretenden Röntgenstrahlen,
durch die Schutzfolie 69 und nach hinten durch eine weitere Schutzfolie
71 abgeschlossen, bei der es sich um eine Trennfolie handelt, welche im
Falle einer Beschädigung der Folie 69 deren Schutzfunktion übernimmt.
Diese letztgenannte Schutzfolie 71 ist zwischen ein Stützblech 72 und
eine Halterung 73 eingespannt. Hinter der Halterung 73 befindet sich
eine Detektor-Trägerplatte 74 mit einem Detektor 75. An diese Detektor-
Trägerplatte 74 schließt ein Gehäusedeckel 76 an, der über Zylinderschrauben
78 mit dem Gehäuse 64 verbindbar ist und zwischen sich
und dem Gehäuse 64 die Detektor-Trägerplatte 74 einklemmt. Ein Gummiwulst
79 ist in einer Nut des Gehäusedeckels 76 angeordnet, die sich etwa
in der Mitte dieses Deckels 76 befindet. Dieser Gummiwulst berührt die
Detektor-Trägerplatte 74. Um den Hohlraum 70 des Gehäuses 64 herum ist
ein Kühlwasserkanal 80 gelegt, der über ein Kupferrohr 81 mit Kühlwasser
von ca. 10 bis 25°C gespeist wird.
Der Elektronenstrahl-Positionsgeber 50 kann in Verbindung mit einer
entsprechenden Auswerte- und Steuerelektronik manuell oder automatisch
betrieben werden.
Im manuellen Betrieb erfolgt lediglich die Überwachung der Strahlposition
und gegebenenfalls die Anzeige einer Abweichung aus der Tiegelmitte
über die LED-Reihe, jedoch keine Positionsregelung und keine Abschaltung
des Elektronenstrahl-Verdampfers im Fehlerfall.
Im Automatikbetrieb wird das von dem Detektor 75 gelieferte Positionssignal
in eine Leistungsstufe für die y-Ablenkung des Elektronenstrahls 53
eingespeist und einem mittels Potentiometer an einer Fernbedienung gewählten
Stellwert für den y-Ablenkstrom überlagert.
Wie eine Auswerteschaltung für das Detektorsignal aufgebaut sein kann,
zeigt die Fig. 6.
Der positionsempfindliche Detektor 90 wird aus zwei nebeneinanderliegenden,
großflächigen (ca. 10 mm×10 mm) Fotodioden 91, 92 gebildet. Dies
stellt eine besonders kostengünstige Lösung bei gleichzeitiger guter Ausnützung
der zu detektierenden Röntgenstrahlung dar. Das eigentliche
Detektorsignal wird aus dem Verhältnis der Stromsignale der beiden Fotodioden
91, 92 gebildet.
Wie anhand von Versuchen gezeigt werden konnte, ist bei bekannten
Silizium-Fotodioden (z. B. Siemens BPY 63 P, Hamamatsu S 2387, Hamamatsu
S 1227, Hamamatsu S 1723) im Bereich von
Elektronenstrahlprimärspannungen zwischen 6 kV und 12 kV ein Anstieg
der Röntgenstrahlempfindlichkeit mit wachsender Primärenergie zu erkennen.
Wegen der stark vom verwendeten Targetmaterial abhängigen Röntgenausbeute
- die Intensität der Röntgenbremsstrahlung ist proportional zur
Ordnungszahl des Targets; zusätzlich werden charakteristische Röntgenlinien
angeregt - und wegen der unterschiedlichen Absorption der
Strahlung in der vor dem Detektor befindlichen Aluminium-Schutzfolie
ergeben sich für verschiedene Targetmaterialien stark unterschiedliche
Detektorsignale. Dennoch sind die Röntgenintensitäten selbst bei niedrigen
Beschleunigungsspannungen von 6 kV und Targetmaterialien mit
geringer Röntgenausbeute ausreichend, um auch bei geringsten Emissionsströmen
(10 mA) eine einwandfreie Detektion zu ermöglichen. Dies ist
vor allem für die Realisierung eines automatischen Einschaltvorgangs eines
Elektronenstrahlverdampfers von Bedeutung.
Hauptaufgabe der in der Fig. 6 dargestellten Auswerteelektronik für die
Fotodioden 91, 92 ist die Bildung eines stetigen, monoton vom Ort der auf
den Detektor 90 treffenden Strahlung abhängigen, jedoch von der Strahlungsintensität
unabhängigen Positionssignals. Diese Aufgabe kann, wie
vorangehend beschrieben, durch eine Auswerteschaltung 45, 46 gelöst
werden.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird nun anstelle der Differenz zweier
Ströme als intensitätsunabhängiges Positionssignal das Stromverhältnis
I₁/I₂ bzw. dessen Logarithmus herangezogen.
Der Vorteil des Verfahrens liegt u. a. darin, daß die Verknüpfung der
Signale mit Hilfe eines einzigen integrierten Bausteins, z. B. LOG 100
von Burr Brown, mit sehr geringem zusätzlichem Schaltungsaufwand realisiert
werden kann und daß infolge der Logarithmierung ein extrem
hoher Dynamikbereich in der Größenordnung 1 : 10⁶ ohne die Notwendigkeit
einer Bereichsumschaltung erzielt wird, was bei kleinen Elektronenstrahl-
Verdampferanlagen von großer Bedeutung ist. In der Fig. 6 ist ein
solcher integrierter Baustein 93 als logarithmischer Verstärker bezeichnet.
Dieser liefert an seinem Ausgang ein Spannungssignal Up, das dem folgenden
funktionalen Zusammenhang genügt:
Dabei ist k eine durch äußere Beschaltung des Verstärkers 93 einstellbare
Konstante, I₁ und I₂ sind die von den Fotodioden 91 bzw. 92 gelieferten
Ströme. Das so erzeugte Signal Up ist unabhängig von der Gesamtintensität
der auf die Fotodioden treffenden Röntgenstrahlung, da bei einer Änderung
der Strahlungs-Gesamtintensität sich immer beide Detektorströme I₁ und I₂
im gleichen Verhältnis ändern. Immer dann, wenn die Position des Auftreffpunkts
des Elektronenstrahls in Richtung der Y-Achse in der Targetmitte
liegt, sind die Detektorströme I₁ und I₂ gleich groß und das Signal
Up erreicht nach der Gleichung (XIX) den Wert Null. Aufgrund der gewählten
Detektoranordnung ist dies unabhängig von der z-Koordinate des
Elektronenstrahls, d. h. unabhängig vom Schmelzgutniveau, der Fall. Verschiebt
sich die Elektronenstrahlposition entlang der Y-Achse, so verändert
sich das Verhältnis der Detektorströme I₁ und I₂ und das Signal Up
nimmt - je nach Richtung der Verschiebung - positive oder negative Werte an.
Diese Werte des Signals Up sind nun aus geometrischen Gründen nicht
mehr unabhängig vom Schmelzgutniveau, jedoch kann eine Veränderung der
z-Koordinate niemals einen Vorzeichenwechsel von Up bewirken. Auch bei
konstanter z-Koordinate ist die Abhängigkeit des Signals Up von der y-
Koordinate nicht linear, doch sind die Abweichungen im interessierenden
Bereich gering und insbesondere dann tolerierbar, wenn es - wie hier -
nur auf die exakte Bestimmung der Mittenposition ankommt. Das so
erzeugte Signal Up ist somit - entsprechend der oben definierten Anforderung
- eine stetige, monotone Funktion der y-Koordinate des Auftreffpunkts
des Elektronenstrahls und kann daher als Regelkriterium für
die Regelung der y-Koordinate des Elektronenstrahls auf die Targetmitte
herangezogen werden. Eine Verschiebung der Elektronenstrahlposition
entlang der X-Achse auf dem Target hat lediglich eine Änderung der
gesamten, auf beide Detektoren treffenden Röntgenstrahlungsintensität
zur Folge und bewirkt daher keine Änderung des Signals Up.
Die Fotodioden 91, 92 werden in der Regel mit negativer Vorspannung
betrieben. Mit höherer Sperrspannung sinken die Sperrschichtkapazitäten
der Fotodioden 91, 92, wodurch ihre Ansprechgeschwindigkeit steigt.
Außerdem ist bei Betrieb mit Vorspannung ein exakt linearer Zusammenhang
zwischen Lichtintensität und Fotostrom über einen größeren Bereich
gegeben. Deshalb werden die Fotodioden 91, 92 in der Schaltungsanordnung
gemäß Fig. 6 mit einer stabilisierten Vorspannung 96 betrieben. Dabei
wird der in die Dioden 91, 92 fließende Strom durch eine Gesamtstrommessung
97 gemessen und angezeigt.
Das aus dem logarithmischen Verstärker 93 kommende Positionssignal
wird auf einen Integrator 98 gegeben, der über die Strahloszillation
mittelt und ein Signal abgibt, das als Positionsanzeige verwendet werden
kann.
Neben der eigentlichen Positionserkennung, die durch die Blöcke 90, 93,
96, 97, 98 charakterisiert ist, hat die in der Fig. 6 gezeigte Auswerteelektronik
noch einige Zusatzfunktionen, z. B. Automatisierung des Einschaltvorgangs,
Notabschaltung im Fehlerfall etc.
Wie aus dem unteren Teil der Prinzipdarstellung der Fig. 6 ersichtlich,
erfolgt bei der Stellung "manuell" eines Schalters 99, der eine Fehlererkennungsschaltung
94 beaufschlagt, lediglich die Überwachung der
Strahlposition und gegebenenfalls die Anzeige einer Abweichung aus der
Tiegelmitte, jedoch keine Positionsregelung und keine Abschaltung im
Fehlerfall.
In der Stellung "Automatik" des Schalters 99 wird das vom Detektor 90
gelieferte Positionssignal, das aus dem Integrator 98 kommt, in eine nicht
dargestellte Leistungsendstufe für die y-Ablenkung des Elektronenstrahls
eingespeist und dem mittels Potentiometer an der Fernbedienung bzw.
am Ablenksteuergerät gewählten Stellwert für den y-Ablenkstrom überlagert.
Versagt die Strahlablenkung während des Betriebs, beispielsweise indem
der Elektronenstrahl aus dem Sichtfeld des Detektors 90 herausläuft, so
wird dies durch die Fehlererkennungsschaltung 94 erkannt, die eine Notabschaltung
des Elektronenstrahl-Verdampfers auslöst. Ebenso wird ein
Über- bzw. Unterschreiten des zulässigen Eingangsstrompegels für den
logarithmischen Verstärker 93 von dieser Fehlererkennungsschaltung 94
erkannt, die dann ebenfalls eine Notabschaltung auslöst.
Weiterhin ist eine Erkennungsschaltung 95 vorgesehen, deren Aufgabe darin
besteht, zu unterscheiden, ob es sich beim Einschalten der Hochspannungsversorgung
für den Elektronenstrahl-Verdampfer um eine Neueinschaltung,
d. h. um eine Aufnahme des Betriebs nach einer Betriebspause, oder um
eine Wiedereinschaltung nach einer kurzzeitigen Hochspannungsunterbrechung,
z. B. infolge eines Überschlags, handelt. Im erstgenannten Fall
wird der Emissionsstrom durch eine Begrenzerschaltung 102 so lange auf
ca. 10 bis 20 mA begrenzt, bis der Detektor die richtige Positionierung
des Elektronenstrahls meldet. Diese Emissionsstrombegrenzung erfolgt
unabhängig von einem am Potentiometer 103 voreingestellten Wert für den
Emissionsstrom. Falls innerhalb einer geeignet gewählten Anlaufzeit, die
durch ein Zeitglied 104 bestimmt wird, die richtige Strahlpositionierung
vom Detektor 90 nicht erkannt wird - beispielsweise weil eine falsch eingestellte
oder fehlerhafte Strahlablenkung vorliegt -, erfolgt eine Abschaltung
der Hochspannungsversorgung mit entsprechender Fehlermeldung.
Nach einer kurzzeitigen Hochspannungsunterbrechung, z. B. nach einem
Überschlag, wird erneut eingeschaltet. Falls nach Ablauf der durch ein
Zeitglied 101 gegebenen Einschaltzeit keine Erkennung der richtigen Strahlpositionierung
erfolgt, wird ebenfalls eine Hochspannungsabschaltung mit
entsprechender Fehlermeldung ausgelöst.
Claims (14)
1. Einrichtung zum Erkennen der Auftreffstelle eines Ladungsträgerstrahls auf einem Target,
wobei die von der Auftreffstelle ausgehenden Röntgenstrahlen erkannt werden und
wobei diese Einrichtung enthält:
- 1.1 einen an einer ersten Stelle befindlichen ersten positionsempfindlichen Sensor (22);
- 1.2 ein erstes Abbildungssystem (24), welches alle Positionen, die die Auftreffstelle (29, 37) annehmen kann, erfaßt und eine erste Abbildung (40, 35) der Auftreffstelle auf dem Target auf der Detektorfläche des ersten positionsempfindlichen Sensors (22) erzeugt;
- 1.2.1 wobei die Koordinaten der ersten Abbildung in einem monotonen funktionalen Zusammenhang mit den Oberflächenkoordinaten der Auftreffstelle stehen und
- 1.2.2 wobei der erste positionsempfindliche Detektor (22) Ausgangssignale abgibt, die ihrerseits monoton von den Oberflächenkoordinaten der ersten Abbildung der Auftreffstelle abhängen;
- 1.3 einen zweiten positionsempfindlichen Sensor (23), der in einem vorgegebenen
Abstand vom ersten positionsempfindlichen Sensor (22) angeordnet ist,
dadurch gekennzeichnet, daß - 1.4 ein zweites Abbildungssystem (25) alle Positionen erfaßt, die die Auftreffstelle (29, 37) annehmen kann, welches eine zweite Abbildung der Auftreffstelle auf dem Target auf der Detektorfläche des zweiten positionsempfindlichen Detektors (23) erzeugt;
- 1.4.1 wobei die Oberflächenkoordinaten der zweiten Abbildung in einem monotonen funktionalen Zusammenhang mit den Oberflächenkoordinaten der Auftreffstelle stehen und
- 1.5 eine Auswerteeinrichtung (45 bis 49) vorgesehen ist, welcher die Ausgangssignale des ersten und des zweiten positionsempfindlichen Sensors (22, 23) zugeführt werden und welche hieraus alle drei Raumkoordinaten der Auftreffstelle des Ladungsträgerstrahls ermittelt.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die positionsempfindlichen
Detektoren (22, 23) jeweils vier Ströme (I₁) bis (I₄) bzw. (I₅) bis (I₈) abgeben, die jeweils
als vier Ströme (I₁) bis (I₄) bzw. (I₅) bis (I₈) einer Auswerteschaltung (45) bzw. (46) zugeführt
sind, von denen jede zwei Ausgangsspannungen (Ux1, Uy1) bzw. (Ux2, Uy2) bereitstellt,
welche die Flächen-Koordinaten des ersten bzw. des zweiten Bildes der Auftreffstelle
des Ladungsträgerstrahls repräsentieren, wobei die eine Ausgangsspannung (Ux1) der
einen Auswerteschaltung (45) und die eine Ausgangsspannung (Ux2) der anderen Auswerteschaltung
(46) einem ersten Summenbildner (47) sowie einem Differenzbildner (49) zugeführt
sind, während die andere Ausgangsspannung (Uy1) der einen Auswerteschaltung
(45) und die andere Ausgangsspannung (Uy2) der anderen Auswerteschaltung (46) einem
zweiten Summenbildner (48) zugeführt sind, und daß das Ausgangssignal (Ux) des ersten
Summenbildners (47) einer ersten Raumkoordinate (x) proportional ist, während das
Ausgangssignal (Uy) des zweiten Summenbildners (48) einer zweiten Raumkoordinate
(y) und das Ausgangssignal (Uz) des Differenzbildners (49) einer dritten Raumkoordinate
(z) proportional sind.
3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden positionsempfindlichen
Detektoren (22, 23) oberhalb des Targets (26) angeordnet sind, und daß sich
zwischen den Detektoren (22, 23) und dem Target (26) zwei Lochblenden (24, 25) befinden,
von denen die eine Lochblende (24) den Auftreffpunkt (z. B. 29) auf den einen Detektor
(22) und die andere Lochblende (25) den Auftreffpunkt (29) auf den anderen Detektor
(23) abbildet.
4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Blenden (24,
25) jeweils denselben Normalabstand (b) von der Oberfläche (27) des Targets (26) sowie
jeweils denselben Normalabstand (a) zu den Sensorflächen der ihnen zugeordneten Detektoren
(22) bzw. (23) haben.
5. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die positionsempfindlichen
Detektoren jeweils durch Aneinanderreihung zweier oder mehrerer Fotosensoren
gebildet werden, die für sich genommen keine Positionsempfindlichkeit aufweisen.
6. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die strahlungsempfindlichen
Oberflächen der beiden Detektoren (22, 23) in ein und derselben Ebene liegen, welche
zu der von den Koordinatenachsen X und Y aufgespannten Ebene parallel ist, wobei
diese Detektoren (22, 23) Positionsempfindlichkeiten entlang der X-Achse aufweisen und
Signale (Ux1) bzw. (Ux2) liefern, und daß das ausschließlich von der Z-Koordinate des Auftreffpunkts
(29) des Ladungsträgerstrahls auf dem Target (26) abhängige Signal (Uz) proportional
ist zum Verhältnis zweier Terme, wobei der erste Term aus der Differenz der
Signale (Ux1) und (Ux2) und der zweite Term aus einer ersten Konstanten abzüglich der
Differenz der Signale (Ux1) und (Ux2) gebildet sind.
7. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die strahlungsempfindlichen
Oberflächen der beiden Detektoren (22, 23) in ein und derselben Ebene liegen, welche
zu der von den Koordinatenachsen X und Y aufgespannten Ebene parallel ist, wobei
diese Detektoren (22, 23) Positionsempfindlichkeiten entlang der Y-Achse aufweisen und
Signale (Uy1) bzw. (Uy2) liefern, und daß das ausschließlich von der Z-Koordinate des Auftreffpunkts
(29) des Ladungsträgerstrahls auf dem Target (26) abhängige Signal (Uz) proportional
ist zum Verhältnis zweier Terme, wobei der erste Term aus der Differenz der
Signale (Uy1) und (Uy2) und der zweite Term aus einer zweiten Konstanten abzüglich der
Differenz der Signale (Uy1) und (Uy2) gebildet sind.
8. Einrichtung nach den Ansprüchen 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß das ausschließlich
von der X-Koordinate des Auftreffpunkts (29) des Ladungsträgerstrahls auf
dem Target abhängige Signal (Ux) proportional ist zur Summe aus zwei Termen, wobei
der erste Term aus dem Produkt einer dritten Konstanten mit der Summe der Signale (Ux1)
und (Ux2) und der zweite Term aus dem Produkt des Signals (Uz) mit der Summe der
Signale (Ux1) und (Ux2) gebildet sind.
9. Einrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß das ausschließlich
von der Y-Koordinate des Auftreffpunkts (29) des Ladungsträgerstrahls auf dem Target
(26) abhängige Signal (Uy) proportional ist zur Summe aus zwei Termen, wobei der erste
Term aus dem Produkt einer vierten Konstanten mit der Summe der Signale (Uy1) und
(Uy2) und der zweite Term aus dem Produkt des Signals (Uz) mit der Summe der Signale
(Uy1) und (Uy2) gebildet sind.
10. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das ausschließlich von
der Z-Koordinate des Auftreffpunkts (29) des Ladungsträgerstrahls auf dem Target (26)
abhängige Signal (Uz) proportional ist zur Differenz der Signale (Ux1) und (Ux2).
11. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das ausschließlich von
der Z-Koordinate des Auftreffpunkts (29) des Ladungsträgerstrahls auf dem Target (26)
abhängige Signal (Uz) proportional ist zur Differenz der Signale (Uy1) und (Uy2).
12. Einrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das ausschließlich von
der X-Koordinate des Auftreffpunkts (29) des Ladungsträgerstrahls auf dem Target (26)
abhängige Signal (Ux) proportional ist zur Summe der Signale (Ux1) und (Ux2).
13. Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das ausschließlich von
der Y-Koordinate des Auftreffpunkts (29) des Ladungsträgerstrahls auf dem Target (26)
abhängige Signal (Uy) proportional ist zur Summe der Signale (Uy1) und (Uy2).
14. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Verdampfergehäuse
(51) vorgesehen ist, an dem über Haltevorrichtungen (56, 57, 58) Detektoren (50)
vorgesehen sind.
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